JPH0645909Y2 - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
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- JPH0645909Y2 JPH0645909Y2 JP8259687U JP8259687U JPH0645909Y2 JP H0645909 Y2 JPH0645909 Y2 JP H0645909Y2 JP 8259687 U JP8259687 U JP 8259687U JP 8259687 U JP8259687 U JP 8259687U JP H0645909 Y2 JPH0645909 Y2 JP H0645909Y2
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- JP
- Japan
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- voltage
- current
- circuit
- under test
- operational amplifier
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はICの直流特性が正常か否かを試験するIC試験
装置に関する。
装置に関する。
「考案の背景」 従来よりICの試験にはICの機能が正常か否かを試験する
機能試験と、ICの特に電源端子等の直流特性が正常か否
かを試験する直流試験とがある。
機能試験と、ICの特に電源端子等の直流特性が正常か否
かを試験する直流試験とがある。
この考案はこの中の直流試験を行うIC試験装置の改良を
提案するものである。
提案するものである。
直流試験には被試験ICの端子に既知の電圧を印加し、こ
のとき所定の電流が流れるか否かを試験する電圧印加電
流測定試験と、被試験ICの端子に既知の電流を流した状
態でその端子に規定の電圧が発生するか否かを見る電流
印加電圧測定試験とがある。
のとき所定の電流が流れるか否かを試験する電圧印加電
流測定試験と、被試験ICの端子に既知の電流を流した状
態でその端子に規定の電圧が発生するか否かを見る電流
印加電圧測定試験とがある。
この考案は電圧印加電流測定試験に用いる電圧印加電流
測定試験回路の改良を提案するものである。
測定試験回路の改良を提案するものである。
「従来技術」 第２図に従来の電圧印加電流測定機能を持つ回路の構造
を示す。
を示す。
図中１は演算増幅器、２は被試験IC、ECはこの被試験IC
2の端子2A,2B間に所望の電圧を印加する直流電圧源、３
は被試験IC2に所定の電圧を与えたとき流れる電流を検
出する電流検出用抵抗器、４は被試験IC2の端子2Aに与
える電圧を演算増幅器１の反転入力端子に負帰還し、直
流電圧源ECから与えた電圧E0と被試験IC2の端子2A,2B間
に与える電圧を平衡させて、端子2A,2B間に電圧源ECか
ら与えた電圧E0を正確に伝えるための電圧帰還回路、５
は電流検出用抵抗器３に発生する電圧を測定して被試験
IC2に流れる電流値を求める電流測定回路を示す。この
電流測定回路５は電流検出用抵抗器３に発生する電圧を
取り出す引き算回路5Aと、この引き算回路5Aで取り出し
た電圧値をAD変換するAD変換器5Bと、AD変換器5Bから出
力されるディジタル値を取り込んで電流値を算出する演
算手段5Cとによって構成される。
2の端子2A,2B間に所望の電圧を印加する直流電圧源、３
は被試験IC2に所定の電圧を与えたとき流れる電流を検
出する電流検出用抵抗器、４は被試験IC2の端子2Aに与
える電圧を演算増幅器１の反転入力端子に負帰還し、直
流電圧源ECから与えた電圧E0と被試験IC2の端子2A,2B間
に与える電圧を平衡させて、端子2A,2B間に電圧源ECか
ら与えた電圧E0を正確に伝えるための電圧帰還回路、５
は電流検出用抵抗器３に発生する電圧を測定して被試験
IC2に流れる電流値を求める電流測定回路を示す。この
電流測定回路５は電流検出用抵抗器３に発生する電圧を
取り出す引き算回路5Aと、この引き算回路5Aで取り出し
た電圧値をAD変換するAD変換器5Bと、AD変換器5Bから出
力されるディジタル値を取り込んで電流値を算出する演
算手段5Cとによって構成される。
電流検出用抵抗器３にはこれと並列にレンジ切替回路６
が接続され、電流値に応じてスイッチK1，K2をオン、オ
フし、AD変換器5BでAD変換が可能な範囲の電圧をAD変換
器5Bに入力することができるようにしている。
が接続され、電流値に応じてスイッチK1，K2をオン、オ
フし、AD変換器5BでAD変換が可能な範囲の電圧をAD変換
器5Bに入力することができるようにしている。
この回路構造によれば直流電圧源ECから与えた電圧E0が
演算増幅器１を通じて被試験IC2の端子2Aと2Bの間に与
えられる。通常これらの端子2Aと2Bは電源端子とされ
る。
演算増幅器１を通じて被試験IC2の端子2Aと2Bの間に与
えられる。通常これらの端子2Aと2Bは電源端子とされ
る。
端子2A,2B間に与えられた電圧V0は負帰還回路４を介し
て演算増幅器１の反転入力端子に帰還され、直流電圧源
ECの電圧E0と端子2A,2B間に与えられる電圧V0とがE0＝V
0となるように演算増幅器１が動作する。つまり電流検
出用抵抗器３に電圧降下が発生してもE0＝V0となるよう
に演算増幅器１が動作する。
て演算増幅器１の反転入力端子に帰還され、直流電圧源
ECの電圧E0と端子2A,2B間に与えられる電圧V0とがE0＝V
0となるように演算増幅器１が動作する。つまり電流検
出用抵抗器３に電圧降下が発生してもE0＝V0となるよう
に演算増幅器１が動作する。
電流検出用抵抗器３に発生した電圧は電流測定回路５に
取り込まれ、電流値が算出される。
取り込まれ、電流値が算出される。
直流電圧源ECは例えばDA変換器によって構成され、DA変
換器によってディジタル信号をDA変換して例えば高速度
で変化する階段状の電圧信号を発生させ、この階段状の
電圧信号を演算増幅器１に与えて、被試験IC2の端子2A,
2B間に階段状に変化する電圧を与え、階段状に変化する
各電圧値に対し予定した電流が流れるか否かを試験す
る。
換器によってディジタル信号をDA変換して例えば高速度
で変化する階段状の電圧信号を発生させ、この階段状の
電圧信号を演算増幅器１に与えて、被試験IC2の端子2A,
2B間に階段状に変化する電圧を与え、階段状に変化する
各電圧値に対し予定した電流が流れるか否かを試験す
る。
ところで被試験IC2に流れる電流ILが印加電圧の変化に
基づいて大きく変化したとするとAD変換器5Bのダイナミ
ックレンジを大きく越えてしまう不都合が生じる。この
ためにレンジ切替回路６が設けられているが、抵抗器だ
けで電流検出回路を構成した場合、AD変換器5Bのダイナ
ミックレンジが限られているから測定範囲は限られたも
のとなる。
基づいて大きく変化したとするとAD変換器5Bのダイナミ
ックレンジを大きく越えてしまう不都合が生じる。この
ためにレンジ切替回路６が設けられているが、抵抗器だ
けで電流検出回路を構成した場合、AD変換器5Bのダイナ
ミックレンジが限られているから測定範囲は限られたも
のとなる。
つまり第３図Ａに示すように電流ILの変化によって抵抗
器３発生する電圧信号Vxに対し、AD変換器5Bのダイナミ
ックレンジがDWで規定されたとすると、電圧信号Vxのピ
ーク値EPをダイナミックレンジDWの範囲に入るようにレ
ンジ切替回路６を設定したとすると、電流測定値の分解
能は悪いものとなる。
器３発生する電圧信号Vxに対し、AD変換器5Bのダイナミ
ックレンジがDWで規定されたとすると、電圧信号Vxのピ
ーク値EPをダイナミックレンジDWの範囲に入るようにレ
ンジ切替回路６を設定したとすると、電流測定値の分解
能は悪いものとなる。
このためレンジ切替回路６を一段高感度側に切替えたと
すると、今度は第３図Ｂに示すように電圧信号Vxのピー
ク値EPは点線で示すようにAD変換器5Bのダイナミックレ
ンジDWを越えてしまう。このためにダイナミックレンジ
DWを越えた部分の電流値は読み取ることができない欠点
が生じる。
すると、今度は第３図Ｂに示すように電圧信号Vxのピー
ク値EPは点線で示すようにAD変換器5Bのダイナミックレ
ンジDWを越えてしまう。このためにダイナミックレンジ
DWを越えた部分の電流値は読み取ることができない欠点
が生じる。
この種の試験では電流値の小さい部分は高分解能で読み
取り、大電流の部分は高分解能を要求しない場合が多
い。特に或る電流値以上は不良と判定する場合には、不
良と判定した電流値以上は高い分解能で読み取らなくて
もよい。但し不良と判定して電流値以上に電流が流れて
も、その電流がどのような傾向を示して流れたかは測定
したい。従って電流の変化は常にAD変換器5Bのダイナミ
ックレンジDWに入っていることと、低電流領域は電流の
変化を分解能よく測定することで互に反する条件が要求
される。
取り、大電流の部分は高分解能を要求しない場合が多
い。特に或る電流値以上は不良と判定する場合には、不
良と判定した電流値以上は高い分解能で読み取らなくて
もよい。但し不良と判定して電流値以上に電流が流れて
も、その電流がどのような傾向を示して流れたかは測定
したい。従って電流の変化は常にAD変換器5Bのダイナミ
ックレンジDWに入っていることと、低電流領域は電流の
変化を分解能よく測定することで互に反する条件が要求
される。
これを解決するために電流検出用抵抗器３及びレンジ切
替回路６と並列にダイオードD1とD2から成るダイオード
逆並列回路７を接続し、ダイオードD1，D2の導通特性に
よって電圧の変化に対数特性を持たせる構造が採られて
いる。
替回路６と並列にダイオードD1とD2から成るダイオード
逆並列回路７を接続し、ダイオードD1，D2の導通特性に
よって電圧の変化に対数特性を持たせる構造が採られて
いる。
つまりダイオードD1，D2の導通特性を利用して対数特性
を持たせ、電流ILの増加時にダイオードD1またはD2が導
通するまでの間は電流検出用抵抗器３に発生する電圧
は、電流検出用抵抗器３及びレンジ切替回路６の抵抗器
の抵抗値と電流値ILで決まる傾斜でリニアに変化する。
従って分解能よく電流値を測定することができる。
を持たせ、電流ILの増加時にダイオードD1またはD2が導
通するまでの間は電流検出用抵抗器３に発生する電圧
は、電流検出用抵抗器３及びレンジ切替回路６の抵抗器
の抵抗値と電流値ILで決まる傾斜でリニアに変化する。
従って分解能よく電流値を測定することができる。
電流検出用抵抗器３に発生する電圧がダイオードD1また
はD2が導通する電圧以上の領域では抵抗器３に発生する
電圧はダイオードD1またはD2の導通特性に抑制され対数
の変化と同等の変化率で変化する。従ってダイオード逆
並列回路７を接続した場合に電流検出用抵抗器３に発生
する電圧は第３図Ｃに示すように電流の増加に伴ってそ
の増加率が漸次低下し、対数特性となる。
はD2が導通する電圧以上の領域では抵抗器３に発生する
電圧はダイオードD1またはD2の導通特性に抑制され対数
の変化と同等の変化率で変化する。従ってダイオード逆
並列回路７を接続した場合に電流検出用抵抗器３に発生
する電圧は第３図Ｃに示すように電流の増加に伴ってそ
の増加率が漸次低下し、対数特性となる。
このようにして従来はダイオードの逆並列回路７の存在
によって測定可能な電流値のダイナミックレンジを拡く
得るようにしている。
によって測定可能な電流値のダイナミックレンジを拡く
得るようにしている。
「考案が解決しようとする問題点」 従来の回路構造において、レンジ切替回路６のスイッチ
K1，K2をオン、オフするとその都度演算増幅器１の出力
側にスパイクノイズが発生する。
K1，K2をオン、オフするとその都度演算増幅器１の出力
側にスパイクノイズが発生する。
このスパイクノイズはスイッチK1，K2をオンに操作する
とき例えば正極性の方向に発生し、スイッチK1，K2をオ
ンにするとき負極性の方向に発生する。
とき例えば正極性の方向に発生し、スイッチK1，K2をオ
ンにするとき負極性の方向に発生する。
端子2Aに大きい電圧が印加されている状態でスパイクノ
イズが正極性の方向に発生し、これが被試験IC2の耐圧
を越えてしまうと被試験IC2を破損させてしまう欠点が
ある。
イズが正極性の方向に発生し、これが被試験IC2の耐圧
を越えてしまうと被試験IC2を破損させてしまう欠点が
ある。
また負極性の方向に発生する場合、そのスパイクノイズ
によって端子2Aの電圧が動作不能領域に達し、被試験IC
2がメモリであった場合は記憶状態が変化し、動作状態
が変化してしまう不都合が生じる。
によって端子2Aの電圧が動作不能領域に達し、被試験IC
2がメモリであった場合は記憶状態が変化し、動作状態
が変化してしまう不都合が生じる。
この考案の目的はレンジ切替時にスパイクノイズが発生
することのない電圧印加電流測定機能を持つIC試験装置
を提供するにある。
することのない電圧印加電流測定機能を持つIC試験装置
を提供するにある。
「問題点を解決するための手段」 この考案ではAD変換器の前段にレンジ切替回路を設け、
このレンジ切替回路によってAD変換器に与える電圧信号
のレベルを変更する構成としたものである。
このレンジ切替回路によってAD変換器に与える電圧信号
のレベルを変更する構成としたものである。
この考案の構成によれば電流検出用抵抗器に発生した電
圧は引き算回路によって取り出され、この電圧信号がレ
ンジ切替回路を通じてAD変換器に与えられる。
圧は引き算回路によって取り出され、この電圧信号がレ
ンジ切替回路を通じてAD変換器に与えられる。
従って電流測定レンジが切替えられても電流検出用抵抗
器の値は一定値に維持されるため被試験ICに直流電圧を
与える回路にスパイクノイズが発生することはない。こ
の結果被試験ICにスパイクノイズを与えることのないIC
試験装置を提供することができる。
器の値は一定値に維持されるため被試験ICに直流電圧を
与える回路にスパイクノイズが発生することはない。こ
の結果被試験ICにスパイクノイズを与えることのないIC
試験装置を提供することができる。
「実施例」 第１図にこの考案の一実施例を示す、図中１は演算増幅
器、２は被試験IC、ECは被試験IC2の端子2Aと2Bの間に
与えるべき直流電圧を発生する直流電圧源、３は電流検
出用抵抗器、４は被試験ICの端子2A,2B間に与えた電圧V
0を演算増幅器１に負帰還させる帰還回路、５は電流測
定回路、７は電流検出抵抗器３の電流検出特性に対数特
性を持たせるダイオードの逆並列回路をそれぞれ示す。
器、２は被試験IC、ECは被試験IC2の端子2Aと2Bの間に
与えるべき直流電圧を発生する直流電圧源、３は電流検
出用抵抗器、４は被試験ICの端子2A,2B間に与えた電圧V
0を演算増幅器１に負帰還させる帰還回路、５は電流測
定回路、７は電流検出抵抗器３の電流検出特性に対数特
性を持たせるダイオードの逆並列回路をそれぞれ示す。
この考案においては電流測定回路５のAD変換器5Bの前段
側にレンジ切替回路６を設けた構造を特徴とするもので
ある。
側にレンジ切替回路６を設けた構造を特徴とするもので
ある。
この実施例で用いるレンジ切替回路６は演算増幅器6A
と、この演算増幅器6Aに引き算回路5Aから電流検出用抵
抗器３を流れる電流と等価な電流IL′を与える入力抵抗
器6Bと、この入力抵抗器6Bに発生する電圧に対数特性を
与えるダイオード逆並列回路6Cと、演算増幅器6Aの負帰
還回路に接続した抵抗切替回路6Dとによって構成され
る。
と、この演算増幅器6Aに引き算回路5Aから電流検出用抵
抗器３を流れる電流と等価な電流IL′を与える入力抵抗
器6Bと、この入力抵抗器6Bに発生する電圧に対数特性を
与えるダイオード逆並列回路6Cと、演算増幅器6Aの負帰
還回路に接続した抵抗切替回路6Dとによって構成され
る。
ここで入力抵抗器6Bの抵抗値Ｒ′1と電流検出用抵抗器
３の抵抗値R1とをＲ′1＝R1に選定することによって、
入力抵抗器6Bを流れる電流IL′は電流検出用抵抗器３を
流れる電流ILに対してIL′＝ILとなる。
３の抵抗値R1とをＲ′1＝R1に選定することによって、
入力抵抗器6Bを流れる電流IL′は電流検出用抵抗器３を
流れる電流ILに対してIL′＝ILとなる。
この結果演算増幅器6Aに電流検出用抵抗器３で発生する
電圧Vxと等価な電圧Ｖ′xを与えることができ、この状
態で抵抗切替回路6Dの抵抗値を切替えることによって演
算増幅器6Aの利得が切替えられ、AD変換器5Bに与える電
圧信号のレベルを切替えることができ、電流測定レンジ
を切替えることができる。
電圧Vxと等価な電圧Ｖ′xを与えることができ、この状
態で抵抗切替回路6Dの抵抗値を切替えることによって演
算増幅器6Aの利得が切替えられ、AD変換器5Bに与える電
圧信号のレベルを切替えることができ、電流測定レンジ
を切替えることができる。
抵抗切替回路6Dの抵抗値を切替えるとき演算増幅器6Aの
出力端子にはスパイクノイズが発生するが、このスパイ
クノイズはAD変換器5Bに与えられるだけで被試験IC2に
は全く印加されることがない。従ってレンジ切替えによ
って被試験IC2が破損したり或るいは被試験IC2の動作状
態が変化したりすることはない。
出力端子にはスパイクノイズが発生するが、このスパイ
クノイズはAD変換器5Bに与えられるだけで被試験IC2に
は全く印加されることがない。従ってレンジ切替えによ
って被試験IC2が破損したり或るいは被試験IC2の動作状
態が変化したりすることはない。
なおダイオード逆並列回路７と6Cの各ダイオードD1，
D2,D′1,D′2をそれぞれ熱的に結合させ、熱的にバラン
スさせることによってダイオードの温度変化に対する特
性変化による影響を除去することができる。
D2,D′1,D′2をそれぞれ熱的に結合させ、熱的にバラン
スさせることによってダイオードの温度変化に対する特
性変化による影響を除去することができる。
「考案の効果」 以上説明したようにこの考案によればレンジ切替回路６
を引き算回路5Aの後段に設け、AD変換器5Bに入力される
電流検出電圧信号のレベルを切替える構造としたから、
レンジ切替えが行われても被試験IC2に電圧を与える回
路にスパイクノイズが発生することはない。
を引き算回路5Aの後段に設け、AD変換器5Bに入力される
電流検出電圧信号のレベルを切替える構造としたから、
レンジ切替えが行われても被試験IC2に電圧を与える回
路にスパイクノイズが発生することはない。
この結果被試験IC2を破損させることなく安心して試験
を行うことができるIC試験装置を提供することができ
る。
を行うことができるIC試験装置を提供することができ
る。
第１図はこの考案の一実施例を示す接続図、第２図は従
来技術を説明するための接続図、第３図は従来技術の動
作を説明するための波形図である。 1:演算増幅器、2:被試験IC、2A,2B:電圧を印加する端
子、EC:直流電圧源、3:電流検出用抵抗器、4:帰還回
路、5:電流測定回路、6:レンジ切替回路。
来技術を説明するための接続図、第３図は従来技術の動
作を説明するための波形図である。 1:演算増幅器、2:被試験IC、2A,2B:電圧を印加する端
子、EC:直流電圧源、3:電流検出用抵抗器、4:帰還回
路、5:電流測定回路、6:レンジ切替回路。
Claims (1)
- 【請求項１】A.被試験ICの端子に所定の電圧を印加する
演算増幅器と、 B.この演算増幅器の出力端子と上記被試験ICの端子の間
に接続した電流検出用抵抗器と、 C.この電流検出用抵抗器に並列接続したダイオードの逆
並列回路と、 D.上記電流検出用抵抗器に発生する電圧を取り出す引き
算回路と、 E.この引き算回路の後段に接続され、引き算回路から出
力される電圧信号のレベルを切替えるレンジ切替回路
と、 から成るIC試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8259687U JPH0645909Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8259687U JPH0645909Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190974U JPS63190974U (ja) | 1988-12-08 |
| JPH0645909Y2 true JPH0645909Y2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=30935385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8259687U Expired - Lifetime JPH0645909Y2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645909Y2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3426254B2 (ja) * | 1997-11-20 | 2003-07-14 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験方法及びこの試験方法を用いたｉｃ試験装置 |
| JP4581865B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2010-11-17 | 横河電機株式会社 | 電圧印加装置 |
| JP2013104859A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-30 | Hioki Ee Corp | 電圧出力装置および抵抗測定装置 |
| JP2014119379A (ja) * | 2012-12-18 | 2014-06-30 | Sharp Corp | 半導体トランジスタのテスト方法 |
| DE102019108192A1 (de) * | 2019-03-29 | 2020-10-01 | Inficon Gmbh | Verstärkervorrichtung zur Verstärkung kleiner Ströme |
| WO2021039753A1 (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 換気装置 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP8259687U patent/JPH0645909Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63190974U (ja) | 1988-12-08 |
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