JPS617767A - 原稿読取装置 - Google Patents

原稿読取装置

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JPS617767A
JPS617767A JP59128923A JP12892384A JPS617767A JP S617767 A JPS617767 A JP S617767A JP 59128923 A JP59128923 A JP 59128923A JP 12892384 A JP12892384 A JP 12892384A JP S617767 A JPS617767 A JP S617767A
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    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/10Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
    • G06K7/10544Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
    • G06K7/10821Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum further details of bar or optical code scanning devices
    • G06K7/10841Particularities of the light-sensitive elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14665Imagers using a photoconductor layer

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ファクシミリ等において原稿の読取シに用
いられる密着型原稿読取装置に関し、特に多数の受光素
子とこれら受光素子を駆動する駆動用素子とを電気的に
接続する導体配線群の敷設構造の改良に関する。
〔従来の技術〕
第9図に、上述′した原稿読取装置の一般的な等価回路
を、また第10図に、同装置における受光部100の模
式的構造をそれぞれ示す。
すなわち、このような原稿読取装置の受光部100は、
第10図(a)の平面図および同図(b)の断面図に示
すように、ガラス、セラミック等からなる絶縁基板BD
上に、例えばkl ! Cr + Au等の導電性薄膜
からなる分割電極1nl(111,121,131゜1
41 、 ・= )と、5e−As−Te ’!たte
a−8t等の非晶質、あるいはCdS、CdSe等の多
結晶の半導体薄膜から・なる光導電層102と、S n
O2やITO等の透明導電性薄膜からなる連続した透明
電極103とを順次堆積して、上記光導電層102を2
種の電極すなわち上記分割電極1nlと透明電極103
とでサンドイッチ状にはさんだ構造となっておシ、これ
がそれぞれ等制約には、第9図に示すようなフォトダイ
オードPDとコンデンサCとの並列回路となる。
なおこのコンデンサCは、1つの受光素子110を例に
とった場合、同受光素子110自身のもつ容量とその導
体配線210のもつ容量との合成容量を示しているとす
る。このような受光素子110゜120、・・・1nO
が原稿を解像するのに必要な密度(例えば8ドツト廟)
でこの主走査方向に所定の数だけ配列されている。
次に、第9図を参照してこの原稿読取装置の動作を簡単
に説明する。
第9図において500はシフトレジスタでアシ、該シフ
トレジスタ500の1回目の駆動に基づいてMOSFE
T 310 、320 、・・・3nOが順次オン−オ
フされると、電源psと受光素子110.120.・・
・1nOとの間で順次閉ループが形成され、これによっ
て上述したコンデンサCにはそれぞれ所定量の電荷が予
め蓄積される。これらコンデンサCに蓄積された電荷は
、原稿の読取シ時にそれぞれ対応するフォトダイオード
PDへの光の入射が有ったか否か、あるいはその光量に
応じて中和または残留するものであル、この後上記シフ
トレジスタ500が2回目の駆動を行ない、これに基づ
いて再び上記MO8FET 310 、320、−3n
Oが順次オン−オフされ上記コンデンサCの再充電が行
なわれると、信号線600には、各ビット毎に、上記コ
ンデンサCの残留電荷量に応じた電流が流れることにな
る。
この電流が出力端子OUTから出力されて同原稿読。
取装置ら読取信号となる。勿論こうした動作は読取対象
原稿の主走査毎に繰シ返し実行される。
ところで、この原稿読取装置においては、上記受光部1
00を形成するに際しては、同一の絶縁基板BD上に、
上述した分割電極1n1.光導電層102、および透明
電極103を、蒸着やスt4 ツタリング、あるいはC
VD等の方法を用いてアレイ状に形成することが可能で
あるが、上記MO8FET 310 。
320、・・・3nOやシフトレジスタ500は別個の
素子であるため、少なくとも各受光素子110,120
゜−−・1 n OとMOSFET 310 、320
、−3 n Oとを電気的に接続するためには、上記基
板BD上もしくは他の基板上においてワイヤポンディン
グ等による接続を施すことが不可欠である。またこのた
め、これら受光素子i10,120.”・lnOとMO
SFET 310.320 。
・・・3nOとをそれぞれ接続するための導体配線21
0゜220、・・・2nOも、これら2者間において上
言己ワイヤデンディング等による接続が可能となるよう
弓Iき回す必要が生じ、この結果、同導体配線210゜
220、・・・2nOの長さは実際上かなシの長さとな
る。
ここに従来は、密着型原稿読取装置製造上のこうした実
情に鑑みて、上記導体配線群を敷設するにあたシ、上述
した受光素子群とMOSFET等の駆動素子群とが最短
の距離となるよう、かつ各々が充分に信頼できる導体幅
および線間隔を確保できるようにすることに最大の重点
をおいていた。ただし、こうしたことを条件に上記導体
配線群を敷設した場合、駆動素子の担当する受光素子の
数が増加、したシ、あるいは受光素子列の長さが長くな
ったシした際に、上記導体配線群における各々の線間容
量にも相当のバラツキが生じることとなシ、該線間容量
のバラツキが上述した各受光素子による原稿読取シに与
える影響も無視できないものとなる。
すなわち、第11図は同原稿読取装置の1ビツトについ
ての原理図(第9図に示した回路要素と同一の機能を有
する要素には第9図と同一の番号または符号を付して示
している)であるが、一般に図中の蓄積容量Cは導体配
線部200の線間容量が支配的であり、該導体配線部2
00の線間容量が各ビット毎に大きくばらついた場合は
、各受光素子の読取信号レベルにもムラが生じて、原稿
の基準白色部に対するよりな一走査対象ラインが全白色
(または全黒色)であったような場合であっても、同原
稿読取装置の読取出力は、例えば第12図に示すような
不安定なものとなる。このため従来の原稿読取装置では
、適宜なレベル補正回路を用いて上述した出力ムラを補
正することが不可欠となり、ていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この発明は、上述した導体配線群の敷設態様に起因する
原稿読取出力のバラツキの発生を防止しようとするもの
である。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕この発明では
、上記導体配線部が一般に薄膜または厚膜といったせい
ぜい数μm程度の厚さで敷設されるため、この線間容量
としても対向平面としての容量よりも同一平面上に導体
が昇化することによる線間容量の方が支配的であること
に着目して、例えば、 ■ 各導体線路をその配線位置に応じて異なり■ 各導
体線路の線路長を全て均一とする〇■ 各導体線路にそ
の配線位置に応じた形状および面積を有する容量補正用
導体を設ける。
■ 各導体線路をその配線位置に応じて厚みまたは面積
の異なる比誘電率の高す絶縁体で覆う。
などすることにょシ、上記同一平面上に導体が存在する
ことによる線間容量が実質的に均一となるようにする。
これにより、前述した各受光素子と駆動素子との間に生
じる蓄積容量は全ビット共はぼ同一の容量となり、各受
光素子の読取信号レベルが同蓄積容量に起因してばらつ
くようなこともなくなる。
〔発明の効果〕
このように、この発明にかかる原稿読取装置によれば、
安定した読取出力を得ることができるようになり、また
前述したようなレベル補正回路等を別個に設ける必要も
ないことから、コスト的にも有利となる。
〔実施例〕
第1図に、この発明にかかる原稿読取装置の一実施例を
示す。牟だしこの第1図においても、先の第9図〜第1
1図に示した要素と同一の機能を有する要素には同一の
番号を付して示しておシ、重複する説明は省略する。
さてこの実施例は、1個の駆動素子300に例えば12
8個の受光素子を担当させて、これを複数ブロック並列
に配列して構成される原稿読取出力妃この発明を適用し
たものであり、特にこの実施例では、受光部100の各
受光素子と上記駆動素子300とをそれぞれ電気的に接
続する導“体配線群200の各線路が、上記受光部10
0の解像度に対応して、例えば4本/mの等間隔をもっ
て敷設されているとし7て、これら各線路の導体幅をそ
の配線位置により決定される線路長に応じて異ならせる
ことにより同導体配線群200の各線間容量が実質的に
均一となるようにして込る。
具体的には、同第1図に示すように、それぞれ結果とし
て、最短線路長となる線路200Sの導体幅は信頼でき
る上限幅を超えない程度に最も広く、また最長線路長と
なる線路20OLの導体幅は信頼できる下限幅を超えな
い程度に最も狭く設定されるものであり、これらの間の
各線路の導体・幅は、上記いずれかの線路、あるいはこ
の中間の任意の1つの線路を基単として、それぞれ隣接
する線路導体とで形成される線間容量が均一となるよう
経験的に、あるいは計算により逐次決定していくように
する。
以下、第2図〜第4図を参照して同実施例装置の製造方
法、すなわち導体配線群200における各線路の導体幅
の決定方法を詳述する。
いま、注目する導体配線が第2図および第3図に示すよ
うに配線210および220であるとして、はじめに、
これら配線210卦よび220間における線間容量の算
出方法について説明する。
第3図に示すように、上記配線2101.;−よび22
0間の距離を81間配線の導体幅をW1絶縁基板BDの
厚さをDとする。また同基板BDの比誘電率をεBとす
る。さらに上記配線210および220の導体厚Hは前
述したように非常に小さい値であるからこれを無視する
とともに、上記基板BD側の電気力線は全て同基板BD
中を通ると仮定すると、上記配線210および220間
の単位長さ当シの容量Cは次式で与えられる。
ただし、 また、 したがって、ここで注目する導体配線長を第2図に示す
ようにL (cm )とすると、求める線間容量Cは次
のようになる。
C=CXL’ なお、上記の値に、l 刈I K29 K′2は完全楕
円積分である。
こうして線間容量Cが求まることから、逆に該容量Cを
均一とするための各配線の導体幅Wの導出決定も可能で
あり、実際の同実施例装置の製造に際しては、該導体幅
Wが上述したように同装置の読取シ動作を充分安定なら
しめる上限幅を下限幅とを超えないよう、例えば第4図
に示すようなプログラムに基づいて同導体幅Wを随時決
定していく。
すなわち、同装置の出力端子(第9図に示した端子OU
Tに相娼)から所要とするレベルの読取信号を得るに適
した前記蓄積容量C(第9図または第10図参照)の値
(実際には前述したように導体配線群2000線間容量
が支配的であり、ここでは便宜的にこの線間容量の値を
同蓄積容量Cの値とする)を予め決定した後(ステップ
1100)、注目する配線の導体幅Wをとり合えず決め
て(ステラ7’l 110 )・、隣接する導体配線と
の線間容量(これを便宜上C′とする)を上記(2)式
に基づい。
て算出する(ステップ1130)。この結果・先に定め
た容量Cの値とこの算出した容量C′の値とが等しけれ
ば(ステップ1140)次の配線についての導体幅Wの
決定に移シ(ステップi i 5 o)、この算出した
容量、C′の値が上記予設定した容量Cの値と異なって
いれば(ステップ1140)当該配線の導体幅w’6変
更して(ステップ120(1これら容量Cの値と容量C
′の値とが等しくなるような導体幅となるよう該導体幅
Wの値を再決定する(ステップ1110)。なお、これ
ら決定した導体幅Wの値が上述した上限幅と下限幅との
範囲に入らなかった場合は(ステップ1120 )、先
に設定した容量Cの値を変更して(ステップ1300)
同導体幅Wの決定をやシ直す。
このようなプログラムに基づく各配線の導体幅決定作業
を、前記導体配線群2”00′ft構成する全導体配線
について施すことによシ、各線間容量すなわち第9図ま
たは第10図に示した蓄積容量Cの値は全受光素子につ
いて均一な値となシ、同装置の読取出力も、例えば全白
や全黒等の同一濃度画素については第5図に示すような
安定したものとなる。
なお、上記実施例においては、基板の単位幅当シ等しい
配線数をもって敷設される導体配線の各導体幅をその配
線位置に応じて変える゛ことによシ各線間容量が実質的
に均一となるようにしたが、他に例えば、第6図に示す
ように上記導体幅は変えずに、各導体線路長が均一とな
るようにしたり(受元累子と駆動素子との距離が短い部
分の配線は適宜に蛇行させて調整をとる)、あるいは第
7図に示すように、線間容量調整用のダミーの導体DM
を設けたシして、各線間容量を実質的に均一としてもよ
い。これらいずれの場合であっても、その線間容量の算
出に際しては前記(2)式を用いることができる。
またさらには、第8図に示すように、従来の態様で敷設
した導体配線群200(装置自体は第1図に示したもの
に対応させて示している)の表面を比誘電率の高い絶縁
体Isで覆い、同配線態様に応じてその厚みや面積を変
えることによシ各線間容量を補正するようにしてもよい
。この場合、上記絶縁体Isの厚みをD′、またとの比
誘電車をεtとすると、注目する導体配線間の単位長さ
当シの容量Cは次式で与えられる(導体間の距離および
導体幅等は先の第3図と同様の設定とする)。
ただし、上記式のに3.剪は、 としてそれぞれ(1)式のに4.に′lと同様の方法で
決定される完全楕円積分である。
なお、この第8図に示した実施例の場合、上舊己(3)
式に基づいて各線間容量が均一となるよう容量補正を施
していくと、結果として、上記被覆する絶縁体Isの厚
さは、線路長の短い導体部分で厚目となり、逆に線路長
の長い導体部分では薄目あるいは同被覆が不要となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明にかかる原稿読取装置の一実施例につ
いてその導体配線群の敷設構造を示す平面図、第2図お
よび第3図は上記導体配線群の各線間容量を算出するた
めに同導体配線群の一部を模式的に示した略図、第4図
は上記導体配線群における各線路の導体幅決定方法を示
すフローチャート、第5図は第1図に示した実施例装置
の出力特性を示す線図、第6図および第7図および第8
図はそれぞれこの発明にかかる原稿読取装置の他の実施
例についてその導体配線群の敷設構造を示す平面図、第
9図はこの発明で対象とする原稿読取装置の一般的な等
価回路を示す回路図、第10図は同原稿読取装置の受光
部構造を模式的に示す略図、第11図は同原稿読取装置
の1ビット分の原理的等価回路を示す回路図、第12図
は従来の原稿読取装置の出力特性例を示す線図である。 100・・・受光部、200・・・導体配線群、300
・・・駆動素子、400・・・・駆動用配線部、500
・・・シフトレジスタ、600・・・読取信号出力線、
700・・・バイアス電圧供給線。 第5図 V ご1ノトナ:zll+− 第6図 第7図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上原稿主走査方向に多数配される受光素子と
    、これら受光素子を駆動するための駆動素子と、これら
    受光素子および駆動素子を電気的に接続するための導体
    配線群とを具えた電荷蓄積型の原稿読取装置において、
    前記導体配線群の各線間容量が実質的に均一であること
    を特徴とする原稿読取装置。
  2. (2)前記導体配線群は、各導体線路がその配線位置に
    応じて異なった導体幅を有しており、これによって前記
    各線間容量が実質的に均一である特許請求の範囲第(1
    )項記載の原稿読取装置。
  3. (3)前記導体配線群は、各導体線路長が全て均一であ
    り、これによって前記各線間容量が実質的に均一である
    特許請求の範囲第(1)項記載の原稿読取装置。
  4. (4)前記導体配線群は、導体線路がその配線位置に応
    じた容量補正用導体を有しており、これによって前記各
    線間容量が実質的に均一である特許請求の範囲第(1)
    項記載の原稿読取装置。
  5. (5)前記導体配線群は、導体線路がその配線位置に応
    じて厚みまたは面積の異なる比誘電率の高い絶縁体で覆
    われており、これによって前記各線間容量が実質的に均
    一である特許請求の範囲第(1)項記載の原稿読取装置
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61295656A (ja) * 1985-06-25 1986-12-26 Toshiba Corp イメ−ジセンサ
JPH02101665U (ja) * 1989-01-30 1990-08-13

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4839735A (en) * 1986-12-22 1989-06-13 Hamamatsu Photonics K.K. Solid state image sensor having variable charge accumulation time period
US4914504A (en) * 1987-08-10 1990-04-03 Siemens Aktiengesellschaft Opto-electronic image sensor arrangement
US4902886A (en) * 1989-01-23 1990-02-20 Hewlett-Packard Company Noise reduction for photodiode arrays
JPH0527557U (ja) * 1991-09-12 1993-04-09 西田合金工業株式会社 浴槽用一口接続具
CN103021359B (zh) * 2012-12-10 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其驱动控制方法和显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58221562A (ja) * 1982-06-18 1983-12-23 Fuji Xerox Co Ltd 原稿読取装置
JPS60138959A (ja) * 1983-12-27 1985-07-23 Toshiba Corp イメ−ジセンサ
JPS60178663A (ja) * 1984-02-24 1985-09-12 Mitsubishi Electric Corp 大形イメ−ジセンサ
JPS60261244A (ja) * 1984-06-08 1985-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光像検出装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4617471A (en) * 1983-12-27 1986-10-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Image sensing device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58221562A (ja) * 1982-06-18 1983-12-23 Fuji Xerox Co Ltd 原稿読取装置
JPS60138959A (ja) * 1983-12-27 1985-07-23 Toshiba Corp イメ−ジセンサ
JPS60178663A (ja) * 1984-02-24 1985-09-12 Mitsubishi Electric Corp 大形イメ−ジセンサ
JPS60261244A (ja) * 1984-06-08 1985-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光像検出装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61295656A (ja) * 1985-06-25 1986-12-26 Toshiba Corp イメ−ジセンサ
JPH0521348B2 (ja) * 1985-06-25 1993-03-24 Toshiba Kk
JPH02101665U (ja) * 1989-01-30 1990-08-13

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US4680477A (en) 1987-07-14

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