JPS62149014A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、特に高保持力記録媒体との１徂み合わせに
適した磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

磁気記録技術において、近年高密度記録の要求から高保
持力記録媒体が使用されるようになった。　′高保持力
記録媒体に信号を記録するには、従来磁気ヘッドに用い
られてきたフェライトでは不充分で、このためより高Ｂ
Ｓを有する金属磁性材料、例エバセンダスト、ｃｏ系ア
モルファス合金等が用いられるようになった。

ここで、ヘッドの量産性の点から、このような金属磁性
材料をスパッタ等の手法によりブロック材に被着し主た
る磁気回路を構成した磁気ヘッドが考案されている。そ
の−例として第８図に、特開昭５９−１４２７１６号公
報に示された従来の磁気ヘッドの斜視図を示す。図にお
いて、（ｌａ）、（ｌｂ）は非磁性セラミックブロック
であり、（２ａ）、（２ｂ）はスパッタなどの手法によ
り（ｌａ）、（ｌｂ）に被着されたセンダスト、ｃｏ系
アモｐファス合金等の金属磁性薄膜であり、それぞれ第
１．第２の磁性体を形成している。（８ａ）、（８ｂ）
は溝うめ部材で、部材による充填又はスパッタ法による
被着などの方法で充填されたものであり、一般には溶融
充填されたガラスである。（４）は５ｉ０２等の非磁性
ギャップ材、（５）はコイル用溝であり、コイル用溝（
５）の深さＤは金属磁性薄膜（２ａ）・（２ｂ）を完全
に分断しないような深すニなっている。なお、コイルは
省略する。

第９図は上記の磁気ヘッドを記録媒体摺動面よりみたも
のである。第１．第２の磁性体である金属磁性薄膜（２
ａ）、（２ｂ）はそれぞれほぼＶ字状の断面形状をして
おり、Ｖ字状の底部の幅で記録媒体のトラック幅ＴＷを
規制し、その７字状の金属磁性薄膜（２ａ）、（２ｂ）
の底部でギャップ材（４）を介して互いに突き合わされ
て、磁気回路を構成している。なお、図中Ａはギャップ
形成面である。ここで、非磁性セラミックブロック（ｌ
ａ）、（ｌｂ）の全部または一部をフェライト等の磁性
材で構成して磁気抵抗を減らすこともできる。ただし、
フェライトが記録媒体摺動面に露出した構造の場合はフ
ェライト特有の摺動ノイズが増える恐れがある。

第８図、第９図に示した従来の磁気ヘッドの一般的な製
造方法を工程順に第１０図（イ）〜（へ）に示す。

まず第１０図（イ）に示したようにセラミックブロック
（１）上に複数本のほぼＶ字状の凹部、即ち溝α口と、
これにほぼ直交するコイル用溝（５）を堀る工程である
。なおＶ字状の溝αＧはコイル用溝（５）より深くなけ
ればならない。次に第１０図（ロ）に示すようにセラミ
ックブロック（１）上の溝加工面に金属磁性薄膜（２）
をスパッタ等の手法により被着する。続いて第１０図（
ハ）に示すように金属磁性薄膜（２）に非磁性の溝うめ
部材（３）を充填し、かつ金属磁性薄膜（２）の所望の
トラック幅Ｔｗをギャップ形成面Ａまで溝うめ部材（３
）側を研削、研磨して路出させる工程を施す。次に第１
０図（ロ）に示したように所望のトラック幅Ｔｗが露出
したギャップ形成面Ａに８ｉ０．等の非磁性ギャップ材
（４）をスパッタ、蒸着などの方法により被着した後、
第１０図（ホ）は、コイル用溝（５）の不要な部材を除
去し、一点鎖線Ｂで切断し、一対のコアブロック半体を
得る。続いて第１０図（へ）に示したように、得られた
コアブロック半休をギャップ形成面Ａで突き合わせ接合
する工程、および一点鎖線Ｃ、Ｏ’で切断して１個の磁
気ヘッドを得る。なお、一点鎖線ｃ　、　ｃ’はギャッ
プ形成面Ａに対し所望のアジマス角をつけて切断しても
よい。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の磁気ヘッドは、以上のように構成、製造されてい
たが、第１０図（ハ）の金属磁性薄膜（２）を所望のト
ラック幅ＴＷまで、ギャップ形成面Ａに露出させる工程
において、ブロック材（１）基準面からのＶ字状凹部０
０の加工位置及びブロック材の加工厚み精度など研磨の
具合によってトラック幅Ｔｗが変化するため加工寸法精
度をだすのが困難であるという問題点があった。

第１１図、第１２図は、例えば特開昭５８−１５５５１
３号公報で示され、ギャップ形成面Ａと、金属磁性薄膜
（２ａ）＝（２ｂ）がなるべく９０°に近い角度で交わ
るように工夫したものであるが、トラック幅ＴＷが小さ
くなるとセラミックブロック（１ａＬ（ｌｂ）のギヤツ
ブ形成面Ａ付近が細くなるため、加工上欠ける等の問題
点があった。

また、第１１図、第１２図のような構成の場合、トラッ
ク幅Ｔｗは、金属磁性薄膜（２ａ）、（２ｂ）の膜厚で
ほぼ決まってくるため、成膜時の膜厚制御を正しく行な
わなければならないが、２０〜３０μｍ厚みの薄膜形成
をトラック幅精度（±１〜２μｍ）で行なうことはきわ
めて困難であるという問題点があった。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、金属磁性膜のトラック幅の加工寸法精度が容易に
だせ、量産性のある磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的としている。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明の磁気ヘッドの製造方法は、ブロック材の断面
形状がＹ字状で底部の幅がトラック幅に対応した凹部に
全磁性材料を被着して第１磁性体であるＹ字状金属磁性
膜を形成する工程、そのＹ字状金属磁性膜の内側に溝う
め部材を充填する工程、及び上記ブロック材側を研磨し
て上記金属磁性膜を露出させてギャップ形成面を形成す
る工程を施すようにしたものでみる。

〔作用〕

この発明においては、ブロック材の断面形状がＹ字状で
底部の幅がトラック幅に対応した凹部に、金属磁性材料
を被着してＹ字状金属磁性膜を形成し箋ブロック側、即
ちＹ字状の金属磁性膜の底部側を研磨するようにしたの
で、トラック幅の規制が金属磁性膜が被着されるブロッ
ク材にＹ字状の凹部加工を施す際に決定でき、以後の加
工精度にほとんど依存しないので、加工寸法精度を容易
にだせる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法に
より得られた磁気ヘッドの斜視図、第２図は上記の磁気
ヘッドを記録媒体摺動面よりみた平面図である。図にお
いて、（ｌａ）、（ｌｂ）は第１゜第２の磁性体である
金属磁性薄膜（２ａ）、（２ｂ）が被着される非磁性セ
ラミックブロック、（ａａ）、（３ｂ）は金属磁性薄膜
（２ａ）、（２Ｎ上に充填される溝うめ部材で、非磁性
体でも磁性体でも構わない。（６）。

（７）は２つのコアブロック半休を接合するための接着
溝で一般にガラスが溶融充填される。なお接着溝（６）
はコイル用溝（５）の一部を用いたが、別の専用の溝を
設けてもよい。また接着溝（ａ）　＋　（７）はトラッ
ク幅方向に沿った溝でなくとも媒体走行方向に沿った溝
でもよい。ここでコイル用溝（５）は金属磁性膜（２ａ
）、（２ｂ）で閉ループが形成されるように設けられな
ければならない。

なお、記録媒体摺動面からみてほぼＹ字状の断面形状を
有し、第１．第２の磁性体である金属磁性膜（２ａ、）
、（２ｂ）は、それぞれそのＹ字状の磁性体の底部の幅
で記録媒体のトラック幅を期制し、そのＹ字状磁性体の
底部に非磁性ギャップ材（４）を介して互いに突き合わ
されている。ここで、トラック幅ＴＷの規制は、非磁性
セラミックブロック（ｌａ）。

（１ｂ）にほぼＹ字状の凹部、即ち溝を堀る工程でなさ
れ、例えば溝を堀る工程で用いる溝加工用ホイールの櫂
で、トラック幅を規制する。

次にこの発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を工程
に第８図（（イ）〜（へ）に示す。

まず、第８図（イ）に示したように、セラミックブロッ
ク（１）上に複数本のほぼＹ字状の凹部、即ち溝（９）
を堀る。ここで溝（９）の底部の幅がトラック幅になる
ようにする。この場合、溝（９）を堀った時、７字状溝
（９）の底部の幅がトラック幅Ｔｗになるような溝加工
用ホイールを使って加工する。次に第８図（ロ）に示し
たようにセラミックブロック（１）上の溝（９）加丁面
Ｖ−Δ展恐姓ｔオ飼かスパーソダ筑の圧体ＩＦり被着し
て第１．第２の磁性体となるＹ字状金属磁性膜（２）を
形成する０ここで金属磁性膜（２）の膜厚は、Ｙ字状の
溝（９）の底部をほぼうめる厚さであればよく、厳密な
膜厚制御を行なう必要がない。次に第８図（ハ）に示し
たようにＹ字状金属磁性膜（２）の内側に溝うめ部材（
３）を充填した後、ブロック材側を研削・研磨してトラ
ック幅ＴＷの金属磁性膜（２）を露出させ、ギャップ形
成面Ａを形成すると共に、不要な溝うめ部材（３）を一
点鎖線Ａ′まで研削する。

なお、溝うめ部材（３）は磁性材でも非磁性でも構わな
い。またその充填方法としては連打を溶かし充填する方
法や、スパッタ法による被着などの方法が考えられる。

ここで、ギャップ形成面まで研磨する際、研磨具合、す
なわち厚み精度に多少のバラツキがあっても所定のトラ
ック＠ＴＷが得られる。

従ってほぼ７字状溝（９）の底部、即ちトラック幅に対
応した部分の長さは研磨の際のバラツキより長めにとっ
ておけばよいことになる。

次に第３図（ロ）に示したように、ギヤツブ形成面Ａニ
ＳｉＯ２等のギャップ材（４）をヌパツタ、蒸着等の手
法により被着し、第８図（ホ）に示したようにコイル用
溝（５）、接着溝（７）を堀り、一点鎖線Ｂで切断し、
一対のコアブロック半休を得る。続いて第３図（へ）に
示したように、一対のコアブロック半休をギャップ形成
面Ａで突き合わせ接合し、一点鎖線ｃ　、ｃ’で切断し
て１個の磁気ヘッドを得る。なお、ギャップ形成面Ａに
適当なアジマス角をつけて切断してもよい。

ここで、従来の磁気ヘッドでは、金属磁性薄膜（２）　
全被着するセラミックブロック（１）は非磁性材でも磁
性材でもよかったが、ここでは、少なくともギヤツブ形
成面Ａ付近即ち、トラック幅規制部分では非磁性材でな
ければならない。

第４図（イ）、第５図（槓は、それぞれこの発明の他の
実施例による、上記の点を考慮した磁性材と非磁性材の
複合ブロック材を用いて得られた磁気ヘッドの斜視図で
、第４図（（イ）において、非磁性材（ｌａ）、（ｌｂ
）はギャップ深さ程度までで、それより奥部ハフエライ
ト等の磁性材（８ａ）、（８ｂ）　テｍ成すれている点
が特徴である。第５図（イ）では、非磁性材（ｌａ）、
（１ｂ）はギヤツブ形成面Ａ付近だけであとはフェライ
ト等の磁性材で構成されている点が特徴である。第４図
（ロ）、第５図（ロ）はそれぞれ第４図（（イ）、第５
図（イ）の磁気ヘッドを得るための磁性材（８）と非磁
性材（１）の複合ブロック材を示したものである。この
複合ブロック材を第３図（（イ）〜第８図（へ）の工程
で加工していけばよい。なお、この場合磁気抵抗が減り
、磁気ヘッドの記録再生効率の向上をはかることができ
る。このようにすると、コイル用溝（５）は必ずしも金
属磁性薄膜（２ａ）、（２ｂ）で閉ループが形成される
ようにする必要はない。

なお、ブロック材（１）に形成されるＹ字状の溝（９）
は、第６図（イ）〜に）に示すように、Ｙ字状の底部の
トラック幅に対応した部分以外は曲線でもよく、またト
ラック中心線Ｅに対し左右非対称でもよい。

またＹ字状の溝（９）の底部の先端部分は、第７図（４
〜に）に示したように、ギャップ形成面Ａに対し平行で
なくてもよく、曲線でもよい。これは特に金属磁性膜（
２）が積層構成のときに有効である。

また、上記実施例においてコイル溝（５）は磁気ヘッド
の中央部を貫通するものとしたが、磁気ヘッド底部まで
貫きぬけていて、コイμを挿入した後磁性片を接合して
金属磁性薄膜（２ａ）、（２ｂ）と上記磁性片で閉ルー
プを形成するようにしてもよく、この場合、コイルの装
着が簡単である。

また、上記実施例ではギヤツブ形成面Ａ付近の非磁性材
は全部がブロック材の場合で示したが、記録媒体摺動面
に２つのコアブロック半休を接合する接合部材、例えば
接合用ガラスが露出したものでもよく、またブロック材
として接合用ガラスを用いてもかまわない。

なお、上記実施例において２つのコアブロック半休の第
１．第２の磁性体が共に記録媒体摺動面からみてほぼ同
じＹ字状の金属磁性膜であったが、必ずしも同一形状で
ある必要はなく、また上記コアブロック半休に、ギャッ
プ材を介してコイル、第２の金属磁性薄膜等を薄膜化技
術により形成した構成でも構わない。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、ブロック材の、断面形
状がＹ字状で底部の幅がトラック幅に対応した凹部に金
属磁性材料を被着して第１磁性体であるＹ字状金属磁性
膜を形成し、Ｙ字状磁性体の底部をギャップ形成面とし
たので、トラック幅の規制がＹ字状の凹部をブロック材
に形成する際に決定でき、トラック幅精度のよい磁気ヘ
ッドを容易に得ることのできる磁気ヘッドの製造方法を
提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法に
より得られた磁気ヘッドの斜視図、第２図は第１図に示
した磁気ヘッドの記録媒体摺動面を示す平面図、第８図
（イ）〜（へ）はこの発明の一実施例の磁気ヘッドの製
造方法を工程順に示す図で、（イ）、（ホ）、（へ）は
斜視図、（ロ）、（ハ）、に）は表面図である。第４図
（イ）は複合ブロックを用いたこの発明の他の実施例に
より得られた磁気ヘッドの斜視図、第４図（ロ）は第４
図（（イ）で用いられる複合ブロック材を示す斜視図、
第５図（イ）は、別の複合ブロック材を用いたこの発明
のさらに他の実施例により得られた磁気ヘッドの斜視図
・第５図（ロ）は第５図（イ）で用いられる複合ブロッ
ク材を示す斜視図、第６図はこの発明のさらに他の実施
例に係るＹ字状凹部の形状を示す表面図、第７図はこの
発明のさらに他の実施例に係るＹ字状凹部の底部の先端
部分の形状を示す表面図、第８図は従来の製法による磁
気ヘッドの斜視図、第９図は第８図に示した磁気ヘッド
の記録媒体摺動面を示す平面図、第１０図（イ）〜（へ
）は従来の磁気ヘッドの製法を工程順に示した図で、（
イ）、（ホ）、（へ）は斜視図、（ロ）、（ハ）、（ロ
）は表面図である。第１１図、第１２図はそれぞれ従来
の他の磁気ヘッドの記録媒体摺動面を示す平面図である
。 （１）・・・セラミックブロック材、（２）・・・金属
磁性膜、（３）・・・溝うめ部材、（４）・・・ギャッ
プ材、（９）・・・Ｙ字状凹部 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の磁性体が、記録媒体摺動面からみてほぼＹ
   字状の断面形状を有する金属磁性膜で構成され、そのＹ
   字状の磁性体の底部の幅で記録媒体のトラツク幅を規制
   し、そのＹ字状磁性体の底部に非磁性ギヤツプ材を介し
   て第２の磁性体と突き合わされて構成されているものを
   製造するにあたつて、ブロツク材の断面形状がＹ字状で
   底部の幅がトラツク幅に対応した凹部に金属磁性材料を
   被着して第１磁性体であるＹ字状金属磁性膜を形成する
   工程、そのＹ字状金属磁性膜の内側に溝うめ部材を充填
   する工程、及び上記ブロツク材側を研磨して上記金属磁
   性膜を露出させてギヤツプ形成面を形成する工程を施す
   ようにした磁気ヘツドの製造方法。
2. （２）第２の磁性体も、第１の磁性体と同様な構成であ
   る特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘツドの製造方法。
3. （３）トラツク幅の規制が、金属磁性膜が被着されるブ
   ロツク材にほぼＹ字状の溝を堀り凹部を形成する溝加工
   用ホイールの幅でなされる特許請求の範囲第１項または
   第２項記載の磁気ヘツドの製造方法。
4. （４）ブロツク材は、記録媒体摺動面からみて、少なく
   ともトラツク幅規制部分が非磁性体になつている構造の
   磁性体と非磁性体の複合ブロツク材である特許請求の範
   囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の磁気ヘツドの
   製造方法。