JPS6223764A - サ−マルヘツド - Google Patents

サ−マルヘツド

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Publication number
JPS6223764A
JPS6223764A JP60163492A JP16349285A JPS6223764A JP S6223764 A JPS6223764 A JP S6223764A JP 60163492 A JP60163492 A JP 60163492A JP 16349285 A JP16349285 A JP 16349285A JP S6223764 A JPS6223764 A JP S6223764A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
protective layer
nitric acid
resistance
thermal head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60163492A
Other languages
English (en)
Inventor
Kyoji Shirakawa
白川 享志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP60163492A priority Critical patent/JPS6223764A/ja
Publication of JPS6223764A publication Critical patent/JPS6223764A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はサーマルプリンタに用いられるサーマルヘッド
に関する。
〔従来技術および問題点〕
サーマルプリンタに搭載するサーマルヘッドは、例えば
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線的に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。
第2図、第3図は、従来のこのサーマルヘッドの一般構
造例を示すものである。絶縁性基板1上には断面が半円
弧状のガラスからなるグレーズ層2が形成されており、
このグレーズ層2の上にTa2 N等からなる発熱抵抗
体層3が形成されている。この発熱抵抗体層3の上には
、さらにこの発熱抵抗体層3に対して給電するための給
電体層4が形成されていて、この給電体層4のグレーズ
層2の頂面部はエツチング等の手段により分断されてい
る。
給電体層4は例えばアルミニウム等からなるもので、こ
の分断部4aの両側間に電圧を与えると、グレーズ層2
の頂面部に位置する発熱抵抗体層3に電流が流れて発熱
する。この発熱抵抗体層3および給電体層4の上には、
これらの保護層7が形成されている。この保護層7は発
熱抵抗体層3を酸化による劣化から保護する5i02な
どからなる耐酸化層5と感熱記録紙(図示せず)等との
接触による摩耗から発熱抵抗体層3および給電体層4を
保護するTa2 o5等からなる耐摩耗層6とからなっ
ている。このサーマルヘッドは中央の分断部4aで分断
された複数の給電体層4の一方が共通電極ライン4bに
接続され、他方が個別電極ライン4Cに接続されている
。この個別電極ライン4Cに情報に応じて選択的に電圧
が印加されるとグレーズ層2の頂面部の発熱抵抗体層3
が発熱し、この熱が耐酸化層5および耐摩耗層6を伝わ
って保護層7の表面の発熱部3aが発熱して、感熱記録
紙、インクリボン等に発色エネルギーが与えられること
となる。なお、保護層7は端子部以外のヘッド面のすべ
てを覆うように設けられている。
この従来のサーマルヘッドは給電体層4にグレーズ層2
の頂面部に位置する分断部4aを設け、この上にスパッ
タリング等の手段により耐酸化層5および耐摩耗層6が
形成され最終工程で分割してサーマルヘッドチップとな
る。
しかし、上述のへヴド構造においては発熱抵抗体層3を
はさんで給電体層4が分断しているため分断部3aは凹
を生じることになり、印字に際して感熱記録媒体に対し
て発熱抵抗体層3は空隙を生じるから、効率よく熱の伝
導が行えず印字濃度かうすいものとなりやすい。そのた
め印加エネルギーを増大させて、印字濃度を高くしなけ
ればならず、熱歪の増大をともなってサーマルヘッドの
寿命が短かくなる欠点があった。また分断部4aがある
ため、給電体層4のエツジ部に印字の際に集中荷重が働
き機械的に保護層7のクラ・りや・・クリを生じて発熱
抵抗体層3の酸化等による抵抗値の増加で印字不能にな
るなどの欠点があった。
(発明の目的) 本発明は前記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とする所は高印字品質で寿命の長いサー
マルヘッドを提供することにある。
(発明の構成) かかる目的を達成するために本発明のサーマルヘッドは
絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、そのグレーズ層上
に発熱抵抗体層を配置し、その発熱抵抗体層に電力を供
給する給電体層と、その給電体層および前記発熱抵抗体
層上に形成された保護層とを備えたサーマルヘッドにお
いて、第1の保護層を耐沸硝酸性を有しかつ耐摩耗性の
良い材料で形成し、第2の保護層を沸硝酸でエツチング
できかつ耐酸化性のすぐれた材料で形成したことを特徴
とするものである。
(発明の実施例) 以下図に示した一実施例を用いて本発明を説明する。第
1図は本発明によるサーマルヘッドの断面を示すもので
ある。本発明のサーマルヘッドは絶縁性基板1上に略半
円弧状の部分グレーズ層2を形成し、その上にTa2 
Nからなる発熱抵抗体層3、およびMからなる給電体層
4を積層し、7オトリソ技術によシ発熱抵抗体層3が略
部分グレーズ層2の略頂面に位置するように、給電体層
4を分断して形成する。
更に、その上にスパッタリング法により第1の保護層5
を耐沸硝酸性と耐摩耗性(例えばTaz Os 。
Sic9MN、Si3N4等)とをかね備えた材料で形
成しその上に第2の保護層6を沸硝酸でエツチングされ
かつ耐酸化性のある(例えば5i02等)材料で形成し
、フォ) IJソ技術により発熱抵抗体層3上の凹部を
マスキングして沸硝酸により図中破線で示した第2の保
護層63部を除去する。これにより発熱抵抗体層3上の
凹部は逆に凸部になる。伺この凸部の突出量は第2の保
護層の蒸着膜厚とエツチング量によって任意にコントロ
ールすることができる。上述のように、給電体層4の分
断によって生じた凹部を平坦化、又は凸状化することは
、簡単に加工でき、感熱記録媒体(図示せず)との圧接
性が著しく改善されるため熱伝導が増して低電力で印字
発色濃度の高いものとなる。また感熱記録媒体との摺接
において、従来保護層7上の凹部のエツジに圧接荷重が
集中して、給電体層4と保護層5との密着強度が比較的
弱いため・・クリを生じていたが、本発明では給電体層
4上の保護層5に圧接荷重が働かないものとできるため
、保護層5のハクリが解消される。また本発明は第]の
保護層5を耐摩耗性の良好なTaz Osなどからなる
材料を用い、第2の保護層6に耐摩耗性の劣る5i02
などからなる材料を用いているが、第2の保護層が摩耗
してきても第1の保護層が耐摩耗性がよいため摩耗によ
る寿命の低下は問題とならない。
(発明の効果) 以上述べたように、本発明のサーマルヘッドは保護層の
構成を従来と逆にしたものであり、第2の保護層を工2
チング加工することによって、発熱抵抗体層上を選択的
に突出させることを特徴としており、発熱中心が最も感
熱記録媒体に摺接させることができ熱伝導性の向上によ
シ低電力で濃度の高い印字ができるようになる。また密
着強度の高い保護層で熱記録媒体に摺接させることがで
きるため、機械的損傷を受けにくいバラツキの少ないも
のとできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のサーマルヘッドの断面図、第2.3図
は従来のサーマルへ・ドの断面図である。 1 絶縁性基板 2・・・部分グレーズ層 3・・発熱抵抗体層 4 給電体層 5・・・第1の保護層 6 第2の保護層 第 1 図 1.1fか11基板 2.471分グレIス°“檜 3、促9!!、抵抗伴( 4、6合1表、イイ=−4 5、≧ly+yフイM/![4 6、第2IgQ保護層 第 2 Z 添 3 図 1、1t1k・11≧JG#乏    5. 酊(6ミ
イ^こ°ノダン4、拌イン1にイ奈層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、そのグレー
    ズ層上に複数個の発熱抵抗体層を直線的に配置し、その
    発熱抵抗体層に電力を供給する給電体層と、その給電体
    層および前記発熱抵抗体層上に形成された保護層とを備
    えたサーマルヘッドにおいて、第1の保護層を耐沸硝酸
    性を有しかつ耐摩耗性のよい材料で形成し、第2の保護
    層を沸硝酸でエッチングできかつ耐酸化性のよい材料で
    形成したことを特徴とするサーマルヘッド。
  2. (2)前記第2の保護層は、発熱抵抗体層上が平坦又は
    凸状であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    のサーマルヘッド。
JP60163492A 1985-07-24 1985-07-24 サ−マルヘツド Pending JPS6223764A (ja)

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JP (1) JPS6223764A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02106338U (ja) * 1989-02-10 1990-08-23
JP2015009471A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 ローム株式会社 サーマルプリントヘッド、サーマルプリンタ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02106338U (ja) * 1989-02-10 1990-08-23
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