JPS6283619A - 磁気的に位置を検出する装置 - Google Patents
磁気的に位置を検出する装置Info
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- JPS6283619A JPS6283619A JP60223567A JP22356785A JPS6283619A JP S6283619 A JPS6283619 A JP S6283619A JP 60223567 A JP60223567 A JP 60223567A JP 22356785 A JP22356785 A JP 22356785A JP S6283619 A JPS6283619 A JP S6283619A
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/285—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding of the unit Hamming distance type, e.g. Gray code
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、位置検出装置に係り、特に磁気センサを用い
た絶対位置検出に好適な位置検出装置に関する。
た絶対位置検出に好適な位置検出装置に関する。
我々は、先に磁気抵抗効果素子をもつ磁気センサによっ
て絶対位置を検出する装置として、特開昭５９−１０８
１９３号公報記載のものを提案している。
て絶対位置を検出する装置として、特開昭５９−１０８
１９３号公報記載のものを提案している。
これには、回位磁石を複数個配置して各トラック間の磁
気干渉を除去するものが開示されている。
気干渉を除去するものが開示されている。
しかし、これには、磁気センサのパターン形状の詳細に
ついては記載されていない。
ついては記載されていない。
本発明の目的は、位置検出磁気センサに係り特に、磁気
センサ基板上の電源端子および出力端子の数を最小限と
して、磁気センサの小形化を図ると共に、前記、電源端
子および出力端子までの配線を少なくする構造として対
ノイズ性を向上させた磁気的に位置を検出する装置を提
供することにある。
センサ基板上の電源端子および出力端子の数を最小限と
して、磁気センサの小形化を図ると共に、前記、電源端
子および出力端子までの配線を少なくする構造として対
ノイズ性を向上させた磁気的に位置を検出する装置を提
供することにある。
本発明は複数個の磁気抵抗効果素子を一直線上に配置し
、各々、直列接続し各接続点を交互に電源端子および３
端子の出力端子として、磁気センサの一方向に配置した
端子部まで配線することにより、磁気センサの端子数を
減らし小形化を可能にした磁気的に位置を検出する装置
にある。
、各々、直列接続し各接続点を交互に電源端子および３
端子の出力端子として、磁気センサの一方向に配置した
端子部まで配線することにより、磁気センサの端子数を
減らし小形化を可能にした磁気的に位置を検出する装置
にある。
本発明に係る実施例を説明する前に、まず、本発明に係
るものの基板的な動作例を第１図〜第６図により説明す
る。
るものの基板的な動作例を第１図〜第６図により説明す
る。
第１図は、本発明に係る位置検出磁気センサの略示構成
図である。第１図において、１はシャフト、２は回転ド
ラムである。表面に磁性体４を有した回転ドラム２はシ
ャフト１に固着されている。
図である。第１図において、１はシャフト、２は回転ド
ラムである。表面に磁性体４を有した回転ドラム２はシ
ャフト１に固着されている。
この例では、４ビツトのグレーコードをもつ絶対位置形
（アブソリュート）磁気センサであり、磁性体４は、４
つのチャネルＭ ｏ ＝ Ｍ ｓに分けられ３０このチ
ャネルＭ２〜Ｍ８に対向して磁気抵抗効果素子Ｒを配置
した磁気センサ３がある。チャネルＭ ｏ ” Ｍ ｓ
と磁気センサ３は、第２図に示す展開図のように配置す
る。すなわち、磁性体４は、Ｍｏ〜Ｍ８の４つのチャネ
ルに分けてあり、各チャネルＭｏ＝Ｍδは、各々２つの
磁気トラックで構成されている。各チャネルＭ ｏ ”
Ｍ ａは、図示のようにＮ−８を矢印で示したように
最小記録波入で記録しである。同一チャネルの２つの磁
気トラックは互いに記＠信号がないところは信号を記録
し、記録信号があるところは記録していない。各チャネ
ルの記録信号はＭｏでは最小記録波長λが２個連続して
記録され、２個分が記録されないでまた２個が記録され
ている。次のＭｌでは、４個連続して記録され４個分が
記録されていない。次のＭｚでは、８個連続して記録さ
れ、８個分が記録されていない。次のＭ３では、Ｍｘと
同じ間隔であるが、位相がＭｚと違っている。
（アブソリュート）磁気センサであり、磁性体４は、４
つのチャネルＭ ｏ ＝ Ｍ ｓに分けられ３０このチ
ャネルＭ２〜Ｍ８に対向して磁気抵抗効果素子Ｒを配置
した磁気センサ３がある。チャネルＭ ｏ ” Ｍ ｓ
と磁気センサ３は、第２図に示す展開図のように配置す
る。すなわち、磁性体４は、Ｍｏ〜Ｍ８の４つのチャネ
ルに分けてあり、各チャネルＭｏ＝Ｍδは、各々２つの
磁気トラックで構成されている。各チャネルＭ ｏ ”
Ｍ ａは、図示のようにＮ−８を矢印で示したように
最小記録波入で記録しである。同一チャネルの２つの磁
気トラックは互いに記＠信号がないところは信号を記録
し、記録信号があるところは記録していない。各チャネ
ルの記録信号はＭｏでは最小記録波長λが２個連続して
記録され、２個分が記録されないでまた２個が記録され
ている。次のＭｌでは、４個連続して記録され４個分が
記録されていない。次のＭｚでは、８個連続して記録さ
れ、８個分が記録されていない。次のＭ３では、Ｍｘと
同じ間隔であるが、位相がＭｚと違っている。
これに対向して、磁気センサ３は、各チャネルＶｉｏ
−Ｍ ａごとに磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜ＲｏａｐＲｔ
ｔ〜Ｒｘ４＋ Ｒｚｉ〜ＲｚａおよびＲｓｔ〜Ｒａａが
図示のような配置となっている。すなわち、Ｒｏ １゜
ＲＯＭ１ Ｒ１１１Ｒｚｓ、 Ｒｚｚ＋ Ｒ２５ｙ Ｒ
３１およびＲａｇは、−直線上に並べてあり、Ｒｏｗｓ
Ｒｏａｒ ＲｔｚｙＲ１４ツＲｚｚ＋ Ｒｚａ、 Ｒ
ｓｚおよびＲＡ４に対してλ／２ずらして配置する。こ
のような配置で磁性体４を矢印の方向に移動すると、各
磁気抵抗効果素子Ｒｏｚ〜Ｒ３４の抵抗変化は第３図の
ように変化する。そこで各磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜Ｒ
１１４を各チャネルごとに第４図のようなブリッジ構成
し、電源電圧Ｖを印加すると第４図に示す３端子出力ａ
ｏとｂｏ間の電圧ｅｏ、ａ１．ｂｔ間の電圧ｅ１゜Ｒ２
とｂ２間の電圧ｅｚおよびａｓとｂδ間の電圧ｅ８は、
第５図に示すようになる。この出力電圧ｅ。
−Ｍ ａごとに磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜ＲｏａｐＲｔ
ｔ〜Ｒｘ４＋ Ｒｚｉ〜ＲｚａおよびＲｓｔ〜Ｒａａが
図示のような配置となっている。すなわち、Ｒｏ １゜
ＲＯＭ１ Ｒ１１１Ｒｚｓ、 Ｒｚｚ＋ Ｒ２５ｙ Ｒ
３１およびＲａｇは、−直線上に並べてあり、Ｒｏｗｓ
Ｒｏａｒ ＲｔｚｙＲ１４ツＲｚｚ＋ Ｒｚａ、 Ｒ
ｓｚおよびＲＡ４に対してλ／２ずらして配置する。こ
のような配置で磁性体４を矢印の方向に移動すると、各
磁気抵抗効果素子Ｒｏｚ〜Ｒ３４の抵抗変化は第３図の
ように変化する。そこで各磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜Ｒ
１１４を各チャネルごとに第４図のようなブリッジ構成
し、電源電圧Ｖを印加すると第４図に示す３端子出力ａ
ｏとｂｏ間の電圧ｅｏ、ａ１．ｂｔ間の電圧ｅ１゜Ｒ２
とｂ２間の電圧ｅｚおよびａｓとｂδ間の電圧ｅ８は、
第５図に示すようになる。この出力電圧ｅ。
〜ｅ３をアンプ又は電圧コンパレータ等により波形整形
してやると第６図のＥｏ−Ｅｓのようになる。
してやると第６図のＥｏ−Ｅｓのようになる。
Ｅｏ＝Ｅｇは、４ビツトのグレーコードの出力であり、
１６等分の絶対位置を検出することができる。
１６等分の絶対位置を検出することができる。
以上では、４ビツトの例で示したが、ビット数を増加し
ても同様の動作をする。また、各チャネルの記録信号の
配置はバイナリイーコードとしても効果は変らない０以
上のように、磁気抵抗効果素子の数が多いと、これらの
出力の取り出しや、磁気抵抗効果素子の数が多いと、磁
気抵抗効果素子に電源を供給するための電極の配置およ
び磁気センサの端子部までの電極の配置および磁気セン
サの端子部までの配線等が問題となる。
ても同様の動作をする。また、各チャネルの記録信号の
配置はバイナリイーコードとしても効果は変らない０以
上のように、磁気抵抗効果素子の数が多いと、これらの
出力の取り出しや、磁気抵抗効果素子の数が多いと、磁
気抵抗効果素子に電源を供給するための電極の配置およ
び磁気センサの端子部までの電極の配置および磁気セン
サの端子部までの配線等が問題となる。
第７図は、本発明の位置検出磁気センサーの実施例であ
る。ここで、第２図と同符号の部分は同作用のものであ
る。磁気センサ３基板上に配置された磁気抵抗効果素子
Ｒｏｚ〜Ｒａｔは、第１層配線Ｌｘ〜Ｌ３を介して、磁
気センサ３の基板の一方向に配置された端子部Ｔ１〜Ｔ
８に接続されている。
る。ここで、第２図と同符号の部分は同作用のものであ
る。磁気センサ３基板上に配置された磁気抵抗効果素子
Ｒｏｚ〜Ｒａｔは、第１層配線Ｌｘ〜Ｌ３を介して、磁
気センサ３の基板の一方向に配置された端子部Ｔ１〜Ｔ
８に接続されている。
すなわち、磁気抵抗効果素子ＲＯ１〜１Ｒ３ａの出力の
取り出しは、例えば、最上位ビット（最下位ビット）を
構成するＲａｔｅ、 Ｒｏｔ、 ＲｏａおよびＲｏａで
は。
取り出しは、例えば、最上位ビット（最下位ビット）を
構成するＲａｔｅ、 Ｒｏｔ、 ＲｏａおよびＲｏａで
は。
Ｒｏ １とＲｏ ｓの一端の接続点を３端子出力として
取り出し第１層配線Ｌ１により端子部Ｔｌに接続される
。また、ＲＯ２とＲｏｃの一端の接続点を３端子出力と
して取り出し第１層配線し８により端子部Ｔ８に接続さ
れる。この端子部ＴｌとＴ８は第４図に示したａＱとｂ
ｏに相当している。同様に次のビットはＲ１１とＲｔａ
の接続点を第１層配ａＬｘより端子部Ｔ２に接続し、Ｒ
１２とＲ１４の接続点を第１層配線Ｌ７により端子部Ｔ
７に接続する。次のビットは、Ｒ１４とＲｚｓの接続点
を第１層配線Ｌ８により端子部Ｔ８に接続し、Ｒ２２と
Ｒｚａの接続点を第１層配線Ｌｓにより端子部Ｔ８に接
続する。最下位ビット（最上位ビット）は、Ｒａｚ？Ｒ
δ３の接続点を第１層配線Ｌ４により端子部Ｔ４に接続
し、Ｒ８４とＲａａの接続点を第１層配線Ｌ１１により
端子部Ｔ８に接続される。また、第１層配線孔９〜Ｌ１
δは、磁気抵抗効果素子Ｒｏ１〜Ｒ１１４に電源を供給
するための電極とのコンタクト用引き出し配線であり１
例えばパーマロイ等の材料でＬｌ〜Ｌ６と同時に配置さ
れる。この第１層配線の上には、例えばＳｉＯ２゜（酸
化シリコン）等の絶縁材料が配置される。
取り出し第１層配線Ｌ１により端子部Ｔｌに接続される
。また、ＲＯ２とＲｏｃの一端の接続点を３端子出力と
して取り出し第１層配線し８により端子部Ｔ８に接続さ
れる。この端子部ＴｌとＴ８は第４図に示したａＱとｂ
ｏに相当している。同様に次のビットはＲ１１とＲｔａ
の接続点を第１層配ａＬｘより端子部Ｔ２に接続し、Ｒ
１２とＲ１４の接続点を第１層配線Ｌ７により端子部Ｔ
７に接続する。次のビットは、Ｒ１４とＲｚｓの接続点
を第１層配線Ｌ８により端子部Ｔ８に接続し、Ｒ２２と
Ｒｚａの接続点を第１層配線Ｌｓにより端子部Ｔ８に接
続する。最下位ビット（最上位ビット）は、Ｒａｚ？Ｒ
δ３の接続点を第１層配線Ｌ４により端子部Ｔ４に接続
し、Ｒ８４とＲａａの接続点を第１層配線Ｌ１１により
端子部Ｔ８に接続される。また、第１層配線孔９〜Ｌ１
δは、磁気抵抗効果素子Ｒｏ１〜Ｒ１１４に電源を供給
するための電極とのコンタクト用引き出し配線であり１
例えばパーマロイ等の材料でＬｌ〜Ｌ６と同時に配置さ
れる。この第１層配線の上には、例えばＳｉＯ２゜（酸
化シリコン）等の絶縁材料が配置される。
ＣＩ ” Ｃｔ ｏ部は、第２層配線である電極ＬＮ。
ＬＰとのコンタクトをとるため絶縁物が取り除かれる。
この絶縁物の上には、例えばクロム等の導電材料である
電極ＬＮ、Ｌｐが配置される。電極ＬＰ、ＬＮは、第１
列目の磁気抵抗効果素子ＲＯＩ。
電極ＬＮ、Ｌｐが配置される。電極ＬＰ、ＬＮは、第１
列目の磁気抵抗効果素子ＲＯＩ。
ＲＯＭ、 Ｒ１１，、Ｒｔｓ、 Ｒ２１，Ｒｚａ＋ Ｒ
ａｔおよびＲｓｓと第２列目の磁気抵抗効果素子ＲＯ２
，ＲＯ４１Ｒｚｚ。
ａｔおよびＲｓｓと第２列目の磁気抵抗効果素子ＲＯ２
，ＲＯ４１Ｒｚｚ。
Ｒ１４，Ｒｚｚ＊ Ｒ２４１ＲｓｚおよびＲａｔに供給
する電源を各々共通となるように磁気抵抗効果素子ＲＯ
ｆ〜Ｒ１１４の左右に１対づつ配置されている。最内側
の電極ＬＮは、Ｒａｇ、 Ｒｓｔと端子部ＴＮとの間Ｔ
ｃで共通になっている。この場合、Ｔｐは正極（負極）
、Ｔ１１は負極（正極）の電圧Ｖが印加され、コンタク
ト部０１〜ＣＩＯにより各々第１層配線Ｌ９〜Ｌｚｇと
電気的に導通状態となり、磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜Ｒ
ｓ４に電源が供給される。以上の例では、第１層を出力
配線Ｌ１〜Ｌ８および引き出し配線Ｌｓ〜Ｌｚｓ とし
、第２層を電極ＬＰ、ＬＮとしたが。
する電源を各々共通となるように磁気抵抗効果素子ＲＯ
ｆ〜Ｒ１１４の左右に１対づつ配置されている。最内側
の電極ＬＮは、Ｒａｇ、 Ｒｓｔと端子部ＴＮとの間Ｔ
ｃで共通になっている。この場合、Ｔｐは正極（負極）
、Ｔ１１は負極（正極）の電圧Ｖが印加され、コンタク
ト部０１〜ＣＩＯにより各々第１層配線Ｌ９〜Ｌｚｇと
電気的に導通状態となり、磁気抵抗効果素子Ｒｏｔ〜Ｒ
ｓ４に電源が供給される。以上の例では、第１層を出力
配線Ｌ１〜Ｌ８および引き出し配線Ｌｓ〜Ｌｚｓ とし
、第２層を電極ＬＰ、ＬＮとしたが。
これは、第１層と第２層を逆にも効果は同じである。ま
た、第１層と第２層の配線は例えばパーマロイ等の同一
材料としても良い。
た、第１層と第２層の配線は例えばパーマロイ等の同一
材料としても良い。
このような、構成の磁気センサにすると、電源端子及び
出力端子が最小数で済み磁気センサの小形化が出来る。
出力端子が最小数で済み磁気センサの小形化が出来る。
さらに、出力配線が交叉しないので、素子間の相互干渉
がなくなり耐ノイズ性が向上する。
がなくなり耐ノイズ性が向上する。
第８図は、本発明の他の実施例を示すものであり、磁気
抵抗素子ＲＯ１”Ｒ１１４とこれに電源を供給するため
の電極Ｔｐ、Ｔｎについてのみ示した。ここで、第７図
と同一符号の部分は、同等部分を示している。第８図に
おいて、第７図との相違点は、電極Ｌｐ、ＬＮをできる
限り広くするため、電源端子Ｔ ｐ ” Ｔ Ｎを各々
２個づつ使用したことであり、第７図に比して、電極の
配線抵抗を小さくできる。
抵抗素子ＲＯ１”Ｒ１１４とこれに電源を供給するため
の電極Ｔｐ、Ｔｎについてのみ示した。ここで、第７図
と同一符号の部分は、同等部分を示している。第８図に
おいて、第７図との相違点は、電極Ｌｐ、ＬＮをできる
限り広くするため、電源端子Ｔ ｐ ” Ｔ Ｎを各々
２個づつ使用したことであり、第７図に比して、電極の
配線抵抗を小さくできる。
この例では、端子部を２個づつ使用したが、３個４個と
多くしても効果は期待できるが、形状については大きく
なる。
多くしても効果は期待できるが、形状については大きく
なる。
第９図は、第７図に示した電源端子Ｔ ｐ 、 Ｔ Ｎ
の配置を正極’ｒｐ（負極Ｔ Ｎ ）と負極ＴＮ（正極
Ｔｐ）を交互に設置した例である。このような構成にす
ると、ＴＰ、ＴＮが自然に配置されるので、電圧を印加
する際に誤配線をなくする効果が得られる。
の配置を正極’ｒｐ（負極Ｔ Ｎ ）と負極ＴＮ（正極
Ｔｐ）を交互に設置した例である。このような構成にす
ると、ＴＰ、ＴＮが自然に配置されるので、電圧を印加
する際に誤配線をなくする効果が得られる。
第１０図は、第７図に示した電極Ｔ ｐ 、 Ｔ Ｎを
磁気センサ出力端子Ｔｉ〜Ｔ６の各々外側に配置した例
である。このような構成にすると、電極Ｔ ｐ 。
磁気センサ出力端子Ｔｉ〜Ｔ６の各々外側に配置した例
である。このような構成にすると、電極Ｔ ｐ 。
Ｔ Ｎ、が磁気センサの最外側となるため、出力配線Ｌ
ｚ〜Ｌδおよび端子Ｔ１〜Ｔ６に混入する外来ノイズを
防止できる効果が得られる。
ｚ〜Ｌδおよび端子Ｔ１〜Ｔ６に混入する外来ノイズを
防止できる効果が得られる。
以上の実施例では、位置検出装置を回転ドラ１１の例で
示したが、直線運動的な移動体の位置検出用としても同
等の効果を得ることができる。また。
示したが、直線運動的な移動体の位置検出用としても同
等の効果を得ることができる。また。
本実施例では磁気抵抗効果素子を２列１直線に配置した
が、第１１図に示すように磁気ドラムのチャネル配置に
応じ任意のセンサ（例えばＲＯＩ。
が、第１１図に示すように磁気ドラムのチャネル配置に
応じ任意のセンサ（例えばＲＯＩ。
Ｒｏｚ、 Ｒｏｓ、 Ｒｏａのように）をｎだけずらし
て配置しても良い。
て配置しても良い。
尚第１２図に示すように、磁気抵抗効果素子Ｒｏｚ〜Ｒ
３４の出力配線Ｌ １ ” Ｌ ｓを、磁気センサの長
手方向中心より上下に２分割して磁気センサの両端部に
配置した端子Ｔ１〜Ｔ８に各々配線してもよい。この様
に構成すると、磁気センサの幅を狭くすることができる
ので小形化が図れる。
３４の出力配線Ｌ １ ” Ｌ ｓを、磁気センサの長
手方向中心より上下に２分割して磁気センサの両端部に
配置した端子Ｔ１〜Ｔ８に各々配線してもよい。この様
に構成すると、磁気センサの幅を狭くすることができる
ので小形化が図れる。
・〔発明の効果〕
本発明によれば、第１列および第２列の磁気抵抗効果素
子に電源を提供する正極および負極の電極を各々共通と
しており、また、出力配線（端子）も最小数としており
、小形軽量の装置を提案することができる。
子に電源を提供する正極および負極の電極を各々共通と
しており、また、出力配線（端子）も最小数としており
、小形軽量の装置を提案することができる。
第１図は本発明を実施した磁気的に位置を検出する装置
の略示構成図、第２図は第１図の展開図、第３図は磁気
センサの出力波形、第４図は磁気センサの結線図、第５
図は磁気センサのブリッジ出力波形、第６図は波形整形
後の出力波形、第７図は本発明で採用した位置検出用磁
気センサの構成図、第８図ないし第１２図は、他の実施
例を示すものである。 １・・・シャフト、２・・・回転ドラム、３・・・磁気
センサ、４・・・磁性体、Ｒ，Ｒｏ１〜Ｒｓａ・・・磁
気抵抗効果素子、Ｍ ｏ ＝ Ｍ ａ−チャネル、ａ
ｏ〜ａ ｓ 、 ｂ ｏ〜ｂ ｓ−センサの３端子出力
、ｅＯ〜ｅ８・・・センサのブリッジ出力、Ｅｏ”Ｅｓ
・・・センサ出力、ＴＪ１〜Ｌ♂・・・磁気抵抗効果素
子と端子間の配線、ＬＱ”ＬＬｌｌ・・・磁気抵抗効果
素子と電極間の配線、Ｌｐ、ＬＮ・・・電極、Ｔ１〜Ｔ
ｓ・・・磁気センサの出力端子、ＴＰ、ＴＮ・・・電源
端子、Ｃ１〜Ｃｓｏ・・・電極とＬ９〜Ｌ１ｇとのコン
タクト部。
の略示構成図、第２図は第１図の展開図、第３図は磁気
センサの出力波形、第４図は磁気センサの結線図、第５
図は磁気センサのブリッジ出力波形、第６図は波形整形
後の出力波形、第７図は本発明で採用した位置検出用磁
気センサの構成図、第８図ないし第１２図は、他の実施
例を示すものである。 １・・・シャフト、２・・・回転ドラム、３・・・磁気
センサ、４・・・磁性体、Ｒ，Ｒｏ１〜Ｒｓａ・・・磁
気抵抗効果素子、Ｍ ｏ ＝ Ｍ ａ−チャネル、ａ
ｏ〜ａ ｓ 、 ｂ ｏ〜ｂ ｓ−センサの３端子出力
、ｅＯ〜ｅ８・・・センサのブリッジ出力、Ｅｏ”Ｅｓ
・・・センサ出力、ＴＪ１〜Ｌ♂・・・磁気抵抗効果素
子と端子間の配線、ＬＱ”ＬＬｌｌ・・・磁気抵抗効果
素子と電極間の配線、Ｌｐ、ＬＮ・・・電極、Ｔ１〜Ｔ
ｓ・・・磁気センサの出力端子、ＴＰ、ＴＮ・・・電源
端子、Ｃ１〜Ｃｓｏ・・・電極とＬ９〜Ｌ１ｇとのコン
タクト部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、移動体とこれに微小間隙をもつて対向する固体のい
ずれか一方の表面に設けられ、かつ移動方向に磁気信号
を記録した磁気トラックをもつ複数のチャネルと、前記
移動体あるいは固定体の他方に配置し、かつ磁気抵抗効
果素子と有する磁気センサを設備し、前記移動体の位置
を、前記磁気抵抗効果素子の抵抗変化として取出して検
出するものにおいて、 前記チャネルの少なくとも１つは位相をずらして磁気記
録した少なくとも２つの磁気トラックで構成され、これ
らの磁気トラックに記録された磁気信号を検出する少く
とも２個の磁気抵抗効果素子を前記移動方向と交叉する
方向に並べて配すると共に、これらの磁気抵抗効果素子
は前記チャネルの中心側で上下接続し、かつこの接続部
を電源端子あるいは出力端子として引出したことを特徴
とする磁気的に位置を検出する装置。 ２、前記特許請求の範囲第１項記載において、前記、複
数個の磁気抵抗効果素子を奇数ビットと偶数ビットら分
け、第１列目における奇数ビットの磁気抵抗効果素子は
、上側を正極（負極）、下側を負極（正極）に接続し、
偶数ビットの磁気抵抗効果素子は、上側を負極（正極）
、下側を正極（負極）に接続し、さらに、第２列目にお
ける奇数ビットの磁気抵抗効果素子は、上側を負極（正
極）、下側を正極（負極）に接続し、偶数ビットの磁気
抵抗効果素子は、上側を正極（負極）、下側を負極（正
極）に接続して、各ビットの磁気抵抗効果素子は、上下
直列接続し、その接続点を検出端子として磁気センサの
出力端子部に配線されることを特徴とする磁気的に位置
を検出する装置。 ３、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、前
記、磁気抵抗効果素子に電源を供給するための電源であ
る正極および負極の電源端子部を磁気センサの出力端子
部より各々、最内側に配置したことを特徴とする磁気的
に位置を検出する装置。 ４、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、前
記、磁気抵抗効果素子に電源を供給するための電極であ
る正極および負極の電源端子部を磁気センサの出力端子
部より各々、最外側に配置したことを特徴とする磁気的
に位置を検出する装置。 ５、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、磁
気抵抗効果素子を同一基板上に複数個長手方向に並ぶよ
うに配置し、前記、磁気抵抗効果素子の出力端子を磁気
センサの一方向から取り出すようにし、磁気センサの出
力配線を出力端子部より、遠い所のビットが外側となる
ように磁気センサの出力端子まで配線することを特徴と
する磁気的に位置を検出する装置。 ６、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、磁
気信号に感応する磁気抵抗効果素子と前記、磁気抵抗効
果素子に電源を供給するための正極および負極の電極を
有し、前記、電源の配線材料を前記、磁気抵抗素子の出
力配線材料とを別材料にしたことを特徴とする磁気的に
位置を検出する装置。 ７、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、磁
気抵抗効果素子に電源を供給するための正極および負極
の配線Ｌ＿Ｐ、Ｌ＿Ｎと磁気抵抗効果素子の出力配線と
を絶縁物を介して分離することを特徴とする磁気的に位
置を検出する装置。 ８、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、第
１列および第２列の磁気抵抗効果素子に電源を供給する
ための電源配線Ｌ＿Ｎ、Ｌ＿Ｐ各々共通にすることを特
徴とする磁気的に位置を検出する装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60223567A JPH0638047B2 (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 磁気的に位置を検出する装置 |
| EP86113925A EP0218242A3 (en) | 1985-10-09 | 1986-10-08 | An apparatus for magnetically detecting the position of a body |
| US06/916,699 US4786870A (en) | 1985-10-09 | 1986-10-08 | Magnetic sensor for magnetically detecting the position of a movable body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60223567A JPH0638047B2 (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 磁気的に位置を検出する装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283619A true JPS6283619A (ja) | 1987-04-17 |
| JPH0638047B2 JPH0638047B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=16800182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60223567A Expired - Lifetime JPH0638047B2 (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | 磁気的に位置を検出する装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4786870A (ja) |
| EP (1) | EP0218242A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0638047B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05231880A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-09-07 | Japan Servo Co Ltd | アブソリュートエンコーダ |
| US5430373A (en) * | 1992-02-13 | 1995-07-04 | Japan Servo Co., Ltd. | Absolute encoder |
| JP2003503696A (ja) * | 1999-06-24 | 2003-01-28 | エス．エヌ．エール．ルールマン | ホールバーを備えたトルクセンサ |
| JP2005022401A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Fujikoo:Kk | 非粘着性のフェルト材とその製造法 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4860432A (en) * | 1986-09-02 | 1989-08-29 | Alps Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing a magnetoresistive sensor |
| JP2501227B2 (ja) * | 1988-05-30 | 1996-05-29 | ファナック株式会社 | 絶対位置エンコ―ダ |
| JPH0238922A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Fanuc Ltd | 磁気式絶対位置エンコーダ |
| JPH02271216A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Hitachi Metals Ltd | 磁気式エンコーダ |
| JP2787783B2 (ja) * | 1990-06-08 | 1998-08-20 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | 位置検出装置 |
| US5293125A (en) * | 1992-01-17 | 1994-03-08 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Self-aligning tachometer with interchangeable elements for different resolution outputs |
| US5336994A (en) * | 1992-11-20 | 1994-08-09 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Magneto-resistive tachometer assembly with reversible cover and related method |
| US5444370A (en) * | 1993-03-18 | 1995-08-22 | Honeywell Inc. | Magnetic angular position sensor with two magnetically sensitive components arranged proximate two target tracks having complimentary magnetic and nonmagnetic segments |
| US5495758A (en) * | 1993-06-17 | 1996-03-05 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Tachometer assembly with integral internal wrench |
| US5514955A (en) * | 1994-03-11 | 1996-05-07 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Slim profile digital tachometer including planar block and rotor having spokes and clamp |
| US5502380A (en) * | 1994-04-28 | 1996-03-26 | Rosemount Inc. | Analog weighted binary absolute position encoder including an array of sense resistors each having material responsive to FWX and nonresponsive to flux |
| US6246233B1 (en) | 1994-12-30 | 2001-06-12 | Northstar Technologies Inc. | Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation |
| US5900930A (en) * | 1997-10-21 | 1999-05-04 | Eaton Corporation | Angle sensor using a multi-pixel optical device |
| US6305229B1 (en) * | 1997-12-23 | 2001-10-23 | Tanaka Systems Incorporated | Detecting fatigue from magnetic characteristics |
| DE10330986B4 (de) * | 2003-07-09 | 2010-01-07 | Tecpharma Licensing Ag | Berührungslose Abtastung mit magnetoresistivem Sensor |
| CN100491922C (zh) * | 2004-07-12 | 2009-05-27 | Nok株式会社 | 磁编码器 |
| EP2267413B1 (en) * | 2008-03-25 | 2016-10-19 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic sensor and magnetic encoder |
| JP6035480B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2016-11-30 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105503A (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-18 | Fanuc Ltd | 磁気パルスエンコーダ用の磁気抵抗効果素子が装着された回路板 |
| JPS59108193A (ja) * | 1982-12-13 | 1984-06-22 | 株式会社日立製作所 | 磁気的に位置を検出する装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54118259A (en) * | 1978-03-06 | 1979-09-13 | Nec Corp | Angle detector |
| JPS595914A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-12 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置を検出する装置 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP60223567A patent/JPH0638047B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-10-08 EP EP86113925A patent/EP0218242A3/en not_active Withdrawn
- 1986-10-08 US US06/916,699 patent/US4786870A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105503A (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-18 | Fanuc Ltd | 磁気パルスエンコーダ用の磁気抵抗効果素子が装着された回路板 |
| JPS59108193A (ja) * | 1982-12-13 | 1984-06-22 | 株式会社日立製作所 | 磁気的に位置を検出する装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05231880A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-09-07 | Japan Servo Co Ltd | アブソリュートエンコーダ |
| US5430373A (en) * | 1992-02-13 | 1995-07-04 | Japan Servo Co., Ltd. | Absolute encoder |
| JP2003503696A (ja) * | 1999-06-24 | 2003-01-28 | エス．エヌ．エール．ルールマン | ホールバーを備えたトルクセンサ |
| JP2005022401A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Fujikoo:Kk | 非粘着性のフェルト材とその製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638047B2 (ja) | 1994-05-18 |
| US4786870A (en) | 1988-11-22 |
| EP0218242A2 (en) | 1987-04-15 |
| EP0218242A3 (en) | 1989-04-05 |
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