JPS62101243U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62101243U JPS62101243U JP19178485U JP19178485U JPS62101243U JP S62101243 U JPS62101243 U JP S62101243U JP 19178485 U JP19178485 U JP 19178485U JP 19178485 U JP19178485 U JP 19178485U JP S62101243 U JPS62101243 U JP S62101243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate electrode
- pair
- impurity regions
- memory device
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Static Random-Access Memory (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
第１図は本考案のメモリ装置の要部平面図、第
２図は第１図の―線断面図、第３図は第１図
の―線断面図である。第４図は従来のメモリ
装置の要部平面図、第５図は第４図の―線断
面図、第６図は第４図の―線断面図である。
また、第７図はメモリ装置の等価回路を示す図で
ある。 １…半導体基板、２…第１フイールド酸化膜、
３…第２フイールド酸化膜（絶縁膜）、４…フロ
ーテイングゲート電極、５…コントロールゲート
電極、６…ソース領域（不純物領域）、７…ドレ
イン領域（不純物領域）、９…チヤンネル形成領
域。
２図は第１図の―線断面図、第３図は第１図
の―線断面図である。第４図は従来のメモリ
装置の要部平面図、第５図は第４図の―線断
面図、第６図は第４図の―線断面図である。
また、第７図はメモリ装置の等価回路を示す図で
ある。 １…半導体基板、２…第１フイールド酸化膜、
３…第２フイールド酸化膜（絶縁膜）、４…フロ
ーテイングゲート電極、５…コントロールゲート
電極、６…ソース領域（不純物領域）、７…ドレ
イン領域（不純物領域）、９…チヤンネル形成領
域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板に形成した一対の不純物領域と、該
一対の不純物領域間上にそれぞれ絶縁膜を介して
形成されたフローテイングゲート電極及びコント
ロールゲート電極とからなるメモリ装置において
、 上記一対の不純物領域上に上記半導体基板とは
分離する絶縁膜を介して上記フローテイングゲー
ト電極と上記コントロールゲート電極が延在する
メモリ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19178485U JPS62101243U (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19178485U JPS62101243U (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101243U true JPS62101243U (ja) | 1987-06-27 |
Family
ID=31146248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19178485U Pending JPS62101243U (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62101243U (ja) |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP19178485U patent/JPS62101243U/ja active Pending