JPS62134931A

JPS62134931A - 表面検査装置の基板固定機構

Info

Publication number: JPS62134931A
Application number: JP60274325A
Authority: JP
Inventors: Tsunemi Fukushima; 福島　常美; Nobuyuki Iizuka; 飯塚　信行; Tsutomu Hongo; 本郷　勉
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-12-07
Filing date: 1985-12-07
Publication date: 1987-06-18
Also published as: JPH0567065B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は角形のマスクツ、（仮の表面検査装置におい
て、ワークの固定に使用するマスク基板固定機構に関す
るものである。

［従来の技術］最近におけるＩＣデバイスのパターンの高密１ｙ化に伴
って、塵埃、欠陥の防由ないしυＦ除は益々市認性を増
している。ＩＣデバイスのＩＣ）体である投影用のマス
ク基板においては、その表面１−に塵埃などが存在する
ときは、これが製造されるすヘ−てのＩＣの不良ｂ：Ｅ
囚となるので、影響するところが非常に人きく、ＩＣデ
バイス以１ユに極めて高度にｌｔ’ｉ　ｎな環境内で、
細心のル意を払って製造、＋に、びに検査を行うことか
必要である。

従来から、マスク基板の検査装置では、検査すべきマス
ク基板（以ドワークともいう）の装着および固定が自動
化されているが、このためにエアによる成行技術か使わ
れており、この場合りＩＪ　＋ンルーム内に残留してい
る極めて微１．）の塵埃か、ノ、（板に付？ｔする危険
かあり、共だ好ましくないとされている。

次に、マスク基板の形状は現在では角形（東方形）のも
ので、そのサイズ（辺の長さ、および厚さ）には、各種
多様のものか製作されており、従って検査装置へのワー
クの固定機構としては、出来るたけ多種類のサイズに対
応できるものか望まれている。また、検査用の光学系に
おいては、ワークの表面に投光するスポットの焦点深度
の関係１−１、ワークの厚さに拘わらす欠陥検出部に対
して、ワークの表面を市確な焦点の位置に、自動的にセ
ットできるものが必Ｉ冴である。さらに、ワークの搬送
、装７ｔにおいてはワークのド面が一定の位置におかれ
ることが望ましい。

第６図（ａ）、（ｂ）は、角形のマスク基板に対して、
従来からの検査装置に使用されているワーク固定機構を
ｔ４＜すもので、欠陥検出部１のド部にＬ形部材による
山形の試料台２を水下に置き、試料台２の内側にワーク
の大きさ及びｊ“ノさに対応するアダプター３を組込み
、ねじ７で固着する。

固イ′１された試料台２とアダプター３の４隅には、ワ
ークを吸着するための空気孔５が１゛↓通して、これが
成行管６てエアポンプ（図小しない）に接続されている
。これらにより、ワーク４は、真空引きされてアダプタ
ー３に密着し、欠陥検出部１に対して所定の１Ｉｌｌ＋
離間隔を保つものである。なお、試料台２はＸおよびＹ
軸力向に移動して、ワークの表面の全域について尤スポ
ントの走査を行うものである。

さて、マスク基板の素材は水晶またはガラスによるもの
で、板自体に反りまたは撓みが存在することがある。こ
の場合、材質の硬度の関係から、ワークの４隅のうちの
３隅のみが吸着する、すなわち３点接触の状態となる。

このようなときは、残る１隅か不完全な吸７ｔのため、
周辺のエアが集中的に吸入され、クリーンルーム内に残
留している極微＋、ｌの塵埃を集塵する現象が発生する
。また、エアの吸着力が不１゛分であるときは、ワーク
４の位置ずれかおこり、検査か不確実ないし不能となる
恐れかある。これらは話たイく都合てあり、χ・Ｉ策を
７凹とする問題である。

次に、各種のサイズのワークに対してワーク固定機構に
おける対応の方法について述べる。

１記したワーク１−＋１定機構においては、サイズの５
ｙなるワーク４の種別毎にアダプター３を用意しておき
、検査時にワークのサイズに応じてアダプターを交換す
なわち段取替えを行うものである。

現行では、ワークの一辺の長さく以ド大きさという）は
数種類あり、同一の人きさでも厚さが２通りあるものが
多い。大きさが異なる場合はもちろんであるが、ワーク
４の表面を欠陥検出部１に対して、市確に所定の距離に
位置決めすることが必゛皮なため、同一・の大きさのワ
ークでも、厚さが児なるときは段取替えを７安とするも
のである。このような段取替えはｌｌｊ　Ｊこ作置時間
の損失ばかりでなく、塵埃発生を伴うので、避けなけれ
ばならない。

［発明の目的］この２＋１Ｊ］は、マスクＪ１（板検査装置において、
Ｉ６述したエアによる集塵作用を解消し、さらに、同一
の大きさのワークに対しては、厚さがンｄなる場合でも
同一のアダプターを使用出来る、マスク基板固定機構を
提供することを目的とするものである。

ロア１題点を解決するためのｒ一段］この発明においては、従来と同様に試料台にアダプター
を併用する力弐をとるものであるか、ワークをアダプタ
ーに固定する方式としては、集塵の問題を解消するため
エアを使用せす、機械接触式によるものである。たたし
、マスク基板の表面には接触することが許されないので
、ノ、（板の４隅で側面を押圧するものである。

次に、アダプターの段取替えを不′災とする件について
は、この発明では、欠ｈ１検出部と試料台のか離を１コ
調整する機構を設けることにより、ワークの厚さの変化
に対応できるものとした。この機構はボールねしにより
箱密な移動制御を行うものである。このような距離の調
整機構により、同一の大きさのワークについては、とん
なＩ’）さのものでも欠陥検出部にχ、Ｉ　してワーク
の表１［１１の位置を一定にすることが出来るので、ア
ダプターの段取替えが不要となるものである。

［実施例］第１図は、この発明によるマスクツ人板固定機構を適用
したマスク基板検査装置の外観図で、欠陥検出部１はベ
ース板１１の１一部に支持柱１１ａを用いて固定されて
いる。ベース板１１には、Ｘ軸移動機構１２か取り付け
られ、該Ｘ軸移動機構１２の１．にはＸ軸移動機構１３
が装７トされてＮＸＩＹ軸力向の光スポットの走査を１
１能としている。

次に、該Ｙ軸移動機構１３の移動部にＸ軸移動機構１４
が取り付けられ、さらに該Ｚ軸移動機構１４の移動部に
試料台２が取り付けられている。これらの移動機構によ
り、試料台２は図示矢印のＸ。

Ｙ、Ｚの３軸力向に移動かＩＩ能である。なお、Ｘ軸移
動機構１４はパルスモータ１５によりボールねじ１６を
回転する力式のもので精度の高い移動を？Ｉうちのであ
る。これはＸ、Ｙ軸においても同様である。

第２図は、この発明によるマスク基板固定機構の中面図
で、第５図で、＋１シた従来と同様の試ｆ１台２を用い
、その内側にアダプター３を取り替え自ｒ１にねじ市め
することも従来と同しである。ここでワーク押さえ機＋
１が１９は、試料台２およびアダプタ−３に連係して取
り付けられている。

第３図は、ワーク押さえ機構１９の訂細な・ｌ’曲図で
、ローラ１７かローラ支持台１８に軸支されている。　
一方、カム２０と試料台移動子２１は一体として、試料
台２に取り付けられている第１ガイド２２に沿って１■
動である。また、アダプタ一部移動子２８とワーク押圧
片２９は・体きして、アダプター３に取り付けられてい
る第２ガイド２７に沿って可動である。また試料台移動
ｆ’２１の先端には押しロッド２４が設けである。

第４図は、ワーク押さえ機構１９の＋ｌｉ直断面断面図
、これと第３図によりワーク押さえ機構１９の動作を説
明する。

いま、Ｘ軸移動機構１４により試１１台２がｌ゛ｈ’す
ると、カム２０が試料台移動Ｊ”２１とともに、ローラ
１７に押されて矢印Ａの）Ｊ向に移動するのて、試料台
移動子２１の先端にある押しロッド２４かアダプター移
動Ｊ”２Ｂに接触してこれを押し、ついでワーク押月片
２９がワーク４を押し進める。

アダプター３の対向するｌ隅にはＮ　（ｒ’ｌｉ１′：
；決め片３０か固定されているので、ワーク４はこれに
当たって停止１、すなわち（＋’／ｉｌｊ決めされる。

この場合、ワーク４に加わる力を適当に和らげるために
押し口、ド２４に設けられた第３ばね２５が有効に作用
する。

第５図は、ワーク抑圧片２９とも“ｌ開成め片３０の形
状を７１＜すものである。なお、第２図に小すようにア
ダプター３の他の２隅にも、これらとほぼ同様の固定片
３０゛か取り付けられており、ワーク４を位置決めする
とともに水型に維持する。

ワークの検査が終ｒすると、制御機構により試料台２が
１・降し、第１ばね２３と第２ばね２８により、試料台
２１とアダプター移動子２６がそれぞれ九に（５４帰す
る。なお、Ｚ軸方向のＩＪ’、ド降は、別途マイコンま
たはシープ／すによるソフト制御によりイｊわれるもの
で、ワークのサイズに合わせてｒ・め設定しておくもの
である。

［発明の効果コ以Ｉの説明で明らかなように、この発明によるマスク基
板固定機＋１■は機械的な固疋力式をとることで、１１
；１述した問題点、すなわちエアカ式における塵埃の吸
着の恐れは完全に解消される。また、ワークの４隅の側
面を押１１シて固定するため、ワークの表面に接触する
恐れな乏か全くなく安全なものである。さらに、欠陥検
出部に対するワークの表面がソフト的に所定の位置にセ
・、トされるので、同一の大きさのワークについては　
１１）さかｌ／＋１なるときも、アダプターの取り替え
を必′畏としない。これにより、作文の効率か向１．す
るばかりでなく、クリーンルーム内の塵埃管理１°、極
めて人きい効果をイｌするものである。

以１・に述べたこの発明によるマスク基板固定機構は、
マスクツ１（板検査装置に限らす角形の・１・板をχ、
を象とする４′ｉｌ舎装置な乏に１人用出未るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるマスク基板固定機構を適用した
マスク基板検査装置の外観斜視図、第２図はこの発明に
よるマスク基板固定機構の宇面図、第３図は第２図にお
けるワーク押さえ機構の詳細な十曲図、第４図は第２図
におけるワーク押さえ機構のＩＴＬＩＩ′ｌ断面図、第
５図はこの発明によるワーク押さえｊｌおよび位置決め
片の形状を小す図、第６図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ
従来のマスク基板円圧機構の側面図及び・Ｉｉ、面図で
ある。１・・・欠陥検出部、　　　２・・・試料台、３・・・
アダプター、　　　　４・・・マスク基板、５・・・吸
７ト空気孔、　　　６・・・吸着管、７・・・ねし、１
１・・・ベース板、１２・・・Ｘ軸移動機構、１３・・・Ｙ軸移動機構、Ｉ
４・・・Ｚ軸移動機構、１５・・・パルスモータ、Ｉ６
・・・ボールねし、１７・・・ローラ、１８・・・ロー
ラ支持台、１９・・・ワーク押さえ機構、２０・・・力
ｌ１．２１・・・試料台移動子１２２・・・第１ガイド
、２３・・・第１ばね、２４・・・押しロッド、２５・
・・第３ばね、２６・・・アダプタ一部移動子１２７・
・・第２ガイド、２８・・・第２ばね、２９・・・ワー
ク押圧片、３０・・・イ＼′ｌ置メ火めｊ”１゜ ↑、′ｒ、ｉ’ｌ出奪］人１１．７．　’＋ｈ　ｆ’エンジニアリング株式会桐代
理人　弁理１　梶　山　イ１′ｌ　　足弁理１・　山　
木　富り男第１図第２図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）角形のマスク基板を位置決め固定する位置決め片
を３隅に有する枠形のアダプターと、上下方向の移動機
構と、該移動機構の移動側に搭載され該アダプターを保
持できる試料台と、上記上下方向の移動機構の固定側に
軸支されたローラと、該ローラに当接し上記試料台の上
昇に伴って移動するカムを有し、該試料台に固定された
第１のガイドに沿って移動する試料台移動子と、該試料
台移動子の移動により押圧されて上記アダプターに固定
された第２のガイドに沿って移動して上記マスク基板を
対角の位置にある上記位置決め片の方向に押圧し、かつ
固定するワーク押圧片を有するアダプター部移動子とに
より構成されたことを特徴とするマスク基板固定機構。
（２）ばね付き押しロッドを設けた上記試料台移動子を
有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマ
スク基板固定機構。