JPS62138210A

JPS62138210A - デイスク製造装置

Info

Publication number: JPS62138210A
Application number: JP27689285A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Takahashi; 敏高橋; Kaoru Kinoshita; 薫木下
Original assignee: NIKKA ENG KK
Current assignee: NIKKA ENG KK
Priority date: 1985-12-11
Filing date: 1985-12-11
Publication date: 1987-06-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】発明の目的産業上の利用分野本発明は、情報を記録したディスクを量産するディスク
製造装置、特に、スタンパ盤とディスク基盤の間に樹脂
（主に紫外線硬化樹脂）を注入し硬化させることにより
ディスク基盤表面にスタンパ盤記録面を転写した薄い槓
脂層を形成するいわゆるフォトポリマ一方式（２Ｐ方式
ともいう）によるディスク製造装置に関するものである
。

従来の技術近年２Ｐ方式によるディスクの製造が脚光を浴びている
が、従来の２Ｐ方式ディスク製造装置はいずれも実験段
階のもので実用に耐えるものは存在しなかった。第５図
は従来考えられていた２Ｐ方式ディスク製造装置の１例
を示す略断面図である。図において、　４０はスタンパ
盤、４１はディスク基盤、４２はスタンパ盤保持テーブ
ル、４３はバキューム孔、４４は樹脂注入口である。ス
タンパ盤４ｏは保持テーブル４２上で保持され、バキュ
ーム孔４３がら負圧をかけられることにより固定されて
いる。

樹脂は樹脂注入ｌ」４４から相当の圧力を持って注入さ
れ、スタンパ盤４０とディスク基盤４１の間に行き渡り
樹脂層が形成される。上方から紫外線を照射して樹脂を
硬化させた後、樹脂層の付着したディスク基盤を真空パ
ッドを用いる等してスタンパ盤から剥離する。

発明が解決しようとする問題点上記した従来装置にはいくつかの問題があった。

その第１はスタンパ盤の固定方式である。スタンパ盤は
ディスク製造を安定して行うため、またディスク基盤の
剥離の再の力に耐えるため相当強固に保持テーブルに固
定される必要がある。上記の装置でバキューム孔４３か
ら強力な負圧をかけるとスタンパ盤の当該部分に窪みが
生じディスクの品質に悪影響を及ぼすこととなる。第２
の問題は樹脂層の形成である。上記装置はスタンパ盤４
０とディスク基盤４１がほぼ密着状態のところに樹脂注
入口４４から高圧でもって樹脂を注入させるため、樹脂
の行き渡りが不均一で気泡も生じやすい。また樹脂層の
厚みも不統一となってしまう。

発明の構成問題点を解決するための手段本発明は２Ｐ方式ディスク製造装置における上記問題点
を解決するため次の手段を講じた。すなわち本発明は、
スタンパ盤とディスク基盤の間に樹脂を注入し硬化させ
ることによりスタンパ盤記録面をディスク基盤に転写す
るディスク製造装置において、ほぼ中央にスタンパ盤内
径と同径の穴を有するスタンパ盤保持テーブルと、スタ
ンパ盤保持テーブルの穴中央に位置するごとく固定され
たガイドシリンダーと、スタンパ盤保持テーブルの穴と
ガイドシリンダー外周間に着脱自在に嵌着され上端にス
タンパ盤内周を固定する環状突条を設けたスタンパ盤内
周固定リングと、上部に基盤保持面をその直下に樹脂注
入口を内部に樹脂通路を有しガイドシリンダー内に摺動
可能に嵌挿されたセンターロッドと、ディスク基盤を上
方から抑圧し固定する基盤固定体と、スタンパ盤保持テ
ーブル又は本体フレームにボルトにより着脱自在に装着
されたスタンパ盤外周固定リングを有することを特徴と
するディスク製造装置である。

作用本発明ディスク製造装置においては、スタンパ盤は、ス
タンパ盤内周固定リングの環状突条とスタンパ盤外周固
定リングにより内外周を堅固に固定される。スタンパ盤
内周固定リング及びスタンパ盤外周固定リングはスタン
パ盤の取付は取外しのため着脱自在となっている。ディ
スク基盤はセンターロッド上部の基盤保持面と基盤固定
体に挟持される。センターロッド内部には樹脂通路が設
けられ、基盤保持面直下の樹脂注入口に通じている。樹
脂を注入する際、センターロッドをガイドシリンダーに
対して摺動させて上昇させることによりディスク基盤は
センターロッドと共に上昇してスタンパ盤との間の間隙
を広げ、同時に樹脂注入口はその間隙に開口し、樹脂注
入完了後センターロッドをディスク基盤と共に所定の位
置まで下降させることにより樹脂は徐々に中心部から周
囲に広がり所望の厚さの樹脂層が形成される。

実施例第１図〜第３図は本発明の１実施例たるディスク製造装
置Ａに関し、第１図は略断面図、第２図はセンターロッ
ド上昇時の中央部分拡大断面図。

第３図は平面図である。第４図は他の実施例の中央部分
断面図である。

本装置Ａは、スタンパ盤保持テーブル４、ガイドシリン
ダー５．スタンパ盤内周固定リング６、センターロッド
７、基盤固定体８．基盤位置決めリング９、スタンパ盤
外周固定リング１０等から成る。

スタンパ盤保持テーブル４は、この上にスタンパ盤１を
保持するもので、ほぼ中央にスタンパ盤内径と同径の穴
を有し２本体フレーム３に固着されている。

ガイドシリンダー５はその外側に配せられるスタンパ盤
内周固定リング６及び内側のセンターロッド７のガイド
となるものである。その下方は、第１図に示すごとく、
鍔部１５となっており、ボルト１６により本体フレーム
３に固定されテーブル４の穴中央（向応となるよう）に
位置している。鍔部１５の上の部分の外周には、第１図
に示すごとく、ねじ５ａが切っである。

スタンパ盤内周固定リング６はテーブル４の穴とガイド
シリンダ−５外周の間に着脱自在に嵌着されている。そ
の下部内周にはねじ６ａが切られガイドシリンダー５の
ねじ５ａと噛み合い、下部外周は歯形６ｂとなっており
内歯車１８の歯形と噛み合っている。一方向歯車１８は
モーター２４により回転する歯車１９とも噛み合ってい
る。スタンパ盤の交換等のためスタンパ盤内周固定リン
グ６を取外す場合は、モーター２４を回転させる。その
回転は歯車１９、内歯車１８を介してスタンパ盤内周固
定リング６に伝達される。スタンパ盤内周固定リング６
はその回転によってガイドシリンダー５と噛み合ってい
るねじの作用でねじの噛み合いが終了する位置まで上昇
する。上昇が完了した後は手で持って上方へ抜き取るの
である。取付けは上記の逆の動作により行う。スタンパ
盤内周固定リング６の上端には、第２図に示すごとく環
状突条１７が設けられ、スタンパ盤１の内周が固定され
る。本実施例の場合、スタンパ盤内周固定リングの上端
面ばガイドシリンダー５の上端面と共にディスク基盤２
下面（下降時）と同じ高さであり、環状突条１７の厚さ
が樹脂層の厚さとなる。

センターロッド７はガイドシリンダー５内に嵌挿され、
ジヤツキ２５により上下に摺動する。その上部は、第２
図に示すごとく、基盤保持面２８となっており、ディス
ク基盤２は基盤保持面２８及び基盤固定体８により挟持
される。基盤保持面２８の下は、第２図に示すごとく、
センターロッド７が上昇した際樹脂注入口１２となるご
とく、テーパー状に形成され、さらにその下に径が縮小
された部分があり、ガイドシリンダー５内壁との間に隙
間」３が生じ、間隙１３は樹脂通路１１に通じている。

樹脂は、第２図に示すセンターロッド７及びディスク基
盤２を上昇させた状態で、樹脂供給装置２６．チューブ
２７．樹脂通路１１．隙間１３．樹脂注入口１２を経て
スタンパ盤１とディスク基盤２の間隙２１に注入される
。注入が完了するとセンターロッド７はディスク基盤２
と共に下降して第１図に示す状態となり、樹脂は外周方
向に押し出され、スタンパ盤１とディスク基盤２の間に
行き渡る。センターロッド７の上端は小径部１４となっ
ており、さらにその先端はねじとなっている。

基盤固定体８は、第２図に示すごとく、センターロッド
７の小径部１４に摺嵌した基盤位置決めリング９に摺嵌
して、ナツト１４により基盤位置決めリング９と共に下
方に押圧され、ディスク基盤２を固定する。基盤位置決
めリング９の外周下方はテーパー状に形成されており、
このテーパー状の部分がディスク基盤２の穴に嵌挿され
てディスク基盤２を正しい位置に導く。ディスク基盤２
の交換は、ナツト２０、基盤固定体８、及び基盤位置決
めリング９を取外して行う。

基盤固定体は、ディスク基盤を下方へ押圧して固定すれ
ばよいのであるから、センターロッド上端の構造と共に
種々のものが考えられる。第４図は他の実施例で、セン
ターロッド３０の上端はディスク基盤２位置決めのため
の突出部３１となっており、これに基盤固定体３２を被
冠してボルト３３で固定している。

スタンパ盤外周固定リングＩＯは、第３図に示すごとく
、ボルト２３により本体フレーム３に固定され、その内
周に設けられた爪２２によりスタンバ盤外周を固定する
ものである。

発明の効果本発明装置においては、スタンパ盤はスタンパ盤内周固
定リング及び外周固定リングにより、内周及び外周が強
固にスタンバ盤保持テーブルに変形すること無く固定さ
れる。また樹脂はディスク基盤を上昇させてスタンパ盤
との間隙を大きくして注入されるため極めて低圧でもっ
て行うことができ、しかる後ディスク基盤を中心部から
下降させて外周方向に行き渡らせるものであるから気泡
の発生が極めて少ない。また樹脂層の厚さは下降時のセ
ンターロッドの基盤保持面の位置によって決定するから
常に一定のものが製造される。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の１実施例たるディスり製造装
置Ａに関し、第１図は略断面図、第２図はセンターロッ
ド上昇時の中央部分拡大断面図。第３図は平面図である。第４図は他の実施例の中央部分
断面図である。第５図は従来のディスク製造装置の略断
面図である。 ■・・・スタンパ盤、２・・・ディスク基盤、３・・・
本体フレーム、４・・・スタンパ盤保持テーブル、５・
・・ガイドシリンダー、６・・・スタンパ盤内周固定リ
ング、７・・・センターロッド、８・・・基盤固定体、
９・・・基盤位置決めリング、１０・・・スタンパ盤外
周固定リング、１１・・・樹脂通路、１２・・・樹脂注
入口、１３・・・隙間、１４・・・小径部、１５・・・
鍔部、　１６・・・ボルト、　１７・・・環状突条。１８・・・内歯車、１９・・・歯車、２０・・・ナツト
、２１・・・間隙、。２２・・・爪、２３・・・ボルト、２４・・・モーター
、２５・・・ジヤツキ、２６・・・樹脂供給装置、２７
・・・チューブ、２８・・・基盤保持面、３０・・・セ
ンターロッド、３１・・・突出部、３２・・・基盤固定
体、３３・・・ボルト、４０・・・スタンパ盤、４１・
・・ディスク基盤、４２・・・スタンパ盤保持テーブル
、４３・・・バキューム孔、４４・・・樹脂注入口第２
図

Claims

【特許請求の範囲】

　スタンパ盤とディスク基盤の間に樹脂を注入し硬化さ
せることによりスタンパ盤記録面をディスク基盤に転写
するディスク製造装置において、ほぼ中央にスタンパ盤
内径と同径の穴を有するスタンパ盤保持テーブルと、ス
タンパ盤保持テーブルの穴中央に位置するごとく固定さ
れたガイドシリンダーと、スタンパ盤保持テーブルの穴
とガイドシリンダー外周間に着脱自在に嵌着され上端に
スタンパ盤内周を固定する環状突条を設けたスタンパ盤
内周固定リングと、上部に基盤保持面をその直下に樹脂
注入口を内部に樹脂通路を有しガイドシリンダー内に摺
動可能に嵌挿されたセンターロッドと、ディスク基盤を
上方から押圧し固定する基盤固定体と、スタンパ盤保持
テーブル又は本体フレームにボルトにより着脱自在に装
着されたスタンパ盤外周固定リングを有することを特徴
とするディスク製造装置