JPH03208669A - サーマルヘッド - Google Patents

サーマルヘッド

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JPH03208669A
JPH03208669A JP387990A JP387990A JPH03208669A JP H03208669 A JPH03208669 A JP H03208669A JP 387990 A JP387990 A JP 387990A JP 387990 A JP387990 A JP 387990A JP H03208669 A JPH03208669 A JP H03208669A
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JP
Japan
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layer
heat generating
heat
void
resistance body
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Pending
Application number
JP387990A
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English (en)
Inventor
Kyoji Shirakawa
白川 享志
Hisahiro Hiraide
平出 弥博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
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Publication of JPH03208669A publication Critical patent/JPH03208669A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はサーマルヘッドに係り、特にザーマルプリンタ
に搭載され、所望の印字情報に基づいて通電加熱するこ
とにより所望の印字を行なうり−−マルヘッドに関する
〔従来の技術〕
一般に、ザーマルプリンタに搭載するサーマルヘッドは
、例えば、複数個の発熱抵抗体を絶縁性基板上に直線的
に整列配直し、印字情報に従って各発熱抵抗体を選択的
に通電加熱させて、感熱記録紙に発色記録させるか、あ
るいは、インクリボンのインクを溶融して普通紙に転写
記録するために用いられている。
第3図は従来のこの種のサーマルヘッドを示したもので
、アルミナ等からなる絶縁性基板1上には、蓄熱層とし
て機能するガラスからなるグレズ層2が形成されており
、このグレーズ層2の上面には、Ta2N等からなる複
数個の発熱抵抗休3が、蒸着、スパッタリング等により
被着された後にエッチングを行なうことにより直線状に
整列して形成されている。前記各発熱抵抗体3の上面両
側部には、この発熱抵抗休3に対して給電するための共
通給電体層4aおよび個別給電体層4bがそれぞれ形成
されており、これら各給電体層4a,4bは、例えば、
A.Q 、Cu 1Au等の軟質金属からなり、蒸着、
スパッタリング等により所望形状のパターンに形成され
ている。そして、前記各発熱抵抗体3は、前記共通給電
体層4aおよび個別給電体層4b間において露出されて
それぞれ独立した1ドット相当分の発熱部3aが形成さ
れ、この発熱抵抗体3の発熱部3aは、前記各給電体層
4a,4b間に電圧を印加することにより発熱されるよ
うになっている。
また、前記発熱抵抗体3および両給電体層4a,4bの
上面には、これら発熱抵抗体3および給電体層4a,4
bを保護する約7〜10μ仇の膜厚の保護層5が形成さ
れており、この保護層5は、発熱抵抗休3を酸化による
劣化から保護する3 S i 0 2等からなるほぼ2μ虱の膜厚の耐酸化層
6と、この耐酸化層6上に積層されインクリボン等との
接触による摩耗から発熱抵抗休3おJ:び各給電体層4
a.4bを保護するTa2056aからなるほぼ5〜8
μ班の膜厚の耐摩耗m7とから形成されており、この保
護層5は、端子部以外のり−ベての表面を覆うようにな
っている。この保護層5の耐酸化層6および耐摩耗層7
は、スパッタリング等の手段によって順次形成され、そ
の後、最終工程において絶縁性基板1を分割して所望の
サーマルヘッドチップを得るようになっている。
このような従来のサーマルヘッドにおいては、このサー
マルヘッドをインクリボンを介して用紙に圧接させ、所
定の印字情報に基づいて所望のドットに対応する個別給
電体層4bに通電するこどにより、その発熱抵抗休3の
発熱部3aを発熱させ、前記インクリボンのインクを前
記用紙に溶融転写させることにより、前記用紙上に所望
の印字を行なうようになっている。
4 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、前記従来のサーマルヘッドにおいては、前記発
熱抵抗体3において通電により発生した熱量は、グレー
ズ層2方向に伝達されてそのほぼ40%の熱量が失われ
るとともに、各給電体層4a,4bの方向にもほぼ40
%の熱量が伝達されて失われてしまうことから、わずか
20%の熱量のみが印字エネルギとして有効に利用され
るに過ぎない。そのため、熱効率が著しく低下してしま
い、印字エネルギ密度を高く保持することができず、大
きなエネルギ損失を生じてしまうという問題を有してい
る。
また、熱効率を向上させるために前記グレーズ層2の厚
さ寸法を大きく形戒すると、グレーズ層2の熱容量が大
きくなって蓄熱母が増大し、高速印字に必要な高速熱応
答性を得ることができなくなってしまうどいう問題を有
している。
本発明はこれらの点に鑑みてなされたもので、発熱抵抗
体から発生する熱量のグレーズ層への伝達を減少させ、
熱効率を著しく向上させることのできるサーマルヘッド
を提供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため本発明に係るυ−マルヘッドは
、絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、このグレーズ胴
上に複数の発熱抵抗体を整列状に形戒し、この発熱抵抗
体上にこれら各発熱抵抗体に選択的に通電する共通給電
体層および個別給電体層を形成し、前記各層の露出して
いる上面に保護層を形成してなるザーマルヘッドにおい
て、前記グレーズ層上に第1発熱抵抗体を形成するとと
もに、この第1発熱抵抗体上に絶縁居を形成し、この第
1発熱抵抗体と前記絶縁層との間にドットに対応した複
数の空隙部を形成し、前記絶縁層上の前記空隙部に対応
する位置に前記各給電体層により通電される第2発熱抵
抗体を形成したことをその特徴とするものである。
〔作 用〕 本発明によれば、絶縁層および空隙部が熱抵抗を有し、
特に、空隙部は、断熱性が極めて高いことから、第2発
熱抵抗体への通電により発生した熱量が、グレーズ層方
向に伝達しにくくなり、この熱量を印字側に効率よく伝
達することができるので、熱効率を著しく向上させるこ
とができ、サマルヘッドの印加電力を高めることなく、
高い印字■ネルギ密度を保持することができ、さらに、
グレーズ層の厚さ寸法を大きくする必要がないので、グ
レーズ層の蓄熱昂が増大してしまうことがなく、高い高
速熱応答性を得ることができるものである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を第1図および第2図を参照し、
第3図と同一部分には同一符号を付して説明する。
第1図は本発明に係る1ノーマルヘッドの一実施例を示
したもので、アルミナ等からなる絶縁性基板1上には、
蓄熱層として機能するガラスからなるグレーズ層2が形
成されており、このグレーズ層2の上面には、Ta2N
等からなりほぼ0.05μ仇以下の膜厚を有ずる第1発
熱抵抗体7 8が積層されている。この第1発熱抵抗体8は、第2図
に示すように、フォトリソ技術により所定間隔毎に複数
の小さな発熱集中部9.9・・・が形成されるようにな
っており、この第1発熱抵抗体8の上面に&ま、SiO
  やT a 2 0 5等からなりば2 ぼ5μ卯の膜厚を有する絶縁層10が形成されている。
そして、前記絶縁層10を形成した後、前記第1発熱抵
抗体8に静電気等の高電圧、微小電流を印加することに
より、前記第1発熱抵抗体8の発熱集中部9を瞬時に焼
き切り、第1発熱抵抗休8の材料を蒸発させる。この蒸
発の際の爆発力により圧力が発生し、この圧力により、
発熱集中部9の近傍における密着ノjが消失し、第1発
熱抵抗体8と絶縁層10との間に空隙部11が形成され
るものである。このとき、第1発熱抵抗体8の発熱集中
部9を囲む材料は、熱伝導率の低い祠斜であるため、前
記蒸発時にグレーズ層2および絶縁層10に損傷を与え
ることはない。なお、前記空隙部11は、第1発熱抵抗
体8の膜厚や発熱集中部9の面積を設定することにより
、任意の人き8 ざの空隙を形成することが可能である。
また、前記絶縁層10の上面には、Ta2NやTa−S
i02等からなる第2発熱抵抗体12が形成ざれており
、この第2発熱抵抗休12の上面両側部には、AN等か
らなる共通給電体層4aおよび個別給電体層4bがそれ
ぞれ形成されている。
これら各給電体層4a,4bは、フオトリソ技術等によ
り所望形状のパターンに形成され、前記第2発熱抵抗体
12は、前記共通給電体層4aおよび個別給電体層4b
間の前記第1発熱抵抗体8の空隙部11に対応ずる位置
において露出ざれて各個独立した1ドット相当分の発熱
部12aが形成されるものである。さらに、前記第2発
熱抵抗体12および給電体層4a,4bの上面には、こ
れら第2発熱抵抗体12および給電体層4a,4bを保
護する保護層5が形成されている。
次に、本発明の作用について説明する。
本実施例においては、サーマルヘッドをインクリボンを
介して用紙に圧接ざ吐、所定の印字情報に基づいて所望
のドットに対応する個別給電体層4bに通電することに
より、その第2発熱抵抗体12の発熱部12aを発熱さ
せ、前記インクリボンのインクを前記用紙に溶融転写さ
せることにより、前記用紙上に所望の印字を行なうよう
になっている。
このとぎ、本実施例においては、前記絶縁層10および
空隙部11が熱抵抗を有することになり、特に、空隙部
11は、断熱性が極めて高いことから、前記第2発熱抵
抗体12において通電により発生した熱量は、グレーズ
層2方向に伝達しにくくなり、印字側に熱伝達する熱量
を大ぎく確保することができ、熱効率の向上を図るこど
ができ、サーマルヘッドの印加電力を高めることなく、
印字エネルギ密度を高く保持することができるものであ
る。
したがって、本実施例においては、第2発熱抵抗体12
とグレーズ層2との間に空隙部11を形成し、この空隙
部11により、発熱時の熱量を印字側に効率よく伝達す
ることができるので、熱効率を著しく高めることができ
、印字エネルギを有効に利用することができ、さらに、
グレーズ層2の厚さ寸法を大きくする必要がないので、
グレーズII2の蓄熱量が増大してしまうことがなく、
高い高速熱応答性を得ることができる。
なお、本発明は、前述した実施例に限定されるものでは
なく、必要に応じて種々の変更が可能である。
(発明の効果〕 以上述べたように本発明に係るυ−マルヘッドは、第2
発熱抵抗体とグレーズ層との間に空隙部を形成し、この
空隙部により、発熱時の熱量を印字側に効率よく伝達す
ることができるので、熱効率を著しく高めることができ
、印字エネルギを有効に利用することができる。さらに
、グレーズ層の厚さ寸法を大きくする必要がないので、
グレーズ層の蓄熱量が増大してしまうことがなく、高い
高速熱応答性を得ることができる等の効果を奏する。
11
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るサーマルヘッドの一実施例を示す
縦断面図、第2図は第1図の第1発熱抵抗体部分の平面
図、第3図は従来のサーマルヘッドを示す縦断面図であ
る。 1・・・基板、2・・・グレーズ層、4a,4b・・・
給電体層、5・・・保護層、8・・・第1発熱抵抗体、
9・・・発熱集中部、10・・・絶縁層、11・・・空
隙部、12・・・第2発熱抵抗体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、このグレーズ層上
    に複数の発熱抵抗体を整列状に形成し、この発熱抵抗体
    上にこれら各発熱抵抗体に選択的に通電する共通給電体
    層および個別給電体層を形成し、前記各層の露出してい
    る上面に保護層を形成してなるサーマルヘッドにおいて
    、前記グレーズ層上に第1発熱抵抗体を形成するととも
    に、この第1発熱抵抗体上に絶縁層を形成し、この第1
    発熱抵抗体と前記絶縁層との間にドットに対応した複数
    の空隙部を形成し、前記絶縁層上の前記空隙部に対応す
    る位置に前記各給電体層により通電される第2発熱抵抗
    体を形成したことを特徴とするサーマルヘッド。
JP387990A 1990-01-11 1990-01-11 サーマルヘッド Pending JPH03208669A (ja)

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JP387990A JPH03208669A (ja) 1990-01-11 1990-01-11 サーマルヘッド

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008207529A (ja) * 2007-02-28 2008-09-11 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドとその製造方法、及びサーマルプリンタ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008207529A (ja) * 2007-02-28 2008-09-11 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドとその製造方法、及びサーマルプリンタ

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