JPS62132762A - 磁器組成物 - Google Patents
磁器組成物Info
- Publication number
- JPS62132762A JPS62132762A JP60271344A JP27134485A JPS62132762A JP S62132762 A JPS62132762 A JP S62132762A JP 60271344 A JP60271344 A JP 60271344A JP 27134485 A JP27134485 A JP 27134485A JP S62132762 A JPS62132762 A JP S62132762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- ceramic composition
- substrates
- dielectric loss
- multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
Landscapes
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁器組成物に係り、特にIC基板やハイブリ
ッド基板等に用いられる磁器組成物に関する。
ッド基板等に用いられる磁器組成物に関する。
最近IC基板やハイブリッド基板等の分野において小型
化のために多層基板を用いて高密度化することや多層基
板の低廉化が要求されている。
化のために多層基板を用いて高密度化することや多層基
板の低廉化が要求されている。
従来、IC基板やハイブリッド基板用のセラミックスと
してはアルミナ系又は結晶化ガラス−無機物系等が用い
られていた。このうちアルミナ多層基板はアルミナ92
〜97重量%と残部がCaOMgO5iOz系等のガラ
スからなる混合粉末に有機バインダー、溶剤等を加えて
泥漿とし、ドクターブレード法などによってセラミック
グリーンシートに成形し、この上にタングステンまたは
モリブデン等のペーストで所望の回路導体パターンを形
成し、次いでシートを積み重ねて熱圧着し、これを加湿
水素−窒素混合ガス又はアンモニア分解ガスの雰囲気中
において1600〜1700℃で焼成して製造されてい
る。
してはアルミナ系又は結晶化ガラス−無機物系等が用い
られていた。このうちアルミナ多層基板はアルミナ92
〜97重量%と残部がCaOMgO5iOz系等のガラ
スからなる混合粉末に有機バインダー、溶剤等を加えて
泥漿とし、ドクターブレード法などによってセラミック
グリーンシートに成形し、この上にタングステンまたは
モリブデン等のペーストで所望の回路導体パターンを形
成し、次いでシートを積み重ねて熱圧着し、これを加湿
水素−窒素混合ガス又はアンモニア分解ガスの雰囲気中
において1600〜1700℃で焼成して製造されてい
る。
また、結晶化ガラス−無機物系の多層基板は、結晶化ガ
ラスとしては、たとえばホウケイ酸鉛系が用いられ、無
機物系としてはアルミナが用いられ、これら各原料より
前述と同じ方法によりセラミックグリーンシートを作成
し、このシート上にAu、八g、Ag−Pbなどのペー
ストで所望の回路導体パターンを形成し、これを積み重
ねて熱圧着し、大気中で800〜900℃で焼成して製
造されている。
ラスとしては、たとえばホウケイ酸鉛系が用いられ、無
機物系としてはアルミナが用いられ、これら各原料より
前述と同じ方法によりセラミックグリーンシートを作成
し、このシート上にAu、八g、Ag−Pbなどのペー
ストで所望の回路導体パターンを形成し、これを積み重
ねて熱圧着し、大気中で800〜900℃で焼成して製
造されている。
しかしながら、アルミナ多層基板では、アルミすを主成
分とするため高温焼成が必要であり、また回路導体パタ
ーンを形成後、高温焼成するため内部の回路導体パター
ン材料として、融点の高いタングステン、モリブデンな
どを用いている。このため、焼成コストが高くなり、ま
たタングステン、モリブデンなどは導体抵抗が高<(A
gが1゜6X10−”Ω・mに対し、モリブデン、タン
グステンは5.5X10−”Ω/m)良好な特性が得ら
れない問題がある。また結晶化ガラス−無機物系の多層
基板は、大気中で800〜900℃で焼成するため焼成
コストを抑えることはできるが、元原料の結晶化ガラス
が全体の約50%を占め、その材料コストが高いため高
価なものとなっている。
分とするため高温焼成が必要であり、また回路導体パタ
ーンを形成後、高温焼成するため内部の回路導体パター
ン材料として、融点の高いタングステン、モリブデンな
どを用いている。このため、焼成コストが高くなり、ま
たタングステン、モリブデンなどは導体抵抗が高<(A
gが1゜6X10−”Ω・mに対し、モリブデン、タン
グステンは5.5X10−”Ω/m)良好な特性が得ら
れない問題がある。また結晶化ガラス−無機物系の多層
基板は、大気中で800〜900℃で焼成するため焼成
コストを抑えることはできるが、元原料の結晶化ガラス
が全体の約50%を占め、その材料コストが高いため高
価なものとなっている。
また、材料自身の誘電損失が約50X10−’と大きい
ため、良好な特性が得られないという問題も生じる。
ため、良好な特性が得られないという問題も生じる。
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解消し、
1200℃程度の低い温度で焼成することができ、回路
導体パターンとしてAg−Pb等の比較的融点が低くか
つ導体抵抗が低く安価な材料を用いることができるとと
もに誘電損失の小さい特性の優れた多層基板を実現でき
る磁器組成物を提供することにある。
1200℃程度の低い温度で焼成することができ、回路
導体パターンとしてAg−Pb等の比較的融点が低くか
つ導体抵抗が低く安価な材料を用いることができるとと
もに誘電損失の小さい特性の優れた多層基板を実現でき
る磁器組成物を提供することにある。
本発明の磁器組成物は、総量100%のうち、MgOが
50〜95重量%で残部がNbzOsからなることを特
徴とする。
50〜95重量%で残部がNbzOsからなることを特
徴とする。
本発明の磁器組成物中、MgOが50重量%未満又は9
5重量%以上、したがって残部のNb。
5重量%以上、したがって残部のNb。
OSが50重量%以上または5重量%未満では、120
0℃の温度の焼成温度では焼結が不十分となり、また誘
電損失が50X10−’以上となり良好な特性が得られ
ない。
0℃の温度の焼成温度では焼結が不十分となり、また誘
電損失が50X10−’以上となり良好な特性が得られ
ない。
MgO1Nb□0.を準備し、第1表に示す組成比率の
磁器組成物が得られるように秤量し、これを遊量式ボー
ルミルで1時間湿式混合した。次いで混合物を乾燥した
後、造粒し、500Kg/−の圧力で加圧形成し、12
00℃で2時間焼成し、直径25鶴中、厚み1)−の円
板状焼結体を得、この焼結体の両面にAg−Pbのペー
ストで回路導体パターンを形成し、焼成により焼き付は
試料をえた。
磁器組成物が得られるように秤量し、これを遊量式ボー
ルミルで1時間湿式混合した。次いで混合物を乾燥した
後、造粒し、500Kg/−の圧力で加圧形成し、12
00℃で2時間焼成し、直径25鶴中、厚み1)−の円
板状焼結体を得、この焼結体の両面にAg−Pbのペー
ストで回路導体パターンを形成し、焼成により焼き付は
試料をえた。
このようにして得られた各試料について、誘電率(εr
)、誘電損失(tanδ)および体積抵抗率(ζ)を測
定し、その結果を第1表に示した。
)、誘電損失(tanδ)および体積抵抗率(ζ)を測
定し、その結果を第1表に示した。
ただしε、tanδはI M Hzでの測定値である。
1表から明らかなように総量100重量%のうち、Mg
Oが50〜95重量%で残部がNbzOsからなる実施
例1〜実施例5の磁器組成物は、いずれも1200℃で
焼結でき、かつ誘電損失も50X10−4以下であり良
好な特性を示している。なお比較例1.2はいずれも焼
結が不十分であった。
Oが50〜95重量%で残部がNbzOsからなる実施
例1〜実施例5の磁器組成物は、いずれも1200℃で
焼結でき、かつ誘電損失も50X10−4以下であり良
好な特性を示している。なお比較例1.2はいずれも焼
結が不十分であった。
以上のように本発明によれば、1200℃程度の低い温
度で大気中での焼成が可能となり、またAg−Pb等の
比較的融点が低く、導体抵抗の小さい安価な電極材料を
用いることができ、誘電損失の小さい良好な特性の多層
基板を実現することができる。
度で大気中での焼成が可能となり、またAg−Pb等の
比較的融点が低く、導体抵抗の小さい安価な電極材料を
用いることができ、誘電損失の小さい良好な特性の多層
基板を実現することができる。
Claims (1)
- (1)総量100重量%のうち、MgOが50〜95重
量%で残部がNb_2O_5からなることを特徴とする
磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60271344A JPS62132762A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60271344A JPS62132762A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁器組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62132762A true JPS62132762A (ja) | 1987-06-16 |
Family
ID=17498750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60271344A Pending JPS62132762A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62132762A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284314A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitsukatoo:Kk | 耐食性マグネシア質焼結体、それよりなる熱処理用部材および前記焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP60271344A patent/JPS62132762A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284314A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitsukatoo:Kk | 耐食性マグネシア質焼結体、それよりなる熱処理用部材および前記焼結体の製造方法 |
JP4721947B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-07-13 | 株式会社ニッカトー | 耐食性マグネシア質焼結体、それよりなる熱処理用部材および前記焼結体の製造方法 |
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