JPS615625A - Ｄａコンバ−タの直線性の補正装置 - Google Patents
Ｄａコンバ−タの直線性の補正装置Info
- Publication number
- JPS615625A JPS615625A JP12530984A JP12530984A JPS615625A JP S615625 A JPS615625 A JP S615625A JP 12530984 A JP12530984 A JP 12530984A JP 12530984 A JP12530984 A JP 12530984A JP S615625 A JPS615625 A JP S615625A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、電子ビーム露光装置に好適な高精度ＤＡコン
バータの直線性の補正装置に関する。
バータの直線性の補正装置に関する。
従来ＤＡコンバータの直線性はその内部のアナログスイ
ッチ、抵抗のばらつき、精度により決まる。特にアナロ
グスイッチは動作′醒流が個々に異なるためばらつきが
太き（、ＤＡコンバータの高精度化をむずかしくしてい
る。
ッチ、抵抗のばらつき、精度により決まる。特にアナロ
グスイッチは動作′醒流が個々に異なるためばらつきが
太き（、ＤＡコンバータの高精度化をむずかしくしてい
る。
本発明の目的は直線性の悪いＤＡコンバータをそのディ
ジタル入力を適当に組み合わせることにより高精度のＤ
Ａコンバータを得るものである。
ジタル入力を適当に組み合わせることにより高精度のＤ
Ａコンバータを得るものである。
本発明は、ＤＡコンバータのディジタル入力を組み合わ
せ％ＤＡコンバータの出力が理想的な出力番こなる様な
ディジタル入力の組み合わせをあらかじめＲ，ＯＭ等に
書き込み、ＤＡコンバータの入力に対し理想出力になる
様にＲＯＭから読み出しＤＡコンバータに入力するもの
である。
せ％ＤＡコンバータの出力が理想的な出力番こなる様な
ディジタル入力の組み合わせをあらかじめＲ，ＯＭ等に
書き込み、ＤＡコンバータの入力に対し理想出力になる
様にＲＯＭから読み出しＤＡコンバータに入力するもの
である。
高精度のＤＡコンバータを作るには内部のアナログスイ
ッチ、抵抗等を正確に合わさなければならない。この作
業はかなり労力を必要とする。
ッチ、抵抗等を正確に合わさなければならない。この作
業はかなり労力を必要とする。
本発明方法によればＤＡ：ｌンバータの内部のアナログ
スイッチ、抵抗等は設計値通りで良く、ディジタルの入
力を適当に組み合わせ理想出力が得られる。たとえば外
部からは理想的なりＡコンバータとして入力すればディ
ジタル入力をＲＯＭ等で換算し、ＤＡコツバータへ入力
する。アナログに比ベディジタルは十分演算速度は早（
、ＤＡ：＝ｒンバータの内部のアナログスイッチ、抵抗
等を微調整する必要もない。
スイッチ、抵抗等は設計値通りで良く、ディジタルの入
力を適当に組み合わせ理想出力が得られる。たとえば外
部からは理想的なりＡコンバータとして入力すればディ
ジタル入力をＲＯＭ等で換算し、ＤＡコツバータへ入力
する。アナログに比ベディジタルは十分演算速度は早（
、ＤＡ：＝ｒンバータの内部のアナログスイッチ、抵抗
等を微調整する必要もない。
すなわち、少ないコストで高精度のＤＡコンバータを得
ることができる。
ることができる。
又、ＤＡコンパ〜り内部のアナログアンプの歪も含めて
補正できる。
補正できる。
第１図にＤＡコンバータの直線性の補正するためのブロ
ック図、第２図にＤＡコンバータの使用例を示す。
ック図、第２図にＤＡコンバータの使用例を示す。
第１図において、ますカウンタ１１アツプダウンカウン
タ２をクリアする。カウンタｌの出力を参照ＤＡコンバ
ータ３に入力する。
タ２をクリアする。カウンタｌの出力を参照ＤＡコンバ
ータ３に入力する。
被補正ＤＡコンバータ４はカウンタ１とアップダウンカ
ウンタ２の出力をアダー５により加算し。
ウンタ２の出力をアダー５により加算し。
被補正ＤＡコンバータ４に入力する。参照ＤＡコンバー
タ３と被補正ＤＡコンバータ４の出力は比較器６により
大小が比較される。
タ３と被補正ＤＡコンバータ４の出力は比較器６により
大小が比較される。
被補正ＤＡコンバータ４は参照ＤＡ：ｆｆンバータ３よ
り同一人力でわずかに大きく出力される様に、又最初は
被補正ＤＡコンバータ４と参照ＤＡコンバータ３の出力
は同じζこなる様−こ調整されているものとする。
り同一人力でわずかに大きく出力される様に、又最初は
被補正ＤＡコンバータ４と参照ＤＡコンバータ３の出力
は同じζこなる様−こ調整されているものとする。
上述の仮定により比較器６は零となり、制御回路７はリ
ードオンリーメモリ（ＲＯＭ）８にカウンタｌをアドレ
スにアップダウンカウンタ２の内容を書き込む。
ードオンリーメモリ（ＲＯＭ）８にカウンタｌをアドレ
スにアップダウンカウンタ２の内容を書き込む。
次に制御回路７はカウンタ１に１を加え、アップダウン
カウンタ２はクリアする。 １参照
ＤＡコンバータ３と被補正ＤＡコンバータ４とに同一人
力を入れ、それらの出力を比較器６で比較する。
カウンタ２はクリアする。 １参照
ＤＡコンバータ３と被補正ＤＡコンバータ４とに同一人
力を入れ、それらの出力を比較器６で比較する。
参照ＤＡ：ｒンバータ３〉被補正ＤＡコンバータ４であ
るならアップダウンカウンタ２を制御回路７はアップし
、その逆ならばダウンする。
るならアップダウンカウンタ２を制御回路７はアップし
、その逆ならばダウンする。
比較器６の出力が１又は０と変゛化するアップダウンカ
ウンタ２のＲＯＭ８に上記と同様に書き込む。
ウンタ２のＲＯＭ８に上記と同様に書き込む。
以下同様にカウンタ１の内容がオールｌ！こなるまでＲ
ＯＭ８にアップダウンカウンタ２の内容を書き込む。
ＯＭ８にアップダウンカウンタ２の内容を書き込む。
次に８０Ｍ８の書込みが終了し、被補正ＤＡコンバータ
４の補正後の動作を表わした図が第２図である。
４の補正後の動作を表わした図が第２図である。
第２図１こおいて、補正データの入ったＲＯＭ８とアダ
ー５の一方の入力にディジタル入力が加わる。ＲＯＭ８
はこのディジタル入力をアドレスにし、書き込まれた・
データを読み出す。このＲＯＭＢの読出データ（補正デ
ータ）とディジタル入力をアダー５で加算し、被補正Ｄ
Ａコンバータ４に入力する。この入力により、被補正Ｄ
Ａコンバータ４の出力は高精度の出力となる。
ー５の一方の入力にディジタル入力が加わる。ＲＯＭ８
はこのディジタル入力をアドレスにし、書き込まれた・
データを読み出す。このＲＯＭＢの読出データ（補正デ
ータ）とディジタル入力をアダー５で加算し、被補正Ｄ
Ａコンバータ４に入力する。この入力により、被補正Ｄ
Ａコンバータ４の出力は高精度の出力となる。
上述゛したＲＯＭの代り、ＲＡＭを用いてもよい。
ＲＯＭの内容は規則的に変化するものであるから、ＵＰ
／ＤＯＷＮ カウンタを用いるのも一つの方法である
。
／ＤＯＷＮ カウンタを用いるのも一つの方法である
。
第１図は本発明によるＤＡコンバータの補正方法を示す
ブロック図、第２図は第１図の要部のブロック図である
。 １・・・カウンタ、２・・・アップダウンカウンタ、３
・・・参照ＤＡコンバータ、４・・・被補正ＤＡツンバ
ータ、５・・・アダー、６・・・比較器、７・・・制御
回路、８・・・ＲＯＭ０
ブロック図、第２図は第１図の要部のブロック図である
。 １・・・カウンタ、２・・・アップダウンカウンタ、３
・・・参照ＤＡコンバータ、４・・・被補正ＤＡツンバ
ータ、５・・・アダー、６・・・比較器、７・・・制御
回路、８・・・ＲＯＭ０
Claims (1)
- ＤＡコンバータへのディジタル入力を発生する手段と該
ディジタル入力により理想アナログ出力を発生する参照
ＤＡコンバータと、この参照ＤＡコンバータと被補正Ｄ
Ａコンバータのアナログ出力を比較する比較手段と、該
比較手段により前記被補正ＤＡコンバータのディジタル
入力を変化させ、上記参照ＤＡコンバータの出力とほぼ
同一になる様にする制御手段と、該制御手段により上記
参照ＤＡコンバータと上記補正ＤＡコンバータの出力が
同一になるためのディジタル入力の変換を記憶し、上記
被補正ＤＡコンバータへのディジタル入力を与える記憶
手段とを具備したことを特徴とするＤＡコンバータの直
線性の補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12530984A JPS615625A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | Ｄａコンバ−タの直線性の補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12530984A JPS615625A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | Ｄａコンバ−タの直線性の補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS615625A true JPS615625A (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=14906911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12530984A Pending JPS615625A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | Ｄａコンバ−タの直線性の補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS615625A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03145216A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-20 | Icom Inc | Ｄ／ａ変換装置 |
| WO2007123056A1 (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Advantest Corporation | 特性取得装置、方法およびプログラム |
| WO2013042313A1 (ja) * | 2011-09-20 | 2013-03-28 | パナソニック株式会社 | Ｄａ変換装置及び音声システム |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP12530984A patent/JPS615625A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03145216A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-20 | Icom Inc | Ｄ／ａ変換装置 |
| WO2007123056A1 (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Advantest Corporation | 特性取得装置、方法およびプログラム |
| US7999706B2 (en) | 2006-04-17 | 2011-08-16 | Advantest Corporation | Characteristic acquisition device, method and program |
| WO2013042313A1 (ja) * | 2011-09-20 | 2013-03-28 | パナソニック株式会社 | Ｄａ変換装置及び音声システム |
| CN103828241A (zh) * | 2011-09-20 | 2014-05-28 | 松下电器产业株式会社 | Da变换装置以及声音系统 |
| JPWO2013042313A1 (ja) * | 2011-09-20 | 2015-03-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Ｄａ変換装置及び音声システム |
| US9218816B2 (en) | 2011-09-20 | 2015-12-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | DAC device and audio system |
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