JPS6161124A - ガルバノメ−タミラ−取付装置 - Google Patents
ガルバノメ−タミラ−取付装置Info
- Publication number
- JPS6161124A JPS6161124A JP59182393A JP18239384A JPS6161124A JP S6161124 A JPS6161124 A JP S6161124A JP 59182393 A JP59182393 A JP 59182393A JP 18239384 A JP18239384 A JP 18239384A JP S6161124 A JPS6161124 A JP S6161124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fitting
- galvanometer mirror
- mounting
- hole
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は、ガルバノメータミラーをガルバノメータミラ
ー設置面」−に取り付けるための、ガルバノメータミラ
ー取付装置に関するものである。
ー設置面」−に取り付けるための、ガルバノメータミラ
ー取付装置に関するものである。
（発明の技術的背景および先行技術）
従来Ｊ、り各種光ビーム走査装置において、光ビームを
走査させるための光偏向器としてガルバノメータミラー
が広く使用さねている。従来、このガルバノメータミラ
ーを光学定盤等の設置面に取り付１プるには、設置面に
取付具を固設しておき、ガルバノメータミラ一本体に設
けられた取付穴に取付ポル１〜を通し、該取付ボルトを
」−記取付貝のネジ穴に螺合、締結するようにしていた
。
走査させるための光偏向器としてガルバノメータミラー
が広く使用さねている。従来、このガルバノメータミラ
ーを光学定盤等の設置面に取り付１プるには、設置面に
取付具を固設しておき、ガルバノメータミラ一本体に設
けられた取付穴に取付ポル１〜を通し、該取付ボルトを
」−記取付貝のネジ穴に螺合、締結するようにしていた
。
一方ガルバノメータミラーは動作角度によって特性が異
なるので、取付けに際しては、最適特性が得られるよう
に取付角度を厳密に調整する必要がある。ところがガル
バノメータミラーが設置される設置面の周囲は一般に、
該ガルバノメータミラーによって偏向される光ビームを
発生ずるご−ム発生手段や、光学系等によって複雑に入
り組んでいることが多く、ｌノたがって前記のように設
置Ｎ而に固設された固定具にガルバノメータミラーを取
りイ（目Ｊる際に、ガルバノメータミラー取（ｓｔ角１
αを調整する作業は極めて困難なものとなる。
なるので、取付けに際しては、最適特性が得られるよう
に取付角度を厳密に調整する必要がある。ところがガル
バノメータミラーが設置される設置面の周囲は一般に、
該ガルバノメータミラーによって偏向される光ビームを
発生ずるご−ム発生手段や、光学系等によって複雑に入
り組んでいることが多く、ｌノたがって前記のように設
置Ｎ而に固設された固定具にガルバノメータミラーを取
りイ（目Ｊる際に、ガルバノメータミラー取（ｓｔ角１
αを調整する作業は極めて困難なものとなる。
（発明の１：ｌ的）
本発明は上記のよう４「１１情に観みてなされたもので
あり、ガルバノメータミラーを、取イ・１角度調整容易
にして所定の設置面に取り飼（）ることができる、ガル
バノメータミラー取イ；１装置を提供】ることを１ヨ１
的とＪるｂのである。
あり、ガルバノメータミラーを、取イ・１角度調整容易
にして所定の設置面に取り飼（）ることができる、ガル
バノメータミラー取イ；１装置を提供】ることを１ヨ１
的とＪるｂのである。
（発明の構成）
本発明のガルバノメータミラー取付装置は、ガルバノメ
ータミラーをそのミラー回動軸（を中心に配して固定り
るとともに、所定の円周上に複数の長穴またはネジ穴が
設けられた円板、およびこの円板を１１１転可能に受承
し、前記長穴またはネジ穴と整合するネジ穴または長穴
が設ｃ）られた円板受部と、この円板受部と一体的に形
成され平らな取６１面を有４る取イ・１部とからなる取
付台から構成され、 前記取付部に、該取イ・１部がガルバノメータミラー設
置面上の所定の取付位置に配されたときこの設置面に設
（プられた位置決めマークと整合する合いマークと、取
付ネジが通される取付穴とが設けられたことを特徴とす
るものである。
ータミラーをそのミラー回動軸（を中心に配して固定り
るとともに、所定の円周上に複数の長穴またはネジ穴が
設けられた円板、およびこの円板を１１１転可能に受承
し、前記長穴またはネジ穴と整合するネジ穴または長穴
が設ｃ）られた円板受部と、この円板受部と一体的に形
成され平らな取６１面を有４る取イ・１部とからなる取
付台から構成され、 前記取付部に、該取イ・１部がガルバノメータミラー設
置面上の所定の取付位置に配されたときこの設置面に設
（プられた位置決めマークと整合する合いマークと、取
付ネジが通される取付穴とが設けられたことを特徴とす
るものである。
（実７ＩＩｉｉ態様）
以上、図面に示す実施態様に基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第１図お」、び第２図は本発明の一実施態様によるガル
バノメータミラー取付装置を示すものである。ガルバノ
メータミラ−１はそのミラー１ａを、ミラー回動軸１ｂ
を中心として往復回動させ、光ビーム２を矢印へ方向に
偏向する。このガルバノメータミラー１の本体部は円板
３に、例えば嵌合等によって固定されている。この円板
３の所定の共通円用土には、−例どして４個の長穴４が
設（Ｊられている。なおりルバノメータミラ−１は、そ
（のミラー回動軸１ｂが円板３の中心に位置
するように、またミラー１ａが長穴４の設置位園に対し
て大略所定のイＩ′７１ｍで（これは後述覆るように、
厳密に規定されなくてもよい）バランスする角度位置で
円板３に固定されている。
バノメータミラー取付装置を示すものである。ガルバノ
メータミラ−１はそのミラー１ａを、ミラー回動軸１ｂ
を中心として往復回動させ、光ビーム２を矢印へ方向に
偏向する。このガルバノメータミラー１の本体部は円板
３に、例えば嵌合等によって固定されている。この円板
３の所定の共通円用土には、−例どして４個の長穴４が
設（Ｊられている。なおりルバノメータミラ−１は、そ
（のミラー回動軸１ｂが円板３の中心に位置
するように、またミラー１ａが長穴４の設置位園に対し
て大略所定のイＩ′７１ｍで（これは後述覆るように、
厳密に規定されなくてもよい）バランスする角度位置で
円板３に固定されている。
上記のようにガルバノメータミラ−１をＩｉ！：ｉ定し
た円板３は、■（穴１に通したネジ５をネジ穴６に螺合
、締結づることにより、ＴＩ付台７の円筒状の円板受部
８に固定ン＼れＣいる。このように円板３が円板受部８
に固定されることにより、ガルバノメータミラー１は該
円板受部８の内部に収められる。
た円板３は、■（穴１に通したネジ５をネジ穴６に螺合
、締結づることにより、ＴＩ付台７の円筒状の円板受部
８に固定ン＼れＣいる。このように円板３が円板受部８
に固定されることにより、ガルバノメータミラー１は該
円板受部８の内部に収められる。
円板受部８はそのｌ端部に、円板３の外周面に嵌合する
円形の段部９を右し、円板３はこの段部９内で回転しう
るＪ、うになっている。取付台７はこの円板受部８と、
根状の取付部１０とが一体的に形成されてなるものであ
り、取付部１０の下面は平らに加工されＣ取付面１１と
されている。上記取付部１０には一例として４個の取付
穴１２と、２個の位置合せ用貫通穴１３とが設（′）ら
れている。取付台７は光学定盤等のガルバノメータミラ
ー設置面１６」二に上記取イ・１而１１を合わせたのら
、取付穴１２に該取＝４− 釘穴１２の内径よりもやや小径の取付ネジ１４を通し、
この取付ネジ１４を取付ネジ穴１５に螺合、締結するこ
とにより、ガルバノメータミラー設置面１６上に取り付
（ｊられる。またガルバノメータミラー設置面１６には
、取付台７が該設置面１６上の正しい取イ」位ｉ’ｉに
配されたときに前記（ｆ／置合は用貫通穴１３と整合す
る位置合せ穴１７が設ｃＪられている。そして取イ１ネ
ジ１４を締結して取付台７を固定する前に、第２図に示
されるように両穴１３．１７にはこれら両穴１３．１７
どほぼ同径の位置決めビン１８が差し込まれ、それによ
り取付台７がガルバノメータミラー設置面１６−１の正
しい取ト１位置に位置決めされる。
円形の段部９を右し、円板３はこの段部９内で回転しう
るＪ、うになっている。取付台７はこの円板受部８と、
根状の取付部１０とが一体的に形成されてなるものであ
り、取付部１０の下面は平らに加工されＣ取付面１１と
されている。上記取付部１０には一例として４個の取付
穴１２と、２個の位置合せ用貫通穴１３とが設（′）ら
れている。取付台７は光学定盤等のガルバノメータミラ
ー設置面１６」二に上記取イ・１而１１を合わせたのら
、取付穴１２に該取＝４− 釘穴１２の内径よりもやや小径の取付ネジ１４を通し、
この取付ネジ１４を取付ネジ穴１５に螺合、締結するこ
とにより、ガルバノメータミラー設置面１６上に取り付
（ｊられる。またガルバノメータミラー設置面１６には
、取付台７が該設置面１６上の正しい取イ」位ｉ’ｉに
配されたときに前記（ｆ／置合は用貫通穴１３と整合す
る位置合せ穴１７が設ｃＪられている。そして取イ１ネ
ジ１４を締結して取付台７を固定する前に、第２図に示
されるように両穴１３．１７にはこれら両穴１３．１７
どほぼ同径の位置決めビン１８が差し込まれ、それによ
り取付台７がガルバノメータミラー設置面１６−１の正
しい取ト１位置に位置決めされる。
このままの状態で前述のように取イ１ネジ１４が締結さ
れれば、取付台７はガルバノメータミラー設置面１６上
の正しい取イ・１位置に取りイ４けられる。
れれば、取付台７はガルバノメータミラー設置面１６上
の正しい取イ・１位置に取りイ４けられる。
ここで、以上述べたようにして取付台７がガルバノメー
タミラー設置面１６上に取り（１けられる前に、前記ガ
ルバノメータミラー１は予め、取付台７に対りる取付角
度の調整を受（プられるようになっている。すなわちガ
ルバノメータミラー設防面１６の取ｔ１ネジ穴１５と位
置合せ穴１７と向く同等の取付ネジ穴および位置合せ穴
を有する調整台（図示せず）が例えば工場内等に設置さ
れ、取付台７は出荷前にこの調整台土に固定される。こ
のとき前記位置決めビン１８を用いで、前述と同じ位置
決めが行なわれる。この状態のＦで円板３は、ガルバノ
メータミラー１が取付台７に対して最適な取伺角劇で支
持されるように、段部９内で回転されて位置調整される
。勿論この場合前述したネジ５は緩められる。そしてこ
のネジ５は長穴４に通されているので、上記のように円
板３を回転させて位置調整することが可能となっている
。
タミラー設置面１６上に取り（１けられる前に、前記ガ
ルバノメータミラー１は予め、取付台７に対りる取付角
度の調整を受（プられるようになっている。すなわちガ
ルバノメータミラー設防面１６の取ｔ１ネジ穴１５と位
置合せ穴１７と向く同等の取付ネジ穴および位置合せ穴
を有する調整台（図示せず）が例えば工場内等に設置さ
れ、取付台７は出荷前にこの調整台土に固定される。こ
のとき前記位置決めビン１８を用いで、前述と同じ位置
決めが行なわれる。この状態のＦで円板３は、ガルバノ
メータミラー１が取付台７に対して最適な取伺角劇で支
持されるように、段部９内で回転されて位置調整される
。勿論この場合前述したネジ５は緩められる。そしてこ
のネジ５は長穴４に通されているので、上記のように円
板３を回転させて位置調整することが可能となっている
。
なお実際に使用される光ビーム走査系と同じ調整用光ビ
ーム走査系を、実際使用の光ビーム走査系とガルバノメ
ータミラー設置面１６との位置関係が該調整用光ビーム
走査系と前記調整台との間に再現されるようにして設置
しておけば、該調整用光ビーム走査系を使用してガルバ
ノメークミラー１の最適取付角度を導き出りことができ
る。
ーム走査系を、実際使用の光ビーム走査系とガルバノメ
ータミラー設置面１６との位置関係が該調整用光ビーム
走査系と前記調整台との間に再現されるようにして設置
しておけば、該調整用光ビーム走査系を使用してガルバ
ノメークミラー１の最適取付角度を導き出りことができ
る。
前述したように位置決めビン１８を用いて、取イ・１台
７はガルバノメータミラー設置而１６−トの正しい取付
位置に取り付けられるが、その前に上記のようにしてガ
ルバノメータミラー１が取付台７に対して最適２ｒ取付
角度で取り付【プられていれば、ガルバノメータミラー
設置面１６トに取付台７が取り付Ｃフられたとぎガルバ
ノメータミラー１は、光ビーム走査系に対して最適取付
角度をなすものとなる。なお既述のようにガルパーツメ
ータミラー設置面１６の周辺の構造は複雑になることが
多いが、ガルバノメータミラー設置面１６に対づ−る取
付台７の位置決めは位置決めビン１８を用いて簡単に行
なわれるので、この位置決め作業は極めて容易になされ
つる。
７はガルバノメータミラー設置而１６−トの正しい取付
位置に取り付けられるが、その前に上記のようにしてガ
ルバノメータミラー１が取付台７に対して最適２ｒ取付
角度で取り付【プられていれば、ガルバノメータミラー
設置面１６トに取付台７が取り付Ｃフられたとぎガルバ
ノメータミラー１は、光ビーム走査系に対して最適取付
角度をなすものとなる。なお既述のようにガルパーツメ
ータミラー設置面１６の周辺の構造は複雑になることが
多いが、ガルバノメータミラー設置面１６に対づ−る取
付台７の位置決めは位置決めビン１８を用いて簡単に行
なわれるので、この位置決め作業は極めて容易になされ
つる。
以上説明した実施態様においては、円板３に長穴４が設
【プられ円板受部８にネジ穴６が設けられているが、円
板受部８の形状を変えて、該円板受部８に長穴を設ける
一方円板３にネジ穴を設けるようにしてもよい。また上
記実施態様においては、ガルバノメータミラー設置面１
６側の位置決めマークと１ノで位置合［！穴１７が用い
られ、また取付台７＝７− の取付部１０側の合いマークとして位置合せ用貫通穴１
３が設Ｇ）られているが、ガルバノメータミラー設置面
１６に位置合は穴１７を設ける代わりにマークを記入し
ておいてもよい。さらには取付部１０に位置合せ用貫通
穴１３を設【プる代わりに、該取付部１０の側端面に合
いマークを記入あるいは刻設置、ておき、ガルバノメー
タミラー設置面１６にもこの合いマークと整合リ−るイ
ずｌ置決めマークを記入あるいは刻設するようにしても
よい。
【プられ円板受部８にネジ穴６が設けられているが、円
板受部８の形状を変えて、該円板受部８に長穴を設ける
一方円板３にネジ穴を設けるようにしてもよい。また上
記実施態様においては、ガルバノメータミラー設置面１
６側の位置決めマークと１ノで位置合［！穴１７が用い
られ、また取付台７＝７− の取付部１０側の合いマークとして位置合せ用貫通穴１
３が設Ｇ）られているが、ガルバノメータミラー設置面
１６に位置合は穴１７を設ける代わりにマークを記入し
ておいてもよい。さらには取付部１０に位置合せ用貫通
穴１３を設【プる代わりに、該取付部１０の側端面に合
いマークを記入あるいは刻設置、ておき、ガルバノメー
タミラー設置面１６にもこの合いマークと整合リ−るイ
ずｌ置決めマークを記入あるいは刻設するようにしても
よい。
（発明の効果）
以上詳細に説明した通り本発明のガルバノメータミラー
取付装置によれば、ガルバノメータミラー設置面以外の
場所で調整して得たガルバノメータミラー最適取付角度
を、高精度でガルバノメータミラー設置面において再現
することができ、しかも周囲構造が複雑になることが多
いガルバノメータミラー設置面における位置決め作業は
極めて容易であるので、ガルバノメータミラー取付角度
調整作業の能率は大いに高められる。
取付装置によれば、ガルバノメータミラー設置面以外の
場所で調整して得たガルバノメータミラー最適取付角度
を、高精度でガルバノメータミラー設置面において再現
することができ、しかも周囲構造が複雑になることが多
いガルバノメータミラー設置面における位置決め作業は
極めて容易であるので、ガルバノメータミラー取付角度
調整作業の能率は大いに高められる。
第１図は本発明の一実施態様装置を示す斜視図、第２図
はそのＩＦ−Ｉ線断面図である。 １・・・ガルバノメータミラー ３・・・円板 ４・・・長穴６・・・ネジ
穴 ７・・・取付台８・・・円板受部
１０・・・取付部１１・・・取付面 １
２・・・取イー１穴１３・・・イ☆置合せ用貫通穴 １
４・・・取付ネジ１６・・・ガルバノメータミラー設置
面１７・・・位置合せ穴
はそのＩＦ−Ｉ線断面図である。 １・・・ガルバノメータミラー ３・・・円板 ４・・・長穴６・・・ネジ
穴 ７・・・取付台８・・・円板受部
１０・・・取付部１１・・・取付面 １
２・・・取イー１穴１３・・・イ☆置合せ用貫通穴 １
４・・・取付ネジ１６・・・ガルバノメータミラー設置
面１７・・・位置合せ穴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガルバノメータミラーをそのミラー回動軸を中心に配し
て固定するとともに、所定の円周上に複数の長穴または
ネジ穴が設けられた円板、およびこの円板を回転可能に
受承し、前記長穴またはネジ穴と整合するネジ穴または
長穴が設けられた円板受部と、この円板受部と一体的に
形成され平らな取付面を有する取付部とからなる取付台
から構成され、 前記取付部に、該取付部がガルバノメータミラー設置面
上の所定の取付位置に配されたときこの設置面に設けら
れた位置決めマークと整合する合いマークと、取付ネジ
が通される取付穴とが設けられたことを特徴とするガル
バノメータミラー取付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182393A JPS6161124A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−取付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182393A JPS6161124A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−取付装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161124A true JPS6161124A (ja) | 1986-03-28 |
Family
ID=16117532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59182393A Pending JPS6161124A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−取付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01183336A (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-21 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | 加工テーブル基準位置検出方法 |
| JP2006322921A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-30 | Anritsu Corp | 電磁波シールドボックス |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59182393A patent/JPS6161124A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01183336A (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-21 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | 加工テーブル基準位置検出方法 |
| JP2006322921A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-30 | Anritsu Corp | 電磁波シールドボックス |
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