JPS62154307A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
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- JPS62154307A JPS62154307A JP29625385A JP29625385A JPS62154307A JP S62154307 A JPS62154307 A JP S62154307A JP 29625385 A JP29625385 A JP 29625385A JP 29625385 A JP29625385 A JP 29625385A JP S62154307 A JPS62154307 A JP S62154307A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は1、特に高保持力記録媒体との組み合わせに
適した磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
適した磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
磁気記録技術において、近年高密度記録の要求から高保
持力を録媒体が使用されるようになった。高保持力記録
媒体に信号を記録するには、従来磁気ヘッドに用いられ
てきたフェライトでは不充分で、このため、より高Be
k有する金属磁性材料、例えばセンダスト、Co系アモ
ルファス合金等を用いた磁気ヘッドが考案されている。
持力を録媒体が使用されるようになった。高保持力記録
媒体に信号を記録するには、従来磁気ヘッドに用いられ
てきたフェライトでは不充分で、このため、より高Be
k有する金属磁性材料、例えばセンダスト、Co系アモ
ルファス合金等を用いた磁気ヘッドが考案されている。
この−例として第7図に特開昭59−5414号公報に
示さバた従来の磁気ヘッドの斜視図を示す。図において
、(la)、(lb)は非磁性セラミックブロック、(
2a)、(2b)はセンダスト、Co系アモルファス合
金などの金属磁性材料で、それぞれ第1.第2の磁性体
を形成し例えばスパッタ等の手法によジブロック(1a
)、(1b)に被着またに、ブロック(la)、(lb
)に接合されたものである。14+はSin、等の非磁
性ギャップ材で、金属磁性薄膜(2a)、(2b)はギ
ャップ材+41を介して突き合わされている。(6)は
コイル用g、+sl 、 +71は2つのコアブロック
半休全接合するための接着溝で、一般にガラスが溶融充
填される。ここで接N溝(6)はコイル用溝(5)の一
部を接着部としたが、別に専用の溝を設けてもよい。ま
た接着J/4161 、171はトラック幅方向に沿っ
た4でなくても、記録媒体走行方向に沿った溝でもよい
。
示さバた従来の磁気ヘッドの斜視図を示す。図において
、(la)、(lb)は非磁性セラミックブロック、(
2a)、(2b)はセンダスト、Co系アモルファス合
金などの金属磁性材料で、それぞれ第1.第2の磁性体
を形成し例えばスパッタ等の手法によジブロック(1a
)、(1b)に被着またに、ブロック(la)、(lb
)に接合されたものである。14+はSin、等の非磁
性ギャップ材で、金属磁性薄膜(2a)、(2b)はギ
ャップ材+41を介して突き合わされている。(6)は
コイル用g、+sl 、 +71は2つのコアブロック
半休全接合するための接着溝で、一般にガラスが溶融充
填される。ここで接N溝(6)はコイル用溝(5)の一
部を接着部としたが、別に専用の溝を設けてもよい。ま
た接着J/4161 、171はトラック幅方向に沿っ
た4でなくても、記録媒体走行方向に沿った溝でもよい
。
Aはギャップ形成面である。なおコイルは省略する。
第8図は、特開昭ao−32108号公報に示された池
の従来の磁気ヘッドの斜視図でるる。図において(8a
)、(8b)はフェライト等の磁性材である。このよう
な構成にすると磁気回路の磁気抵抗を頗らすことができ
、磁気ヘッドの記録再生効率の向上を図ることができる
。
の従来の磁気ヘッドの斜視図でるる。図において(8a
)、(8b)はフェライト等の磁性材である。このよう
な構成にすると磁気回路の磁気抵抗を頗らすことができ
、磁気ヘッドの記録再生効率の向上を図ることができる
。
しかしながら、上記のような従来の製法による磁気ヘッ
ドは1個づつコアブロック半休をギャップ形成面Aで突
き合わせてゆかねばならず、家産性も低く、品質のバラ
ツキも大きいうえに、金属磁性膜の膜厚はほぼトラック
幅程度にしなければならず、成幌時間が長くかかり誤差
も大きくなりがちで精度の良いものが浦単に得られない
という問題点があった。
ドは1個づつコアブロック半休をギャップ形成面Aで突
き合わせてゆかねばならず、家産性も低く、品質のバラ
ツキも大きいうえに、金属磁性膜の膜厚はほぼトラック
幅程度にしなければならず、成幌時間が長くかかり誤差
も大きくなりがちで精度の良いものが浦単に得られない
という問題点があった。
この発明は、かかる問題点全解決するためになされたも
ので、トラック幅の金属磁性膜を簡単に得られ品質のバ
ラツキの小さい磁気ヘッドの製造方法を促供すること全
目的とする。
ので、トラック幅の金属磁性膜を簡単に得られ品質のバ
ラツキの小さい磁気ヘッドの製造方法を促供すること全
目的とする。
この発明の磁気ヘッドの製造方法は、ブロック材の断面
形状がY字状で底部の幅がトラック°1gに対応した凹
部に裟萬磁性材料をwL着して、低部の幅がトラック幅
となる第14性体であるY字状金λ4磁性膜を形成する
工程、そのY字状主属磁性膜の内側に充填部材を充填す
る工程、上記ブロック材測全研L・博して上記金親磁性
膜全〆出させて記録媒体す一動面を形成工程を施すよう
にしたものである。
形状がY字状で底部の幅がトラック°1gに対応した凹
部に裟萬磁性材料をwL着して、低部の幅がトラック幅
となる第14性体であるY字状金λ4磁性膜を形成する
工程、そのY字状主属磁性膜の内側に充填部材を充填す
る工程、上記ブロック材測全研L・博して上記金親磁性
膜全〆出させて記録媒体す一動面を形成工程を施すよう
にしたものである。
この発明においては、eヨぼY字状の凹部を付するブロ
ック材に金属磁性材料を被着して、底部の幅がトラック
幅となる第1磁性体であるY字状金属磁性膜を形成する
ようにしたので、ブロック材KY字状の凹部を形成する
除VCトラック幅の規制ができ、金属磁性膜の膜厚に依
存せず、かつ僕厚も薄くできる。
ック材に金属磁性材料を被着して、底部の幅がトラック
幅となる第1磁性体であるY字状金属磁性膜を形成する
ようにしたので、ブロック材KY字状の凹部を形成する
除VCトラック幅の規制ができ、金属磁性膜の膜厚に依
存せず、かつ僕厚も薄くできる。
第1図はこの発明の一英廉例の磁気ヘッドの製造方法に
より得られた磁気ヘッドの斜視図で、図において(la
)、(lb)はこの場合はぼY字状の凹部、即ちA +
91 k形成された非磁性セラミックブロックでs
(2a)、(2b)Hセラミックブロック(la)、(
lb)の1+4加工面に例えばセンダスト。
より得られた磁気ヘッドの斜視図で、図において(la
)、(lb)はこの場合はぼY字状の凹部、即ちA +
91 k形成された非磁性セラミックブロックでs
(2a)、(2b)Hセラミックブロック(la)、(
lb)の1+4加工面に例えばセンダスト。
Co系アモルファス合金等の金属磁性材料をスパッタ等
の手法で被着し形成された金・、1!磁性薄膜でそれぞ
れ第1.第2の磁性膜となり、を録媒体走行方向からみ
てほぼY字状形状?目している。(3a)、(3b)は
成端磁性)El<ip (2a)、(2b)上に充填さ
れる非磁性の充填部材であり、一般にはガラスが溶tt
a充填される。
の手法で被着し形成された金・、1!磁性薄膜でそれぞ
れ第1.第2の磁性膜となり、を録媒体走行方向からみ
てほぼY字状形状?目している。(3a)、(3b)は
成端磁性)El<ip (2a)、(2b)上に充填さ
れる非磁性の充填部材であり、一般にはガラスが溶tt
a充填される。
第2図は、第1図の磁気ヘッドの金属磁性薄膜(2a)
、(2b)部分を収り吊した斜視図である。
、(2b)部分を収り吊した斜視図である。
第7図、第8図で示した従来の磁気ヘッドにおいて金属
磁性薄膜(’a)、(Fb) iはぼ一枚板の形状であ
ったが、この実施例においてはほぼY字状に所定のギャ
ップ深さより奥部は2枚に分かれている。ここでコイル
用溝16)は金属磁性薄膜(2a)、(2b)で閉ルー
プが形成されるように設けられなければ′7らない。
磁性薄膜(’a)、(Fb) iはぼ一枚板の形状であ
ったが、この実施例においてはほぼY字状に所定のギャ
ップ深さより奥部は2枚に分かれている。ここでコイル
用溝16)は金属磁性薄膜(2a)、(2b)で閉ルー
プが形成されるように設けられなければ′7らない。
なお、記録媒体走行方向からみてほぼY字状の〃1面形
状を付し第1.第2の・IM磁性体ある全編磁性膜(2
a)、(2b)は、それぞれそのY字状の1氏部の幅で
記録媒体のトラック幅Tw’に規制し、そのY字状の磁
性体の底部が媒体摺動面となり、そのY字状磁性体の側
面部に非磁性ギャップ材(4)全弁して互いに突き合わ
されている。
状を付し第1.第2の・IM磁性体ある全編磁性膜(2
a)、(2b)は、それぞれそのY字状の1氏部の幅で
記録媒体のトラック幅Tw’に規制し、そのY字状の磁
性体の底部が媒体摺動面となり、そのY字状磁性体の側
面部に非磁性ギャップ材(4)全弁して互いに突き合わ
されている。
次に、この発明の一実施例の斑気ヘッドの製造方法を工
程順に説明する。
程順に説明する。
まず射3図(力に示すように、セラミックブロック材:
1)上に複数本のほぼY字状の凹部、即ち1+i (9
12(堀る。ここでY字状溝の底部の幅がトラック・唱
Twになるように、9+1えばj4〃ロエ用ホイールを
用いて加工する。次VC第31凶沖)VC示すように、
セラミックブロック材Ill上のJ+4加工面して、金
4磁性材料をスパッタ等の手法により被着し、第1.第
2磁性体となるY字状金□、4磁性(11’l i21
’i影形成る。ここで金−磁性N 嘆′2+のj・々
11≠は、Y字状の溝(9)の底部をほぼ埋める1vさ
でちればよく、厳密な膜厚制御全行なう必要がない。
1)上に複数本のほぼY字状の凹部、即ち1+i (9
12(堀る。ここでY字状溝の底部の幅がトラック・唱
Twになるように、9+1えばj4〃ロエ用ホイールを
用いて加工する。次VC第31凶沖)VC示すように、
セラミックブロック材Ill上のJ+4加工面して、金
4磁性材料をスパッタ等の手法により被着し、第1.第
2磁性体となるY字状金□、4磁性(11’l i21
’i影形成る。ここで金−磁性N 嘆′2+のj・々
11≠は、Y字状の溝(9)の底部をほぼ埋める1vさ
でちればよく、厳密な膜厚制御全行なう必要がない。
続いて第3図Hに示すように、Y字状雀喝磁性薄嘆12
+の内側に充填部材13)?充填し、不安な4己填部材
!31 f!ニ一点fX1凛A′まで研削丁なと共にY
字状の金−磁性薄楔121の底部が記録媒体摺動面Mと
なるようにブロック材11tlJ k研削、研勃して所
定のトラック幅’rwの金鴎磁性薄り全露出させる。
+の内側に充填部材13)?充填し、不安な4己填部材
!31 f!ニ一点fX1凛A′まで研削丁なと共にY
字状の金−磁性薄楔121の底部が記録媒体摺動面Mと
なるようにブロック材11tlJ k研削、研勃して所
定のトラック幅’rwの金鴎磁性薄り全露出させる。
なお、ここで 光量部材(3)は磁性体、非磁性体のど
ちらでもよく、充填方法としては部材を等かし充填する
方法や、スパッタ法による一Jflなどの方法がある。
ちらでもよく、充填方法としては部材を等かし充填する
方法や、スパッタ法による一Jflなどの方法がある。
一般にはガラスが中いられ浴融充填される。次VC第3
図に)に示したようにブロック材…を一点鎮練Bで切断
し一列のコアブロック半体を得た後、少なくとも一方の
切断面に例えばSin、等のギャップ材+41 ’iス
パッタ、蒸着等の手法により被着し、αいて第8図(ホ
)に示したようにコアブロック半休の少なわとも一方に
コイル用溝16)、接着溝(7)ヲ堀り、ギャップ形成
面で突き合わせて接合し、一点瑣腺C、C’ で切断し
て1個の磁気ヘッド?得る。なお切断の際、ギャップ形
成面Aに対し所要のアジマス角?つけて切断してもよい
。
図に)に示したようにブロック材…を一点鎮練Bで切断
し一列のコアブロック半体を得た後、少なくとも一方の
切断面に例えばSin、等のギャップ材+41 ’iス
パッタ、蒸着等の手法により被着し、αいて第8図(ホ
)に示したようにコアブロック半休の少なわとも一方に
コイル用溝16)、接着溝(7)ヲ堀り、ギャップ形成
面で突き合わせて接合し、一点瑣腺C、C’ で切断し
て1個の磁気ヘッド?得る。なお切断の際、ギャップ形
成面Aに対し所要のアジマス角?つけて切断してもよい
。
この発明の一実施例においては、金属磁性薄膜
ロック材IllにほぼY字状の凹部(9)全形成する工
程でなされ、ここでは溝加工用ホイールの幅でトラック
幅Tw?ll−規制できるので容易である。まl”l金
属磁性薄膜(2)は凹部(9)の両側に被着形成される
ので、その膜厚はトラック幅Tw より少なくてすむ。
程でなされ、ここでは溝加工用ホイールの幅でトラック
幅Tw?ll−規制できるので容易である。まl”l金
属磁性薄膜(2)は凹部(9)の両側に被着形成される
ので、その膜厚はトラック幅Tw より少なくてすむ。
また第7図、第8図に示した従来の製法による磁気ヘッ
ドでは、1個づつコアブロック半休全ギャップ形成面で
突き合わせてゆかねばならなかったが、それと比較する
と量産性もよく、品質のバラツキも小さい。
ドでは、1個づつコアブロック半休全ギャップ形成面で
突き合わせてゆかねばならなかったが、それと比較する
と量産性もよく、品質のバラツキも小さい。
なお上記実施例ではブロック材(la)、(lb) i
非磁性体を用いたが、ギヤツブ形成面A付近以外はフェ
ライト等の磁性体に変えて磁気抵抗を減らし磁気ヘッド
の、i!、録再生効率の向上全図ることができる。84
図(イ)、(ロ)に、上記の点を考慮したこの発明の池
の実施例による磁気ヘッドの斜視図を示す。
非磁性体を用いたが、ギヤツブ形成面A付近以外はフェ
ライト等の磁性体に変えて磁気抵抗を減らし磁気ヘッド
の、i!、録再生効率の向上全図ることができる。84
図(イ)、(ロ)に、上記の点を考慮したこの発明の池
の実施例による磁気ヘッドの斜視図を示す。
第4図(イ)においては非磁性材(la)、(lb)は
Ffr四のギャップ深さまでで、それより奥部はフェラ
イト等の磁性材(8a)、(8b)で構成されている。
Ffr四のギャップ深さまでで、それより奥部はフェラ
イト等の磁性材(8a)、(8b)で構成されている。
また、第4図(ロ)においては非磁性材(la)、(l
b)げギヤツブ形成面A付近だけで、あとけ7エライト
等の磁性材(sa)、(sb)で構成されている。
b)げギヤツブ形成面A付近だけで、あとけ7エライト
等の磁性材(sa)、(sb)で構成されている。
なおこれらの場合、必ずしも金:喝磁性薄幌(2a)。
(2b)で閉ループが形成されるようにする必要にない
が記録再生効率の点で閉ループが形成されることが望ま
しい。
が記録再生効率の点で閉ループが形成されることが望ま
しい。
また上記実施例による磁気ヘッドは金lr+!磁気)基
膜(21は媒体摺動面からみてギャップ形成面に対しほ
ぼ直交してhたが第5図に示すようにギャップ形成面A
に対し、所定の角度θで傾斜させて耐摩耗性を向上させ
たり、偏摩耗を少なくすることもできる。
膜(21は媒体摺動面からみてギャップ形成面に対しほ
ぼ直交してhたが第5図に示すようにギャップ形成面A
に対し、所定の角度θで傾斜させて耐摩耗性を向上させ
たり、偏摩耗を少なくすることもできる。
第5図に示す磁気ヘッド會得るためには、第3図(イ)
の工程で溝(91’に所要角度θ傾けて堀ればよい0 なお、はぼY字状の凹部(9)は、第6図(イ)〜に)
に示すように、Y字状凹部(9)のトラック幅に対応す
る底部以外は曲線でもよく、トラック中心1jiHに対
し左右非対称でもよい。
の工程で溝(91’に所要角度θ傾けて堀ればよい0 なお、はぼY字状の凹部(9)は、第6図(イ)〜に)
に示すように、Y字状凹部(9)のトラック幅に対応す
る底部以外は曲線でもよく、トラック中心1jiHに対
し左右非対称でもよい。
またY字状凹部(9)の底部の先端形状も曲面でも、記
録媒体摺動面に対し非平行でもよい。これは特に全綱磁
性薄膜(2)を積層したときに有効である。
録媒体摺動面に対し非平行でもよい。これは特に全綱磁
性薄膜(2)を積層したときに有効である。
また、上記実施例におAて、2つのコアブロック半休の
第1.第2の磁性体が共に記録媒体走行方向からみてほ
ぼ同じY字状の金に4磁性薄膜であったが、必ずしも同
一形状である必要はなく、また上記コアブロック半体に
ギャップ材を介してコイル、第2の余端磁性薄膜を薄膜
化技術により形成した構成でも構わない。
第1.第2の磁性体が共に記録媒体走行方向からみてほ
ぼ同じY字状の金に4磁性薄膜であったが、必ずしも同
一形状である必要はなく、また上記コアブロック半体に
ギャップ材を介してコイル、第2の余端磁性薄膜を薄膜
化技術により形成した構成でも構わない。
さらに、上記実施例においてコイル溝il+は磁気ヘッ
ドの中央部を貫通するものとしたが、磁気ヘッド底部ま
で貫きぬけていて、コイルを挿入した後磁性片を接合し
て金属磁性pA(2a)、(i)で閉ループを形成する
ようにしてもよく、この場合、コイルの装着が簡単でお
る。
ドの中央部を貫通するものとしたが、磁気ヘッド底部ま
で貫きぬけていて、コイルを挿入した後磁性片を接合し
て金属磁性pA(2a)、(i)で閉ループを形成する
ようにしてもよく、この場合、コイルの装着が簡単でお
る。
この発明は以上説明したとおり、ブロック材の断面形状
がY字状で底部の幅がトラック幅に対応した凹部に金属
磁性材料金被着して、底部の幅がトラック幅となる第1
の磁性体であるY字状金属磁性膜を形成し、そのY字状
金−磁性膜の内側に充填部材を充填すると共に、ブロッ
ク材調′t−研磨して余端磁性膜を璽出させて記録媒体
摺動面を形成するようにしたので、トラック幅の規制を
ブロック材にY字状凹部を形成する際にすることができ
、トラック幅誤差の少ない、品質のバラツキの少ない磁
気ヘッド全容易に得ることのできる磁気ヘッドの製造方
法を提供供できるという効果がある。
がY字状で底部の幅がトラック幅に対応した凹部に金属
磁性材料金被着して、底部の幅がトラック幅となる第1
の磁性体であるY字状金属磁性膜を形成し、そのY字状
金−磁性膜の内側に充填部材を充填すると共に、ブロッ
ク材調′t−研磨して余端磁性膜を璽出させて記録媒体
摺動面を形成するようにしたので、トラック幅の規制を
ブロック材にY字状凹部を形成する際にすることができ
、トラック幅誤差の少ない、品質のバラツキの少ない磁
気ヘッド全容易に得ることのできる磁気ヘッドの製造方
法を提供供できるという効果がある。
第1図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法に
より得られた磁気ヘッドの斜視図、第2図はこの発明の
一実施例に保り、第1図に示した磁気ヘッドの金属磁性
HIXを示す斜視図、第8図(イ)〜(ホ)はこの発明
の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す図で
(イ)、に)、(ホ)は斜視図、(ロ)、r]は表面図
でおる。第4図(イ)、(ロ)はそれぞれこの発明の他
の実施例による磁気ヘッドの斜視図、第5図はこの発明
のさらに他の実施例による磁気ヘッドの媒体摺動面を示
す平面図、第6図はこの発明のさらに他の実施例に係る
Y字状の凹部の形状を示す表面図、第7図、第8図はそ
れぞれ従来の製法による磁気ヘッドの斜視図である。 +11−−−ブロック材、if!l−−一金属磁性膜、
+31−充填部材、+41− ギャップ材、+9l−
−−Y字状凹部。 なお図中、同一符号は同−又は相°当部分を示す。
より得られた磁気ヘッドの斜視図、第2図はこの発明の
一実施例に保り、第1図に示した磁気ヘッドの金属磁性
HIXを示す斜視図、第8図(イ)〜(ホ)はこの発明
の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す図で
(イ)、に)、(ホ)は斜視図、(ロ)、r]は表面図
でおる。第4図(イ)、(ロ)はそれぞれこの発明の他
の実施例による磁気ヘッドの斜視図、第5図はこの発明
のさらに他の実施例による磁気ヘッドの媒体摺動面を示
す平面図、第6図はこの発明のさらに他の実施例に係る
Y字状の凹部の形状を示す表面図、第7図、第8図はそ
れぞれ従来の製法による磁気ヘッドの斜視図である。 +11−−−ブロック材、if!l−−一金属磁性膜、
+31−充填部材、+41− ギャップ材、+9l−
−−Y字状凹部。 なお図中、同一符号は同−又は相°当部分を示す。
Claims (4)
- (1)第1磁性体が、記録媒体走行方向からみてほぼY
字状の断面形状を有する金属磁性膜で構成され、そのY
字状の磁性体の底部の幅で記録媒体のトラック幅を規制
し、そのY字状の磁性体の底部が記録媒体摺動面となり
、そのY字状磁性体の側面部に非磁性ギャップ材を介し
て第2の磁性体と突き合わされて構成されているものを
製造するにあたつて、ブロック材の断面形状がY字状で
底部の幅がトラック幅に対応した凹部に金属磁性材料を
被着して、底部の幅がトラック幅となる第1の磁性体で
あるY字状金属磁性膜を形成する工程、そのY字状金属
磁性膜の内側に充填部材を充填する工程、上記ブロック
材側を研磨して、上記金属磁性膜を露出させて記録媒体
摺動面を形成する工程を施すようにした磁気ヘッドの製
造方法。 - (2)第2の磁性体も、第1の磁性体と同様な構成であ
る特許請求の範囲第1項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - (3)トラック幅の規制が、金属磁性膜が被着されるブ
ロック材にほぼY字状の溝を堀り、凹部を形成する溝加
工用ホイールの幅でなされる特許請求の範囲第1項また
は第2項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - (4)ブロック材は、記録媒体摺動面からみて、少なく
ともトラック幅規制部分が非磁性体になつている構造の
磁性体と非磁性体の複合ブロック材である特許請求の範
囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29625385A JPS62154307A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29625385A JPS62154307A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62154307A true JPS62154307A (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=17831175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29625385A Pending JPS62154307A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62154307A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0159541U (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | ||
CN109396968A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-01 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种半封闭扩展式磁流变抛光装置 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29625385A patent/JPS62154307A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0159541U (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | ||
CN109396968A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-01 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种半封闭扩展式磁流变抛光装置 |
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