JPS6184518A - 位置検出用磁気センサ - Google Patents

位置検出用磁気センサ

Info

Publication number
JPS6184518A
JPS6184518A JP20634384A JP20634384A JPS6184518A JP S6184518 A JPS6184518 A JP S6184518A JP 20634384 A JP20634384 A JP 20634384A JP 20634384 A JP20634384 A JP 20634384A JP S6184518 A JPS6184518 A JP S6184518A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic sensor
magnetoresistive element
wiring
position detection
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20634384A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Kawamata
昭一 川又
Tadashi Takahashi
正 高橋
Kunio Miyashita
邦夫 宮下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP20634384A priority Critical patent/JPS6184518A/ja
Publication of JPS6184518A publication Critical patent/JPS6184518A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、位置検出装置に係り、特に、磁気センサに関
する。
〔発明の背景〕
位置検出装置に関する先行技術(特開昭54−1152
57 およびUSP−4039936)には、磁気セン
サを位置検出に利用することにより、精度向上が可能で
あることが開示されている。しかし、この技術は、磁気
センサの端子部および端子部までの配線に関する技術上
の問題については考慮されていない。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、位置検出用磁気センサに係り、特に、
磁気センサ基板上の電源端子および出力端子の数を最少
限とすると共に端子部の配線抵抗を小さく均一にして、
磁気センサの小形化を図ると共に、前記、電源端子およ
び出力端子までの配線を少なくする構造とし、さらに、
磁気抵抗効果素子部を電源配線で囲うようにして、対ノ
イズ性を向上させた磁気センサを提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、磁気抵抗効果素子を用いた位置検出用磁気セ
ンサにおいて、磁気センサを構成する複数個の磁気抵抗
効果素子を左右に2分割し、各々のグループの端子を共
通にして、正極及び負極の電源端子に配線すると共に磁
気抵抗効果素子部を囲うようにすることにより、磁気セ
ンサの小形化を可能とし、外来ノイズなどの対ノイズ性
を向上させた位置検出用磁気センサを得るように構成し
たことである。
〔発明の実施例〕
本発明に係る実施列を説明する前に、まず、本発明に係
るものの基本的な動作例を、第2図ないし第9図により
説明する。
第2図は、本発明に係る位置検出装置をモータに使用し
た場合の略本構成図である。第2図において、1はモー
タ、3は回転ドラムである。磁気信号を記録した磁性体
4を有する回転ドラム3は、モータシャフト2に固着さ
れている。5は、磁気抵抗効果素子Rで構成される磁気
センサであり、回転ドラム3に対向し、小さな間隙を介
して配置される。なお、6は磁気センサを固定する支持
台である。一方、位置検出装置の検出精度の向上から磁
気センサの高分解能化が必要とされる。この方法として
、磁気抵抗効果素子Rを少しずつ位相をずらして多相に
配置し、その出力を回路処理により波形合成して高分解
能化を図るものがある。
第3図は、第2図に示した回転ドラム3における磁性体
4と磁気センサの配置を示す拡大展開図であり、前述し
た高分解能を得るだめの磁気センサの基本構成図である
。すなわち、第3図は、4相の列で、m = 4であり
、磁気抵抗効果素子は記録波長(N極と8極の間隔)λ
に対してλ/8ずつ離して配置している。この磁気抵抗
効果素子Rap几−g R@ I Rdl am’ H
Rb’ g Re’およびR4′は、第3図に示す接続
図のように(m+1)組すなわち5組で、その抵抗変化
の位相を±π/m(272m)ずらして配置するも・の
である。
第4図は、第3図における磁気抵抗効果素子の接続図で
ある。すなわち、前記の各磁気抵抗効果素子を第4図の
ように各々3端子に接続し、各々の3端子の両端に電圧
Vt−加えて、その出力端から電圧e、、e、、e、、
e4およびe、/、2得ようとするものである。周昶の
ように、磁気抵抗効果素子は磁界に対して抵抗が変化す
る特性を有しておシ、第3図に示す磁性体(回転ドラム
)4が矢印方向に移動すると、各磁気抵抗効果素子は第
5図のように抵抗が変化する。なお1.第5図では、一
方の磁気抵抗効果素子部、′とR1の組は、他方のル、
と凡、′の組と同じように抵抗値が変化するのでR,、
’と1% 、の組は省略したものである。このように、
磁気抵抗効果素子R,とRa’による出力elを基準に
考えると、磁気抵抗効果素子RhとRrb’による出力
ebがλ/8位相が遅れ、順次e、、eaおよびe、/
のようにλ/8ずつ位相が遅れる。なお、第6図u、F
L、とR1’の組の3端子出力の電圧波形を示したもの
である。ここで、これらe、、e、、e、、e、および
e、′(第4図)の出力において、at +eb 、 
eb +e@ 、 as +e4およびea+ea’と
各出力を加えると各々λ/8位相がずれた4相出力が得
られる。
上記は、第7図に示すように、電圧比較器または、走勤
アンプなどの素子OF I”OP4に第4図の3端子出
力e、などの各出力を人力することで各アンプの出力に
第8図に示すようなm相すなわち4相の方形波出力が得
られるものである。そして、これらの出力E1〜Eaを
各々第7図に示すような排他的OR回路EO几1および
EORzを通して第9図に示すような、各々人相および
B相の2相出力を得るようにしたものである。この2相
出力AおよびBは、前述した出力E、〜Eaに比べ2倍
の出力パルスが得られ、2相間出力人。
B If4Jの位相が90°ずれた出力となるものでる
る。
従って、磁気抵抗効果素子の相!2mを過当に選択する
ことで2倍化、3倍化などの整数倍化が可能となるもの
である。しかし、相数mが増えると磁気センサ5の磁気
抵抗効果素子部の配置が複雑になり、また、磁気抵抗効
果素子部および、これらに至る配線も複雑になシ問題と
なる。第1図は、不発明の位置検出用磁気センサの一実
施例である。
ここで、第3図と同符号の部分は同等部分を示している
。磁気センサ5の同一基板上に整然と配置された磁気抵
抗効果素子部& I ELb’ g P!Je 1凡、
/。
几a’ I Ra’ HRb l 8% l几−および
几、の一端(下端)は、配、vjILt=LIoを介し
て、磁気センサの基板の一方向に配置される端子部T1
〜TlGに接続されている。また、前記、磁気抵抗効果
素子の他方の一端(上端)は、左右2つのグループ(グ
」えばルa’ I Ra 、 RaZ Ra’とR+a
’IRb+凡、′。
几d、几、)に分かれ、Rh’ g Ra p Ra’
 H几、′のグループは共通に配線Lpに、また、ル、
′、几す、几、′。
Ra、几、のグループは共通に配線LHに接続され、電
源端子部であるTpおよびTNに接続されている。
以上のような構成の磁気抵抗効果素子部、端子部Tl 
−T10 、Tp 、Tsおよび配線L+−Lto+L
p 、LNなどは、ガラス基板上に蒸着により作られる
場合が多く、前述の磁気抵抗効果素子Rと配線を同一材
料で行う場合もある。従って、配線L1〜L+oおよび
Lp 、Lsなどは、磁気抵抗効果素子&に比して充分
幅を広くできる配置として配線抵抗を減らしている。さ
らに、電源端子TpおよびTNへの配線については、各
グループの磁気抵抗効果素子Rを共通で使用するため、
充分広いスペース金とシ配腺抵抗を減らすと共に前記、
磁気抵抗効果素子部の周辺部の配線LpおよびLsを磁
気抵抗効果素子に近接させ、さらに磁気センサの全体面
積の10%以上の面積とすることにより、外来ノイズが
磁気抵抗効果素子部の内部に混入するのを防止している
このような構成の磁気センサにすると、電源端子がTp
とTNの最小数で済み、各グループに分けた磁気抵抗効
果素子の一端が共通に各々電源端子TpおよびTMへの
配線LpおよびLHに接続でき、出力端子数を最少数に
できる。また、各配線は交叉することなしに配置される
と共に、磁気抵抗効果素子部を電源配線LpおよびLs
で近接して囲うようにしているため、磁気セ/すを小形
にでき、外来ノイズが磁気抵抗効果素子に混入するのを
防止できる。さらに、各配線がお互いに交叉しないので
、磁気抵抗効果菓子間の相互干渉がなくなり耐ノイズ性
が向上する。
第10図は、本発明の他の実=m+を示すものであシ、
第1図と同一符号の部分は同等部分を示している。第1
0図において、第1図との相違点は′電源の配線Lpお
よびLNをできる限シ広くするため、電源端子Tpおよ
びTNを2個ずつ使用したことでろシ、第1図に比して
さらに電源の配線抵抗を小さくできる。このクリでは、
端子部を2個ずつ使用しているが、3個、4個と多くし
ても効果は期待できるが、形状については大きくなる。
第11図は、第1図に示した電源端子TpおよびTsを
2分割した2グループの磁気抵抗効果素子の中央部に配
置した例である。このような構成にすると、電源端子T
pおよびTNへの配1fliJ L pおよびLNが近
接して平行するため、電源からのノイズが磁気抵抗効果
素子に誘導されにくい効果が得られる。
以上の実施例では、位置検出装置をモータに取り付けた
回転体の例で示したが、第12図に示すような直線運動
的な移動体の位置検出用としても同等の効果を得ること
ができる。第12図において、7は、直線運動を行う移
動体であ)、表面には磁気信号を記録した磁性体4が装
着されてお先これに対向して磁気センサ5を配置してい
る。なお、磁気センサ5については、第1図、第10図
、第11図と同じである。また、本実施例では移動体7
を移動させる構成としたが、移動体7を固定して、磁気
センサ5を移動させても良い。
〔発明の効果〕
前述した本発明によれば、磁気センサの電源端子を、最
少数で各磁気抵抗効果素子を共通に使用する配置として
おシ、また、正極2よび負極の電源端子までの配線を広
くして、各磁気抵抗効果素子の周辺に近接して配置する
構成としているため、′IA源端子と磁気センサの出力
端子が交叉することなしに、構成できるので、外米ノイ
ズが磁気抵抗効果素子に混入するのを防止できる幼果が
める。
これらに加えて、磁気抵抗効果素子と出力端子間の配線
を広くして、配線抵抗を小さくする構成としているので
、磁気抵抗効果素子の抵抗変化率が配線抵抗で低下する
のを防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実Nし0構成を示す磁気センサ部の
平面図、第2図は、本発明を実施した位置検出用磁気セ
ンサ付モータの略本wt成図、第3図は位置検出用磁気
センサの拡大展開図、第4図は磁気センサの結線図、第
5図〜第9図は本発明に係るものの基本動作説明図、第
10図〜第11図は他の実施例、第12図は直線運動す
る移動体に本発明を実施した例である。。 1・・・モータ、2・・・モータシャフト、3・・・回
転ドラム、4・・・磁性体、5・・・磁気センサ、6・
・・支持台、7・・・移動体、R・・・磁気抵抗効果素
子、T1〜’I’t。 ・・・磁気センサの出力端子、L1〜Lto・・・磁気
抵抗効果素子と出力端子間の配線、Tp、Tw・・パ電
源端子、Lp 、Lw・・・磁気抵抗効果素子と電源端
子秀7m 舒lIJ 署2M ゛B

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、移動体の移動部又は、固定部に取り付けられ、表面
    に、磁気信号を記録した磁性体を有する磁気信号源とこ
    れに対向した固定部又は、移動部に配置する磁気抵抗効
    果素子を設けた磁気センサにより構成し、前記、移動体
    の移動位置を、前記、磁気センサの抵抗変化として取り
    出す位置検出装置で、磁気センサに設けられる磁気抵抗
    効果素子を同一基板上に複数個構成し、前記、磁気抵抗
    効果素子の出力端子を磁気センサの一方向から取り出す
    ようにした磁気センサにおいて、前記、複数個の磁気抵
    抗効果素子の一端は、磁気抵抗効果素子を左右に2分割
    する中心部より、各々、磁気抵抗効果素子から遠ざける
    方向に配線を引き出し、さらに磁気抵抗効果素子の長手
    方向に引き出して磁気センサの出力端子に配線され、他
    方の一端は、前記、複数個の磁気抵抗効果素子を左右に
    2分割するように分け、各々は、磁気センサの基板上に
    構成されて、磁気抵抗効果素子に電源を供給するための
    電極である正極および負極の電源端子までの配線を共通
    にすると共に磁気抵抗効果素子に近接して囲うように配
    線したことを特徴とする位置検出用磁気センサ。 2、前記特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、前
    記、正極および負極の電源端子を、前記、磁気センサの
    出力端子より各々、最外側に配置したことを特徴とする
    位置検出用磁気センサ。 3、前記特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、前
    記、2分割に分けた磁気センサの各々の出力端子を、前
    記、正極および負極の電源端子より外側に配置したこと
    を特徴とする位置検出用磁気センサ。 4、前記特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、m
    ≧4の偶数、n=整数として、磁気信号の記録ピッチ、
    すなわち、N極とS極の間隔をλ=2πとした場合、磁
    気センサの構成を(n±1/m)πとなるように2(m
    +1)個の磁気抵抗効果素子を配置し、この2(m+1
    )個の磁気抵抗効果素子を左右に2分割するように分け
    、各々、前記、正極および負極の電源端子までの配線を
    共通にしたことを特徴とする位置検出用磁気センサ。 5、前記特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、正
    極および負極の配線面積を磁気センサ面積の10%以上
    としたことを特徴とする位置検出用磁気センサ。
JP20634384A 1984-10-03 1984-10-03 位置検出用磁気センサ Pending JPS6184518A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20634384A JPS6184518A (ja) 1984-10-03 1984-10-03 位置検出用磁気センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20634384A JPS6184518A (ja) 1984-10-03 1984-10-03 位置検出用磁気センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6184518A true JPS6184518A (ja) 1986-04-30

Family

ID=16521726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20634384A Pending JPS6184518A (ja) 1984-10-03 1984-10-03 位置検出用磁気センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6184518A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56115912A (en) * 1980-02-18 1981-09-11 Hitachi Ltd Magnetic head for detecting movement
JPS59105503A (ja) * 1982-12-09 1984-06-18 Fanuc Ltd 磁気パルスエンコーダ用の磁気抵抗効果素子が装着された回路板

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56115912A (en) * 1980-02-18 1981-09-11 Hitachi Ltd Magnetic head for detecting movement
JPS59105503A (ja) * 1982-12-09 1984-06-18 Fanuc Ltd 磁気パルスエンコーダ用の磁気抵抗効果素子が装着された回路板

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4429276A (en) Magnetoresistive displacement sensor and signal reprocessing circuits therefor
US4480248A (en) Temperature and aging compensated magnetoresistive differential potentiometer
US4594548A (en) Multi phase magnetic sensor apparatus for detecting the position of moving member
US4403187A (en) Magnetic head for sensing the position of a moving member
CN107533113B (zh) 具有增加的snr的磁场传感器
EP3309572B1 (en) Interdigitated single axis magnetoresistive magnetic field sensor
JPS6283619A (ja) 磁気的に位置を検出する装置
US3949346A (en) Magnetoresistive element
JP2016090243A (ja) 磁気式位置検出装置
JPS6184518A (ja) 位置検出用磁気センサ
JP3549076B2 (ja) 磁気抵抗素子装置
JPH04282417A (ja) 磁気センサ
JPH0477246B2 (ja)
JPS6363050B2 (ja)
JPS6184504A (ja) 位置検出装置の磁気センサ
JP2021177164A (ja) 磁気式エンコーダ
JPH0448175B2 (ja)
JPS63311117A (ja) 位置検出用磁気センサ
JPS5835414A (ja) 磁気式エンコ−ダ
JPH0330089B2 (ja)
JP3016468B2 (ja) 磁電変換装置
JPH11271094A (ja) Mrセンサ
JPH02210218A (ja) 磁気エンコーダ
JPH02231586A (ja) 磁気センサ
CN114371430A (zh) 一种梯度磁场检测芯片及磁场检测结构