JPS627497A - 純水製造装置の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体製造工業、医薬バイオ産業用等に使用さ
れる超純水、純水製造装置に関するものである。

〔発明の背景〕

第２図に本発明を適用する純水製造装置のシステム系統
図を示す。該純水製造装置は発明者等が特許μｇ　５９
−１８０６１０号として提案している。図について説明
すると、原水供給ライン１より給水された原水は高圧ポ
ンプ２に加圧されて逆浸透膜３を透過し脱塩される。透
過水は透過水ライン４を経て、ポリッシャー、殺菌器等
より構成される純水製造機器６′でさらに純度が高めら
れる。このようにして製造された純水は、ユースポイン
ト送水ライン７にてユースポイント８に送水され、そこ
で使用される。さらに、未使用の純水は循環ライン９に
て高圧ポンプ２の吸込側にもどされる。このように、原
水、透過水、純水の送水、透過、循環の動力は高圧ポン
プより供給され、純水が製造される。ここで、逆浸透膜
３からは濃縮水が排出される。この濃縮水は濃縮水ライ
ン５を経て濃縮水の一部は装置外へ排出されるが、その
一部は高圧ポンプ２の吸込側にもどされ再び高圧ポンプ
２により加圧されて逆浸透膜３へ供給される。このよう
に、逆浸透膜３では、透過水の他に濃縮水が生産され、
原水中のイオン類等の不純物質が装置外へ排出される。

装置外への濃縮水排出量および濃縮水の高圧ポンプ２吸
込側へのもどり量は、原水水質のイオン類等の濃度、膜
内における不純物付着による目づまり防止の観点等から
決定される。

逆浸透膜を用いた純水製造装置は、このようにして、ユ
ースポイントでの純水使用量と濃縮水排出量との合計に
等しい原水の供給を受けて運転され。

純水を生産する。

純水製造装置を長期間運転する場合、又は原水水質が悪
い場合等は、逆浸透膜３が原水中の不純物質により汚染
されるので、洗浄が必要である。

また、逆浸透膜３の後の純水製造機器６′まわり配管、
ユースポイント送水ライン７の配管も徐々にバグテリア
や、逆浸透膜３からの僅かではあるが透過不純物質によ
り汚染を受け、純水の水質低下をもたらすことがあり、
逆浸透膜と同様洗浄が必要とされる。

このような装置の汚染に対する洗浄方法としては、装置
を運転状態にして、過酸化水素、クエン酸等の洗浄（含
殺菌）薬品タンク１０に貯槽した薬品をエジェクタ１１
で装置内に注入、洗浄する薬品洗浄が最も効果的である
。この場合、循環ライン９に注入された洗浄液は、循環
ライン９中の純水と混合されて高圧ポンプ２の吸込側に
はいり、高圧ポンプ２から逆浸透膜３．純水製造機器９
゜ユースポイント送水ライン８を順にめぐって各部を洗
浄する。ここで、効果的な洗浄を行うためには洗浄液の
濃度調節が必要であり、このためには、濃縮水排出量に
対して注入薬液量を適度に調節する。しかし、濃縮水排
水量が、原水水質が悪い等の場合多量となり、したがっ
て注入薬液量が多量に必要となる欠点がある。また、濃
縮水排出量を絞った場合、装置全体の流量バランスから
明らかなように、エジェクタが十分機能しない欠点を有
するなど、洗浄操作に問題がある。さらにエジェクタは
流水音が大きく、通常運転時も騒音の発生するなどの支
障がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的はエジェクタによる洗浄薬品注入方式の欠
点を除去した洗浄装置を提供するにある。

〔発明の概要〕

本発明は逆浸透膜、ポリッシャー、紫外線殺菌器等から
なる純水製造装置について、高圧ポンプにて逆浸透膜へ
の通水及び透過水のユースポイントからの＠環水ライン
を直接高圧ポンプ吸込側へ接続した純水製造装置におい
て、循環水ライン中に配管ラインを兼ねる密閉型水槽を
設けるとともに、これに前後して接続される配管の一部
を逆浸透膜の最高位を越えて配置してなるもので、これ
によって、上記目的を達成するようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図について説明する。

図において、第２図と同じものには同じ符号を付して示
す。高圧ポンプ２．逆浸透膜３．純水製造機器６．ユー
スポイント送水ライン８等の流路体積内の流体を所定の
洗浄薬品濃度とするに足る容積の密閉型薬品貯槽１２を
、Ｗ１環ライン９中に設ける。通常運転時には本貯槽は
流路として純水を高圧ポンプへ導く役目を果す。洗浄時
には、貯槽１２内の純水を貯槽底部のドレンバルブ１３
を開いて排水した後、注入口１４から洗浄薬品を補充す
る。ここで、所期の洗浄薬品濃度を得るため、ユースポ
イント送水ライン９中等の純水を満水に保持するため、
貯槽の出入口配管１５．１５’の一部を装置内配管の最
上部に立上げたものとする。

このようにして、あらかじめ濃縮水排出バルブ１６を閉
止した状態から装置を運転し逆浸透膜３等の洗浄を行う
。したがって、本洗浄装置によれば、所期の洗浄薬品濃
度で十分な洗浄が行われる。

また、洗浄薬品も無駄にすることがなく極めて経済的で
ある。また、洗浄液のリンスについては濃縮水排出バル
ブを開放して洗浄廃液をドレンして行うことができる。

このよう−に本発明によれば、純水ｆＭ造装置の洗浄は
極めて経済的かつ効果的に実施される。またエジェクタ
１こよる騒音の問題も解決できる。さらには、高価なエ
ジェクタを使用することがなく、貯槽も小容量のもので
済すことができるため安価な装置となり、極めて経済的
なものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば循環水ライン中に
、配管ラインを兼ねる密閉型水槽を設けるとともに、こ
れに前後して接続される配管の一部を逆浸透膜の最高位
を越えて配置したから、経済的で、かつ洗浄能力の優れ
た純水製造装置の洗浄装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の純水製造装置の洗浄装置のシステム系
統図、第２図は本発明を適用する純水製造装置のシステ
ム系統図である。 １・・・原水供給ライン、２・・・高圧ポンプ、３・・
・逆浸透膜、４・・・透過水ライン、５・・・濃縮水ラ
イン、６・・・純水製造装置機器、７・・・ユースポイ
ント送水ライン、８・・・ユースポイント、９・・・循
環ライン。 ＼　１゛・ぐ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 逆浸透膜、ポリッシャー、紫外線殺菌器等からなる純水
   製造装置について、高圧ポンプにて、逆浸透膜への通水
   及び透過水のユースポイントへの送水を行うとともに、
   ユースポイントからの循環水ラインを直接高圧ポンプ吸
   込側へ接続した純水製造装置において、前記循環水ライ
   ン中に、配管ラインを兼ねる密閉型水槽を設けるととも
   に、これに前後して接続される配管の一部を逆浸透膜の
   最高位を越えて配置してなることを特徴とする純水製造
   装置の洗浄装置。