JPS62106890A - 純水製造装置の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体製造工業、医薬バイオ産業用等の超純水
、純水製造装置に関するものである。

〔発明の背景〕

第２図に循環式純水製造装置の例を示す。これは発明者
等が特願昭５９−１８０６１０号として先に提案したも
のである。

図について説明すると、原水供給ライン１より給水され
た原水は高圧ポンプ２に加圧されて逆浸透膜３を透過し
脱塩される。透過水は透過水ライン４を通り、ポリツシ
ヤ、殺菌器等より構成される純水製造機器６で更に純度
が高められる。このようにして製造された純水は、ユー
スポイント送水ライン７にてユースポイント８に送水さ
れ、そこで使用される。更に未使用の純水は循環ライン
９にて高圧ポンプ２の吸込側に戻される。このように、
原水、透過水、純水の送水、循環の動力は高圧ポンプよ
り供給され、純水が製造される。ここで、逆浸透膜３か
らは濃縮水が排出される。濃縮水ライン５を通って濃縮
水の一部は装置外へ排出されるが、一部は高圧ポンプ２
の吸込側に戻され再び高圧ポンプ２により加圧されて逆
浸透膜３へ供給される。このように逆浸透膜３では、透
過水のほかに濃縮水が生産され、原水中のイオン類等の
不純物質が装置外へ排水される。装置外への濃縮水排出
量及び濃縮水の高圧ポンプ２吸込側への戻り量は、原水
中のイオン類等の濃度、膜内における不純物付着による
目詰り防止の観点等から決定される。逆浸透膜を用いた
純水製造装置は、このようにしてユースポイントでの純
水使用量と濃縮水排出量との合計に等しい原水の供給を
受けて運転され純水を生産する。

純水製造装置を長期間運転する場合、又は原水水質が悪
い場合等は、逆浸透膜３が原水中の不純物質により汚染
されるので、洗浄が必要である。

また、逆浸透膜３の下流の純水製造機６のまわりの配管
、ユースポイン（−送水ライン７の配管も除徐にバクテ
リアや、逆浸透膜３からの僅かではあるが透過不純物質
により汚染を受け、純水の水質低下をもたらすことがあ
り、逆浸透膜同様に洗浄が必要とされる。

このような装置の汚染に対する洗浄方法としては、装置
を運転状態にして、過酸化水素水、シュウ酸の洗浄薬品
を洗浄薬品貯槽１０の注入口１２から注入し洗浄するの
が最も般菌を含めて効果的である。貯７ａ１０に注入さ
れた洗浄液は純水と混合されて高圧ポンプ２の吸入側に
入り、高圧ポンプ２、逆浸透膜３、純水製造機器６．ユ
ースポイント送水ライン７の順に通り各部を洗浄する。

洗浄時に、逆浸透膜３の汚染付着物質として金属が付着
している場合、最初に過酸化水素にて洗浄を行うと、膜
面付着物の金属が酸化され膜が劣化してしまう、これを
防止するため、過酸化水素水の前にシュウ酸にて洗浄を
行う。しかし、シュウ酸を使用した場合、ｐ　１−１値
が低くなるため純水製造機器６のフィルターあるいは限
外濾過膜を劣化させるという問題が生じる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は純水製造装置の装置洗浄液であるシュウ
酸の洗浄による欠点を取除いた洗浄装置を提供するもの
である。

〔発明の概要〕

本発明は逆浸透膜３の洗浄においてシュウ酸による純水
製造機器６に影響を与えぬように、透過水ライン途中か
ら洗浄薬品貯１１ｇ１０の入口側ライン途中にバイパス
ラインを設け、洗浄運転を行うもので、循環ライン中に
配管ラインを兼ねる密閉型水槽を設け、この前に三方弁
を取付け、逆浸透膜過水ラインの途中にも三方弁を取付
け、この間を洗浄用バイパス配管として使用するように
構成したものである。

〔発明の実施例〕

本発明の実施例を第１図を参照して説明する。

まず、逆浸透膜３をシュウ酸にて洗浄する場合、高圧ポ
ンプ２．逆浸透膜３、逆浸透膜洗浄循環ライン１６等の
流路体積内の流体を所定の濃度とするに足るシュウ酸を
あらかじめ別容器にて溶解し、薬品注入口１２から注入
する。この場合、濃縮水排出バルブ１４を閉止し、洗浄
ライン切替弁１５゜１８を切替て装置を運転し逆浸透膜
３の洗浄を行う。この洗浄方式により、逆浸透膜３の十
分な洗浄が実施でき、かつ純水製造機器６に悪影響を与
えることはない。洗浄液の排水は、濃縮水排水バルブ１
４を開放して装置を運転し、運転初期一定時間に装置外
にて回収を行う。

過酸化水素水による洗浄の場合、高圧ポンプ２、逆浸透
膜３、純水製造機器６、ユースポイント送水ライン７、
循環ライン９等の流路体積内流体を所定濃度とするに足
る過酸化水素水を薬品注入口１２から注入する。この場
合、′ａ縮排水バルブ１４を閉止し、逆浸透膜３、純水
製造機器６を運転し洗浄する。これにより、装置内各機
器及び配管の十分な洗浄が実施できる。洗浄液の排水は
、濃縮水排水バルブ１４を開放して装置を運転し排水を
行う。

このように、純水製造装置の洗浄は効果的に行える。逆
浸透膜３の劣化問題も解決できる。

〔発明の効果〕 本発明によれば、循環ライン中に配管ラインを兼ねる密
閉型水槽を設け、この前に三方弁を取付け、逆浸透膜透
過水ラインの途中にも三方弁を取付け、この間を洗浄用
バイパス配管として使用するようにしたので、経済的か
つ洗浄能力の優れた純水製造装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の純水製造装置の系統図、第２図は先に
提案の純水製造装置の系統図である。 １・・・原水供給ライン、２・・・高圧ポンプ、３・・
・逆浸透膜、４・・・透過水ライン、５・・・濃縮水ラ
イン、６・・・純水製造装置機器、７・・・ユースポイ
ント送水ライン、８・・・ユースポイント、９・・・循
環ライン、１０・・・洗浄薬品貯槽、１１・・・ドレン
バルブ、１２・・・薬品注入口、１３・・・立上げ配管
、１４・・・濃縮水排出バルブ、１５・・・洗浄ライン
切替弁、１６・・・逆浸透膜洗浄循環ライン、１７・・
・流景調整弁、１８第１回　　　　。 ％Ｚ　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 逆浸透膜、ポリツシヤ、紫外線殺菌器等からなる純水製
   造装置について、高圧ポンプから逆浸透膜へ通水及び透
   過水のユースポイントへの送水を行うとともに、ユース
   ポイントからの循環ラインを直接高圧ポンプ吸込側に接
   続した純水製造装置において、上記循環ライン中に配管
   ラインを兼ねる密閉型水槽を設け、この前に三方弁を取
   付け、逆浸透膜透過水ラインの途中にも三方弁を取付け
   、この間を洗浄用バイパス配管として使用する純水製造
   装置の洗浄装置。