JPS62154793A - パタ−ン印刷基材の製法 - Google Patents
パタ−ン印刷基材の製法Info
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- JPS62154793A JPS62154793A JP29329485A JP29329485A JPS62154793A JP S62154793 A JPS62154793 A JP S62154793A JP 29329485 A JP29329485 A JP 29329485A JP 29329485 A JP29329485 A JP 29329485A JP S62154793 A JPS62154793 A JP S62154793A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、工業的有利にパターン印刷基材を製造する方
法、特に、現偉、定着、水洗、乾燥などの湿式写真処理
工程を行うことなく、単純な物理的剥離手段を利用して
パターン印刷基材を製造する方法に関する。
法、特に、現偉、定着、水洗、乾燥などの湿式写真処理
工程を行うことなく、単純な物理的剥離手段を利用して
パターン印刷基材を製造する方法に関する。
パターン印刷基材は液晶表示体、エレクトロルミネ・ン
センス表示体、電子写真記録体、電気泳動記録体、電子
ビーム記録体、透明スイッチ等の電極として、また、デ
ザイン用、プリント配線板等として広く利用されている
。
センス表示体、電子写真記録体、電気泳動記録体、電子
ビーム記録体、透明スイッチ等の電極として、また、デ
ザイン用、プリント配線板等として広く利用されている
。
従来のパターン印刷基材の製法としては、樹脂基材上に
無機物質の薄膜を形成し、この薄膜をパターン化する方
法が採られてきた。すなわち、樹脂基材上に真空蒸着法
、スバ・ンタリング法、エレクトロンビーム法等によっ
て酸化インジウム、酸化錫等の金属酸化物の薄膜または
銅、アルミニウム、クロム等の金属の薄膜を形成し、必
要なパターン部分にレジストインキまたはフォトレジス
トの1スクを形成し、その後、湿式写真工程、すなわち
、露光、現像、定着、水洗、乾燥の各工程を経由してパ
ターン印刷基材を得る方法が採られてきた。
無機物質の薄膜を形成し、この薄膜をパターン化する方
法が採られてきた。すなわち、樹脂基材上に真空蒸着法
、スバ・ンタリング法、エレクトロンビーム法等によっ
て酸化インジウム、酸化錫等の金属酸化物の薄膜または
銅、アルミニウム、クロム等の金属の薄膜を形成し、必
要なパターン部分にレジストインキまたはフォトレジス
トの1スクを形成し、その後、湿式写真工程、すなわち
、露光、現像、定着、水洗、乾燥の各工程を経由してパ
ターン印刷基材を得る方法が採られてきた。
上記のような湿式写真処理工程を含む従来のパターン印
刷基材の製法は、次のような問題点をもっていた。
刷基材の製法は、次のような問題点をもっていた。
イ) 必要なパターン部分にマスクを形成し、パターン
化のため露光、現像、定着、水洗、乾燥からなる煩雑な
湿式写真処理工程を経るため生産性知劣る。
化のため露光、現像、定着、水洗、乾燥からなる煩雑な
湿式写真処理工程を経るため生産性知劣る。
(ロ)湿式写真工程を実施するための装置、作業環境設
備、および工程の安定性に特別の配慮が必要である。
備、および工程の安定性に特別の配慮が必要である。
し→ エツチングおよびインキ除去に必要な無機酸、無
機アルカリ、有機溶剤等の使用によって樹脂基材の劣化
および薄膜の損傷が発生し、品質の安定性を損う0 (肩 レジストインキやフォトレジストを使用するため
製造コストが高くなる。
機アルカリ、有機溶剤等の使用によって樹脂基材の劣化
および薄膜の損傷が発生し、品質の安定性を損う0 (肩 レジストインキやフォトレジストを使用するため
製造コストが高くなる。
(ホ)無機酸、無機アルカリ、有機溶剤等の廃液による
環境汚染を回避するための廃液処理が必要となる。
環境汚染を回避するための廃液処理が必要となる。
本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、従来の
煩雑な湿式処理工程を含まず工業的有利に実施できるパ
ターン印刷基材の製法を提供するにある。
煩雑な湿式処理工程を含まず工業的有利に実施できるパ
ターン印刷基材の製法を提供するにある。
c問題点を解決するための手段〕
上述の問題点を解決するための本発明のパターン印刷基
材の製法は、(イ)樹脂基材とその上に形成すべき無機
物質の薄膜との接着性に優れた物質を樹脂基材上だパタ
ーン印刷し、(ロ)パターン印刷された樹脂基材上に該
無機物質の薄膜を形成し、次いでρ→粘着材を用いて非
パターン印刷部上の無機物質の薄膜のみを剥離すること
を特徴とする。
材の製法は、(イ)樹脂基材とその上に形成すべき無機
物質の薄膜との接着性に優れた物質を樹脂基材上だパタ
ーン印刷し、(ロ)パターン印刷された樹脂基材上に該
無機物質の薄膜を形成し、次いでρ→粘着材を用いて非
パターン印刷部上の無機物質の薄膜のみを剥離すること
を特徴とする。
従来、樹脂基材上に無機物質の薄膜を形成する場合に、
両者間の接着性を向上するため樹脂基村上に下地処理を
施す方法が提案されている。本発明は、この方法とは異
なり、樹脂基材上の特定の部分のみに接着性を向上する
物質を適用する一方、他の部分には適用せずに接着性の
劣る領域を形成し、樹脂基材上に無機物質の薄膜を形成
した後粘着材を貼付して引剥がすことによって、上記接
着性の劣る領域の無機物質薄膜を剥離するものである0 本発明で用いる樹脂基材は、板状もしくはフィルム状の
ものであって、その基材としては、ポリメチルメタクリ
レートもしくはその共重合物、ポリエチレンテレフタレ
ートその他のポリエステル。
両者間の接着性を向上するため樹脂基村上に下地処理を
施す方法が提案されている。本発明は、この方法とは異
なり、樹脂基材上の特定の部分のみに接着性を向上する
物質を適用する一方、他の部分には適用せずに接着性の
劣る領域を形成し、樹脂基材上に無機物質の薄膜を形成
した後粘着材を貼付して引剥がすことによって、上記接
着性の劣る領域の無機物質薄膜を剥離するものである0 本発明で用いる樹脂基材は、板状もしくはフィルム状の
ものであって、その基材としては、ポリメチルメタクリ
レートもしくはその共重合物、ポリエチレンテレフタレ
ートその他のポリエステル。
ポリカーボネート、セルロースアセテート、ポリイミド
、ポリサル7オン、ポリ塩化ビニル、ポリオレフィン、
ポリアミド等広範なプラスチックスが用いられる。使用
される樹脂基材は無機物質との接着性に劣る基材であれ
ば、上記の例に限定されるものでない。特に上記基材の
中でも下地処理の必要性の高いポリメチルメタクリレー
トもしくはその共重合基材、ポリエステルおよびポリカ
ーボネートは本発明の製法の対象基材として適当である
。因みにこれらの樹脂基材は、特に透明導電性電極とし
ての用途があり、著しい伸びが期待されている点でも好
適な基材である。
、ポリサル7オン、ポリ塩化ビニル、ポリオレフィン、
ポリアミド等広範なプラスチックスが用いられる。使用
される樹脂基材は無機物質との接着性に劣る基材であれ
ば、上記の例に限定されるものでない。特に上記基材の
中でも下地処理の必要性の高いポリメチルメタクリレー
トもしくはその共重合基材、ポリエステルおよびポリカ
ーボネートは本発明の製法の対象基材として適当である
。因みにこれらの樹脂基材は、特に透明導電性電極とし
ての用途があり、著しい伸びが期待されている点でも好
適な基材である。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の詳細な説明する
。
。
先ず、樹脂基材f31 (F 1図)上に接着性向上物
質(2)をパターン印刷する(第2図)。
質(2)をパターン印刷する(第2図)。
このパターン印刷に用いる物質は、樹脂基材(3)と無
機物質薄膜(2)との間の接着性を高め、接着を強固と
する役割をするものである。このような接着性向上物質
としては、例えば、特開昭55−36280号および特
開昭56−1045号に開示されている半無機質ポリマ
ーである珪素樹脂やビニル系重合体等があげられる。適
当な接着性向上物質+21 Vi樹脂基材(31に依存
して適宜選択して使用すればよいヘアクリル系樹脂やポ
リカーボネートおよびポリエステル系樹脂基材に対して
、好ましい接着性向上物質としては、例えば、(a11
分子中に3個以上のアクリロイル基及び/またはメタク
リロイル基を有する多官能単量体と1分子中に1〜2個
のアクリロイル基及び/またはメタクリロイル基を有す
る単量体との混合物、(b1ポリエステルポリオールと
インシアネート化合物を主成分とするウレタン樹脂等が
挙げられる〇 各種接着性向上物質(2)を用いて樹脂基材(3)上に
パターン印刷を行なうには、すでに述べたように液晶用
、エレクトロルミネッセンス、タッチスイッチ、その他
の用途に応じたパターンを原板として用いる。そしてパ
ターン印刷を行なう場合、溶剤、光増感剤、粘度調整剤
等を接着性向上物質に適宜加える。
機物質薄膜(2)との間の接着性を高め、接着を強固と
する役割をするものである。このような接着性向上物質
としては、例えば、特開昭55−36280号および特
開昭56−1045号に開示されている半無機質ポリマ
ーである珪素樹脂やビニル系重合体等があげられる。適
当な接着性向上物質+21 Vi樹脂基材(31に依存
して適宜選択して使用すればよいヘアクリル系樹脂やポ
リカーボネートおよびポリエステル系樹脂基材に対して
、好ましい接着性向上物質としては、例えば、(a11
分子中に3個以上のアクリロイル基及び/またはメタク
リロイル基を有する多官能単量体と1分子中に1〜2個
のアクリロイル基及び/またはメタクリロイル基を有す
る単量体との混合物、(b1ポリエステルポリオールと
インシアネート化合物を主成分とするウレタン樹脂等が
挙げられる〇 各種接着性向上物質(2)を用いて樹脂基材(3)上に
パターン印刷を行なうには、すでに述べたように液晶用
、エレクトロルミネッセンス、タッチスイッチ、その他
の用途に応じたパターンを原板として用いる。そしてパ
ターン印刷を行なう場合、溶剤、光増感剤、粘度調整剤
等を接着性向上物質に適宜加える。
パターン印刷の手法としては、用途に応じてスクリーン
印刷、平板印刷、凹版印刷、フレキソ印刷法等を使用す
ることができる。
印刷、平板印刷、凹版印刷、フレキソ印刷法等を使用す
ることができる。
パターン印刷された樹脂基材は、それぞれ使用したパタ
ーン印刷接着性向上物質の硬化条件にあわせて硬化処理
する。すなわち、例えば、紫外線硬化型、熱重合硬化型
、溶剤乾燥型等のように、それぞれの物質に適合する硬
化条件を採用して硬化処理することによって、パターン
印刷部分と樹脂基材との密着を強固なものにする。パタ
ーン印刷部分の厚さは用途に応じて設定すればよいが、
0.1μrIL〜5μmが望ましい。
ーン印刷接着性向上物質の硬化条件にあわせて硬化処理
する。すなわち、例えば、紫外線硬化型、熱重合硬化型
、溶剤乾燥型等のように、それぞれの物質に適合する硬
化条件を採用して硬化処理することによって、パターン
印刷部分と樹脂基材との密着を強固なものにする。パタ
ーン印刷部分の厚さは用途に応じて設定すればよいが、
0.1μrIL〜5μmが望ましい。
次に、予めパターン印刷した樹脂基材面上に無機物質の
薄膜(11を形成せしめる(第3図)。この無機物質と
しては、例えば、金・銀・白金・パラジウム・ロジウム
・アルミニウム、銅等の金属、酸化インジウム、酸化錫
、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、酸化珪
案、酸化チタン等の金属酸化物、および窒化珪素のよう
な金属9化物が挙けられる。これら無機′物質の薄膜は
単層膜でbっでもよいし、また、例えば、酸化インジウ
ム/酸化錫系、rltitJ/+¥l化アンチモン系、
酸化チタン/V酸化チタン系、鉛/ジルニウム/チタン
系酸化物、鉛/リチウム/ジルコニウム/チタン系酸化
物のような多層膜であってもよい〇 上記のような無機物質の薄@(1)をパターン印刷樹脂
基材上に形成するには、抵抗加熱型真空蒸着法、スバ・
ツタリング法、イオンブレーティング法、エレクトロン
ビーム法等の手法を採ることができるO 無機物質の薄膜は、例えば、透明導電性膜、圧電性膜、
デザイン用膜、反射防止膜等の各用途に応用されること
ができ、これらの薄膜はそれぞれの用途に応じて単層膜
や各種無機物質の組合せによる多層膜とすることもでき
る。ここにおいて無機物質の薄膜の厚さは一般に約10
A〜5μmの範囲とする。
薄膜(11を形成せしめる(第3図)。この無機物質と
しては、例えば、金・銀・白金・パラジウム・ロジウム
・アルミニウム、銅等の金属、酸化インジウム、酸化錫
、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、酸化珪
案、酸化チタン等の金属酸化物、および窒化珪素のよう
な金属9化物が挙けられる。これら無機′物質の薄膜は
単層膜でbっでもよいし、また、例えば、酸化インジウ
ム/酸化錫系、rltitJ/+¥l化アンチモン系、
酸化チタン/V酸化チタン系、鉛/ジルニウム/チタン
系酸化物、鉛/リチウム/ジルコニウム/チタン系酸化
物のような多層膜であってもよい〇 上記のような無機物質の薄@(1)をパターン印刷樹脂
基材上に形成するには、抵抗加熱型真空蒸着法、スバ・
ツタリング法、イオンブレーティング法、エレクトロン
ビーム法等の手法を採ることができるO 無機物質の薄膜は、例えば、透明導電性膜、圧電性膜、
デザイン用膜、反射防止膜等の各用途に応用されること
ができ、これらの薄膜はそれぞれの用途に応じて単層膜
や各種無機物質の組合せによる多層膜とすることもでき
る。ここにおいて無機物質の薄膜の厚さは一般に約10
A〜5μmの範囲とする。
無機物質の薄膜の形成状態はパターン印刷部上では強固
に接着するが、非パターン印刷部上では容易に剥離する
ような状態となっている。ここで、パターン印刷部上と
非パターン印刷部上での薄膜の接着性の差は、一応の目
安として、以下のクロスカットセロハンテープ剥離テス
ト法によって決定することができる。すなわち、先ず、
無機物質薄膜層を貫いて樹脂基材に達する切断線を切刻
む。
に接着するが、非パターン印刷部上では容易に剥離する
ような状態となっている。ここで、パターン印刷部上と
非パターン印刷部上での薄膜の接着性の差は、一応の目
安として、以下のクロスカットセロハンテープ剥離テス
ト法によって決定することができる。すなわち、先ず、
無機物質薄膜層を貫いて樹脂基材に達する切断線を切刻
む。
切断線は縦、横にそれぞれ1mm間隔で11本人れ、1
−の目数を100個作り、その上に市販のセロハンテー
プを王密着させ、上方に剥離すること【よって決定され
る。パターン印刷部と非パターン、印刷部とに適切な接
着性の差が形成されていれば、パターン印刷部では薄膜
は全く剥離しないが、非印刷部分では薄膜が全面に亘っ
て剥離する。
−の目数を100個作り、その上に市販のセロハンテー
プを王密着させ、上方に剥離すること【よって決定され
る。パターン印刷部と非パターン、印刷部とに適切な接
着性の差が形成されていれば、パターン印刷部では薄膜
は全く剥離しないが、非印刷部分では薄膜が全面に亘っ
て剥離する。
次に、本発明の方法に従って無機物質の薄膜(1)を形
成した基材の表面に粘着材(4)を適用し、該粘着材(
4)を剥KSすることによって非パターン印刷部上の*
襖(11のみを剥離せしめて、所望パターン印刷基材を
得る(第4図)。
成した基材の表面に粘着材(4)を適用し、該粘着材(
4)を剥KSすることによって非パターン印刷部上の*
襖(11のみを剥離せしめて、所望パターン印刷基材を
得る(第4図)。
ここで使用する粘着材は、接着テープ状であってもよく
、また、無定形の粘着材であってもよい□例えば、通常
の市販グレードのセロハンテープを貼付するか、または
、一般的に使用されているビニル系あるいはアクリル系
粘着剤を適用し、次いで、これらのテープまたは粘着材
を引?、+1かす方法を採ることができる。種々検討の
結果、無機物質薄膜に対する粘着材の粘着力として25
叩巾を引き剥がす力に換算して70g以下で非パターン
印刷部の薄膜が剥離できればよいことが判明した。
、また、無定形の粘着材であってもよい□例えば、通常
の市販グレードのセロハンテープを貼付するか、または
、一般的に使用されているビニル系あるいはアクリル系
粘着剤を適用し、次いで、これらのテープまたは粘着材
を引?、+1かす方法を採ることができる。種々検討の
結果、無機物質薄膜に対する粘着材の粘着力として25
叩巾を引き剥がす力に換算して70g以下で非パターン
印刷部の薄膜が剥離できればよいことが判明した。
しかしながら、本発明の方法において、低い粘着力によ
って非パターン部分が容易に剥離できる場合もあり、か
かる場合は25.9以下の粘着力を有するものが好まし
い。
って非パターン部分が容易に剥離できる場合もあり、か
かる場合は25.9以下の粘着力を有するものが好まし
い。
本発明の方法によれば、従来技術にみられるような無機
酸、無機アルカリ等を使用するエツチング工程が無用で
あるため、薄膜の損傷がなく、且つ樹脂基材の劣化も生
じない。捷た、現像、定着、水洗、乾燥等の湿式処理工
程も省略できるため、複雑な湿式処理設備が不必要とな
り、製造コストが著しく低下する。さらに、従来エツチ
ングによるパターン化が困難とされてい友安定な物質で
ある、金、パラジウム、金属窒化物、炭化物、酸化物等
もパターン化が可能となり、その応用分野が拡がる利点
がある。
酸、無機アルカリ等を使用するエツチング工程が無用で
あるため、薄膜の損傷がなく、且つ樹脂基材の劣化も生
じない。捷た、現像、定着、水洗、乾燥等の湿式処理工
程も省略できるため、複雑な湿式処理設備が不必要とな
り、製造コストが著しく低下する。さらに、従来エツチ
ングによるパターン化が困難とされてい友安定な物質で
ある、金、パラジウム、金属窒化物、炭化物、酸化物等
もパターン化が可能となり、その応用分野が拡がる利点
がある。
以下、実施例について本発明を具体的に説明する0
実施例1゜
厚さ2Mの光学的に透明なメタクリル樹脂板(3)(@
1図参照)上に、予めタッチパネル用透明電極パターン
印刷を行りた。すなわち、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート8重量部、トリメチロールプロパントリア
クリレ−)20重量部、1.4−ブタンジオールジアク
リレート12mff1部と有機溶剤とし7てイングロバ
ノール30″i量部、光増感剤としてベンゾインイソブ
チルエーテル2重量部を加えた組成物を、200メツシ
ユのスクリーンにセグメントx極用に印画したパターン
を印刷した。次いで、20cmの距離から、高圧水・銀
打(100W)の光源を10分間照射して、パターン印
刷部分(2)をメタクリル樹脂板(3)に固着せしめた
(第2図参照)0 パターン印刷を行なった樹脂基材へ酸化インジウム/酸
化スズ(9515)をターゲットとし酸素3チを含んだ
アルゴン雰囲気(3m Torr)中60℃で高周波マ
グネトロンスパッタリングを行ない、1300Aの薄膜
(11を形成させた(第3図参照)0次いで、市販セロ
テープ(積水化学製)(4)を圧接着し、第4図に示す
ように引剥がすことによって非パターン印刷部上に形成
した薄膜(1)のみを剥離し、タッチパネル用セグメン
トを極のパターン印刷基材(第5図参照)を得た。
1図参照)上に、予めタッチパネル用透明電極パターン
印刷を行りた。すなわち、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート8重量部、トリメチロールプロパントリア
クリレ−)20重量部、1.4−ブタンジオールジアク
リレート12mff1部と有機溶剤とし7てイングロバ
ノール30″i量部、光増感剤としてベンゾインイソブ
チルエーテル2重量部を加えた組成物を、200メツシ
ユのスクリーンにセグメントx極用に印画したパターン
を印刷した。次いで、20cmの距離から、高圧水・銀
打(100W)の光源を10分間照射して、パターン印
刷部分(2)をメタクリル樹脂板(3)に固着せしめた
(第2図参照)0 パターン印刷を行なった樹脂基材へ酸化インジウム/酸
化スズ(9515)をターゲットとし酸素3チを含んだ
アルゴン雰囲気(3m Torr)中60℃で高周波マ
グネトロンスパッタリングを行ない、1300Aの薄膜
(11を形成させた(第3図参照)0次いで、市販セロ
テープ(積水化学製)(4)を圧接着し、第4図に示す
ように引剥がすことによって非パターン印刷部上に形成
した薄膜(1)のみを剥離し、タッチパネル用セグメン
トを極のパターン印刷基材(第5図参照)を得た。
本実施例の方法によって、表面電気抵抗値50Ω/口、
全光線透過率90慢を有する透明でかつ導電性に優れた
タッチパネル用セグメントを極のパターン印刷基材を得
た。なお、表面電気抵抗値は通常の四探針副定法により
測定した。また、全光線透過率はASTM D1003
に準じて測定した(可視光線域)。
全光線透過率90慢を有する透明でかつ導電性に優れた
タッチパネル用セグメントを極のパターン印刷基材を得
た。なお、表面電気抵抗値は通常の四探針副定法により
測定した。また、全光線透過率はASTM D1003
に準じて測定した(可視光線域)。
実施例2
厚さ1市の光学的に透明なポリカーボネート樹脂板上に
、予めタッチパネル用透明電極パターン印刷を行なった
。すなわち、実施例1に述べたと同様の組成物(Blを
200メツシユのスクリーンにセグメントを極用に印画
したパターンを印刷した。
、予めタッチパネル用透明電極パターン印刷を行なった
。すなわち、実施例1に述べたと同様の組成物(Blを
200メツシユのスクリーンにセグメントを極用に印画
したパターンを印刷した。
次いで、20r1Bの距離から高圧水銀灯(100W)
の光源を10分間照射してパターン印刷部分をポリカー
ボネート樹脂板に固着せしめた。
の光源を10分間照射してパターン印刷部分をポリカー
ボネート樹脂板に固着せしめた。
パターン印刷を行なった樹脂基材上へ、金を抵抗加熱型
真空蒸着装置を用いて蒸着し、50A厚の薄膜を形成さ
せた。次いで、実施例1と同像に市販セロテープ(積水
化学製)を圧接着し、セロテープを剥離したところ非パ
ターン印刷部上に形成した金薄膜のみが選択的に剥離し
、タクチバネたが、本実施例によねばパターン印刷基材
が容易にかつ品質を損うことなく便られた。本実施例に
よって得られたパターン印刷基材は、電気表面抵抗値3
0Ω/口、会光線透過字75係の特性値を有し、実用性
に侵れたセグメント電極のパターン印刷基材であった。
真空蒸着装置を用いて蒸着し、50A厚の薄膜を形成さ
せた。次いで、実施例1と同像に市販セロテープ(積水
化学製)を圧接着し、セロテープを剥離したところ非パ
ターン印刷部上に形成した金薄膜のみが選択的に剥離し
、タクチバネたが、本実施例によねばパターン印刷基材
が容易にかつ品質を損うことなく便られた。本実施例に
よって得られたパターン印刷基材は、電気表面抵抗値3
0Ω/口、会光線透過字75係の特性値を有し、実用性
に侵れたセグメント電極のパターン印刷基材であった。
実施例3
250μmの厚さを有する光学的に透明なポリエチレン
テレフタレートシートに、ポリエステルポリオールとイ
ンシアネート化合物の重合体を主成分とするポリウレタ
ン閏脂をジメチルフォルムアミドに溶解し、固形分濃度
1.5重量%の溶液とした。
テレフタレートシートに、ポリエステルポリオールとイ
ンシアネート化合物の重合体を主成分とするポリウレタ
ン閏脂をジメチルフォルムアミドに溶解し、固形分濃度
1.5重量%の溶液とした。
この′物質を200メツシユのスクリーンにコモン電極
用に印画したパターンを・印刷した。次いで、80℃で
予備加熱し、130℃で5分間乾燥硬化させ、0.2μ
mの厚さを有するパターン印刷部を固着させた。次いで
、実施例1と同様に酸化インジウム/酸化スズ(951
5)?ターゲットとし、酸素3チを含んだアルゴン雰囲
気(3rrLTorr)中4 (+ ’Cでa8波マグ
ネトロンスパッタリングを行ない、400A厚の4暎を
形成させた。
用に印画したパターンを・印刷した。次いで、80℃で
予備加熱し、130℃で5分間乾燥硬化させ、0.2μ
mの厚さを有するパターン印刷部を固着させた。次いで
、実施例1と同様に酸化インジウム/酸化スズ(951
5)?ターゲットとし、酸素3チを含んだアルゴン雰囲
気(3rrLTorr)中4 (+ ’Cでa8波マグ
ネトロンスパッタリングを行ない、400A厚の4暎を
形成させた。
次に、粘着材としてポリエステル粘着テープ(積木化学
製、タイプ慮21)を用い、実施例1と1r5J4fに
圧接着、剥離を行ったところ、非パターン印刷部上に形
成した薄膜のみが透析的に剥離し、所望のコモン電極パ
ターン印刷基材が得られた。
製、タイプ慮21)を用い、実施例1と1r5J4fに
圧接着、剥離を行ったところ、非パターン印刷部上に形
成した薄膜のみが透析的に剥離し、所望のコモン電極パ
ターン印刷基材が得られた。
このコモン電極は表面電気抵抗値500Ω/口、光線透
過率80%を有し、実用性に優れた基材であった0
過率80%を有し、実用性に優れた基材であった0
図面は本発明に係る製造工程を示す断面図でありて、第
1図は基材を示し、第2図は基材上に接着性向上物質を
パターン印刷した状態を示し、第3図はパターン印刷し
た基材面上に無機物質の薄膜を形成した状態を示し、第
4図は粘着、材を1用いて無機物質薄膜全選択的に剥離
する状態を示し、第5図は得られたパターン印刷基材を
示す。 1:無機物質の薄膜、2:パターン印刷せる接着性向に
、物質、3:基材、4:粘着剤。
1図は基材を示し、第2図は基材上に接着性向上物質を
パターン印刷した状態を示し、第3図はパターン印刷し
た基材面上に無機物質の薄膜を形成した状態を示し、第
4図は粘着、材を1用いて無機物質薄膜全選択的に剥離
する状態を示し、第5図は得られたパターン印刷基材を
示す。 1:無機物質の薄膜、2:パターン印刷せる接着性向に
、物質、3:基材、4:粘着剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、(イ)樹脂基材とその上に形成すべき無機物質の薄
膜との接着性に優れた物質を樹脂基材上にパターン印刷
し、 (ロ)パターン印刷された樹脂基材上に該無機物質の薄
膜を形成し、次いで (ハ)粘着材を用いて非パターン印刷部上の無機物質の
薄膜のみを剥離する ことを特徴とするパターン印刷基材の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29329485A JPS62154793A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | パタ−ン印刷基材の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29329485A JPS62154793A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | パタ−ン印刷基材の製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62154793A true JPS62154793A (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=17792967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29329485A Pending JPS62154793A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | パタ−ン印刷基材の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62154793A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5522963A (en) * | 1994-05-31 | 1996-06-04 | International Business Machines Corporation | Method for machining and depositing metallurgy on ceramic layers |
JP2011071397A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | カバーレイフィルム、その製造方法およびフレキシブルプリント配線板 |
US20120270019A1 (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-25 | Heraeus Materials Technology Gmbh & Co. Kg | Method for manufacturing a partially coated carrier structure |
JP2016535433A (ja) * | 2013-09-30 | 2016-11-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | パターン化されたナノワイヤ透明導電体上の印刷された導電性パターンのための保護用コーティイグ |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29329485A patent/JPS62154793A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5522963A (en) * | 1994-05-31 | 1996-06-04 | International Business Machines Corporation | Method for machining and depositing metallurgy on ceramic layers |
JP2011071397A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | カバーレイフィルム、その製造方法およびフレキシブルプリント配線板 |
US20120270019A1 (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-25 | Heraeus Materials Technology Gmbh & Co. Kg | Method for manufacturing a partially coated carrier structure |
US8956491B2 (en) * | 2011-04-20 | 2015-02-17 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Method for manufacturing a partially coated carrier structure |
JP2016535433A (ja) * | 2013-09-30 | 2016-11-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | パターン化されたナノワイヤ透明導電体上の印刷された導電性パターンのための保護用コーティイグ |
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