JPS6147572A - 直流試験方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、直流試験方式に関するもので、例えば、コ
ンピュータシステムを用いた半導体集積回路装置の直流
試験に利用して有効な技術に関するものである。

〔背景技術〕

半導体集積回路装置の電気的な特性試験の１つに直流試
験がある。この直流試験とは、人力のリーク電流、耐圧
、出力レベル及び電源電流などが規定の範囲にあるかど
うかをチェックする試験であり、集積回路がその基本的
な特性を満足しているかどうかの試験である。したがっ
て、半導体集積回路装置の品質管理や品質保証の上で重
要な試験である。

例えば、上記入力のリーク電流の測定においては、規定
の入力電圧（フォース電圧）を供給して、その時に流れ
る電流を検出するものである。このような直流試駆にお
ては、試験プログラムにより上記フォース電圧の指示を
行っても、直流試験ユニットでの動作遅延時間や被測定
集積回路装置間とを接続するケーブル等における浮遊容
量や分布抵抗等により実際に被測定集積回路装置に所望
の電圧が供給されるまでに時間遅れが生じる。このため
、一定の時間マージンを持たせたタイミング（ポーズ時
間）で−律に上記電流の判定タイミングを設定するもの
である。

上記時間マージンはせいぜい数謁と短いが、大規模集積
回路装置では１サンプル当たり数百回もの試験回数にな
る。したがって、１サンプル当たりの試験時間の大半を
上記時間マージンが占めることになってしまう。さらに
、上記時間設定を試験プログラムの中に組み込む必要が
あるので、ソフトウェアの負担が大きくなる。

なお、半導体集積回路装置のテストシステムとしては、
例えば、「電子材料１誌の１９７８年１１月号頁１６０
〜１６５に記載がある。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、簡単な構成により試験時間の短縮化
を実現した直流試験方式を提供することにある。

この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明、ｍｖ！の記述および添付図面から明らかになる
であろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。

すなわち、被測定集積回路に供給されたフォース電圧又
は電流をモニターすることによって、規定の電圧又は電
流が得られたタイミングで測定すべき電流又は電圧値の
サンプリングを行うようにするものである。

〔実施例〕

第１図には、この発明に係る直流測定ユニットの一実施
例のブロック図が示されている。

同図に破線で囲まれた各回路プロ７りは、直流試験ユニ
ットＤＣＭであり、例えばマイクロコンピュータシステ
ム等により形成されたテストプログラムに従って被測定
集積回路ＤＵＴに電圧又は電流を供給し、その時の電流
又は電圧を検出するものである。この実施例の直流試験
ユニットＤＣＭは、次の各回路ブロックにより構成され
る。

Ｄ／Ａ変換回路Ｄ／りは、ディジタル値■ｆ　（Ｉｆ・
・図示せず）により指示されたフォース電圧値又は電流
値をアナログ信号に変換して、電源回路として増幅回路
（インピーダンス変換回路）ＡＭＰに伝える。増幅回路
ＡＭＰは、上記アナログ信号とその出力側に設けられた
電圧センサー■Ｓ又は電流センサーＩｓからの信号（ｖ
、　　ｉ）を参照して、その出力（Ｖ又はｉ）が入力に
供給されたアナログ信号（フォース電圧又は電流）と一
致させるような負帰還動作を行う。

上記センサー■Ｓ及びＩＳの出力は、またスイッチ回路
ＳＷを介して選択的にＡ／Ｄ変換回路Ａ／Ｄの入力に供
給される。

この実施例では、上記スイッチ回路ＳＷを次のように切
り換えることにより、上記フォース電圧又は電流のモニ
ターを行つた後に、測定すべき電流又は電圧を検出する
ようにするものである。

例えば、被測定集積回路ＤＵＴの人力のリーク電流の試
験動作を例にし、第２図に示した波形図を参照してこの
実施例の直流試験動作を説明する。

試験プログラムに従って形成されたフォース電圧Ｖｆは
、上記Ｄ／Ａ変換回路Ｄ／Ａによってアナログ信号に変
換され、増幅回路ＡＭＰに伝えられる。増幅回路ＡＭＰ
は、電圧センサーｖｓにより形成された出力電圧Ｖを参
照して、この電圧Ｖが上記アナログ信号にされたフォー
ス電圧Ｖｆと一致させるような増幅動作を行う。このよ
うな増幅動作により電圧Ｖは、時間ＬＱから立ち上げら
れる。この時、上記スイッチ回路ＳＷは、その接点がｂ
側に接続されており、上記電圧センサーＶＳの出力をＡ
／Ｄ変換回路Ａ／Ｄの入力に伝える。

Ａ／Ｄ変換回路Δ／Ｄは、被測定集積回路ＤＵＴに供給
される電圧Ｖをディジタル信号に変換して、図示しない
マイクロコンピュータシステムに伝工る。マイクロコン
ピュータシステムは、そのプログラムによって、上記フ
ォース電圧値ＶｆとＡ／Ｄ変換された上記電圧Ｖとの比
較動作を行う。これにより、両者ＶｆとＶとが一致した
タイミングｔ１が検出されると、そのテストプログラム
により上記スイッチ回路ＳＷは、ｂ　Ｉ！Ｉからａ側に
切り換えられる。これにより、Ａ／Ｄ変換回路Ａ／Ｄの
入力には、電流センサーＩｓの出力、言い換えれば、被
測定集積回路装置ＤＵＴの入力に流れるリーク電流ｌが
、例えば電圧値として供給される。

この電流ｉのディジタル信号Ｉは、その時の測定値とし
てマイクロコンピュータシステムに取り込まれるもので
ある。

ナオ、フォース電流を供給して、その時の電圧値を測定
する場合には、上記スイッチ回路ｓｗは、上記の場合と
は逆にａ側に接続される。これにより、被測定集積回路
ＤＵＴに供給される電流ｉはＡ／Ｄ変換回路によってデ
ィジタル信号Ｉに変換され、上記同様にモニターが行わ
れるものである。

そして、上記フォース電流と上記モニター出力としての
電流Ｉとが一致したことが検出されると上記スイッチ回
路ＳＷはｂ側に切り換えられ、その時の測定電圧ＶがＡ
／Ｄ変換されてマイクロコンピュータシステムに取り込
まれる。

〔効　果〕

（１）フォース電圧又は電流が規定の値になったか否か
をモニターすることによって、測定すべき電流又は電圧
値の取り込みタイミングを規定するものであるので、上
記取り込みタイミングを規定するための時間マージンの
設定が不要になる。したがヮて、テスト時間の大幅な短
縮化を実現することができるという効果が得られる。

（２）フォース電圧又は電流が規定の値になったか否か
をモニターすることによって、測定すべき電流又は電圧
値の取り込みタイミングを規定するものであるので、上
記取り込みタイミングを規定するたのソフトウェアの負
担を無くすことができるという効果が得られる。

（３）上記フォース電圧又は電流が規定の値になったか
否かをモニターするものであるので、直流測定ユニット
側の故隙、または被測定集積回路との接続を行うソケッ
ト等の治具の不良等をいち早く検出することができると
いう効果が得られる。

（４）フォース電圧又は電流をモニターするための回路
として、上記測定電流又は電圧を取り込むためのＡ／Ｄ
変換回路とスイッチ回路を併用するものであるので、特
別な回路を付加することなく、上記（１）ないしく３）
の効果を得ることができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を造成しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。フォース電圧又は電流
をモニターする回路は、上記測定値を取り込む回路とは
別に設けるものであってもよい。また、このモニター回
路は、アナログ回路により構成するものであってもよい
。

例えば上記ｇｌＳ１図のブロック図において、Ｄ／Ａ変
換回路の出力と各センサーからの出力とを電圧比較回路
により両者が一致したタイミングを識別するようにする
ものであってもよい。

〔利用分野〕

この発明は、半導体装置の直流試験方式のとして広く利
用することができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示すブロック図、 第２図は、その動作の一例を示す波形図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定集積回路装置に供給する電圧又は電流を発生
   させる電源供給回路と、被測定集積回路装置に供給され
   た電圧及び電流を検出するセンサーとを含み、上記セン
   サーからの出力により被測定集積回路装置に所望の電圧
   又は電流が供給されたことを検出した後、測定すべきそ
   の時の電流又は電圧の取り込みを行うことを特徴とする
   直流試験方式。 ２、上記電源供給回路は、ディジタル値により指定され
   た試験電圧又は電流値を受けるＤ／Ａ変換回路の出力電
   圧と上記センサーからの帰還信号とを受けて、その時の
   試験電圧又は電流を発生させるものであることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の直流試験装置。 ３、上記センサーの出力は、スイッチ回路を通して選択
   的にＡ／Ｄ変換回路に供給され、このＡ／Ｄ変換回路の
   出力から、上記所望の供給電圧又は電流値を検出するた
   めの信号と、測定すべき電流又は電圧とを形成するもの
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１又は第２項
   記載の直流試験方式。