JPS6220334A - 集積回路装置を製造する装置と方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

先輩ユ茜ＪすＩ−ｊり１ 本発明は集積回路を製Ｘ′！するＩＩ法と装置の改良、
更に具体的に云λば、集積回路パッケージ又は容器の自
動的４に製造を容易に１ノーる方法と装置の改良に関覆
る。 級迷Ｊｌ魁慟六〇”　Ｑ　’＆　ｒ式 集積回路を構成する場合、集積回路を複数個の異なる作
業部又は作業場所で製造し又は処理するのが典型的であ
る。回路は、製造及び試験過程が逐次的に行なわれるの
につれて、手作業で種々の作業部又は作業場所の間で運
ばれる場合が多い。 例えば成る種の集積回路を製造する場合、デツプ又はバ
ーをリードフレーム又はフィルムに取付け、このリード
フレームをこの後賃通プラスブック又はセラミックで作
られたベースに取付１フる。最後に、蓋又はカバーをベ
ースの上に位置ぎめして、接着又はその他の方法によっ
てベースに固定し、使える状態になったパッケージとし
て、集積回路チップを完全に包み込む。 多くの設備では、個々の製造工程の全てではないにして
も、その多くは自動的に行なわれており、計算機技術が
開発されたことにより、各々の■稈を実施する信頼性も
次第に高くなっている。従来、典型的には、各々の工程
が個別の作業部で行なわれ、種々の製造段階で製造され
た部品を手作業で検査していた。プラスチック容器内に
集積回路パッケージを製造する典型的な方法〈いろいろ
な形式がある内で、この発明が関係する１つの方法）は
、集積回路チップをリードフレームに取（Ｎｌ　ｌ　”
Ｕ　。 ヘツダ・バーに取付（することの出来る組合μを作る。 これは例えば、最初の作業段階の間に行にうことが出来
る。取イク１（づをしたヘツダ・バーがこの後、一般的
には手作業でまとめて手動検査部に運ばれる。中間ヘツ
ダ・バー加工製品を直ちに検査するのが理想的には望ま
しいが、実際問題どして、検査は１つ又は更に多くの加
工段隔分だ（Ｊ遅れるのが典型的である。その後、同様
にして、検査部みの部品をにとめて結合部へ運ぶことが
出来、この結合部で集積回路チップ及びリードフィルム
にワイヤ・リードを結合する。この場合も、実際的には
、この結合過程は、最初の検査から一目乃至一日半後又
は成る場合には更に遅れて行なわれることがある。結合
過程の後、加工製品がまとめて第２の検査部に運ばれ、
そこで製品を再び検査するが、これは結合過程が完了し
てから２４時間程度後であるのが普通である。 主に種々の検査過程並びに装置を各部の間で手作業で運
ぶことによって生ずる、最終検査にり前の種々の製造段
階に於（プる時間が長い為、装置又は製造プロセスに誤
動作が起った場合、その誤りを検出して是正することが
出来る様になる前に、非常に多数の不良の又は廃棄しな

【ノればならない様な集積回路製品が作られることがあ
ることが理解されよう。これは、２５６にピッ１〜のＤ
ＲＡＭ及び同様の複雑な装置の様な従来の多くの集積回
路の製造で、特に経費のかかることであることがある。 従来、例えば手作業のプロヒスでは、全体の歩留りが僅
か８５乃至９０％になることも稀ではない。 半導体装置を自動的に製造して結合する多くの装置が提
供されている。この様な装置の１例が、米国特許第４，
３０１，９５８号に記載されており、この米国特許では
、複数個の作業部を垂直向きのマガジンによって相互接
続し、集積回路のリードフレームを担持するストリップ
をこのマガジンの中に収容し、予定の流れの過程に従っ
て、作業部の間でフレームを移送する為に分与する。 問題点を解決する為の手段及び恒月 以上の点にかんがみ、本発明の目的は、集積回路及び集
積回路パッケージを製造覆る改良された方法と装置を提
供することである。 本発明の別の目的は、製造過程を自動的に完了する様な
、上に述べた形式の方法並びに装置を提供することであ
る。 本発明の別の目的は、−りに述べＩＣ形式の方法並びに
装置として、製造の信頼性を従来の場合、特に博々用い
られる手作業の場合に較べて、大幅に高めた方法と装置
を提供することである。 本発明の別の目的は、集積回路パッケージ等の工作物等
を１つの作業部から別の作業部へ自動的に輸送し易くす
る装置を提供することである。 本発明の別の目的は、上に述べた形式であって、後入れ
先出し方式で工作物を受取り且つ放出する工作物輸送装
置を提供することである。 本発明の別の目的は、上に述べた形式であって、個別の
ＩＩＩ　−（ｒ　（１稈からの倹杏過稈の間のｕ、ｌｉ
間的４「’ＩＶ　ｉ／ｌ：ｃＴ　＜少イｅ　＜　Ｌ／　
−’Ｃ、、品、ｌ：Ｔ試験又ハＩ−ｎ査ｋ（”４−　包
−）ことが出来る様（、二したｒＩ法及び装置を提供７
１−るどどＣ゛ある。 上記並びにその他り月−１的、特徴及び利ｊＮＴは、以
■・図］川（・一ついて詳１）く説明４６１ηｉ　ｌ）
”）、当朶者（、−は明らか（（なろう。 本発明は、広谷、ｉＪ−見れば、集積回ｉ１′８装置？
″７を作る製ｊ告装置を提供する。（−の装［ｒＩがヘ
ツダ・バー取口（Ｊ装置、結合装置及び検査装置ｔ１を
含Δ７−（ｉＨｕ）　。 ぞの各々が種々の製造段階で集積回路装置を出力する。 部品を各ノアの製造段階かｌも次の製；Ｓｉｒ　ｉΩ階
ｌ＼移送づる手段が設けられＣおり、この１段（、ｉ、
１′１７部の間−ｃ”部品を一時的に貯蔵４−乙部品受
入ｔＬ　Ｑ［ｔｌ１７装置と、後入れ先出し式（Ｊ二貯
蔵されている部品を分−Ｌ）撲る手段どを含／（、Ｃい
る１、々１′まり、い実扉！例て゛は、緩衝１へ置は回
転ドラムて゛構成さね、ド−７１＼の長さに沿３　Ｔ　
ＩＩ！Ｉｌｌ　／Ｉ向に形成さねｌＪ部品担梢路内（Ｊ
”部品を受入れる。貯蔵が必要／Ｌ時、ド、ンｌ＼の一
〕”】の回１ｊ１．１ノ向の時１５′二、部品が１］１
持路内＋；」ｒｉ”　ｄ　ｃ＝　ａｔルど共（５−１貯
蔵を必要どしイーネい匿、ドラムの反り・１０回転方向
で担１．し路から分Ｌｊさ１する。 害−川−例 図面全体にわたり、同様イ「部分にはｌｉｌじ参照数字
を用い（いる。１ｙｌ）　ｔ（の部分のし法は、図面を
見易くづろ為並びに説、明をし易くり−る為に、誇張１
．）又は変え（−ある。１ 集積回路装置”Ａ光装置ｉ”ｉ　１０か第１図（Ｊ−示
されている１３装「し０は所謂″′Ｏ−浸漬′°形パッ
ケージの場合を示し−Ｃあるが、当業占（・あ４１ば、
本発明のにλが他の形式の装置製）告７！ｊ法、例λは
一ノ′ラスブツタのパッケージ、気密パッケージ、Ｆ　
Ｐ　Ｆ＜　ＯＭ形バツノノージ等をＩｌ′Ｖ、＋！＆う
シラ端方法にし同じ様（Ｊ二用いるＣとが出来るイーと
が理解、＼れ、ｊ、う。装置１０が３つのｆＩ栗部、即
ら、ヘツダ・バー取イ・１け装置１５、ボンダ１７、及
び検査部１９を含む１、（二の各々の作業部にある装置
は公知であり、例λぼ全体と関ｊやしｌ、、　ｉｉｌ　
ＩＪ機部２しＺ　ＫＱ　ｌられた局部訓（）Ｉ幾装置に
よ−）（制御７）−ることが出来る。第１、第２及Ｃ）
第３の作業部が、回転貯蔵ドラム装置２−Ｆ）　　　〜 ５．２６ｆ、’二よつ（−接続され（いる、が、このド
ラム装置は後で第２図（Ｊ゛つい−ＣＣ１紺ｆＬＴる４
、装置全体が適当＜１−基部しの土（５−☆持されてい
る１、従二〕（−１各々の作業部１５，１７．１９／Ａ
回転ドラム貯藏、装置ｒ１°２５．２６と共（、″完全
くｔインク、イン形製造装置を構成１７２、（、Ｙ−来
作裟部の間で必“ル（′パｄｉ　７）　ｉこ手作業の１
程がｉｆ　＜なり、初めかＩ−９終り二りで、製造過程
を完全（９−自Ｅｈ的にすることが出来る７、−一の為
、最終的な製品と１）−Ｃの集積回路装置１９のし装種
の部分が、ヘツダ・バー数例は部１５／）す３始３１、
つ−Ｃ１紺ｆＬＴ　ラレ、部品１（１持路又Ｌｔ−二１
ンヘｔ　３０を介１）（回転貯蔵ドラム装置２５に運ば
れる１、製造さ４′また装置が回転貯蔵ドラム装置２５
を通り、Ｉし持路又はｌンベ〜１３２を介しＣ第２の作
業部にあるボンダ１７に連続的（１−運ばれることが理
想的Ｃある。、ボンディング作業が完−ｒＩノた後、結
合された部品が用持路又は」ンベ〜７３３を介して第２
の回転貯蔵ドラム装置２６へ移送される１、この場合も
、装置が直接的に回転貯蔵ドラム装ｄ２６を通って、損
持路又は−コンベＡ？３５から第３の作業−〇　一 部にある検査部１９に直接的（、移）＞旨＼れるのが理
想的である。１最紡検査の後、装置がシフ１−１−３７
からビン又はぞのｌｉの適当な受取手段（図に示（−〕
で４「い）に放出される。。 ここ（゛、各々の作業部で゛晶質検査を行イｔう、Ｔと
が出来ることに注意され六い。例えば、り（１の作業部
にカメラ４０をＢｙけＣ１公知の検査部ＩＩＳを用いＣ
１計紳機装ｆＮｆ　２１によ−っ−Ｃｆｌｉ’、ｌ　１
３し　ｊ＼れる初期晶質構台を行２ｒう０、特定の部品
が検査で不合格（、〜／７７ると、これはし１持路又（
。に１ンベ１７３０ではなく、不合格シコ〜１〜４２へ
ｙノ向転換することが出来る。 同様に、ボンディング作業部（１−カメラ４５を設（Ｊ
−Ｃ１やはりカメラｒｔ　ｆ３機２１０制御のＦに、ボ
ンディングの後の製造部品の検査を４ることが出来る。 不合格シーｌ−−１へ４７を設（Ｊて、シＬ−ｌへ、し
持路又は−１ンベＡ／３３を介１ノてｌ？ａ終検杏へど
製造過程を続ける代りに、不合格の集成体を製ｉｐｉ　
′フィンから取除く。更に、公知の様に、第１、第２及
び第３の作業部の人々に種々のｔニラ５０，５２゜５４
を設（Ｊて、希望によって製造過程を可視的に監視する
ことが出来る。 製造過程の間、初めから終りまで製造部品が一定の速度
で移動する様に、各々の作業部の製造速度は同じに設計
するか、同じになる様に選ぶのが理想的である。然し、
種々の要因にＪ：す、各々の作業部に於ける生産速度は
、例えば装置の故障、停電、供給のやり直しの必要等に
より変動する場合が多い。こういうことが起った場合、
例えばボンダ作業部が一時的に成る期間の間、ヘッダ・
バ一作業部から部品を受取ることが出来なりれば、ヘツ
ダ・バー取付は装置の作業部の動作を必然的に中断する
か、或いはヘッダ・バ一作業部によって製造された部品
を一時的に貯蔵する手段を設けなければならないことが
判る。同様に、第３の作業部が一時的に成る期間の間第
２の作業部からの部品を受取ることが出来ない場合、第
３の作業部の動作は必然的に、供給が回復するまで、中
断しなければならない。この問題を軽減する為、この発
明では、各々の作業部の間の一時的な貯蔵が回転貯蔵ド
ラム装置２５．２６によって行なわれる。 次にこれを第２図について説明する。 後で明らかにｔＴるが、回転貯蔵ドラム装置２５゜２６
は装置製造過程で後入れ先出し式に動作する。 例えば、第２の作業部にあるボンダが一時的に誤動作を
した場合、途中まで製造された多数の装置が回転ドラム
貯蔵装置２５に貯蔵される。ボンダの動作が回復した時
、回転貯蔵ドラム装置２５内にある最初に製造された装
置に対して製造過程を続ける代りに、最後に製造された
装置が担ＩＳ路３２に送られ、それに対してボンディン
グ作業を行なうことが出来。この様な後入れ先出し方式
を利用することにより、プロセスの最初の工程と最後の
検査の間の全体的なサイクル時間が最短になる。 このことは、装置の何れかの部分が誤動作した場合、多
数の装置を製造してしまう面に、最短時間内に誤動作を
検出して是正することが出来るので、重要なことである
。参考の為に云えば、約１時間又はそれ未満の全体的な
り゛イクル時間が達成され、成る装置は本発明の装置を
２分乃至３分で通過する。これは、従来の手作業の動作
方法で達成された２乃至３日間という典型的な通過時間
と対照的である。 回転貯蔵ドラム２５は、例として云えば、第１図に示し
た回転貯蔵ドラム２６と同様であるが、円形の枠５５．
５６の間に取付けられた複数個の案内トラック及びカバ
ー５２を持っている。案内トラック及びカバー５２は、
当業者に容易に判る様に、処理する部品のパッケージの
形状及び寸法に合せるのに必要な適当な寸法にすること
が出来る。ドラム２５の全体的な寸法は、製品の寸法、
それに伴う処理部の処理速度、及び希望する貯蔵量の関
数であることが理解されよう。ドラムが支持台６０に装
着された中心軸５８によって支持されていて、ドラム２
５の中心軸線は水平である。 スプロケット６２が中心軸５８に取付けられ、滑車６４
が駆動ベルト６８によってステップ・モータ６６に結合
されている。 ドラム装置の全体的な制御が、８ビツト・マイクロプロ
セッサ装置（図面に示してない）によって行なわれる。 このマイクロプロセッサ装置が、他の周辺電源、ディジ
タル形モータ駆動装置及び信号入力及び出力インターフ
ェース（これらも図に示してない）と共に、第１図に示
したキャビネット７０の様な共通の制御キャビネットの
中に収容されている。 処理している集積回路パッケージをドラム２５に入力し
且つそれから出力することは、１〜ラツクの面内の正確
な角麿の所に設けられた一連のピン寸法の孔（図に示し
てない）に加圧空気を通すことによって行なわれ、集積
回路パッケージが孔の区域内を移動する時、脱出する空
気の水平方向の力ベクトルがパッケージを前向きに駆動
する様になっている。集積回路パッケージ又はその他の
部品を移送する為に加圧空気を使うことは周知であり、
ここでは詳しく説明しない。 集積回路パッケージ又は部品の流れの制御が、入力及び
出力ドラック７６．７７上の適切な点にあるセンサ７３
．７４の様な一連の非接触形センサによって監視される
。センサがソレノイド７９の様な電気的に作動されるソ
レノイドと共に作用づ−る。１これらのソ１ツメイドは
、パッケージ又は部品を制御する為の物理的なＪ「スク
ープメンＩ−１（！構どして０用する。更にゼンリが、
制御マイク［１ブ［１セツザのソノ１〜ウニｊ′・ブＬ
１グラムと共に、流れを実時間で追跡１）で、ドラム装
置の最適利用が出来る様にすると共に、装置の性能並び
に状態につい゛（Ａベレータにフィードバックする。 上に）ホべた様に構成された装置は、次の様に作用する
。集積回路パッケージ又は途中まで完成した装置が、第
１の作業部２１に於（−Ｊ８処即を完Ｙ−暖ると、それ
がドラム装置２５の人力１ヘラツク部分７７に移送され
る。人力センサ７３が装置が存在り−ることを記録する
。その後、入カド０ツム・レン４）−の状態を検査して
、ドラムの有効なス［１ツ１−内に利用出来る場所があ
るかどうかを判定り−る。 ソレノイド７９に」、つて制御ｉしされるＴスクープメ
ン］〜を聞さ、空気によるトラックの作動にＪ、って、
装置を有効な案内１ヘラツク５２へ移ｉＸ　する。案内
１〜ラツク５２の有効なス［Ｉツ１へが一杯である場合
、ドラム駆動セータ６６を作動して、ドラムを一杯でな
い、利用しＩＩ）る次のスロワ１〜へ割出Ｊ−ｏその後
、前と同じ作動順序を繰返１ノｃ、ａ＋１の処理部から
ドラムへ次々の装置を移送（る、１八力１ヘラツク・レ
ン１）７３を財１視し−Ｃいろ１？１、出力Ｉ・ラック
・レン＋ｊ−７４も監視しで、第２の９し理部１７の需
゛要状態を見積る。第２の９！理部に装置が必要であれ
は゛、出力エスケープメン１〜を聞き、装置が入力から
ドラムを介（）て第２の作業部へ直接的に通過出来る様
にりる１、第２の作茅部に需鼎があるが、第１の作業部
から装置を利用用）Ｖ、ない場合、ドラムは装置を持つ
くいる利用し得る次のス１−ｌツ１−に割出される。こ
の時、前に第１の作業部から人力されていた装置が、需
東を光たＪまで、又は貯蔵さねている全ての装置が出力
されるまで、出力の空気１−ラック７６を介し−Ｃ第２
の作業部へ移送される。 制御ンイクロブロし・ツサをブ［−１グラミングするの
に必要な工程で表わした装置の動作が、第３図及び第４
図の）］コープｔ−１＝に示され−（いる。第３図に示
す様に、ブロック８０で、装置の入力に装置が存在づる
ことが感知される。イの後、ゾ［１ツク８１で、ドラム
内の場所が利用出来るかどうかを判定する。場所が利用
出来なければ、ブ［１ツク８２でドラムを割出し、場所
が利用出来るかどうかの判定をブロック８１で繰返づ。 他方、場所が利用出来れば、ブロック８３で王スケーブ
メントを開き、ブロック８４で装置をドラムに移送づ−
る。　第４図に示す様に、ドラムの出力では、ドラムに
り先の次に続く段階の状態を監視し、ブロック９０で、
次の段が処理する為の装置を要求１）でいるかどうかを
判定する。装置の要求がなければ、需要の判定は単にル
ープを廻り、又は装置が要求されるまで繰返される。要
求された時、ブ【二１ツク９２で出力エスケープメン１
−を開く。次に、ブロック９２で、入力から装置を利用
出来るかどうかを判定する。装置を利用出来る場合、ブ
［Ｊツク９３で、装置が出力へ送られる。入力から利用
し１ηる装置がなければ、ドラムを割出し、ブロック９
２の利用出来る装置があるかどうかの判定を繰返Ｊ０ １７一 本発明を成る程度具体的に説明しＣ例示したが、以−Ｌ
の説明は例にＪ−ざず、特許請求の範囲によって定めら
れた本発明の範囲内で、当業者であれば各部分の組合μ
＼）【びに配置にいろいろい４ｒ変史が出来ることを承
知されたい。 以上の説明に関連し−（更に下記の項を開示する。 （１）　　少なくとも第１及び第２の集積回路処理部を
持ち、該第１の処理部は個々の別々の装置の出力の流れ
を作って第２の処理部に送出し、更に、前記第１の処理
部から個々の装置を受取り、個々の装置を選択的に貯蔵
し、貯蔵しでいる装置を実質的に後入ね先出し式に前記
Ｍ２の処理部に分！ｊツるドラム形緩衝装置を右４る集
積回路装置を製造する装置。 （２）　　第（１）項に記載したｉ置に於て、ドラム緩
衝装置が、該ドラムの長さに沿って軸方向に設【ノられ
た複数個の装置担持路を構成する手段を持っていて、装
置を受取り、該装置は、前記ドラムが一方の方向に割出
し回転する時、夫々の担持路を埋めることによって選択
的に貯蔵されると共に、前記ドラムが反対方向に割出し
回転する時、貯蔵されている装置を夫々の１０持路がら
空【プる様にしＩこ装置。 （３）　　第（２）項に記載した装置に於て、装置を動
作させる為の計算機手段をイ〒覆る装置。 （４）　　集積回路装置を製造する製造装置に於て、そ
の各々が種々の製造段階で、個々の別々の集積回路装置
の出力の流れを作る様な複数個の作業部と、相次ぐ製造
段階の間で装置を移送する少なくとも１つの手段とを有
し、該手段は、作業部の間での移送の間、個々の装置を
受取ると共に選択的に貯ｉする回転自在のドラム緩衝袋
間及び後入れ先出し式に貯蔵されている装置を分与する
手段を含んでいる製造装置。 （５）　　第（４）項に記載した製造装置に於て、前記
複数個の作業部がヘツダ・バー取付は装置、ボンディン
グ装置及び検査部を含んでおり、第１の移送手段がヘツ
ダ・バー取付１ノ装冒及びボンディング装置の間に設（
プられ、第２の移送手段がボンディング装置及び検査部
の間に設けられる製造袋置。 （０）　　第（４）項に記載した製造装置に於て、装置
を貯蔵するドラム緩衝装置が装置を受取る回転ドラムを
持っており、該回転ドラムは該ドラムの艮ざに沿って軸
方向に形成された複数個の装置担持路を持ち、貯蔵が必
要な時、部品が前記ドラムの一方の回転方向で前記担持
路内に貯蔵されると共に、貯蔵が必要でない時、前記ド
ラムの反対の回転方向で担持路から分野される製造装置
。 （７）　　集積回路装「１を製造する装置に於て、装置
の流れを作る第１の作業部と、該装置の流れを受取る第
２の作業部と、略後入れ先出し式に前記第１及び第２の
作業部の間で個々の装置を運搬すると共に、当該ドラム
の長さに沿って軸方向に形成された複数個の装置担持路
を持つドラム緩衝装置と、前記第１の作業部から前記ド
ラムの入力に対して装置が存在することを感知づる手段
と、前記ドラム内に装置を受入れる場所が利用出来るか
どうかを判定する手段と、利用出来る場所がないと判定
された場合、感知された装置を受入れる為に利用し得る
場所を作る為、前記ドラムを回転によって割出す手段と
、感知された装置を１）ｉｒ記ドラムに通すことが出来
る様にする入力エスケープメントと、感知された装置を
前記ドラムに移送する手段とを有する装置。 （８）　　第（７）項に記載した装置に於て、前記第２
の作業部が処理の為に装置を要求しているかどうかを判
定する手段と、前記ドラムから装置を出力することが出
来る様にする出力エスケープメン１〜ど、出力に送出す
為に第１の作業部から利用し得る装置があるかどうかを
判定する手段とを有し、装置が利用出来る場合、該利用
し得る装置を前記第２の作業部に出力することが出来る
様にし、装置が利用出来ない場合、前記ドラムを割出し
て、前記ドラム内に貯蔵されている装置を利用出来る様
にして、貯蔵されていた装置を前記第２の作業部に出力
することが出来る様にした装置。 （９）　　第（７）項に記載した装置に於て、前記第１
の作業部がヘツダ・バー取付は装置で構成され、前記第
２の作業部がボンダで構成される装置。 （１０）第（１）項に記載した装置に於て、前記第１の
作業部がボンダで構成され、前記第２の４１業部が検査
部で構成される装置。 （し）少なくどもヘツダ・バー取イマ１け装置及びボン
ダを設（プ、前記ヘツダ・バー取付（Ｊ装置は個個の別
々の装置の出ツノの流れを作って前記ボンダに送出し、
前記ヘツダ・バー取付（Ｊ装置からの個個の装置を受取
り、一時的に個々の装置を貯蔵し、貯蔵されている装置
を実質的に後入れ先出し式に前記ボンダに分与するドラ
ム形緩衝装置を設（フ、該ドラム形緩衝装置はドラムの
長さに沿って軸方向に形成された複数個の装置相持路を
持っており、前記ドラムが一方の回転方向に割出される
時に前記装置が夫々の担持路を埋めることににつて貯蔵
され、前記ドラムが反対の回転方向に割出される時に夫
々の担持路が空けられる様にし、前記ドラムの入力に装
置が存在することを感知ｌノ、装置を受取る場所が前記
ドラム内に利用し得るかどうかを決定し、利用し得る場
所がないと決定された場合、感知された装置を受取る為
に利用覆る空間を設Ｃする為ＩＪ二前記１′ラムを割出
し７、］−］ス／／−−−プメント６いて、感知されＩ
り二装ｊ１′１をド−）ノ＼に・受入れる、二とが出来
ろ様１；−Ｌ、　、感知ｃ”　ａ′ｉ、　ｔ：　”Ａ　
ｉ百をドシｌ＼Ｉ（−、。 移ｉＸ　Ｉする工程を含むｂ法。 （１２）第（し）項１３−ン載り、、　７．Ｊフ法ｔ１
−於Ｉ、更ｌＪ１前ハ１［ボンダが９！［理の為（、子
装置４要求し−（いるかと−）かを判定し、前記ドラム
ｈ’　６の出力］Ｌスノ’ｔ−、ｆ２メント４開さ、出
力に送出１為に人力ｈ”３　’Ｒ置が利用出来るかど′
）かを判定１−ノ、装置が利用出来イ）場合、入力に利
用し得る装置を前記ボンダに出力ＺするこＪ′が出来る
様にｉ−７、装置が利用出＊４Ｉ：い場合、１）４記ド
−ｊ　ｌＸを割出しく、該ドラム（３二貯蔵され−Ｃい
る装置を利用出来る様１ｍ　ｌ、で、貯蔵さ相（い！、
−装置をボンダ１８−゛出力するＪどが出来る様（・−
゛する工程を更に含む方法。

【図面の簡単な説明】

第１図は本弁明の集積回路パッケージ製Ｍｉ■装ｒ１の
斜視図、第２図【ま本発明＋＝−従って、種々の製）前
段階の間、集積回路素子を受取ると共に選択的＋Ｊ貯蔵
−づ−る回ｒ隙！貯蔵ドラムの斜視図、第３図は第１図
の集積回路パッケージター’ｌ’Ｊ　３告りる装置の動
ｆｌ　＋Ｊ関連１ノーＣ１第２　ｔｘ＋の回転ＩＦＩ″
蔵Ｉ、゛″ツノの人力動イＩｉ−％。 小（Ｉ）冒＝−′Ｊ（７−１、第４図（、じ（〕し図６
芽（ｆＡ回路バツノｊ−ジを￥、Ｊ　；ｐ！、する装置
の動作に関沖し・−（、り１り′！１ツしハ回転貯藏ド
ラムの出、ｌＪΦ）１作へ小しノ１［−十〜ｌ−１・Ｃ
ある、１ １でｆ号の５（１明 １５．１７，１９：イ′］業部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも第１及び第２の集積回路処理部を持ち
   、該第１の処理部は個々の別々の装置の出力の流れを作
   つて第２の処理部に送出し、更に、前記第１の処理部か
   ら個々の装置を受取り、個々の装置を選択的に貯蔵し、
   貯蔵している装置を実質的に後入れ先出し式に前記第２
   の処理部に分与するドラム形緩衝装置を有する集積回路
   装置を製造する装置。
2. （２）少なくともヘツダ・バー取付け装置及びボンダを
   設け、前記ヘツダ・バー取付け装置は個々の別々の装置
   の出力の流れを作つて前記ボンダに送出し、前記ヘツダ
   ・バー取付け装置からの個々の装置を受取り、一時的に
   個々の装置を貯蔵し、貯蔵されている装置を実質的に後
   入れ先出し式に前記ボンダに分与するドラム形緩衝装置
   を設け、該ドラム形緩衝装置はドラムの長さに沿つて軸
   方向に形成された複数個の装置担持路を持つており、前
   記ドラムが一方の回転方向に割出される時に前記装置が
   夫々の担持路を埋めることによつて貯蔵され、前記ドラ
   ムが反対の回転方向に割出される時に夫々の担持路が空
   けられる様にし、前記ドラムの入力に装置が存在するこ
   とを感知し、装置を受取る場所が前記ドラム内に利用し
   得るかどうかを決定し、利用し得る場所がないと決定さ
   れた場合、感知された装置を受取る為に利用する空間を
   設ける為に前記ドラムを割出し、エスケープメントを開
   いて、感知された装置をドラムに受入れることが出来る
   様にし、感知された装置をドラムに移送する工程を含む
   方法。