JPS62244663A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野１ 本発明はサーマルプリンタに用いられるサーマルヘッド
、特に薄膜型のサーマルヘッドに関する。

〔従来技術および問題点〕

サーマルプリンタに搭載するサーマルヘッドは、例えば
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線的に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。

第３図は、従来のこの種サーマルヘッドの一般構造例を
示すものである。図において、セラミック基板等の絶縁
性基板１上には、蓄熱層として機能するガラスからなる
グレーズ層２が形成されており、このグレーズ層２の上
にＴａ、Ｎ等からなる発熱抵抗体層３が蒸着、スパッタ
等で被着された後、エツチングされて、複数個直線状に
配置・形成されている。この発熱抵抗体層３の上には、
さらにこの発熱抵抗体層３に対して給電するための給電
体Ｍ４が形成されている。この給電体層４は、例えばア
ルミニウムや銅や金等からなるもので、蒸着、スパッタ
リング等で被着さんだ後、エツチングによって所望形状
のパターンに形成され、各発熱抵抗体層３の両側に各々
一方が共通電極として、他方が個別リード電極としてそ
れぞれ引出されている。そして、この共通電極および個
別ｊｌｌ−型極として対をなす給電体層４．４間におい
て、１ドツト相当分め発熱領域を形づくられた各個独立
した発熱抵抗体３は、対をなす給電体層４．４間に電圧
を印加することによって発熱されるようになっている。

なお、４ａは、エツチングによって形成された、給電体
層４の分断部である。

上記発熱抵抗体層３および給電体層４の上には、これら
の保護層７が形成されている。この保護層７は発熱ｉ抗
体／１１３を酸化による劣化から保護する５ｉｆｔ　な
どからなる耐酸化層５と感熱記録紙（図示せず）等との
接触１ζよる摩耗から発熱抵抗体−３および給電体層４
を保護するＴａｔＯｓ等からなる耐摩耗層６とからなっ
ており、該保護層７は端子部以外のヘッド面のすべてを
覆うようになっている。この保護層７は、スパッタリン
グ等の手段によって耐酸化層５および耐摩耗層６が順次
形成され、然る後、最終工程で、絶縁性基板１を分割し
て所望のサーマルヘッドチップを得るようになっている
。

しかしながら、第３図の構成においては発熱抵抗体層３
をはさんで給電体層４が分断しているため、分断部４ａ
は保護層７に凹部７ａを生じさせることになり、印字に
際して感熱記録媒体に対して空隙を生じるから、効率よ
く熱の伝導が行えず印字濃度かうすいものとなり易い。

この点を解消するために印加エネルギーを増大させて印
字濃度を高めようとすると、熱歪の増大によってサーマ
ルヘッドの寿命が劣化するという問題を生じた。

その問題を解決するため、第４図に示すように発熱抵抗
体層３をミアンダ状に形成して発熱抵抗体層３の中央部
あと端部３ｂの抵抗値に差をもうけて、給電体層４の分
断部４ａの幅を広げたものが実用化されているが、ミア
ンダ発熱抵抗体層はパターン幅が大変狭くなるため、方
形の発熱抵抗体層に比べてはるかに製造歩留りが低下す
るという問題点を有していた。

従って本発明の目的とするところは、上述の従来問題点
を解消し、感熱記録媒体との接触性が良好で、効率の良
い熱伝導が行なえて、且つ長寿命で高印刷性を有するサ
ーマルヘッドを比較的製造の容易な手法で提供すること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、フォトリソ技術で形成した給電体層の分断部
を形成し酸化処理により発熱抵抗体層を高抵抗化した後
に、さらに２中トリソ技術により前記分断部を幅広にエ
ツチングすることによって；発熱抵抗体層の中央部を高
抵抗領域とし、給電体層に近接する部分を低抵抗領域と
したものであり前記酸化処理におけるマスクは給電体層
であることを特徴とする。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて説明す
る。第１図は本発明のサーマルヘッドの断面図であり、
第２図は同主要部平面図である。

絶縁性基板１１上に部分グレーズ層１２を設け、その上
にＴａ１Ｎからなる発熱抵抗体層１３およびアルミニウ
ムからなる給電体層１４を順に積層し、フォトリソ技術
によって、発熱抵抗体層１３の初期露出部１３ａが部分
グレーズ層１２の略頂面部上に位置するように給電体層
１４を分断する。そして、空気焼成炉を用いて発熱抵抗
体層の露出部１３ａの抵抗値が高い値になるよう焼成酸
化を行なった後、フォトリソ技術によって給電体層１４
の分断部１４ａの幅を広くすることによって、発熱抵抗
体層１３には中央部に高抵抗層１３ａと、給電体層１４
の間には低抵抗層１３ｂが形成されることになる。この
上にＳｉｎ。

からなる耐酸化層１５およびＴａ、Ｏ，からなる耐摩耗
層１６をスパッタして保護層１７としてサーマルヘッド
が形成される。このように本発明のサーマルヘッドの発
熱抵抗体層１３はその抵抗値の高い領域１３ａと、低い
領域１３ｂを精度よく形成されており、主たる発熱は酸
化処理を行った高抵抗領域１３ａに発生し、低抵抗領域
１３ｂは給電体層１４によってマスキングされているた
め未酸化であり発熱は少ないものとなる。このため給電
体層１４の分断部１４ａの幅を広げても実行発熱ドツト
サイズは同じで電力ロスも比較的少ないものとなる。そ
して給電体層の分断部１４ａが広くなったため、保護層
１７の凹部１７ａの幅も広がり発熱部は感熱記録媒体に
従来よりも圧接でき熱伝導が良好なものとなるので印刷
性が著しく改善される。また本発明の発熱抵抗体層１３
は従来と同様の方形であり、製造上の困難性はなく、工
程歩留りの高いものとできる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、本発明においては、フォトリ
ン技術により給電体層の分断部を形成して発熱抵抗体層
を露出し、酸化処理により該発熱抵抗体層の露出部を高
抵抗化した後、書度フォトリソ技術により前記給電体層
の分断部の幅を広げることによりサーマルヘッドを製造
したので、給電体層の分断部の幅が広く、かつ、発熱抵
抗体層の中央部が高抵抗領域、その両側が低抵抗領域と
なるため、感熱記録６体との圧接がよく電力ロスが少な
いという長所をもったサーマルヘッドが容易に製造でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は同主要部
平面図、第３図は従来例の断面図、第４図は同主要部平
面図である。 １１・・絶縁性基板 １２・・グレーズ層 １３・・・発熱抵抗体層 １３ａ・・・高抵抗領域 １３ｂ・・・低抵抗領域 １４・・・給電体層 １４ａ・・・分断部 １７・・・保護層 特許出願人　アルプス電気株式会社 第　１　図 半　２　図 第　３　図 ７＾

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 絶縁性基板上に断面が円孤状のグレーズ層を形成し、次
   に該グレーズ層上に発熱抵抗体層、給電体層の順に積層
   し、その次にフォトリソ技術により前記グレーズ層の頂
   面部上に前記給電体層の分断部を形成して前記発熱抵抗
   体層を露出し、さらに酸化処理により該発熱抵抗体層の
   露出部を高抵抗化した後再度フォトリソ技術により前記
   給電体層の分断部の幅を広げ、最後に前記発熱抵抗体層
   および給電体層上に保護層を形成したことを特徴とする
   サーマルヘッドの製造方法。