JPS6161689A - 純水製造装置 - Google Patents

純水製造装置

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JPS6161689A
JPS6161689A JP59180610A JP18061084A JPS6161689A JP S6161689 A JPS6161689 A JP S6161689A JP 59180610 A JP59180610 A JP 59180610A JP 18061084 A JP18061084 A JP 18061084A JP S6161689 A JPS6161689 A JP S6161689A
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Japan
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water
pure water
circulation line
reverse osmosis
pressure pump
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Etsushi Ito
悦嗣 伊藤
Hiroaki Yoda
裕明 依田
Minoru Kuroiwa
稔 黒岩
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
    • B01D61/08—Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
    • B01D2311/06—Specific process operations in the permeate stream
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/18—Specific valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/24—Specific pressurizing or depressurizing means
    • B01D2313/243—Pumps

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は純水の製造装置に係り、特に医薬、半導体製造
工業に適用して好適な純水製造装置に関するものである
。
〔発明の背景〕
医薬を製造する製薬工業や半導体を製造する電子工業で
は純度の高い水を必要としている０例えば、集積回路（
１，Ｃ）や大規模集積回路（Ｌ、Ｓ、Ｉ）等の精密な半
導体の製造にはその洗浄水の純度が直接製品の良否に関
与することになり、水の高純度化が重要な問題となって
いる。
従来の純水の製造装置は第２図のように構成されている
。すなわち、原水は原水供給ライン１を経て、一旦、中
間タンク２に貯えられる。この原水は高圧ポンプ３によ
って逆浸透膜装置４の逆浸透膜に浸透圧以上の加圧下で
供給し、水中の塩類の除去をする。逆浸透膜装置４で脱
塩された透過水は透過水ライン５を通って自由液面を有
する中間タンク６に貯水される。透過水を中間タンク６
に貯めるのは締切運転による逆浸透膜装置４の逆浸透膜
の破損を防ぐためと、自由液面部に窒素ガス等の不活性
ガスをパージし水質維持を行うためである。一方、逆浸
透膜製［４によって生成された濃縮水は濃縮ライン７を
通って排水される。中間タンク６内の透過水、すなわち
、処理水は純水ポンプ８によってポリシャー、紫外線殺
菌器、フィルター等から構成される純水化構成機器９に
より最終的に処理されユースポイント１０に送られ洗浄
用水に供される。ユースポイント１０で使用゛されなか
った純水（処理水）はｌｉｔ環ライン１１を経て中間タ
ンク６に戻される。未使用の純水は中間タンク６−純水
化構成機器９−ユースポイント１〇−中間タンク６のよ
うに常に循環し水質の劣化を防ぐように構成される。上
記構成では２つの中間タンクの存在によって水質劣化の
不安がある。
例えば、タンク内に僅かでも細菌がリークすると時間の
経過とともに増殖するので、タンク内では大量の細菌が
汚染されることが予測される。特に、ユースポイント１
０で純水未使用の場合には逆浸透膜装置４が停止するの
で、逆浸透膜面の汚染が進行するため、膜洗浄の頻度を
多くする必要があった。膜洗浄は図に示すように主処理
ラインの外に洗浄液タンク１２および洗浄液タンク１３
を配置し洗浄液を循環させている。
尚、この種の装置は逆浸透膜、限外濾過法■、応用膜利
用技術ハンドブック、幸書房、昭和５８年７月１５日発
行、第１９１頁に記載がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は純水の水質劣化要因の大きい中間タンク
を除去した純水製造装置を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は原水を逆浸透膜装置、ポリシャー、紫外線殺菌
器等を用いて純水を得る純水製造装置であって、原水を
高圧ポンプで逆浸透膜へ通水し、この膜の透過水である
純水をユースポイントを経て高圧ポンプの吸込側に戻す
循環ラインを設けたもので、純水の滞留による水質劣化
を防ぐようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例を第１図について説明する。
図において、第２図と同じ部分には同じ符号を付して示
す。
原水は原水供給ライン１を通って高圧ポンプ３に導びか
れる。高圧ポンプ３は原水を逆浸透膜に浸透圧以上に加
圧して供給する。逆浸透膜装置４で脱塩された透過水は
ポリシャー、紫外線殺菌器。
フィルター等からなる純水化構成機１１９に直接供給さ
れる。純水化構成機器９を経た純水（処理水）はユース
ポイント１ｏに送られ洗浄用水に供され。
残りは循環ライン１１を経て高圧ポンプ３の吸込側に戻
される。ユースポイント１０において純水を使用しない
場合にも高圧ポンプ３は連続運転される。循環ライン１
１と高圧ポンプ３吸込側の原水供給ライン１との間には
原水が循環ライン１１に流入するのを避けるチェック弁
１４が配置されている。また、循環ライン１１には開閉
弁１５が設けられ純水製造装置の運転を停止した際、閉
鎖することによりＷＩ環シライン１１原水が拡散するの
を避ける。開閉弁１５にはリリーフ弁１６が並設されて
おり、純水製造装置の起動は開閉弁１５が閉鎖状態で行
われ、立ち上げ終了後、開閉弁１５を開口させる。立ち
上げ時には循環ライン１１からの純水はリリーフ弁１６
を経て高圧ポンプ３の吸込側に戻され、逆浸透膜装置の
締切運転を避けることができる。また、循環ライン１１
にはエゼクタ−１７が配置されており、このエゼクタ−
１７に開閉弁１８を介し洗浄液タンク１２が接続される
。純水製造装置のラインを洗浄するに際しては開閉弁１
８を開口すれば洗浄液タンク１２からの洗浄液はエゼク
タ−１７の作用によって循環ライン１１に流入し、高圧
ポンプ３、逆浸透膜装置４、純水化構成機器９を経て循
環ライン１１に戻るように循環する。
尚、洗浄液タンク１２から循環ライン１１に洗浄液を注
入する手段はエゼクタ−１７によって行うようにしたが
、洗浄液タンク１２内の洗浄液の液落差を利用すること
も可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば原水を高圧ポンプ
で逆浸透膜へ通水し、この膜の透過水である純水をユー
スポイントを経て高圧ポンプの吸込側へ戻す循環ライン
を設けて梠成したので、滞留による純水の水質劣化を防
ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の純水製造装置の系統図、第２図は従来
の純水製造装置の系統図である。 ｌ・・・原水供給ライン、３・・・高圧ポンプ、４・・
・逆浸透膜装置、９・・・純水化構成機器、１０・・・
ユースポイント、１１・・・循環ライン、１４・・・チ
ェック弁、１５・・・開閉弁、１６・・・リリーフ弁、
１７・・・エゼクタ−０ 第１口 才２図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、原水を逆浸透膜装置、ポリシャー、紫外線殺菌器等
    を用いて純水を得る純水製造装置において、前記原水を
    高圧ポンプで逆浸透膜へ通水し、該逆浸透膜の透過水で
    ある純水をユースポイントへ送水すると共に、前記ユー
    スポイントからの純水を前記高圧ポンプの吸込側に戻す
    循環ラインを設けて構成したことを特徴とする純水製造
    装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記循環ラインに
    チェック弁を配置し、前記原水の供給ラインから前記循
    環ラインに前記原水が逆流するのを防ぐようにしたこと
    を特徴とする純水製造装置。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項において、前記
    循環ラインに開閉弁と、この開閉弁に並列にリリーフ弁
    を設置し、運転起動に際して開閉弁を閉鎖状態で行うこ
    とを特徴とする純水製造装置。 ４、特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかにお
    いて、前記循環ラインにエゼクターを配置し、このエゼ
    クターに洗浄液タンクを接続して洗浄液を供給すること
    を特徴とする純水製造装置。
JP59180610A 1984-08-31 1984-08-31 純水製造装置 Granted JPS6161689A (ja)

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US07/022,881 US4773993A (en) 1984-08-31 1987-03-06 Apparatus for purifying and dispensing water with stagnation preventing means

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JPH041679B2 JPH041679B2 (ja) 1992-01-13

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