JPH02301422A - 転写装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明転写装置を以下の項目に従って詳細に説明する。

Ａ、産業上の利用分野 Ｂ９発明の概要 Ｃ９従来技術［第８図乃至第１１図コ Ｄ１発明が解決しようとする課題［第９図乃至第１１図
］ Ｅ９課題を解決するための手段 Ｆ、実施例［第１図乃至第７図］ ａ、スライドテーブル ｂ、電磁石板 Ｃ１上部プレート ｄ５ディスクスタンバ ｅ、上部プレートのスライドテーブルへの固定 ｆ、ディスク基板と転写動作 ｇ、センターピンの変形例［第７図］ Ｇ１発明の効果 （Ａ、産業上の利用分野） 本発明は新規な転写装置に関する。詳しくは、スタンパ
に基板を液状の合成樹脂を介して対接させ、上記合成樹
脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタンパから剥
離する転写装置において、スタンパや基板の位置決め精
度が向上すると共に、スタンパの摩耗やそれに基づく微
細金属環の発生及びスタンパの変形を防止し、更に、基
板を剥離するときのスタンパの保持台からの浮き上がり
を防止した新規な転写装置を提供しようとするものであ
る。

（Ｂ、発明の概要） 本発明転写装置は、スタンパの中心孔と該スタン・パを
保持する保持台の取付孔とに挿通され、かつ、保持台に
固定されると共に上記スタンパの中心孔の周縁部を保持
台に押え付ける固定リングに挿通孔を貫設し、上記固定
リングの挿通孔に挿通される軸部と該軸部の上端に設け
られた頭部とから成るセンタービンの上記軸部を固定リ
ングの挿通孔に挿通し、該センターピンが下降した状態
で基板の中心孔がセンタービンの頭部に外嵌されて基板
の位置決めが為され、センタービンが上動することによ
り、該センターピンの頭部が基板をスタンパから剥離す
るように上昇させるようにして、スタンパや基板の位置
決め精度を向上させ、スタンパの摩耗やそれに基づく微
細粉の発生を防止し、更に、基板をｌＩＪ＃するときの
スタンパの保持台からの浮き上がりを防止することがで
きる。

（Ｃ，従来技術）［第８図乃至第１１図ココンパクトオ
ーディオディスク（ＣＤ）やレーザーディスク（ＬＤ、
ＬＶＤ）等の光学ディスクの製造方法には種々のものが
提案されているが、その中に２Ｐ法（光重合法）と称さ
れるものがある。

この２Ｐ法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第８図に示すように、スクリ
ーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に液
状の紫外線硬化樹脂すを供給しく′ｔＳａ図（Ｂ）参照
）、紫外線硬化樹脂すがディスクスタンバＣと密着する
ようにディスク基板ａをディスクスタンパＣ上に載置し
く′ｓ８図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板
ａをディスクスタンバＣに対して押圧する（第８図（Ｄ
）参照）。その結果、ディスク基板ａとディスクスタン
パＣとの間に紫外線硬化樹脂すが隙間なく充填される。

そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通して
紫外線硬化樹脂すに紫外光を照射する（第８図（Ｅ）参
照）と、液状だった紫外線硬化樹脂すが硬化するので、
ディスク基板ａをディスクスタンバＣから剥離する（第
８図（Ｆ）参照）。これにより、ディスクスタンバＣの
表面に形成された徹細な凹凸がディスク基板ａ上に転写
される。

そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜を
蒸着した後、保護膜を被覆することにより、ディスクス
タンバＣの凹凸に応じたビットが形成された光学ディス
クｆを得ることができる（第８図（Ｇ）参照）。

上記したような２２法によるとディスクスタンバＣのパ
ターンが微細であっても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。

そして、上記したように信号面を転写するには、加圧ロ
ーラｄによる加圧力を受けて紫外線硬化樹脂層にディス
クスタンバＣの凹凸が確実に転写されるようにするため
に、しっかりとした台にディスクスタンバＣを保持する
必要があり、また、ディスクスタンバＣとディスク基板
ａとが精度良く位置合わせされた状態で重ね合わされる
必要がある。

ｇはスタンバ保持台であり、ベース台り上に固定されて
いる。

スタンバ保持台ｇにはその中心部に挿通孔ｉが形成され
ている。

そして、ディスクスタンバＣはその中心孔ｊが挿通孔ｉ
と一致する状態でスタンバ保持台ｇ上に載置され、かつ
、スタンバ保持台ｇに吸着される。

ｋはセンタービンであり、スタンバ保持台ｇの上記挿通
孔ｉに挿通される軸部１と該軸部１の上端に設けられた
頭部ｍとが一体に形成されて成り、頭部ｍは略円板状を
為し、その外周面は中間に位置し軸と略平行な環状面を
為す位置決め面ｎと該位置決め面ｎの下端に連続し外開
きの傾斜面とされた係合面０と位置決め面ｎの上端に連
続し上方に行くに従って内側へ傾斜した導入面ｐとから
成る。そして、かかるセンタービンにの軸部ｌがディス
クスタンバＣの中心孔ｊ及びスタンバ保持台ｇの挿通孔
ｉに挿通され、図示しない移動機構によって下方へ移動
されることによって、頭部ｍの下面でディスクスタンバ
Ｃの中心孔ｊの開口縁部をスタンバ保持台ｇの上面に押
え付けることになる。

ディスク基板ａの中心孔ｑはその開口縁の上下が面取り
されてテーパー面ｒ、ｒ’が形成され、これら２つのテ
ーパー面ｒとｒ′との間の部分が位置決め面Ｓとなって
いる。

このようなディスク基板ａの一方の面ｔに液状の紫外線
硬化樹脂すが供給され、該紫外線硬化樹脂すが供給され
た側の面ｔを下向きにしてディスクスタンバＣの上に重
ね合わせる。このとき、ディスク基板ａの位置決め面Ｓ
がセンタービンにの位置決め面ｎに外嵌されてディスク
基板ａの位置出しが為される（第１０図参照）。尚、デ
ィスクスタンバＣはその中心孔ｊがセンタービンにの軸
部λに外嵌状になっていることによってディスクスタン
バｇとセンタービンにとの間の位置出しが為されている
ため、これらによって、ディスク基板ａがディスクスタ
ンバＣに対して位置出しされることになる。

そして、加圧ローラｄによる加圧、次いで、紫外線ラン
プｅによる紫外光の照射が為されて紫外線硬化樹脂すが
硬化されると、センタービンｋが上昇され、その係合面
Ｏが係合しているディスク基板ａのテーパー面ｒ′を上
方へ突き上げるので、ディスク基板ａがその内周よりデ
ィスクスタンバＣから引き剥がされることになる（第１
１図参照）。

そして、このディスクスタンバＣより引き剥がされたデ
ィスク基板ａを図示しない搬送手段で次の工程へ搬送す
る。

（Ｄ、発明が解決しようとする課題）［第９図乃至第１
１図］ ところが、上記した従来の転写装置にあっては、センタ
ービンにの軸部１とディスクスタンバＣの中心孔ｊとの
嵌合により、センタービンにとディスクスタンバＣとの
間の位置出しが為されているため、センタービンｋが上
下動するとその軸部１の外周面がディスクスタンバＣの
中心孔ｊの内周縁と擦れ合い、金属埃が発生するという
問題がある。このような金属埃はディスクスタンバＣの
微細な凹凸内に入り込み、精確な転写の妨げとなる。ま
た、ディスクスタンバＣの中心孔ｊの内周縁がセンター
ビンにの軸部℃の外周面でこすられるということは、デ
ィスクスタンバＣの中心部が多少上下に勅かされること
になり、ディスクスタンバＣの変形を招く慣れがある。

また、ディスク基板ａをディスクスタンバＣから剥離す
るときに、ディスクスタンバＣの中心部を押えているセ
ンタービンｋが上方へ穆勤してディスクスタンバＣを押
えない状態となってしまうことになるため、ディスクス
タンバＣがディスク基板ａの上方への移動につられてス
タンバ保持台ｇから浮き上がりてしまうこともある等の
不具合がある。

（Ｅ、課題を解決するための手段） 本発明転写装置は、上記した課題を解決するために、ス
タンバの中心孔と該スタンパを保持する保持台の取付孔
とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共に上記ス
タンバの中心孔の周縁部を保持台に押え付ける固定リン
グに挿通孔を貫設し、上記固定リングの挿通孔に挿通さ
れる軸部と該軸部の上端に設けられた頭部とから成るセ
ンターピンの上記軸部を固定リングの挿通孔に挿通し、
該センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセンタ
ーピンの頭部に外嵌されて基板の位置決めが為され、セ
ンターピンが上動することにより、該センターピンの頭
部が基板をスタンバから剥離するように上昇させるよう
にしたものである。

従って、本発明転写装置によれば、センターピンが上下
動しても、センターピンとディスクスタンバとが擦れ合
うことは無く、金属粉の発生やディスクスタンパの摩耗
や変形を防止することができる。また、センターピンが
上動してディスク基板がディスクスタンパから剥離され
るとき、センターピンが上方へ移動してもディスクスタ
ンパの中心部は固定リングによって押えられているため
、ディスクスタンパが浮き上がってしまうことが無い。

（Ｆ、実施例）［第１図乃至第７図］ 以下に、本発明転写装置の詳細を図示した実施例に従っ
て説明する。

（ａ、スライドテーブル） １はスライドテーブルであ、す、レール２．２によって
案内されて所定の糸路を移動されるようになっている。

３はスライドテーブル１の基台であり、その下面に脚片
４．４が固定されていて、該脚片４．４が上記レール２
．２に各別に摺動自在に係合している。

５は取付台であり、上記基台３の４隅部に立設された支
柱３ａ、３ａ、　　・・・を介して基台３に固定されて
いる。

６は基台３上面の中央部に固定されたエアシリンダであ
り、その上下動するピストンロッド６ａの上端にはタッ
プアダプター７が固定されている。タップアダプター７
は既知のものであり、上端に開口した孔フａに棒状の物
が挿入されると、これを挿入方向には移動させ得るが抜
き出す方向への移動を阻止するようになっており、図示
しない解除部を押圧することによって上記孔７ａに挿入
したものを抜き出すことができるようになっている。上
記取付台５の中央部には孔５ａが形成されており、該孔
５ａを通してタップアダプター７の孔フａが上方に臨ま
されている。

（ｂ、電磁石板） ８は平板状をした電磁石板であり、支持台９を介してス
ライドテーブル１の取付台５上に固定されている。

電磁石板８は互いに同じ方向に延びる強磁性体１０％　
ｌＯｌ・・・と透磁率の低い材料から成るセパレータｌ
’ｌ、１１、・・・とが交互に配列−１体化された構造
を有しており、これに付設された図示しない磁力線発生
部に通電されることによって強力な電磁吸引力を発生す
るようになっている。

該電磁石板８の中心部には取付孔８ａが形成されており
、該取付孔８ａに合成樹脂製の案内スリーブ１２が圧入
固定されており、該案内スリーブ１２の下端は上記タッ
プアダプター７の孔７ａに上方から対向している。

（ｃ、上部プレート） １３は平板状をした上部プレートであり、この上部プレ
ート１３も同じ方向に延びる強磁性体１４．１４、・・
・と透磁率の低い材料から成るセパレータ１５．１５．
　　・・・とが交互に配列一体化された構造を有してい
る。

そして、電磁石板８の強磁性体１０．１０、・・・と上
部プレート１３の強磁性体１４．１４、・・・とは、ま
た、電磁石板８のセパレータ１１．１１．　　・・・と
上部プレート１３のセパレータ１５．１５、・・・とは
、同じ幅を有しており、従って、電磁石板８と上部プレ
ート１３とは、それぞれの強磁性体１０，１０、・・・
と１４．１４、・・・とが、また、セパレータ１１．１
１、・・・と１５．１５、・・・とが、ぴったりと重な
り合うように、重ね合わすことができる。

上記上部プレート１３の中心部には位置決孔１６が形成
されており、また、上部プレート１３の下面のうち位置
決孔１６を囲む位置に凹部１７が形成されている。従っ
て、位置決孔１６の下端は該凹部１７内に開口している
。

（ｄ、ディスクスタンバ） １８はニッケル族のディスクスタンバであり、その上面
１８ａには信号ピットの形をした図示しない微細な凹凸
が形成されている。そして、下面１８ｂは平面に形成さ
れている。

また、ディスクスタンバ１８の中心にはセンタ一孔１９
が形成され、該センタ一孔１９は上記上部プレート１３
の位置決孔１６と同じ径に形成されている。

２０は固定リングであり、外径が上部プレート１３の位
置決孔１６やディスクスタンバ１８のセンタ一孔１９と
略同径の管状をした管状部２１と該管状部２１の上端か
ら僅かに外方に張り出したフランジ部２２とが一体に形
成されて成り、管状部２１の下端部外面にはねじ溝が形
成されてねじ部２３とされている。

２４は固定リング２０のねじ部２３に螺合されるナツト
である。

しかして、ディスクスタンバ１８の上部プレート１３へ
の装着は次に示すようにして為される。

まず、ディスクスタンバ１８をその下面１８ｂが上部プ
レート１３の上面に接するように重ね合わせ、ディスク
スタンバ１８のセンタ一孔１９と上部プレート１３の位
置決孔１６とを一致させる。

それから、固定リング２０の管状部２１を上方からディ
スクスタンバ１８のセンタ一孔１９、上部プレート１３
の位置決孔１６の順に挿通し、上部プレート１３の凹部
１７内に突出した固定リング２０のねじ部２３にナツト
２４を螺着する。これによって、ディスクスタンバ１８
のセンタ一孔１９の開口縁部が固定リング２０のフラン
ジ部２２と上部プレート１３の上面とで挟持されること
になる。

（ｅ、上部プレートのスライドテーブルへの固定） ２５はセンタービンであり、管状をした主部２６と該主
部２６の上端に固定された円板状の頭部２７とから成り
、頭部２７の周縁部２８は外方へフランジ状に張り出し
ている。また、該周縁部２８の下面には内端が主部２６
の外周面で限定された環状の凹部ｊ８ａが形成されてい
る。そして、該凹部２８ａはその中に上記固定リング２
０のフランジ部２２が僅かに余裕を有して嵌り込む大き
さになっている。

頭部２７の外周面は中間に位置し主部２６の軸と平行な
環状面を為す位置決め面２７ａと該位置決め面２フａの
下端に連続し下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面
とされた係合面２７ｂと位置決め面２７ａの上端に連続
し上方に行くに従って内側へ変位する傾斜面とされた導
入面２７ｃとから成る。

そこで、先ず、以上のようにディスクスタンバ１８を保
持した上部プレート１３を電磁石板８の上面に載置する
。

そして、上記センタービン２５の主部２６を上方から、
固定リング２０、案内スリーブ１２の順に挿通して行き
、その下端部をタップアダプター７の孔フａ内に挿入す
る。

そこで、エアシリンダ６を駆動してそのピストンロッド
６ａを下降させると、これに引張られてセンタービン２
５が下降され、その頭部２７で固定リング２０の上端部
及びフランジ部２２を覆った状態となる。

そして、電磁石板８に通電すると、上部プレート１３が
電磁石板８に磁気吸着されると声に、ディスクスタンバ
１８も上部プレート１３に磁気吸着され、その平面１８
ｂが上部プレート１３の上面の平面に倣い、高い平面性
が実現されることとなる。

そして、上部プレート１３をスライドテーブル１から外
す場合は、電磁石板８への通電をオフし、タップアダプ
ター７によるセンターピン２５の下端部の喰い付きを解
除し、センターピン２５を案内スリーブ１２及び固定リ
ング２０から引き抜いて、上部プレート１３を電磁石板
８上から移動すれば良い。

（ｆ、ディスク基板と転写動作） ２９はディスク基板であり、該ディスク基板２９は透明
なガラス板、透明な合成樹脂等により円板状に形成され
、その中心にセンタ一孔３０が形成されている。

ディスク基板２９の上記センタ一孔３０はその開口内周
面の上下が面取りされてテーパー面３０ａ、３０ｂが形
成され、これら２つのテーパー面３０ａと３０ｂとの間
の部分がディスク基板２９の回転軸と平行な位置決め面
３０ｃとされている。

そして、このようなディスク基板２９の一方の面２９ａ
に、例えば、スリーン印刷の手法により所望のパターン
に液状の紫外線硬化樹脂３１が供給され、次いで、該デ
ィスク基板２９は紫外線硬化樹脂３１が供給された面２
９ａを下向きにして、即ち、上記一方の面２９ａが紫外
線硬化樹脂３１を介してディスクスタンパ１８の上面１
１３ａと対向するようにしてディスクスタンパ１８上に
重ね合わされる。そして、このとき、ディスク基板２９
はその下側のテーパー面３０ｂがセンターピン２５の導
入面２７ｃによって案内されることによって、その位置
決め面３０ｃがセンターピン２５の位置決め面２７ａに
外嵌され、これによって、ディスク基板２９がディスク
スタンバ１８に対して精確に位置決めされる。また、デ
ィスク基板２９の下側のテーパー面３０ｂはセンターピ
ン２５の係合面２７ｂに上方から係合した状態となる。

そこで、図示しない加圧ローラによって、ディスク基板
２９がディスクスタンバ１８の方へ向けて押圧され、デ
ィスク基板２９とディスクスタンバ１８との間に介在さ
れた液状の紫外線硬化樹脂３１が両者１８．２９の間に
均等に行き亘ってディスクスタンバ１８の上面に形成さ
れた微細な凹凸（図示していない。）に完全に充填され
る。

それから、図示しない紫外線ランプによりディスク基板
２９の他方の面２９ｂ側からディスク基板２９を通して
上記紫外線硬化樹脂３１に紫外光が照射され、これによ
って、紫外線硬化樹脂３１が硬化せしめられる。

紫外線硬化樹脂３１が硬化せしめられると、上記エアシ
リンダ６が駆動されてそのピストンロッド６ａが上昇さ
れ、これによってセンターピン２５が上昇せしめられる
。

センターピン２５が上昇されると、その係合面２７ｂに
よってディスク基板２９の下側になっているテーパー面
３０ｂがセンターピン２５の係合面２７ｃによって上方
へ向けて持ち上げられるため、ディスク基板２９は硬化
した紫外線硬化樹脂層と共にその中心よりディスクスタ
ンバ１８から剥離されることになる。

そして、ディスクスタンバ１８から剥離されたディスク
基板２９は図示しない搬出手段によって搬出され、ピス
トンロッド６ａが下降してセンターピン２５が元の位置
に戻され、次の新たなディスク基板２９がディスクスタ
ンパ１８上に重ね合わされる。

このような転写装置にあっては、ディスクスタンバ（ス
タンパ）１８のセンタ一孔（中心孔）１９は上部プレー
ト（スタンパ保持台）１３に対して固定リング２０で保
持されており、センターピン２５は上下動するときに、
この固定リング２０に対して摺接し、軟質の材料である
ニッケルから成るディスクスタンバ１８には摺接するこ
とがないので、ディスクスタンバ１８のセンタ一孔１９
がセンターピン２５によって擦られて金属埃が発生する
ことが無く、また、ディスクスタンパ１８が変形を受け
るようなことも無い。

更に、ディスクスタンバ１８の中心部は上下動するセン
タービン２５によってではなく固定リング２０で押さえ
られているので、センタービン２５を突き上げてディス
ク基板２９を剥離するときにディスクスタンパ１８がデ
ィスク基板２９につられて上部プレート１３から浮き上
がってしまうようなことが無い。

また、上記したように、スタンバ保持台を２重構造とし
く電磁石板８と上部プレート１３）た場合には、上部プ
レート１３を複数用意しておくことによって１段取り替
えやメンテナンス等の作業性が向上し、かつ、センター
ビン２５により電磁石板８と上部プレート１３との間の
位置合わせが精確に為されるので、２重構造にしたこと
による精度の低下を招く惧れがない。特に、この場合、
電磁石板８に合成樹脂製の案内スリーブ１２を圧入して
おき、これにセンターピン２５を嵌挿するようにするこ
とによっつで精度を更に向上させることができる。

（ｇ、センターピンの変形例）［第７図］第７図はセン
タービンの変形例を示すものである。

センターピン２５の頭部２７から僅か下方に中心孔３２
と外周面との間を連通する通孔３３．３３を形成する。

そして、ディスク基板２９をディスクスタンパ１８から
剥離するときは、センタービン２５とエアシリンダ６と
の間の結合を解き、センターピン２５の中心孔３２にエ
アー、例えば、Ｎ２ガスを圧送する。すると、Ｎ２ガス
の送圧によりセンターピン２５は上記通孔３３．３３が
固定リング２０の上端より上方に位置したところまで上
昇せしめられることになる（第７図の２点鎖線参照）。

このように、センタービン２５の上昇をエアーによって
行なうこともできる。

（Ｇ、発明の効果） 以上に記載したところから明らかなように、本発明転写
装置は、スタンバに基板を液状の合成樹脂を介して対接
させ、上記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共
にスタンバから剥離する転写装置において、スタンバの
中心孔と該スタンバを保持する保持台の取付孔とに挿通
され、かつ、保持台に固定されると共に上記スタンバの
中心孔の周縁部を保持台に押え付ける固定リングに挿通
孔を貫設し、上記固定リングの挿通孔に挿通される軸部
と該軸部の上端に設けられた頭部とから成るセンターピ
ンの上記軸部を固定リングの挿通孔に挿通し、該センタ
ーピンが下降した状態で基板の中心孔がセンタービンの
頭部に外嵌されて基板の位置決めが為され、センターピ
ンが上動することにより、該センタービンの頭部が基板
をスタンバから剥離するように上昇させるようにしたこ
とを特徴とする。

従って、本発明転写装置によれば、センターピンが上下
動しても、センタービンとディスクスタンパとが擦れ合
うことは無く、金属粉の発生やディスクスタンパの摩耗
や変形を防止することができる。また、センタービンが
上動してディスク基板がディスクスタンパから剥離され
るとき、センターピンが上方へ８動してもディスクスタ
ンパの中心部は固定リングによって押えられているため
、ディスクスタンパが浮き上がってしまうことが無い。

尚、上記実施例には、本発明を光ディスクの信号面転写
装置に適用したものを示したが、本発明の適用範囲がこ
のようなものに限定されることを意味するものではない
。

また、上記実施例では、スタンバの保持を電磁チャック
方式により行ない、かつ、その電磁チャックを２重構造
にしたものを示したが、こねも電磁チャック方式や２重
構造のものに限定されるものではない。

その他、上記実施例において示した構造は、何れも、本
発明の具体化に当ってのほんの一例を示したものにすぎ
ず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的に解
釈されるものではなく、本発明の趣旨に適合する範囲に
おいて、種々の変更を加えて実施することが可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明転写装置の実施の一例を示す
もので、第１図は分解斜視図、第２図は平面図、第３図
は第２図のＩＩＩ　−ＩＩＩ線に沿う断面図、第４図は
要部の分解断面図、′ｓ５図は要部の拡大断面図、ＶＳ
６図は作用を（Ａ）、（Ｂ）に分けて示す要部の拡大断
面図、第７図はセンターピンの変形例を示す要部の拡大
断面図、第８図は転写方法の一例を（Ａ）から（Ｇ）へ
順を追って示す概略斜視図、′ｆ％９図乃至第１１図は
従来の転写装置の一例を示すもので、第９図は概略斜視
図、第１０図及び第１１図はそれぞれ異なる工程を示す
拡大断面図である。 符号の説明 １３・・・保持台、　　１６・・・取付孔、１８・・・
スタンパ、　　１９・・・中心孔、２０・・・固定リン
グ、 ２５・・・センターピン、　　２６・・・軸部、２７・
・・頭部、　　２９・・・基板、３１・・・合成樹脂 出　願　人　ソニー株式会社 １３・・保持台 １８・・・スタンバ 断面図（ｍ−ｍ礫） 第３図 橿略斜桟図（従東側） 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して対接させ、
   上記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタ
   ンパから剥離する転写装置において、 スタンパの中心孔と該スタンパを保持する保持台の取付
   孔とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共に上記
   スタンパの中心孔の周縁部を保持台に押え付ける固定リ
   ングに挿通孔を貫設し、上記固定リングの挿通孔に挿通
   される軸部と該軸部の上端に設けられた頭部とから成る
   センターピンの上記軸部を固定リングの挿通孔に挿通し
   、 該センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセンタ
   ーピンの頭部に外嵌されて基板の位置決めが為され、セ
   ンターピンが上動することにより、該センターピンの頭
   部が基板をスタンパから剥離するように上昇させるよう
   にした ことを特徴とする転写装置