JPH0611510Y2 - 電圧印加電流測定装置 - Google Patents
電圧印加電流測定装置Info
- Publication number
- JPH0611510Y2 JPH0611510Y2 JP11227486U JP11227486U JPH0611510Y2 JP H0611510 Y2 JPH0611510 Y2 JP H0611510Y2 JP 11227486 U JP11227486 U JP 11227486U JP 11227486 U JP11227486 U JP 11227486U JP H0611510 Y2 JPH0611510 Y2 JP H0611510Y2
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- JP
- Japan
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- voltage
- current
- resistor
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- circuit
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は半導体集積回路素子のテスト装置に用いる電
圧印加電流測定装置に関する。
圧印加電流測定装置に関する。
「考案の背景」 半導体集積回路素子（以下ＩＣと称す）の試験にはその
回路素子が所定の動作を行なうか否かを試験する機能試
験と、端子の直流特性が規定の特性に出来上がつている
か否かを試験する直流試験とがある。
回路素子が所定の動作を行なうか否かを試験する機能試
験と、端子の直流特性が規定の特性に出来上がつている
か否かを試験する直流試験とがある。
直流試験には被験体の端子（主に電源端子）に所定の電
圧を与えてそのとき流れる電流を測定する電圧印加電流
測定装置と、端子に定電流源から所定の電流を印加し、
そのとき端子に規定の電圧が発生するか否かを見る電流
印加電圧測定試験とがある。
圧を与えてそのとき流れる電流を測定する電圧印加電流
測定装置と、端子に定電流源から所定の電流を印加し、
そのとき端子に規定の電圧が発生するか否かを見る電流
印加電圧測定試験とがある。
機能試験を行なう場合には被験体の電源端子に所定の電
源電圧を印加すると共に試験中に流れる電流も測定す
る。
源電圧を印加すると共に試験中に流れる電流も測定す
る。
このため従来より機能試験を行なう場合に被験体に電源
電圧を与える電源と、直流試験を行なう場合に用いる電
圧印加電流測定装置を共用している。
電圧を与える電源と、直流試験を行なう場合に用いる電
圧印加電流測定装置を共用している。
一方電圧印加電流測定装置には電流制限回路が設けられ
ており、この電流制限回路によって被験体に制限値以上
の過電流が流れ始めたとき、これを検出し電源の電圧を
制限して過電流の流入を遮断させる機能も合わせ有す
る。
ており、この電流制限回路によって被験体に制限値以上
の過電流が流れ始めたとき、これを検出し電源の電圧を
制限して過電流の流入を遮断させる機能も合わせ有す
る。
「従来技術」 第２図に従来の電圧印加電流測定装置を示す。図中１０
０はＩＣのような被験体、２００はこの被験体１００の
一つの端子に電圧を与える電源を示す。電源２００は演
算増幅器２０１と電圧設定器２０２とによつて構成され
る。電圧設定器202は例えばＤＡ変換器によって構成す
ることができ、ＤＡ変換器に制御器（特に図示しない）
からデイジタル信号の電圧設定信号が与えられ、電源20
0の出力電圧が制御される。
０はＩＣのような被験体、２００はこの被験体１００の
一つの端子に電圧を与える電源を示す。電源２００は演
算増幅器２０１と電圧設定器２０２とによつて構成され
る。電圧設定器202は例えばＤＡ変換器によって構成す
ることができ、ＤＡ変換器に制御器（特に図示しない）
からデイジタル信号の電圧設定信号が与えられ、電源20
0の出力電圧が制御される。
電源２００の出力電圧は電流測定手段３００を通じて被
験体１００に与えられる。電流測定手段３００は電流検
出用抵抗器３０１と、この電流検出用抵抗器と並列に抵
抗器とスイツチとから成る複数の直列回路によって構成
されるレンジ切替手段３０２と、電流検出用抵抗器３０
１に発生する電圧を取出す引算回路３０３と、引算回路
３０３の出力電圧を必要に応じてデイジタル信号に変換
するＤＡ変換器３０４とによつて構成することができ
る。
験体１００に与えられる。電流測定手段３００は電流検
出用抵抗器３０１と、この電流検出用抵抗器と並列に抵
抗器とスイツチとから成る複数の直列回路によって構成
されるレンジ切替手段３０２と、電流検出用抵抗器３０
１に発生する電圧を取出す引算回路３０３と、引算回路
３０３の出力電圧を必要に応じてデイジタル信号に変換
するＤＡ変換器３０４とによつて構成することができ
る。
４００は電圧帰還回路を示す。この電圧帰還回路４００
によって被験体１００の端子の電圧を高入力インピーダ
ンスの増幅器４０１によつて取出し、その出力電圧を電
源２００を構成する増幅器２０１の入力端子に帰還させ
る。この電圧帰還回路４００の存在によって増幅器２０
１は電圧設定器２０２から与えられる電圧Viと電圧帰還
回路４００から帰還される電圧VS′とが等しくなるよう
に動作し、これによって被験体１００の端子に電圧設定
器２０２から与えた電圧値に等しい電圧を与えるように
動作する。
によって被験体１００の端子の電圧を高入力インピーダ
ンスの増幅器４０１によつて取出し、その出力電圧を電
源２００を構成する増幅器２０１の入力端子に帰還させ
る。この電圧帰還回路４００の存在によって増幅器２０
１は電圧設定器２０２から与えられる電圧Viと電圧帰還
回路４００から帰還される電圧VS′とが等しくなるよう
に動作し、これによって被験体１００の端子に電圧設定
器２０２から与えた電圧値に等しい電圧を与えるように
動作する。
尚電圧帰還回路４００を構成する増幅器４０１は出力端
子と反転入力端子との間を直結し全帰還を掛けて利得１
の増幅器として動作させている。従つて増幅器４０１の
入力点の電圧VSと、出力点の電圧VS′はVS＝VS′であ
る。従つて電流測定手段３００を構成する引算回路３０
３は電源２００の出力電圧VOと増幅器４０１の出力端子
の電圧VS′を引算し、等価的に抵抗器３０１の両端の電
圧を取出すようにしている。このように構成することに
よつて増幅器４０１の出力側は低インピーダンスで駆動
されているため引算回路３０３を接続しても、引算回路
３０３に流れる電流による影響を除去することができ
る。
子と反転入力端子との間を直結し全帰還を掛けて利得１
の増幅器として動作させている。従つて増幅器４０１の
入力点の電圧VSと、出力点の電圧VS′はVS＝VS′であ
る。従つて電流測定手段３００を構成する引算回路３０
３は電源２００の出力電圧VOと増幅器４０１の出力端子
の電圧VS′を引算し、等価的に抵抗器３０１の両端の電
圧を取出すようにしている。このように構成することに
よつて増幅器４０１の出力側は低インピーダンスで駆動
されているため引算回路３０３を接続しても、引算回路
３０３に流れる電流による影響を除去することができ
る。
一方５００は電流制限回路を示す。この電流制限回路５
００は二つの電圧比較器５０１，５０２と、二つの制限
電圧設定器５０３，５０４とを有し、この二つの制限電
圧設定器５０３と５０４に正極性の制御電源＋ＥＳと負
極性の制限電圧−ＥＳを設定することにより＋ＥＳと−
ＥＳの間を動作範囲とする電流制限回路が構成される。
つまり引算回路３０３の出力電圧VM1が＋ＥＳを正方向
に越えると電圧比較器５０１の出力電圧が正極性に反転
し、その反転出力がダイオード５０５を通じて電源２０
０を構成する増幅器２０１の入力端子に与えることによ
り増幅器２０１の出力電圧を強制的に共通電位に戻し、
被験体１００に流れる電流を制限する。また引算回路３
０３の出力電圧VM1が設定電圧−ＥＳを負方向に越える
と電圧比較器５０２の出力電圧は負極性に反転し、その
反転出力ダイオード５０６を通じて増幅器２０１の入力
端子に与えられる。増幅器２０１の入力端子に負極性の
電圧が与えられることによつて増幅器２０１から出力さ
れている負極性の電圧を強制的に共通電位に戻し出力電
流を制限する。
００は二つの電圧比較器５０１，５０２と、二つの制限
電圧設定器５０３，５０４とを有し、この二つの制限電
圧設定器５０３と５０４に正極性の制御電源＋ＥＳと負
極性の制限電圧−ＥＳを設定することにより＋ＥＳと−
ＥＳの間を動作範囲とする電流制限回路が構成される。
つまり引算回路３０３の出力電圧VM1が＋ＥＳを正方向
に越えると電圧比較器５０１の出力電圧が正極性に反転
し、その反転出力がダイオード５０５を通じて電源２０
０を構成する増幅器２０１の入力端子に与えることによ
り増幅器２０１の出力電圧を強制的に共通電位に戻し、
被験体１００に流れる電流を制限する。また引算回路３
０３の出力電圧VM1が設定電圧−ＥＳを負方向に越える
と電圧比較器５０２の出力電圧は負極性に反転し、その
反転出力ダイオード５０６を通じて増幅器２０１の入力
端子に与えられる。増幅器２０１の入力端子に負極性の
電圧が与えられることによつて増幅器２０１から出力さ
れている負極性の電圧を強制的に共通電位に戻し出力電
流を制限する。
「考案が解決しようとする問題点」 第２図に示した電圧印加電流測定装置は動作中に電流が
大きく変動しないＩＣを試験対象としている。これに対
して被験体１００が例えばC-MOSで構成されるメモリ、
或いはマイクロプロセツサ等の場合、定常状態における
電流消費量はわずかであるが、メモリ素子が動作したり
或いはスイツチ素子が状態を反転した場合には第３図に
示すように過渡的に大きな消費電流Ipが流れる。定常電
流IMを１とした場合、過渡的に流れるピーク電流IPはそ
の1,０００倍〜１0,０００倍程度となる。また過電流は
ピーク電流IPの更に上位側に設定される。
大きく変動しないＩＣを試験対象としている。これに対
して被験体１００が例えばC-MOSで構成されるメモリ、
或いはマイクロプロセツサ等の場合、定常状態における
電流消費量はわずかであるが、メモリ素子が動作したり
或いはスイツチ素子が状態を反転した場合には第３図に
示すように過渡的に大きな消費電流Ipが流れる。定常電
流IMを１とした場合、過渡的に流れるピーク電流IPはそ
の1,０００倍〜１0,０００倍程度となる。また過電流は
ピーク電流IPの更に上位側に設定される。
Ｃ−ＭＯＳ形ＩＣの消費電力は定常状態における電流消
費量が重要事項である。このため電流測定手段３００で
測定する電流は定常時における電流IMを測定することに
なる。
費量が重要事項である。このため電流測定手段３００で
測定する電流は定常時における電流IMを測定することに
なる。
従つて従来の電圧印加電流測定装置によつてＣ−ＭＯＳ
形ＩＣの試験を行なつた場合にはＩＣが例えば記憶動作
したり、或いは読出動作によつて大きく電流を消費する
と電流測定手段３００の電流測定レンジを大きく越えた
ピーク電流IPが流れ、このピーク電流IPによつて電流制
限回路５００が動作して被験体１００に与える電圧を供
給電位に落してしまうから、その電圧制限動作によつて
被験体１００は例えばその記憶が消去されてしまい試験
を継続することができない不都合がある。
形ＩＣの試験を行なつた場合にはＩＣが例えば記憶動作
したり、或いは読出動作によつて大きく電流を消費する
と電流測定手段３００の電流測定レンジを大きく越えた
ピーク電流IPが流れ、このピーク電流IPによつて電流制
限回路５００が動作して被験体１００に与える電圧を供
給電位に落してしまうから、その電圧制限動作によつて
被験体１００は例えばその記憶が消去されてしまい試験
を継続することができない不都合がある。
このため例えば電流制限回路５００に与える電流検出信
号を分圧回路で適当な値に分圧し、その分圧した電圧を
電流制限回路５００に与えることによつて動作時のピー
ク電流IPに応動しないように構成することはできる。
号を分圧回路で適当な値に分圧し、その分圧した電圧を
電流制限回路５００に与えることによつて動作時のピー
ク電流IPに応動しないように構成することはできる。
然し乍らこのように構成した場合には電流測定手段５０
０のレンジ切替手段３０２を切替るのと連動して分圧回
路の分圧比も変えなくてはならなくなり、回路構造が複
雑になる欠点がある。
０のレンジ切替手段３０２を切替るのと連動して分圧回
路の分圧比も変えなくてはならなくなり、回路構造が複
雑になる欠点がある。
また従来の電圧印加電流測定装置は被験体100のピーク
電流IPが流れようとすると、そのピーク電流によつて電
流測定用抵抗器３０１に大きな電圧降下が発生し、被験
体１００の端子の電圧を大きく低下させてしまうことに
なる。この電圧の低下によつて被験体１００はメモリの
場合はその記憶が消去されてしまい試験を続行できなく
なる不都合もある。
電流IPが流れようとすると、そのピーク電流によつて電
流測定用抵抗器３０１に大きな電圧降下が発生し、被験
体１００の端子の電圧を大きく低下させてしまうことに
なる。この電圧の低下によつて被験体１００はメモリの
場合はその記憶が消去されてしまい試験を続行できなく
なる不都合もある。
この考案の目的はＣ−ＭＯＳ形ＩＣのように過渡的に大
きなピーク電流を消費する被験体も試験することができ
る電圧印加電流測定装置を提供するにある。
きなピーク電流を消費する被験体も試験することができ
る電圧印加電流測定装置を提供するにある。
「問題点を解決するための手段」 この考案では定常電流検出用抵抗器の他の抵抗値が小さ
い過電流検出用抵抗器を設け、この過電流検出用抵抗器
に発生する電圧を電流制限回路に供給する構成としたも
のである。
い過電流検出用抵抗器を設け、この過電流検出用抵抗器
に発生する電圧を電流制限回路に供給する構成としたも
のである。
この考案の構成によれば電流制限回路に与えられる電流
検出信号は電流測定手段のレンジ設定値に関係なく過電
流検出用抵抗器によつて検出することができる。よつて
電流制限回路は過電流だけに応動し定常時に流れるピー
ク電流によつて誤動作することはない。
検出信号は電流測定手段のレンジ設定値に関係なく過電
流検出用抵抗器によつて検出することができる。よつて
電流制限回路は過電流だけに応動し定常時に流れるピー
ク電流によつて誤動作することはない。
「実施例」 第１図にこの考案の一実施例を示す。第１図において第
２図と対応する部分には同一符号を付して示す。
２図と対応する部分には同一符号を付して示す。
この考案によつて付加する部分は電源２００の出力側に
接続した過電流検出用抵抗器６００と、この過電流検出
用抵抗器６００に発生する電圧を取出す第２引算回路７
００と、定常電流検出用抵抗器３０１と並列に接続した
ダイオード８０１，８０２である。
接続した過電流検出用抵抗器６００と、この過電流検出
用抵抗器６００に発生する電圧を取出す第２引算回路７
００と、定常電流検出用抵抗器３０１と並列に接続した
ダイオード８０１，８０２である。
過電流検出用抵抗器６００は定常電流検出用抵抗器３０
１の抵抗値より充分小さい抵抗値に選定する。例えば抵
抗器３０１の抵抗値を１とした場合、抵抗器６００の抵
抗値を1/1000〜1/10000程度の抵抗値に選定する。
１の抵抗値より充分小さい抵抗値に選定する。例えば抵
抗器３０１の抵抗値を１とした場合、抵抗器６００の抵
抗値を1/1000〜1/10000程度の抵抗値に選定する。
過電流検出用抵抗器６００の両端に第２引算回路７００
の入力端子を接続し、過電流検出用抵抗器６００の両端
に発生する電圧を第２引算回路７００の出力側に取出
す。この電圧値をVM2とする。この出力電圧VM2を電流制
限回路５００に供給し、電圧比較器５０１と５０２で制
限電圧＋ＥＳ及び−ＥＳと比較する。
の入力端子を接続し、過電流検出用抵抗器６００の両端
に発生する電圧を第２引算回路７００の出力側に取出
す。この電圧値をVM2とする。この出力電圧VM2を電流制
限回路５００に供給し、電圧比較器５０１と５０２で制
限電圧＋ＥＳ及び−ＥＳと比較する。
定常電流検出用の第１引算回路３０３の出力側と過電流
検出用の第２引算回路７００のそれぞれの出力側にスイ
ツチS1とS2を設け、スイツチS1とS2を通じて何れか一方
の出力電圧VM1又はVM2をＤＡ変換器３０４に与え、ＤＡ
変換を行なう。つまり通常はスイツチS1がオンに保持さ
れて定常電流に対応する電圧VM1がスイツチS1を通じてD
A変換器３０４に与えられ、定常電流を測定する状態に
保持される。
検出用の第２引算回路７００のそれぞれの出力側にスイ
ツチS1とS2を設け、スイツチS1とS2を通じて何れか一方
の出力電圧VM1又はVM2をＤＡ変換器３０４に与え、ＤＡ
変換を行なう。つまり通常はスイツチS1がオンに保持さ
れて定常電流に対応する電圧VM1がスイツチS1を通じてD
A変換器３０４に与えられ、定常電流を測定する状態に
保持される。
これに対し被験体１００の不良によつて過電流が流れた
場合はスイツチS2をオンにし、そのとき被験体１００に
流れる過電流をＤＡ変換して測定できる構造としてい
る。
場合はスイツチS2をオンにし、そのとき被験体１００に
流れる過電流をＤＡ変換して測定できる構造としてい
る。
一方この考案では定常電流測定用抵抗器３０１と並列に
２本のダイオード８０１と８０２を逆並列接続してい
る。このダイオード８０１と８０２は定常状態において
被験体１００に流れるピーク電流を側路させるために設
けたものである。一方のダイオード８０１は正電圧の供
給時に動作し、他方のダイオード８０２は負電圧の供給
時に動作する。
２本のダイオード８０１と８０２を逆並列接続してい
る。このダイオード８０１と８０２は定常状態において
被験体１００に流れるピーク電流を側路させるために設
けたものである。一方のダイオード８０１は正電圧の供
給時に動作し、他方のダイオード８０２は負電圧の供給
時に動作する。
「考案の作用効果」 上述したようにこの考案によれば定常電流検出用抵抗器
３０１の抵抗値より充分小さい抵抗値を持つ抵抗器を過
電流検出用抵抗器として電圧供給路に直列接続し、この
過電流検出用抵抗器６００の両端に発生する電圧を第２
引算回路７００で取出し、この第２引算回路７００の出
力電圧を電圧制限回路５００で監視する構成としたか
ら、過電流の検出レベルは定常電流側測定手段３００に
おける電流測定レンジに関係なく常に一定のレベルに維
持され、常に正しい過電流検出レベルを維持することが
できる。
３０１の抵抗値より充分小さい抵抗値を持つ抵抗器を過
電流検出用抵抗器として電圧供給路に直列接続し、この
過電流検出用抵抗器６００の両端に発生する電圧を第２
引算回路７００で取出し、この第２引算回路７００の出
力電圧を電圧制限回路５００で監視する構成としたか
ら、過電流の検出レベルは定常電流側測定手段３００に
おける電流測定レンジに関係なく常に一定のレベルに維
持され、常に正しい過電流検出レベルを維持することが
できる。
特に定常電流測定手段３００のレンジ切替と連動して過
電流測定レンジを切替る必要がないから構造を簡素にす
ることができる。
電流測定レンジを切替る必要がないから構造を簡素にす
ることができる。
更にこの考案では定常電流検出用抵抗器３０１に電流側
路用ダイオード８０１と８０２を逆並列接続したから定
常状態において被験体１００に流れるピーク電流IPをこ
れらダイオード８０１又は８０２を通じて側路すること
ができる。よつてピーク電流が流れるとき被験体１００
の端子の電圧が大きく低下することを阻止することがで
き、被験体１００の動作を維持させることができる。
路用ダイオード８０１と８０２を逆並列接続したから定
常状態において被験体１００に流れるピーク電流IPをこ
れらダイオード８０１又は８０２を通じて側路すること
ができる。よつてピーク電流が流れるとき被験体１００
の端子の電圧が大きく低下することを阻止することがで
き、被験体１００の動作を維持させることができる。
尚ダイオード８０１，８０２は必要に応じて２本の直列
接続したダイオードを逆並列接続するか、又は２本のダ
イオードを同一方向に並列接続したものを並列接続する
ようにしてもよく、その選択はピーク電流が抵抗器３０
１を流れるときに発生する電圧と、被験体１００に流れ
る電流の値に応じて適宜に選択すればよい。
接続したダイオードを逆並列接続するか、又は２本のダ
イオードを同一方向に並列接続したものを並列接続する
ようにしてもよく、その選択はピーク電流が抵抗器３０
１を流れるときに発生する電圧と、被験体１００に流れ
る電流の値に応じて適宜に選択すればよい。
第１図はこの考案の一実施例を示す接続図、第２図は従
来の電圧印加電流測定装置を説明するための接続図、第
３図はＣ−ＭＯＳ形ＩＣに流れる電流を説明するための
波形図である。 １００：被験体、２００：電源、３００：定常電流測定
手段、３０１：定常電流検出用抵抗器、３０２：レンジ
切替手段、３０３：第１引算回路、４００：電圧帰還回
路、５００：電流制限回路、６００：過電流検出用抵抗
器、７００：第２引算回路、８０１，８０２：ピーク電
流側路用ダイオード。
来の電圧印加電流測定装置を説明するための接続図、第
３図はＣ−ＭＯＳ形ＩＣに流れる電流を説明するための
波形図である。 １００：被験体、２００：電源、３００：定常電流測定
手段、３０１：定常電流検出用抵抗器、３０２：レンジ
切替手段、３０３：第１引算回路、４００：電圧帰還回
路、５００：電流制限回路、６００：過電流検出用抵抗
器、７００：第２引算回路、８０１，８０２：ピーク電
流側路用ダイオード。
Claims (1)
- 【請求項１】Ａ．被験体に電源電圧を与える電源と、 Ｂ．この電源と被験体との間に直列接続された定常電流
測定用抵抗器及び過電流測定用抵抗器と、 Ｃ．定常電流測定用抵抗器に並列接続したピータ電流側
路用ダイオードと、 Ｄ．定常電流測定用抵抗器に発生する電圧を取出す第１
引算回路と、 Ｅ．過電流測定用抵抗器に発生する電圧を取出す第２引
算回路と、 Ｆ．この第２引算回路の出力電圧を設定電圧と比較し第
２引算回路の出力電圧が設定電圧を越えたとき上記電源
の出力電圧を制限する電圧制限回路と、 から成る電圧印加電流測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11227486U JPH0611510Y2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電圧印加電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11227486U JPH0611510Y2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電圧印加電流測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319280U JPS6319280U (ja) | 1988-02-08 |
| JPH0611510Y2 true JPH0611510Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=30992993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11227486U Expired - Lifetime JPH0611510Y2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電圧印加電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611510Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19782246B4 (de) * | 1997-11-20 | 2008-04-10 | Advantest Corp. | IC-Testgerät |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3184539B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2001-07-09 | 株式会社アドバンテスト | 電圧印加電流測定装置 |
| JP4832200B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2011-12-07 | 久元電子股▼ふん▲有限公司 | 集積回路のスタティックパラメータの測定装置 |
| JP2009115506A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Yokogawa Electric Corp | 直流試験装置及び半導体試験装置 |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP11227486U patent/JPH0611510Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19782246B4 (de) * | 1997-11-20 | 2008-04-10 | Advantest Corp. | IC-Testgerät |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6319280U (ja) | 1988-02-08 |
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