JPH01211202A - 複合型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特に、高密度磁
気記録再生に使用される複合型磁気ヘッドの製造方法に
関する。

（従来技術） 従来情報信号の記録再生動作を磁気的に行うようにした
磁気記録百方式は、構成及び操作の容易性のために、多
くの技術分野において、情報信号の記録再生のための手
段として広く採用されているが、抗帯域情報信号の記録
再生ならびに情報信号の高密度記録再生の要望が高まる
につれて、磁気記録媒体に高い抗磁力を有する磁性材料
を使用することにより線記録密度を高めると共にトラッ
ク巾の狭小化を図って、情報信号の高密度記録再生が行
なわれる様になった。磁気記録媒体に使用される磁性材
の抗磁力が大きくなると、これらの記録媒体を磁気ヘッ
ドにより充分記録するためにより大きなギャップ磁界を
必要とするから、磁束が最も集中する磁気ギャップ近傍
を飽和磁束密度の高い例えば、センダスト・アモルファ
ス等の金属系磁性材で形成し、主磁路を飽和磁束密度は
小さいが高周波特性の優れた、例えばフェライト磁性材
のような酸化物系磁性材を用いて構成した、いわゆる複
合型磁気ヘッドがある。

この様な複合型磁気ヘッドとして、例えば、特開昭６０
−１８２５０号公報に開示されている様に主磁路がフェ
ライト磁性材で、このフェライト磁性材の摺動面側端面
に高硬度非磁性材を接合して作った磁気コアに、真空成
膜技術を用いて金属系磁性材の薄膜を形成し、この金属
磁性材の薄膜部分と磁気空隙を構成した狭トラック中で
、耐摩耗性の良好な摺動面を備えた複合型磁気ヘッドが
提案されている。

（解決すべき課題） 前記した従来構成の複合型磁気ヘッドでは、それの耐摩
耗性を有する摺動面を構成させるために、磁気ヘッドの
製作に当って使用される素材として、磁気ヘッドにおけ
る磁気コアとなされるべき部分と対応するフェライト磁
性体のブロック材と、摺動面を構成する高硬度の非磁性
耐摩耗性材料のブロック材、例えばガラスのブロック材
とを溶着したものが用いられている。

ところが、磁気ヘッドの製作に当って前記のような素材
、すなわち、前記のようにフェライト磁性体のブロック
材と、高硬度の非磁性耐摩耗性材料のブロック材、例え
ばガラスのブロック材とを溶着したものが磁気ヘッドの
素材として使用される場合には、（１）磁気ヘッドの製
作のための工程数が非常に多くなる。（２）溶着の対象
にされる２つのブロック材は、互いの熱膨張係数の差が
少なくとも８％以内でなければならないので、使用でき
る材料が限定される。（３）フェライト磁性体のブロッ
ク材にガラスのブロック材を溶着する代わりに、フェラ
イト磁性体のブロック材に高高度の非磁性耐摩耗性材料
を、例えばスパッタリング法の適用によって被着形成さ
せることは、所定の厚みの高硬度の非磁性耐磨耗性材料
層を形成するのに非常に長時間を要するので非現実的で
あり、仮にスパッタリング法の適用によって、所定の厚
みの高硬度の非磁性耐摩耗性材料層を被着形成させ得た
としても、大きな付着強度で均一な膜質の厚膜を得るこ
とは困難であって、クラックや、剥離が生じ易い、など
の問題点があるために、前記のような問題点のない複合
型磁気ヘッドの製作法が求められた。

（課題を解決するための手段）　− 本発明は前記課題を解決するためになされたものであり
、強磁性酸化物磁性体ブロックの記録媒体摺動面に対応
する面に、ギャップ形成面に対応する面Ｂに対して略垂
直な任意の幅を有する第１の溝を所定のピッチ間隔で複
数本平行に形成する工程、第１の非磁性膜をＰＶＤ法に
より前記第１の溝の底面に形成する工程、溝の少なくと
も１方の側面が、面Ｂに対して所定の角度で傾いた第２
の溝を面Ａに対して垂直方向に所定間隔隔てて、複数本
設ける工程、ＰＶＤ法により、前記第２の溝に、金属磁
性膜と第２の非磁性膜とを順次形成する工程、前記面Ａ
及び面Ｂを研磨することによりコア半体ブロックを得る
工程、前記一対のコア半体ブロックを用意し、少なくと
も一方のコア半体ブロックの一方に巻線溝を成形する工
程、前記一対のコア半体ブロックをギャップ材を介して
突合せ、前記金属磁性膜により狭トラックの磁気ギャッ
プを構成すると共に巻線溝の一部に低融点ガラスを溶融
充填することにより、コアブロックを得る工程、前記第
１の清の底面に形成した第１の非磁性膜が記録媒体摺動
面上に露出するように研磨する工程、前記コアブロック
を所定の切断線に沿って切断し、複合型磁気コア本体を
得ることを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法を提
供しようとするものである。

（実施例） 以下、添付図面を参照しながら本発明の複合型磁気ヘッ
ドの製造方法の具体的内容について詳細に説明する。第
１図は、本発明の複合型磁気ヘッドの製造方法によって
作られた複合型磁気コア本体の斜視図、第２図〜第９図
は磁気回路が強磁性酸化物体よりなる磁気コアに、真空
成膜技術により強磁性体金属の薄膜を形成させて、前記
の強磁性体金属の薄膜の部分で狭トラック中の磁気ギャ
ップを構成した本発明になる複合型磁気ヘッドの製造方
法の主要製造工程を示す概略説明図である。

まず、第２図に示す様に、強磁性酸化物磁性体ブロック
１０の、例えば、磁気テープ等の記録媒体摺動面に対応
する面Ａに、ギャップ形成面に対応する面Ｂに対して略
垂直な任意の幅を有する第１の溝１１をＬなるピッチで
複数本平行に形成する。次に、摺動面に対応する面Ａｌ
１１ｌから、例えば、ＡＮ　２０ｓ　、Ｔｉ　Ｏ２，Ｔ
ａｚ　Ｏｓ等からなる第１の非磁性膜１２をＰＶＤ法に
より第１の溝１１の底面に形成するが、当然ながら摺動
面に対応する面Ａ上にも同様の膜が形成される。なお矢
印ＹはＰＶＤ法により第１の非磁性膜１２を形成する非
磁性粒子が飛来する方向を示す。

溝の少なくと６１方の側面が面Ｂに対して所定の角度θ
で傾いた第２の溝１３を面Ａに対して垂直方向にＬ／２
ピッチで複数本設ける。ここで第２の消１３の偶数項（
または奇数項）の溝が、第１の溝を含む態様で第２の溝
１３を形成する０次に、面Ｂ側より、まず、金属磁性膜
１４を、次いで、高硬度を有する第２の非磁性膜１５を
それぞれ所定の厚みだけＰＶＤ法により第２の渭１３上
に形成する。

次に、第６図に示す様に第１及び第２の溝１１及び１３
内を低融点ガラス１６で充填し、はみ出した余分な部分
を研磨除去した後に面Ａ１面Ｂを鏡面研磨してコア半体
ブロック１７を得る。

次に、上記コア半体ブロック１７の２個を一対として用
意し、第７図に示す様にこれら１対のコア半体ブロック
１７の少なくとも一方のコア半体ブロック１７の面Ｂに
巻線溝１８を形成し、一方のコア半体１７−を得る。こ
の時、上記巻線溝１８のギャップデプス、規制端１８ａ
が第１の溝１１の底面に被着した第１の非磁性膜１２の
一部にかかるようにする。

次に、第８図に示す様に、一対のコア半体ブロック１７
．１７−のうち、少なくとも一方の面Ｂにギャップ材を
付着させた後に、上記一対のコア半体ブロック１７．１
７−の金属磁性膜１４゜１４が互に対向する様に突合せ
、狭トラック幅を有する磁気ギャップＧを構成すると共
に巻線溝１８のギヤツブデプス規ｉ’Ｊ＠１８ａ後部に
低融点ガラス１９を溶融充填することによりこれら一対
のコア半体ブロック１７．１７°を一体に接合し、コア
ブロック２０を得る。

次に、第９図に示す様に、上記第１の溝１１の底面に被
着した第１の非磁性１ｉ１１２がテープ摺動面上に現わ
れ、かつ、所定のギャップデプスが得られる様にコアブ
ロック２０の面Ａｎを研磨する。

次に、図中、イーロ、ハーニの点線に沿って切断するこ
とにより第１図に示す複合型磁気コア本体を得る。なお
上記の製造方法において、第２の渭１３を面Ａ及び面Ｂ
に挾まれた稜線部、即ち、強磁性酸化物磁性体ブロック
１０のギャップ形成位置近傍に相当する部分に形成して
もよい。

また、第６図で、第１図、第２の溝を低融点ガラスで充
填したが必ずしもその必要性はなく、第８図で示しな、
一対のコア半体ブロックをガラス接合する際に低融点ガ
ラスにより第１、第２の溝を一括的に充填してもよい。

（発明の効果） 上述の様に、本発明になる複合型磁気ヘッドの製造方法
によれば、従来構成の複合型磁気ヘッドのように耐摩耗
性を有する摺動面を構成させるために、磁気ヘッドの製
作に当って使用される素材として、磁気ヘッドにおける
磁気コアとなされるべき部分と対応するフェライト磁性
体のブロック材と、摺動面を構成する高硬度の非磁性耐
摩耗性材料のブロック材、例えばガラスのブロック材と
を溶着して構成したブロック材を使用していないから、
磁気ヘッドの製作のための工程数を少なくすることがで
きるとともに、従来技術の場合のように溝の切削に際し
て、厚い高硬度の非磁性板を切断するような態様でブレ
ードが使用されるものではないので、溝加工用のブレー
ドの阜耗も少なく所定の精度を出すことも容易であり、
さらに、磁気ヘッドが完成するまでに、磁気ヘッドの製
作工程中に含まれている少なくとも２回の溶着工程にお
ける加熱時においても素材のブロック材には悪影響が与
えられないので、磁気ヘッドとして例えば０．３ミクロ
ン以下の狭いギャップのものでも精度良く製作すること
ができ、さらにまた、高硬度の非磁性耐摩耗性材料をＰ
ＶＤ法によって成膜できるために、強磁性酸化物磁性体
との整合は成膜条件によって制御することができ、また
、高硬度の非磁性耐摩耗性材料の選択範囲が拡がるため
に、使用される磁気記録媒体に最も適合した高硬度の非
磁性耐摩耗性材料を容易に選択して使用することができ
るのであって、本発明によれば抗磁力を有する磁性材料
が使用されている磁気記録媒体に対応する長寿命の磁気
ヘッドを高い歩留りで大量生産することも可能にする。

４　、１ｆｆｉ　　＃　　ｏ　　ｒ’Ｑ；ｆ−Ｆよａ’
月第１図は本発明の複合型磁器ヘッドの製造方法によっ
て作られた複合型磁器コア本体の斜視図、第２図〜第９
図は磁気回路が強磁性酸化物体よりなる磁気コアに真空
成膜技術により強磁性金属を形成させて前記の強磁性体
金属の薄膜の部分で狭トラック中の磁器ギャップを構成
した本発明になる複合型磁気ヘッドの製造方法の主要製
造工程を示す概略説明図である。

１０・・・強磁性酸化物ブロック、Ａ・・・記録媒体摺
動面に対応する面、Ｂ・・・ギャップ形成面に対応する
面、１１・・・第１の溝、１２・・・第１の非磁性膜、
１３・・・第２の溝、１４・・・金属磁性膜、１５・・
・第２の非磁性膜、１６・・・低融点ガラス、１７．１
７−・・・コア半体ブロック、１８・・・巻線溝、１９
・・・低融点ガラス、２０・・・コアブロック、２１・
・・複合型磁気コア本体。

″　　烏ダデムｄ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性酸化物磁性体ブロックの記録媒体摺動面に対応す
   る面に、ギャップ形成面に対応する面Ｂに対して略垂直
   な任意の幅を有する第１の溝を所定のピッチ間隔で複数
   本平行に形成する工程、第１の非磁性膜をＰＶＤ法によ
   り前記第１の溝の底面に形成する工程、溝の少なくとも
   １方の側面が、面Ｂに対して所定の角度で傾いた第２の
   溝を面Ａに対して垂直方向に所定間隔隔てて、複数本設
   ける工程、ＰＶＤ法により、前記第２の溝に、金属磁性
   膜と第２の非磁性膜とを順次形成する工程、前記面Ａ及
   び面Ｂを研磨することによりコア半体ブロックを得る工
   程、前記一対のコア半体ブロックを用意し、少なくとも
   一方のコア半体ブロックの一方に巻線溝を成形する工程
   、前記一対のコア半体ブロックをギャップ材を介して突
   合せ、前記金属磁性膜により狭トラックの磁気ギャップ
   を構成すると共に巻線溝の一部に低融点ガラスを溶融充
   填することにより、コアブロックを得る工程、前記第１
   の溝の底面に形成した第１の非磁性膜が記録媒体摺動面
   上に露出するように研磨する工程、前記コアブロックを
   所定の切断線に沿って切断し、複合型磁気コア本体を得
   ることを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法。