JPS6011259A - 磁器組成物 - Google Patents
磁器組成物Info
- Publication number
- JPS6011259A JPS6011259A JP58117801A JP11780183A JPS6011259A JP S6011259 A JPS6011259 A JP S6011259A JP 58117801 A JP58117801 A JP 58117801A JP 11780183 A JP11780183 A JP 11780183A JP S6011259 A JPS6011259 A JP S6011259A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nickel
- molybdenum
- alumina
- conductor
- circuit
- Prior art date
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- Granted
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はフォルステライトを主成分とする低温焼結可
能な磁器組成物に関するものである。
能な磁器組成物に関するものである。
たとえばＩＣ基板にはセラミクスが用いられてきたが、
小型化、高密度化、低廉化、さらには回路伝播の高速度
化に伴い、多層化の方向にある。
小型化、高密度化、低廉化、さらには回路伝播の高速度
化に伴い、多層化の方向にある。
従来、ＩＣ多層基板用のセラミクスとしては、主とし°
Ｃアルミナ系の材料が用いられ′Ｃきた。このアルζす
系のＸＣ多層基板は次のようにして製造され′〔いた。
Ｃアルミナ系の材料が用いられ′Ｃきた。このアルζす
系のＸＣ多層基板は次のようにして製造され′〔いた。
つｔｂ、アルミナ９２〜９７重量％、ＣａＯ−ＭｇＯ−
８１０，、％ガラス残部からなる混合粉末に有機バイン
ダ、溶剤を加えて泥漿とし、ドクターブレード法などの
シート成形法によってセラミックグリーンシートに成形
し、このシート上にタングステン、モリブデン、あるい
はモリブデン−マンガンなどのペーストで所望の回路導
体パターンを形成し、次いでシートを積み重ね゛Ｃ熱圧
着し、これを加湿水素−窒素混合ガス、あるいはアンモ
ニア分鴫ガスのＷ囲気中においＣ１６００〜１７００１
：で焼成していた。
８１０，、％ガラス残部からなる混合粉末に有機バイン
ダ、溶剤を加えて泥漿とし、ドクターブレード法などの
シート成形法によってセラミックグリーンシートに成形
し、このシート上にタングステン、モリブデン、あるい
はモリブデン−マンガンなどのペーストで所望の回路導
体パターンを形成し、次いでシートを積み重ね゛Ｃ熱圧
着し、これを加湿水素−窒素混合ガス、あるいはアンモ
ニア分鴫ガスのＷ囲気中においＣ１６００〜１７００１
：で焼成していた。
このようにアルミナからなる多層基板は高純度のアルミ
ナを用−１高温で焼成する必要があるため、内部の回路
導体の材料とし゛Ｃ融点の高いタングステン、モリブデ
ンなどを用いなければならないという制約がある。した
かつ−〔、焼成コストが高くなること、アルミナの誘電
率が１ｏ程度あるため信号伝播遅延や雑音が発生するこ
と、タンクステン、モリブデンなどは導体抵抗が高く、
抵抗を下げるには導体幅を広げることで対処しなければ
ならないが、これは高密度化と逆行すること、また導体
抵抗が高いということに起因し゛Ｃ回路の高速度化を制
限すること、などの問題を有し−Ｃいた。
ナを用−１高温で焼成する必要があるため、内部の回路
導体の材料とし゛Ｃ融点の高いタングステン、モリブデ
ンなどを用いなければならないという制約がある。した
かつ−〔、焼成コストが高くなること、アルミナの誘電
率が１ｏ程度あるため信号伝播遅延や雑音が発生するこ
と、タンクステン、モリブデンなどは導体抵抗が高く、
抵抗を下げるには導体幅を広げることで対処しなければ
ならないが、これは高密度化と逆行すること、また導体
抵抗が高いということに起因し゛Ｃ回路の高速度化を制
限すること、などの問題を有し−Ｃいた。
したがつＣ１この発明は低温焼結が可能で、多層化、低
廉化などが容易に実現できる磁器組成物を提供すること
を目的とする。
廉化などが容易に実現できる磁器組成物を提供すること
を目的とする。
また、この発明は低誘電率で、内部導体にＮ１などの導
体抵抗が低い材料が使用でき、したがっ′Ｃ雑音の発生
が少なく、信号伝播の遅延解消や高速度化が可能な多層
基板を構成することのできる磁器組成物を提供すること
を目的とする。
体抵抗が低い材料が使用でき、したがっ′Ｃ雑音の発生
が少なく、信号伝播の遅延解消や高速度化が可能な多層
基板を構成することのできる磁器組成物を提供すること
を目的とする。
すなわち、この発明の要旨とするところは、酸化カルシ
ウム、酸化バリウム、および酸化ストロンチウムを含む
フォルステライトを主成分とし、これを一般式２ （Ｍ
ｇ、 −＜ｘ＋７＋ ｚ）Ｃａ ＸＢ ａ ｙ８ ｒ
、 ）０、ｕＳｉＯ，と表わしたとき、ｘ＋７＋Ｚ＝
ｏ、ｏ ５〜Ｑ、３５゜ｕ＝１０１〜１．０６の範囲
にあシ、この主成分に対し−（ＳｉＯ，、ＡＩ！ＲＯ３
を主成分とする蛙目粘土などの焼結促進剤を０．１〜２
．０．ｊｉｉｔ％添加含有させ゛〔なる磁器組成物であ
る。
ウム、酸化バリウム、および酸化ストロンチウムを含む
フォルステライトを主成分とし、これを一般式２ （Ｍ
ｇ、 −＜ｘ＋７＋ ｚ）Ｃａ ＸＢ ａ ｙ８ ｒ
、 ）０、ｕＳｉＯ，と表わしたとき、ｘ＋７＋Ｚ＝
ｏ、ｏ ５〜Ｑ、３５゜ｕ＝１０１〜１．０６の範囲
にあシ、この主成分に対し−（ＳｉＯ，、ＡＩ！ＲＯ３
を主成分とする蛙目粘土などの焼結促進剤を０．１〜２
．０．ｊｉｉｔ％添加含有させ゛〔なる磁器組成物であ
る。
この磁器組成物の”Ｉ ７１ ｚ＊ ｕの値、および添
加物の値を上記した範囲に限定した理由、いずれも範囲
から外れると低温焼結、たとえば空気中では１３５０を
以下では焼請せず、還元雰囲気中では１３３０ｔ′以下
では焼結しないからである。このようにこの磁器組成物
によれば、空気中あるいは還元雰囲気中のいずれでも低
温焼結可能であるが、ただ空気中で焼成すると磁器の色
調が黄色味を帯びる点で外観上問題がある。
加物の値を上記した範囲に限定した理由、いずれも範囲
から外れると低温焼結、たとえば空気中では１３５０を
以下では焼請せず、還元雰囲気中では１３３０ｔ′以下
では焼結しないからである。このようにこの磁器組成物
によれば、空気中あるいは還元雰囲気中のいずれでも低
温焼結可能であるが、ただ空気中で焼成すると磁器の色
調が黄色味を帯びる点で外観上問題がある。
゛また、多層基板としたとき、内部の回路導体の材料と
し′Ｃはモリブデン、ニッケル、あるいはパラジウムな
どがあるが、ニッケルを回路導体とし−Ｃ使用するとき
はニッケルの酸化防止のため焼成雰囲気は窒素などの還
元雰囲気が選ばれる。モリブデンを用いたときは比抵抗
が２Ｘ１０−”Ω、為であシ、これにくらべ−Ｃニッケ
ルは比抵抗がｌＸ１０−’Ω、躯であることから、回路
伝播の高速度化を考慮した場合、回路導体の材料とし゛
Ｃニッケルが好ましいと云える。このほか使用Ｏｒ能と
考えられる回路導体用の材料とし”Ｃは銀−パラジウム
がある。
し′Ｃはモリブデン、ニッケル、あるいはパラジウムな
どがあるが、ニッケルを回路導体とし−Ｃ使用するとき
はニッケルの酸化防止のため焼成雰囲気は窒素などの還
元雰囲気が選ばれる。モリブデンを用いたときは比抵抗
が２Ｘ１０−”Ω、為であシ、これにくらべ−Ｃニッケ
ルは比抵抗がｌＸ１０−’Ω、躯であることから、回路
伝播の高速度化を考慮した場合、回路導体の材料とし゛
Ｃニッケルが好ましいと云える。このほか使用Ｏｒ能と
考えられる回路導体用の材料とし”Ｃは銀−パラジウム
がある。
この回路導体は１０ Ω、備の比抵抗があシ低抵抗のも
のを得る上で好都合であるが、ただ多層基板への拡散と
反応が見られ、かつ多層基板の色調が黄色味を帯びるた
め、アルミナの多層基板に代わるものとし”Ｃは採用し
難いものである。
のを得る上で好都合であるが、ただ多層基板への拡散と
反応が見られ、かつ多層基板の色調が黄色味を帯びるた
め、アルミナの多層基板に代わるものとし”Ｃは採用し
難いものである。
この発明にかかる磁器組成物はアルミナにくらべ′Ｃ素
原料費が２０〜５０チアツブするものの、低温焼成によ
るコストダウンによシ素原料費のアップ分を回収できる
。また回路導体の材料とし′Ｃモリブデン、タングステ
ンの代わシにニッケルを用いたとき、材料費のコストダ
ウンによシ多層基板にしたとき３０〜５０％のコストダ
ウンとなる。し −かもニッケルを用いると回路導体の
抵抗が約１／６となシ、導体幅を狭くできること＆Ｃな
るため小型化を実現できる。さらに誘電率がアルミナに
くらべ゛〔２０〜６０チ低下するため、信号伝播遅延の
回避や、雑音発生の防止が可能となシ、多層基板にとつ
゛Ｃ有益な結果をもたらすことになる。
原料費が２０〜５０チアツブするものの、低温焼成によ
るコストダウンによシ素原料費のアップ分を回収できる
。また回路導体の材料とし′Ｃモリブデン、タングステ
ンの代わシにニッケルを用いたとき、材料費のコストダ
ウンによシ多層基板にしたとき３０〜５０％のコストダ
ウンとなる。し −かもニッケルを用いると回路導体の
抵抗が約１／６となシ、導体幅を狭くできること＆Ｃな
るため小型化を実現できる。さらに誘電率がアルミナに
くらべ゛〔２０〜６０チ低下するため、信号伝播遅延の
回避や、雑音発生の防止が可能となシ、多層基板にとつ
゛Ｃ有益な結果をもたらすことになる。
以下、この発明を実施例に従つ゛Ｃ詳細に説明する０
素原料とし゛（、ＭｇＯ，Ｃａｂ、Ｂａｄ、Ｓｒ０，８
ｉ０．、焼結促進剤である賎目粘土（ＡＩ、Ｏ，：ｓｔ
ｏ、 ＝ｎ、。
ｉ０．、焼結促進剤である賎目粘土（ＡＩ、Ｏ，：ｓｔ
ｏ、 ＝ｎ、。
＝２モル：１モル＝２モル）を用いた。素原料としては
酸化物のほか焼成によって酸化物となる、たとえば炭酸
塩を用いＣもよい。次いで素原料を第１表に示す組成比
のものが得られるように調合し、調合したものを湿式混
合し、脱水乾燥した後９００〜１１００ｃ、空気中で仮
焼した。この仮焼物を平均粒径２〜６μｍになるように
粉砕し・Ｃ篩を通した粉末１００重量部に対し、ポリビ
ニルブチラールを５〜１０重量％、トルエンなどの有機
溶剤６０〜８０重！−１，７タル酸エステルなどの可塑
剤を１〜２重ｉ−慢加え゛（４０時間混合した。得られ
たスラリーを脱泡したのち、ドクターブレード法によつ
°Ｃ００５〜１１の肉厚のグリーンシートになるように
シート成形した。素材評価のためにこのシートを１イン
チ角に打ち抜き、第１表に示した焼成条件で焼成した。
酸化物のほか焼成によって酸化物となる、たとえば炭酸
塩を用いＣもよい。次いで素原料を第１表に示す組成比
のものが得られるように調合し、調合したものを湿式混
合し、脱水乾燥した後９００〜１１００ｃ、空気中で仮
焼した。この仮焼物を平均粒径２〜６μｍになるように
粉砕し・Ｃ篩を通した粉末１００重量部に対し、ポリビ
ニルブチラールを５〜１０重量％、トルエンなどの有機
溶剤６０〜８０重！−１，７タル酸エステルなどの可塑
剤を１〜２重ｉ−慢加え゛（４０時間混合した。得られ
たスラリーを脱泡したのち、ドクターブレード法によつ
°Ｃ００５〜１１の肉厚のグリーンシートになるように
シート成形した。素材評価のためにこのシートを１イン
チ角に打ち抜き、第１表に示した焼成条件で焼成した。
なお、焼成雰囲気は窒素／水素の容量比が１００／１で
、流量を１４Ｆ／ｈｒ、露点を＋ ４０ ’ｃとした。
、流量を１４Ｆ／ｈｒ、露点を＋ ４０ ’ｃとした。
この焼結板の両面に銀ペーストを印刷し、８００′ｃ、
５０分間の条件で銀電極を焼き付け、誘電率（ε）、誘
電損失（ｔａｎδ）および絶縁抵抗（工Ｒ）の各電気的
・侍性を測定し、その結果を第１表に合わせて示した。
５０分間の条件で銀電極を焼き付け、誘電率（ε）、誘
電損失（ｔａｎδ）および絶縁抵抗（工Ｒ）の各電気的
・侍性を測定し、その結果を第１表に合わせて示した。
第１表中、秦印を付したものはこの発明範囲外のもので
あシ、それ以外は発明範囲内のものである。
あシ、それ以外は発明範囲内のものである。
第１表から明らかなように、誘電損失、絶縁抵抗はアル
ミナと同程度であシ、誘電率はアルミナよシ低い７．６
〜８．２のものが得られている。また色調もアルミナと
同じ白色であった。
ミナと同程度であシ、誘電率はアルミナよシ低い７．６
〜８．２のものが得られている。また色調もアルミナと
同じ白色であった。
次に、上記した工程で準備したグリーンシートの上に、
回路導体を構成する材料であるモリブデン、ニッケル、
銀−パラジウムの各ペーストを印刷し、同寸法のグリー
ンシートを重ね−（６Ｏｒ。
回路導体を構成する材料であるモリブデン、ニッケル、
銀−パラジウムの各ペーストを印刷し、同寸法のグリー
ンシートを重ね−（６Ｏｒ。
５００〜１０００３Ｆ／ｄ１９０秒の条件で熱圧着しモ
リブデン、ニッケルのものは窒素／水素中で、銀−パラ
ジウムのものは空気中で焼結した。なお、モリブデン、
ニッケルのものは上記した工程と同じ条件で焼成し、銀
−パラジウムのものは１５２５℃、２時間の条件で焼成
した。
リブデン、ニッケルのものは窒素／水素中で、銀−パラ
ジウムのものは空気中で焼結した。なお、モリブデン、
ニッケルのものは上記した工程と同じ条件で焼成し、銀
−パラジウムのものは１５２５℃、２時間の条件で焼成
した。
得られた試料につい゛Ｃ１磁器と回路導体との反応性、
回路導体の比抵抗を測定したところ、モリブデン、ニッ
ケルのものは磁器との反応がなく、モリブデンのものは
比抵抗が２×１０ Ω、眞であり、ニッケルのそれは１
×１０ Ω、鴬であった。一方、銀パラジウムからなる
ものは比抵抗が１０ Ω、為の値が得られるものの、磁
器への拡散、反応が確認された。したがつＣ１この磁器
を用いた多層基板の回路導体は種々の制約を勘案した場
合ニッケルが最も好゛ましいと判断できる。
回路導体の比抵抗を測定したところ、モリブデン、ニッ
ケルのものは磁器との反応がなく、モリブデンのものは
比抵抗が２×１０ Ω、眞であり、ニッケルのそれは１
×１０ Ω、鴬であった。一方、銀パラジウムからなる
ものは比抵抗が１０ Ω、為の値が得られるものの、磁
器への拡散、反応が確認された。したがつＣ１この磁器
を用いた多層基板の回路導体は種々の制約を勘案した場
合ニッケルが最も好゛ましいと判断できる。
特許出願人
株式会社村田製作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 酸化カルシウム、酸化バリウム、および酸化ストロンチ
ウムを含む７オルステライトを主成分とし、 これを一般式２ （Ｍｇ１− （ｘ＋ｙ＋ｚ） Ｃａｘ
ＢａｙＳｒｚ）（） ＊ ｕｓ １ｏ 龜表わしたと
き、！＋７＋ｚ＝０．０５〜０．５５、ｕ＝１．０１〜
ｔ０６の範囲にあシ、この主成分に対し・Ｃ８１０１＠
ＡＪ！Ｏ１を主成分とする蛙目粘土などの焼結促進剤を
０．１〜２．０重量％添加含有させＣなる磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58117801A JPS6011259A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | 磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58117801A JPS6011259A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | 磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6011259A true JPS6011259A (ja) | 1985-01-21 |
| JPH032816B2 JPH032816B2 (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=14720612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58117801A Granted JPS6011259A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | 磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011259A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61242950A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-29 | 旭硝子株式会社 | セラミツク基板用組成物 |
| JPS6436841U (ja) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| CN103253490A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-21 | 湖北红花高温材料有限公司 | 一种以镁橄榄石为原料的陶瓷托轮及其制备方法 |
| JP2014209477A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-11-06 | Toto株式会社 | 固体酸化物形燃料電池セル及びその製造方法 |
| US9534660B2 (en) | 2010-09-14 | 2017-01-03 | Gripple Limited | Clamping members and clamping devices |
-
1983
- 1983-06-28 JP JP58117801A patent/JPS6011259A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61242950A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-29 | 旭硝子株式会社 | セラミツク基板用組成物 |
| JPS6436841U (ja) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| US9534660B2 (en) | 2010-09-14 | 2017-01-03 | Gripple Limited | Clamping members and clamping devices |
| JP2014209477A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-11-06 | Toto株式会社 | 固体酸化物形燃料電池セル及びその製造方法 |
| CN103253490A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-21 | 湖北红花高温材料有限公司 | 一种以镁橄榄石为原料的陶瓷托轮及其制备方法 |
| CN103253490B (zh) * | 2013-04-26 | 2015-11-18 | 湖北红花高温材料有限公司 | 一种以镁橄榄石为原料的陶瓷托轮及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH032816B2 (ja) | 1991-01-17 |
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