JPS62108069A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS62108069A JPS62108069A JP60248636A JP24863685A JPS62108069A JP S62108069 A JPS62108069 A JP S62108069A JP 60248636 A JP60248636 A JP 60248636A JP 24863685 A JP24863685 A JP 24863685A JP S62108069 A JPS62108069 A JP S62108069A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- protective layer
- thermal head
- insulating substrate
- oxidation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルプリンタに用いられるサーマルヘッド
に関する。
に関する。
〔従来技術および間１点〕
サーマルプリンタに塔載するサーマルヘッドは、例えば
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線的に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線的に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。
第１図、第２図は、従来のこのサーマルヘッドの一般構
造例を示すものである。絶縁性基板１上には断面が半円
弧状のガラスからなるグレーズ層２が形成されてセリ、
このグレーズ層２の上にＴａ、Ｎ等からなる発熱抵抗体
層３が形成されている。この発熱抵抗体層３の上には、
ざらｌここの発熱抵抗体層３に対して給電するための給
′に体層４が形成されていて、この給電体ｆ錯４のグレ
ーズ１−２の頂面部はエツチング等の手段により分析さ
れている。
造例を示すものである。絶縁性基板１上には断面が半円
弧状のガラスからなるグレーズ層２が形成されてセリ、
このグレーズ層２の上にＴａ、Ｎ等からなる発熱抵抗体
層３が形成されている。この発熱抵抗体層３の上には、
ざらｌここの発熱抵抗体層３に対して給電するための給
′に体層４が形成されていて、この給電体ｆ錯４のグレ
ーズ１−２の頂面部はエツチング等の手段により分析さ
れている。
給電体層４は例えばアルミニウム等からなるもので、こ
の分断部４ａの両１１１間に電圧を与ズると、グレーズ
層２の頂面部に位置する発熱抵抗体層３に電流が流れて
発熱する。この発熱抵抗体層３および給電体層４の上に
は、これらの保護層７が形成されている。この保護層７
．は発熱抵抗体層３を酸化による劣化から保護するＳ
ｉ Ｏ，などからなる＠酸化層５と感熱記録紙（図示せ
ず）等との接触による摩耗から発熱抵抗体層３および給
電体層４を保護するＴａ、Ｏ，等からなるｆｒｔ摩耗鰯
６とからなっているうこのサーマルヘッドは中央の分ｉ
ｆｒ部４ａで分断された複数の給電体層４の一方が共通
電極ライン４ｂに接続され、他方が個別電極ライン起に
接続されている。この個別電極ライン４Ｃに情報に応じ
て選択的に電圧が印加されるとグレーズ層２の頂面部の
発熱抵抗体層３が発熱し、この熱が耐酸化層５および耐
摩耗／１１６を伝わって保、ｉ＠１＠７の表面の発熱部
３ａが発熱して、感熱記録紙、インクリボン等に発色エ
ネルギーが与えられることとなる。なお、保傾層７は端
子部以外のヘッド面のすべてを覆うように設けらねてい
る。
の分断部４ａの両１１１間に電圧を与ズると、グレーズ
層２の頂面部に位置する発熱抵抗体層３に電流が流れて
発熱する。この発熱抵抗体層３および給電体層４の上に
は、これらの保護層７が形成されている。この保護層７
．は発熱抵抗体層３を酸化による劣化から保護するＳ
ｉ Ｏ，などからなる＠酸化層５と感熱記録紙（図示せ
ず）等との接触による摩耗から発熱抵抗体層３および給
電体層４を保護するＴａ、Ｏ，等からなるｆｒｔ摩耗鰯
６とからなっているうこのサーマルヘッドは中央の分ｉ
ｆｒ部４ａで分断された複数の給電体層４の一方が共通
電極ライン４ｂに接続され、他方が個別電極ライン起に
接続されている。この個別電極ライン４Ｃに情報に応じ
て選択的に電圧が印加されるとグレーズ層２の頂面部の
発熱抵抗体層３が発熱し、この熱が耐酸化層５および耐
摩耗／１１６を伝わって保、ｉ＠１＠７の表面の発熱部
３ａが発熱して、感熱記録紙、インクリボン等に発色エ
ネルギーが与えられることとなる。なお、保傾層７は端
子部以外のヘッド面のすべてを覆うように設けらねてい
る。
この従来のサーマルヘッドは給電体層４にグレーズ層２
の頂面部に位置する分断部４ａを設け、この上に、スパ
ッタリング等の手段により＠酸化ｊ※５および＠摩耗層
６が形成されて峙終工程で、分割してサーマルヘッドチ
ップとなる。
の頂面部に位置する分断部４ａを設け、この上に、スパ
ッタリング等の手段により＠酸化ｊ※５および＠摩耗層
６が形成されて峙終工程で、分割してサーマルヘッドチ
ップとなる。
最近、熱転写プリンタは普通紙の表面精度が荒い、ラフ
祇に対する印字品質の向上がやまれ、インクリボンは従
来のワックス系からワックスプラスレジン系へと変化し
てきており、また、コレクト機能ヲモったインクリボン
等も開発されており、サーマルヘッドをハイパワーで駆
動させる必要が生じている。このように、今後の熱転写
プリンタの技術動向の中には、サーマルヘッドのハイパ
ワー駆動が不町決の要件となってきているものである。
祇に対する印字品質の向上がやまれ、インクリボンは従
来のワックス系からワックスプラスレジン系へと変化し
てきており、また、コレクト機能ヲモったインクリボン
等も開発されており、サーマルヘッドをハイパワーで駆
動させる必要が生じている。このように、今後の熱転写
プリンタの技術動向の中には、サーマルヘッドのハイパ
ワー駆動が不町決の要件となってきているものである。
従来のサーマルヘッドは、一般に保護１−は、５ｉｎ２
を耐酸化層として用い、Ｔａ、Ｕ、を耐摩耗１層とした
ものである。このサーマルヘッドの破壊モードは、耐摩
耗層が熱ストレスによってマイクロクラッタを生じ、そ
のクラックが拡大して耐酸化層および発熱抵抗体層に及
び、発熱抵抗体層の酸化や断線ヲ生じることが知らねて
いる。尚Ｔ ａ、 ０゜は耐クラツク性に最も優れた耐
摩耗層の材料と言りれているが、ステップ・ストレス・
テスト（ＳＳＴ）特性を見ると、第５図のように破壊点
のバラツキが大きいため、耐パワー寿命の信頼度が低い
という欠点があった。そのため、耐摩耗層の耐クラツク
性を改善するため我々はへのりアクティブ、スパッタリ
ングによる酸化度の調整実験を繰返し行った結果、明ら
かにＳＳＴ特性の破壊点のバラツキと耐摩耗の酸化度に
相関性のあることを知った。しかし、低酸化物としてい
くと、膜は導電性を急激に増して、第４図に示すように
ＳＳＴ特性において、△Ｖ几の変化がマイナス側に異常
に大きくなる欠点を示し、おのずから酸化度を調整でき
る範囲は狭い範囲に制限される欠点があることが判った
。これは、耐摩耗層の下には絶縁性の耐酸化層があるに
もかかわらず、耐摩耗層と給電体層とが短絡して並列抵
抗を生じているためであり絶縁性基板に用いる９６〜９
７チアルミナ基板の表面粗度が０．３μｍＲａ （！：
犬索荒いためスパッタ嗅に多数のピンホール欠陥を生じ
ているからである。
を耐酸化層として用い、Ｔａ、Ｕ、を耐摩耗１層とした
ものである。このサーマルヘッドの破壊モードは、耐摩
耗層が熱ストレスによってマイクロクラッタを生じ、そ
のクラックが拡大して耐酸化層および発熱抵抗体層に及
び、発熱抵抗体層の酸化や断線ヲ生じることが知らねて
いる。尚Ｔ ａ、 ０゜は耐クラツク性に最も優れた耐
摩耗層の材料と言りれているが、ステップ・ストレス・
テスト（ＳＳＴ）特性を見ると、第５図のように破壊点
のバラツキが大きいため、耐パワー寿命の信頼度が低い
という欠点があった。そのため、耐摩耗層の耐クラツク
性を改善するため我々はへのりアクティブ、スパッタリ
ングによる酸化度の調整実験を繰返し行った結果、明ら
かにＳＳＴ特性の破壊点のバラツキと耐摩耗の酸化度に
相関性のあることを知った。しかし、低酸化物としてい
くと、膜は導電性を急激に増して、第４図に示すように
ＳＳＴ特性において、△Ｖ几の変化がマイナス側に異常
に大きくなる欠点を示し、おのずから酸化度を調整でき
る範囲は狭い範囲に制限される欠点があることが判った
。これは、耐摩耗層の下には絶縁性の耐酸化層があるに
もかかわらず、耐摩耗層と給電体層とが短絡して並列抵
抗を生じているためであり絶縁性基板に用いる９６〜９
７チアルミナ基板の表面粗度が０．３μｍＲａ （！：
犬索荒いためスパッタ嗅に多数のピンホール欠陥を生じ
ているからである。
この欠陥は＠酸化層の膜厚を２Ｉ！ｒｎとしても改善で
青ないものであった。このように従来のサーマルヘッド
の耐パワー寿命性は、耐摩耗層の酸化度を低下させて導
電性を持たせることによって改善できることが判明した
が、耐酸化層の絶縁性に欠陥があるとサーマルヘッドの
機能が不良になる重大な欠点を生じ、従来の表面粗１ｉ
［０，３μｍＲａの絶縁性基板をそのまま用いて耐パワ
ー寿命性を向上させることは困難であった。
青ないものであった。このように従来のサーマルヘッド
の耐パワー寿命性は、耐摩耗層の酸化度を低下させて導
電性を持たせることによって改善できることが判明した
が、耐酸化層の絶縁性に欠陥があるとサーマルヘッドの
機能が不良になる重大な欠点を生じ、従来の表面粗１ｉ
［０，３μｍＲａの絶縁性基板をそのまま用いて耐パワ
ー寿命性を向上させることは困難であった。
本発明は、前記従来技術の間；１＠、点に鑑みてなされ
たものであり、その目的とする所は、耐パワー寿命のす
ぐれたサーマルヘッドを提供することにある。
たものであり、その目的とする所は、耐パワー寿命のす
ぐれたサーマルヘッドを提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明においては絶縁性
基板上にグレーズ層を形成し、そのグレーズ１惰上に複
数１１１１の発熱抵抗体層を直線的に配置その発熱抵抗
体層ζこ電力を供給する給電体層と、その給電体層およ
び、前記発熱抵抗体層上に形成された保護層とを備えた
サーマルヘッドにおいて、前記絶縁性基板材料を平滑度
の高いＡ４０．含有率９９係以上（０，０７５μｍＲａ
） 、又は、平滑度の低いＡ４０．含有率９６〜９７
係（０，３μｍＲａ ）においては、全面に薄くグレー
ズ層を被覆形成して平滑化したものを用い、前記保護層
は耐酸化及びＰ２碌性を備えた第１の保護層と、その上
に＠豪粍性及び導電性を備えた第２の保護層を有するこ
と５−特徴とするものである。
基板上にグレーズ層を形成し、そのグレーズ１惰上に複
数１１１１の発熱抵抗体層を直線的に配置その発熱抵抗
体層ζこ電力を供給する給電体層と、その給電体層およ
び、前記発熱抵抗体層上に形成された保護層とを備えた
サーマルヘッドにおいて、前記絶縁性基板材料を平滑度
の高いＡ４０．含有率９９係以上（０，０７５μｍＲａ
） 、又は、平滑度の低いＡ４０．含有率９６〜９７
係（０，３μｍＲａ ）においては、全面に薄くグレー
ズ層を被覆形成して平滑化したものを用い、前記保護層
は耐酸化及びＰ２碌性を備えた第１の保護層と、その上
に＠豪粍性及び導電性を備えた第２の保護層を有するこ
と５−特徴とするものである。
鴫下図に示した一実施例を用いて本発明を贈、明する。
第１図、第２図は従来例と同じく本発明によるサーマル
ヘッドの断面を示したものである。
ヘッドの断面を示したものである。
不発明のサーマルヘッドは絶縁性基板１に辰面平滑変の
高いｋｔ、す、含有率９９係以上、表面粗度公称０、０
７５μｍｋ３ａのものを用い、その上に略半円弧状の部
分グレーズ１１２を形成し、その上にＴａ、 Ｎからな
る発熱抵抗体層３およびＭからなる給電体層４そ積層し
、７オトリソ技術ｌこ梁り、発熱抵抗味１脩３が部分グ
レーズ＠２の略頂面部に位置するように給電体層４を分
＋ｖ、ｉ ＋、て形成する。更にその上に、第１の保護
層５５： Ｓ ｉＯ，ターゲットを用いて、スパンタリ
ング法に４より約２崗彫成し・耐酸化性および絶縁性を
備えたものとなし、そのヒに。第２（７）’＆ ４層６
５：Ｔａり〜ゲソＨ−用いてリアリティプスパノタリン
グ法？こより０２ガス１Ｊ：反応させてＴａの酸化度を
調整しながら、約５．〆Ｒ杉成しメタリ、りな低酸化度
で、そのシート抵抗値が１〜ＩＯＫΩ／口１５１ｇｎの
導電性を備えたものとする。以上のような、本発明のサ
ーマルヘッドは保ｉ′＠ｒｌを金属から絶縁物まで任意
に制御して成膜することができ、従来ＴａのＰＰ、縁性
酸化物Ｔａ、０．としていた所を、鴨欠乏状卵の’１’
ａＯｘ、５なしそのシート抵抗値が１−１０に０７口１
５８ｍとなるようにコントロールしている。
高いｋｔ、す、含有率９９係以上、表面粗度公称０、０
７５μｍｋ３ａのものを用い、その上に略半円弧状の部
分グレーズ１１２を形成し、その上にＴａ、 Ｎからな
る発熱抵抗体層３およびＭからなる給電体層４そ積層し
、７オトリソ技術ｌこ梁り、発熱抵抗味１脩３が部分グ
レーズ＠２の略頂面部に位置するように給電体層４を分
＋ｖ、ｉ ＋、て形成する。更にその上に、第１の保護
層５５： Ｓ ｉＯ，ターゲットを用いて、スパンタリ
ング法に４より約２崗彫成し・耐酸化性および絶縁性を
備えたものとなし、そのヒに。第２（７）’＆ ４層６
５：Ｔａり〜ゲソＨ−用いてリアリティプスパノタリン
グ法？こより０２ガス１Ｊ：反応させてＴａの酸化度を
調整しながら、約５．〆Ｒ杉成しメタリ、りな低酸化度
で、そのシート抵抗値が１〜ＩＯＫΩ／口１５１ｇｎの
導電性を備えたものとする。以上のような、本発明のサ
ーマルヘッドは保ｉ′＠ｒｌを金属から絶縁物まで任意
に制御して成膜することができ、従来ＴａのＰＰ、縁性
酸化物Ｔａ、０．としていた所を、鴨欠乏状卵の’１’
ａＯｘ、５なしそのシート抵抗値が１−１０に０７口１
５８ｍとなるようにコントロールしている。
このようにメタリック性を増した；ｇｆ１注ＴａＵｘ・
耐摩耗層６は図３で示すようにＳＳＴ％性において明ら
かに破壊点が伸び、かつバラツキが減少し、耐パワー寿
命性の向上がはかられる。合わせて、Ｊ８縁性基板ｌの
表面が平滑なものを用いているので絶縁性耐酸化層のピ
ンホール等の欠陥を著しく低減で青、サーマルヘッドの
抵抗値が安定で桁パワー寿命性の向上した実用性のある
サーマルヘッドの・型造が可能さなった。
耐摩耗層６は図３で示すようにＳＳＴ％性において明ら
かに破壊点が伸び、かつバラツキが減少し、耐パワー寿
命性の向上がはかられる。合わせて、Ｊ８縁性基板ｌの
表面が平滑なものを用いているので絶縁性耐酸化層のピ
ンホール等の欠陥を著しく低減で青、サーマルヘッドの
抵抗値が安定で桁パワー寿命性の向上した実用性のある
サーマルヘッドの・型造が可能さなった。
以上述べたように本発明のサーマルヘッドは、絶縁性基
板の表面の平滑性を向上したこ々と、第２の保護層に導
電性を賦与し耐クラツク性を有するメタリック膜の組み
合わせとすることによって、サーマルヘッドの１＠パワ
ー寿命性を向上させたものであり、これによってラフ紙
用インクリボンうコレクト用インクリボンに必要なハイ
パワー駆動のできる信頼度の高いサーマルヘッドが提供
できるようになった。
板の表面の平滑性を向上したこ々と、第２の保護層に導
電性を賦与し耐クラツク性を有するメタリック膜の組み
合わせとすることによって、サーマルヘッドの１＠パワ
ー寿命性を向上させたものであり、これによってラフ紙
用インクリボンうコレクト用インクリボンに必要なハイ
パワー駆動のできる信頼度の高いサーマルヘッドが提供
できるようになった。
修１図、ｙ４２図は本発明および従来のサーマルヘッド
断面を共通に示す、第３図、第４図、第５図は耐摩耗層
の酸化度を変化させた時のＳＳ′ｖｔｆ！ｊ性を示し、
第３図は不発明のサーマルヘッドＳＳＴ特性、＄４図は
表面相変の荒い絶縁性基板上に本発明の耐摩耗層を形成
したサーマルヘッドの８８１時性で、第５図は従来の？
縁件耐贋耗層を用いたサーマルヘッドのＳＳＴ特性であ
る。 ｌ・・・絶縁性基板 ２・・・グレーズ層 ３・・・発熱抵抗体層 ４・・・給電体層 ５・・・耐酸化層 ６・・・耐摩耗層 ７・・・保護層 特許出頓人 アルプス′准気株式会社 第 １５２１ 第 ２ 図 、４０ ４ ｔイ夛電イイ５層 、、） 弗３図 第 ４ 図 ３３５ 目
断面を共通に示す、第３図、第４図、第５図は耐摩耗層
の酸化度を変化させた時のＳＳ′ｖｔｆ！ｊ性を示し、
第３図は不発明のサーマルヘッドＳＳＴ特性、＄４図は
表面相変の荒い絶縁性基板上に本発明の耐摩耗層を形成
したサーマルヘッドの８８１時性で、第５図は従来の？
縁件耐贋耗層を用いたサーマルヘッドのＳＳＴ特性であ
る。 ｌ・・・絶縁性基板 ２・・・グレーズ層 ３・・・発熱抵抗体層 ４・・・給電体層 ５・・・耐酸化層 ６・・・耐摩耗層 ７・・・保護層 特許出頓人 アルプス′准気株式会社 第 １５２１ 第 ２ 図 、４０ ４ ｔイ夛電イイ５層 、、） 弗３図 第 ４ 図 ３３５ 目
Claims (2)
- （１）絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、このグレー
ズ層上に複数個の発熱抵抗体層を直線的に配置し、該発
熱抵抗体層に電力を供給する給電体層と、該給電体層お
よび前記発熱抵抗体層上に形成された保護層とを備えた
サーマルヘッドにおいて、前記絶縁性基板として表面平
滑度が０．１μｍＲａ以上の基板においては全面に薄く
グレーズ層を形成することにより表面の平滑度を０．１
μｍＲａ以下とした基板を用い、前記保護層は第１の保
護層を絶縁性の高い耐酸化性を備えた材料とし、第２の
保護層を導電性および耐摩耗性を備えた材料としたこと
を特徴とするサーマルヘッド。 - （２）前記第２の保護層は、導電性がシート抵抗値で１
〜１０ＫΩ／□／５μｍであることを特徴とする特許請
求の範囲第（１）項記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60248636A JPS62108069A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60248636A JPS62108069A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62108069A true JPS62108069A (ja) | 1987-05-19 |
Family
ID=17181057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60248636A Pending JPS62108069A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62108069A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156078A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーマルヘッド用基板 |
| JP2002356001A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Kyocera Corp | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP60248636A patent/JPS62108069A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156078A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | サーマルヘッド用基板 |
| JP2002356001A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Kyocera Corp | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ |
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