-
TECHNISCHES GEBIET
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein IC-Testgerät, das den
von einer Energiequelle zu einem integrierten, durch einen Schaltkreis
des MOS-Typs gebildeten Halbleiterschaltungselement fließenden Strom
mißt,
um hierdurch zu ermitteln, ob das Element einen Defekt aufweist
oder nicht.
-
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
-
Ein
Schaltkreis des MOS-Typs weist das Merkmal auf, das er lediglich
dann Strom aufnimmt, wenn ein in ihm enthaltenes aktives Element
seinen Zustand wechselt. Demgegenüber fließt lediglich ein infinitesimaler
Strom wie etwa ein durch einen Isolationswiderstand oder dergleichen
fließender
Strom, wenn sich alle aktiven Elemente in ihrem Ruhezustand befinden.
-
Aus
der
JP-Y-6-11510 ist
bereits ein Testverfahren bekannt, das die Schritte des Messens
eines Energieversorgungsstroms, der durch ein in seinem Ruhezustand
befindliches integriertes Halbleiterschaltungselement fließt, das
durch einen Schaltkreis des MOS-Typs gebildet ist, und des Ermittelns des
Vorhandenseins eines Kurzschlußfehlers
oder eines einem offenen Stromkreis entsprechenden Fehlers in dem
integrierten Halbleiterschaltungselement abhängig davon umfaßt, ob der
gemessene Wert des Energieversorgungsstroms größer ist als ein vorgegebener
Wert oder nicht. Hierdurch wird ermittelt, ob das integrierte Halbleiterschaltungselement
einen Defekt aufweist oder nicht.
-
4 zeigt
ein Beispiel für
das herkömmliche
Testverfahren. Ein im Test befindlicher IC 11 weist einen
Spannungsversorgungsanschluß 11A auf,
der mit einer Energie- bzw. Spannungsversorgungsschaltung 12 verbunden
ist, die ihrerseits eine für
den im Test befindlichen IC 11 vorgegebene Versorgungsspannung
Vdd an den Spannungsversorgungsanschluß 11A anlegt. Weiterhin
umfaßt
der im Test befindliche IC 11 einen Spannungsversorgungsanschluß 11B,
durch den ein Strom aus dem im Test befindlichen IC 11 herausfließt und der
mit einem gemeinsamen Potentialpunkt COM verbunden ist.
-
Die
Spannungsversorgungsschaltung 12 umfaßt einen Operationsverstärker 12A und
einen Digital/Analog-Wandler (D/A-Wandler) 12B, und ist derart
ausgelegt, daß sie
einen Strom Ip (siehe 5)
liefern kann, der von dem im Test befindlichen IC 11 in
einer impulsförmigen
Weise ohne jegliche Verzögerung
aufgenommen wird.
-
Genauer
gesagt, wird von dem D/A-Wandler 12B an den nicht invertierenden
Eingangsanschluß des
Operationsverstärkers 12A eine
Spannung angelegt, die gleich groß ist wie die Spannung Vdd,
die an den Spannungsversorgungsanschluß 11A des im Test
befindlichen ICs 11 anzulegen ist. Ein Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers 12A ist über eine
Strommeßeinrichtung 13 mit
einem Erfassungspunkt SEN verbunden, wobei hierdurch die Versorgungsspannung
Vdd an den Spannungsversorgungsanschluß 11A des im Test
befindlichen ICs 11 über
den Erfassungspunkt SEN angelegt wird und weiterhin die an dem Erfassungspunkt
SEN auftretende Spannung zu dem invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers 12A rückgekoppelt
wird.
-
Bei
dem vorstehend erläuterten
Schaltungsaufbau der Spannungsversorgungsschaltung 12,
bei dem die Versorgungsspannung Vdd für den im Test befindlichen
IC 11 von dem D/A-Wandler 12B erzeugt wird und
hiermit die Spannung Vdd an den nicht invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers 12A angelegt
wird, führt
der Operationsverstärker 12A einen
derartigen Rückkopplungsbetrieb
aus, daß die
an dem Erfassungspunkt SEN auftretende Spannung V1 mit der Spannung
Vdd übereinstimmt,
die an den nicht invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers 12A angelegt
ist. Dieser Rückkopplungsbetrieb
dauert bei dem Anlegen der Spannung Vdd an den Spannungsversorgungsanschluß 11A des
im Test befindlichen ICs 11 an.
-
Ein
Stromerfassungswiderstand Ri ist zwischen den Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers 12A und
den Erfassungspunkt SEN geschaltet, und es wird die an dem Stromerfassungswiderstand
Ri abfallende Spannung gemessen, wodurch ein durch den im Test befindlichen
IC 11 fließender
Strom Idd gemessen wird. Bei diesem Beispiel wird nun die Messung
des Stroms Idd (siehe 5) für den Fall beschrieben, daß sich der
im Test befindliche IC 11 in seinem Ruhezustand befindet. Da
der Strom Idd, der in dem Ruhezustand fließt, in der Größenordnung
von mehreren Mikroampere (μA) bis
zu mehreren zehn μA
liegt, ist der Widerstandswert des Stromerfassungswiderstands Ri
hoch und kann in der Größenordnung
von 100 Kiloohm (kΩ) liegen.
Demgemäß sind zwei
Dioden D1 und D2 parallel zu dem Stromerfassungswiderstand Ri geschaltet,
so daß ein
Umgehungspfad für
den Strom IP bereitgestellt wird, der dann
fließt,
wenn der im Test befindliche IC 11 so angesteuert wird,
daß er
aktiv wird.
-
Die
Spannung, die durch den durch den Stromerfassungswiderstand Ri fließenden Strom
Idd erzeugt wird, liegt höchstens
in der Größenordnung von
mehreren 10 Millivolt (mV). Demgemäß bleiben die Dioden D1 und
D2 in ihrem ausgeschalteten bzw. stromsperrenden Zustand innerhalb
des Spannungsbereichs, der durch den zu messenden Strom Idd erzeugt
wird. Die an dem Stromerfassungswiderstand Ri auftretende Spannung
wird durch eine Subtrahierschaltung 13A abgegriffen und
an einen Ausgangsanschluß 13B angelegt.
Die an den Ausgangsanschluß 13B abgegebene
Spannung VM wird z.B. in einem A/D-Wandler
einer Analog/Digital-Umwandlung (ND-Umwandlung) unterzogen und es wird der
Strom Idd anhand des Werts der Spannung VM berechnet oder
ermittelt. Falls der berechnete Strom Idd größer ist als ein vorgegebener
Wert, wird der IC als ein defektes (fehlerhaftes) oder nicht auslegungskonformes
Bauelement eingestuft. Die Messung des Stroms Idd wird ausgeführt, indem
ein Testmustersignal an die Eingangsanschlüsse 11C des im Test
befindlichen ICs 11 angelegt wird und die im Innern des ICs
befindlichen Komponenten in unterschiedliche Ruhezustände versetzt
werden, wobei dann, wenn die gemessenen Werte des Stroms Idd bei
allen Ruhezuständen
kleiner sind als der vorgegebene Wert, der IC als auslegungskonformes
oder akzeptables Bauelement eingestuft wird.
-
Wie
angegeben, nimmt die Spannungsversorgungsschaltung 12 den
Strom I in einer impulsförmigen
Weise auf, wenn der im Test befindliche IC 11 in den operativen
Zustand gebracht wird. Obwohl der Strom Ip von
der den Operationsverstärker 12A enthaltenden
Spannungsversorgungsschaltung 12 bereitgestellt wird, wird
eine Verzögerung
oder Nacheilung bei der Reaktion des Operationsverstärkers 12A hervorgerufen,
da durch den Operationsverstärker 12A vorübergehend
ein großer
Strom (mehrere mA bis mehrere zehn mA) fließt. Aus diesem Grund ist eine
Technik oder Prozedur eingesetzt worden, gemäß der ein Glättungskondensator
C1 mit einem relativ großen
Kapazitätswert
an die Ausgangsseite der Spannungsversorgungsschaltung 12 angeschlossen wird,
um hierdurch die Verringerung der/des Spannung/Stroms zu kompensieren,
die durch die Reaktionsverzögerung
der Spannungsversorgungsschaltung 12 verursacht ist.
-
Wie
vorstehend erläutert,
führt die
Notwendigkeit des Anschlusses des Glättungskondensators C1 mit einem
großen
Kapazitätswert
dazu, daß dann, wenn
irgendwelche geringfügigen
Störungen
an dem Erfassungspunkt SEN auftreten, ein Störungsstrom bzw. Rauschstrom
Ic1 durch den Glättungskondensator C1 fließt. Da der
Störungsstrom
Ic1 von der Strommeßeinrichtung 13 zugeführt wird,
kann er die Messung des Stroms Idd stören.
-
Demzufolge
besteht der jüngste
Trend in dem Einsatz einer Technik oder einer Vorgehensweise, wie
sie in 6 gezeigt ist, gemäß der ein Stromerfassungswiderstand
Ri zwischen den Spannungsversorgungsanschluß 11B des im Test
befindlichen ICs 11, über
den jeglicher Stromfluß aus
dem im Test befindlichen IC 11 herausgeführt wird,
und einen auf dem gemeinsamen Potential (COM) liegenden Punkt geschaltet
ist, wobei die an diesem Stromerfassungswiderstand Ri abfallende
Spannung gemessen wird, um hierdurch den Strom Idd zu berechnen oder
ermitteln.
-
Hierbei
ist ein Kurzschlußschalter 14 parallel zu
dem Stromerfassungswiderstand Ri geschaltet. Dieser Kurzschlußschalter 14 wird
so gesteuert, daß er
bei einem invertierenden Betrieb des im Test befindlichen ICs 11 eingeschaltet
wird, so daß ein
zu diesem Zeitpunkt auftretender großer Strom Ip durch den
Kurzschlußschalter 14 abgeleitet
wird. Zu diesem Zweck wird ein als DMOS bezeichneter Transistor
oder dergleichen als der Kurzschlußschalter 14 benutzt,
wobei der Transistor imstande ist, mit hoher Geschwindigkeit zu
arbeiten und dennoch einen niedrigen Widerstandswert in seinem Einschaltzustand
aufzuweisen.
-
Bei
dem in 6 dargestellten Schaltungsaufbau ändert sich
der Ruhestrom Idd (der im Ruhezustand des im Test befindlichen ICs
fließende Strom)
kaum, selbst wenn eine gewisse Schwankung der Versorgungsspannung
vorliegen sollte, vorausgesetzt, daß die Spannung der Spannungsversorgungsschaltung 12 bei
einer Spannung bleibt, die gleich groß wie oder höher als
ein festgelegter Wert ist. Anders ausgedrückt, wird der Vorteil erhalten, daß der Ruhestrom
Idd in einem stabilen Zustand gemessen werden kann, ohne daß er durch
den Störungsstrom
beeinflußt
wird, der durch den Glättungskondensator
C1 fließt.
-
Wenn
jedoch andererseits ein relativ großer Strom durch den Stromerfassungswiderstand
Ri fließen
sollte, weil der Kurzschlußschalter 14 zu
einem zu frühen
Zeitpunkt abgeschaltet hat oder in dem im Test befindlichen IC 11 ein
Kurzschlußfehler
oder ähnliches
aufgetreten ist, und hierdurch ein Strom Idd erzeugt wird, der größer ist
als der vorgegebene Wert, oder andere Gründe vorliegen, wird eine hohe Spannung
an dem Stromerfassungswiderstand Ri hervorgerufen, wodurch die Spannung
an dem Spannungsversorgungsanschluß 11B angehoben wird, durch
den jeglicher Stromfluß aus
dem IC 11 herausgeleitet wird. Dies führt zu dem Ergebnis, daß die Möglichkeit
des Auftretens einer Fehlfunktion des im Test befindlichen ICs 11 besteht.
Wenn ferner die Verdrahtung, die zur Verbindung des Kurzschlußschalters 14 eingesetzt
wird, eine induktive Komponente aufweist, besteht die Möglichkeit,
daß das
Fließen
eines impulsförmigen,
eine beträchtliche
Größe aufweisenden
Stroms durch die induktive Komponente eine Störspitze (Spike-Störung) hervorrufen kann,
was wiederum zu einer Beschädigung
des im Test befindlichen ICs 11 führt. Aus diesem Grund ist die
Ausgestaltung derart getroffen, daß eine Diode D3 parallel zu
dem Stromerfassungwiderstand Ri geschaltet ist, um hierdurch zu
verhindern, daß die Spannung
an dem Spannungsversorgungsanschluß 11B einen abnormalen
Anstieg aufgrund der Störspitze
oder aus ähnlichen
Gründen
zeigt.
-
Wenn
die Diode D3 in dieser Weise angeschlossen wird, tritt ferner der
Nachteil auf, daß aufgrund
der Tatsache, daß eine
Diode generell eine Ausschalt-Kapazitätskomponente (bzw. eine Kapazitätskomponente
im Ausschaltzustand) aufgrund ihres pn Übergangs aufweist (eine Kapazität, wenn sich
die Diode in dem ausgeschalteten Zustand befindet) und diese Ausschalt-Kapazität der Diode
D3 durch einen spikeförmigen
Strom aufgrund einer Störspannung
oder dergleichen in dem ausgeschalteten Zustand des Kurzschlußschalters 14 geladen wird,
eine Entladestrecke für
die Ausschalt-Kapazität der
Diode D3 lediglich durch den Stromerfassungswiderstand Ri gebildet
ist. Dies führt
dazu, daß für die Diode
D3 eine lange Entladezeitdauer benötigt wird. Anders ausgedrückt, muß die Messung
des Stroms Idd ausgeführt
werden, nachdem die Entladung der Diode D3 abgeschlossen ist, was
zu dem Nachteil führt,
daß eine
lange Zeitdauer zur Messung des Stroms Idd benötigt wird.
-
Die
DE 196 11 520 A1 beschreibt
ein Steuergerät,
beispielweise eines Antiblockiersystems, das einen Mikroprozessor
(μP) und
eine Testeinrichtung für
diesen enthält.
Die Testeinrichtung ermittelt den Ruhestrom des μP. Zu diesem Zweck ist bei einer Ausführungsform
die Masseklemme des μP über einen
Meßwiderstand
mit der Masseklemme der Stromversorgung verbunden. Der Meßwiderstand
ist mittels eines Kurzschlußschalters überbrückbar. Der Kurzschlußschalter
ist im Normalfall eingeschaltet und zum Zwecke der Ruhestrommessung
vorübergehend
ausschaltbar. Bei ausgeschaltetem Kurzschlußschalter wird die Spannung über dem
Strommeßwiderstand
als Maß des
Ruhestroms gemessen.
-
Eine
Einrichtung zur Messung des Ruhestroms, die ähnlich aufgebaut ist und arbeitet
wie die oben anhand von
4 erläuterte Schaltung, ist aus der
DE 690 04 T2 bekannt.
-
Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC-Testgerät zu schaffen,
das imstande ist, die vorstehend erläuterten Nachteile zu beseitigen und
einen Ruhestrom Idd, der durch einen im Test befindlichen IC in
dessen Ruhezustand fließt,
sicher und mit hoher Geschwindigkeit zu messen, um hierdurch zu
ermitteln, ob der IC ein auslegungskonformes (akzeptables) oder
nicht auslegungskonformes (fehlerhaftes) Bauelement ist. Dabei soll
eine Beschädigung
des ICs durch die Messung bei zu hohem Ruhestrom vermieden werden.
-
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
-
Diese
Aufgabe wird durch ein IC-Testgerät gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte
Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
-
Bei
diesem IC-Testgerät
ist ein Strommeßwiderstand
(nachfolgend auch als Stromerfassungswiderstand bezeichnet) zwischen
einen Spannungsversorgungsanschluß eines im Test befindlichen
ICs, durch den jeglicher Stromfluß herausgeleitet wird, und
einen auf gemeinsamem Potential liegenden Punkt geschaltet; und
ein Kurzschlußschalter
ist parallel zu dem Strommeßwiderstand
geschaltet. In einem Zustand, bei dem ein großer Strom von dem im Test befindlichen
IC aufgenommen wird, wird dieser große Strom durch den Kurzschlußschalter
als Bypasspfad geleitet, wohingegen dann, wenn der Kurzschlußschalter
ausgeschaltet ist, die an dem Strommeßwiderstand auftretende Spannung
gemessen wird und ein Strom des im Test befindlichen ICs während dessen
Ruhezustands auf der Grundlage der gemessenen Spannung gemessen
wird, um hierdurch in Abhängigkeit
davon, ob der Wert des gemessenen Ruhestroms gleich groß wie oder
kleiner als ein vorbestimmter Wert ist, zu ermitteln, ob der IC ein
auslegungskonformes oder nicht auslegungskonformes Bauelement ist.
Das IC-Testgerät
umfaßt
eine Steuereinrichtung, die dazu ausgelegt ist, in einer Steuerbetriebsart,
bei der der Kurzschlußschalter
in seinen Ausschaltzustand gesteuert ist, das Ansteigen der an dem
Strommeßwiderstand
abfallenden Spannung auf oder über
einen vorbestimmten Wert zu erfassen, um hierbei eine Steuerung
auszuführen, bei
der der Kurzschlußschalter
in seinen eingeschalteten Zustand zurückgebracht wird; und eine Verzögerungssteuereinrichtung,
die in einer Steuerschaltung, die den Kurzschlußschalter aus seinem Einschaltzustand
in seinen Ausschaltzustand steuert, vorgesehen ist und zum Verzögern der
Umschaltung des Kurzschlußschalters
aus seinem Einschaltzustand in den Ausschaltzustand dient, um hierdurch den
Kurzschlußschalter
zu veranlassen, allmählich
in seinen Ausschaltzustand zurück
zu kehren.
-
Bei
dem IC-Testgeräts
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist es aufgrund des Vorsehens der Steuereinrichtung, die
den Kurzschlußschalter
jedesmal dann in seinen Einschaltzustand zurückbringt, wenn erfaßt wird,
daß die
an dem Strommeßwiderstand
auftretende Spannung auf oder über
einen vorbestimmten Wert ansteigt, während der Kurzschlußschalter
in den Ausschaltzustand gesteuert ist, möglich, das Auftreten einer
großen
Spannung an dem Strommeßwiderstand
zu verhindern, indem der Kurzschlußschalter in seinen Einschaltzustand
zurückgebracht
wird. Dies ist dann der Fall, wenn der im Test befindliche IC einen
internen Fehler enthält,
durch den ein Kurzschlußfehler
bei einem in den im Test befindlichen IC eingespeisten Signalzustand
hervorgerufen wird, durch den ein Versorgungsstrom mit einem Wert
hervorgerufen würde,
der oberhalb eines vorbestimmten Werts liegt, wobei der Ausschaltzustand
des Kurzschlußschalters
einen Anstieg der Spannung an dem Strommeßwiderstand auf einen abnormalen
Wert hervorrufen würde.
-
Demzufolge
kann das Auftreten einer Fehlfunktion oder irgendeiner Beschädigung des
im Test befindlichen ICs verhindert werden. Da ferner die Verzögerungssteuereinrichtung
vorgesehen ist, die eine allmähliche
Verzögerung
bei der Betätigung
des in den Ausschaltzustand zu steuernden Kurzschlußschalters
bei dessen Ausschaltsteuerung hervorruft, kann der Betrieb der Steuereinrichtung,
die den Kurzschlußschalter
in seinen Einschaltzustand dann zurückbringt, wenn die an dem Strommeßwiderstand auftretende
Spannung einen vorgegebenen Wert überschreitet, während der
Kurzschlußschalter
in den Ausschaltzustand gesteuert ist, mit hoher Genauigkeit ausgeführt werden.
Als Folge hiervon wird eine weitere Sicherung gegenüber dem
Auftreten einer Situation bereitgestellt, bei der die an dem Strommeßwiderstand
auftretende Spannung in starkem Maße schwanken kann. Damit wird
der Vorteil erzielt, daß das
Auftreten von Unglücksfällen wie
etwa einer Fehlfunktion, einer Zerstörung oder dergleichen des im
Test befindlichen ICs in zweifacher Weise verhindert werden kann.
-
Wenn
eine Beurteilungstechnik eingesetzt wird, bei der die Entscheidung,
ob der im Test befindliche IC ein auslegungskonformes oder nicht
auslegungskonformes Bauelement ist, dadurch getroffen wird, daß beobachtet
wird, ob die an dem Strommeßwiderstand
erzeugte Spannung einen vorgegebenen Wert überschreitet oder nicht, muß Zeit für diese
Beobachtung vorgesehen werden. Dies benötigt Zeit bis zu der Ausgabe
des Entscheidungsergebnisses, was zu dem Nachteil führt, daß für den Test
eine erhöhte Zeitdauer
benötigt
wird. Im Unterschied hierzu ist gemäß einer Weiterbildung der vorliegenden
Erfindung vorgesehen, daß eine
Abweichung des Werts der an dem Strommeßwiderstand auftretenden Spannung über mehrere
Abtastwerte ermittelt wird. Falls die Abweichung des jeweiligen
Abtastwerts gleich groß wie oder
kleiner als ein vorgegebener Wert ist, bedeutet dies, daß die Anstiegsrate
niedrig ist, was angibt, daß ein
abschließender
Wert niedrig sein wird. Hierdurch wird der Vorteil geboten, daß die Einstufung
als auslegungskonformes oder nicht auslegungskonformes Bauelement
innerhalb eines relativ kurzen Zeitintervalls getroffen werden kann.
-
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 zeigt
ein Schaltbild, das ein Ausführungsbeispiel
des IC-Testgeräts
gemäß der vorliegenden
Erfindung veranschaulicht;
-
2 zeigt
ein Wellenformdiagramm, das die Arbeitsweise des IC-Testgeräts gemäß der vorliegenden
Erfindung veranschaulicht;
-
3 zeigt
eine Draufsicht, die die Auslegung (Layout) von Kurzschlußschaltern
veranschaulicht, wobei eine Mehrzahl von Kurzschlußschaltern vorgesehen
ist, wie dies in 1 gezeigt ist;
-
4 zeigt
ein Schaltbild, das einen Stand der Technik veranschaulicht;
-
5 zeigt
ein Wellenformdiagramm, das die Arbeitsweise der Schaltung gemäß 4 veranschaulicht;
und
-
6 zeigt
ein Schaltbild einer weiteren Ausführungsform des Standes der
Technik.
-
BESTE AUSFÜHRUNGSFORMEN ZUR AUSFÜHRUNG DER
ERFINDUNG
-
1 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
des in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung stehenden IC-Testgeräts. In 1 gezeigte
Teile oder Abschnitte, die den in den 4 und 6 gezeigten
Teilen oder Abschnitten entsprechen, sind mit den gleichen, zu ihnen
hinzugefügten
Bezugszeichen versehen. Bei der vorliegenden Erfindung zeichnet
sich das IC-Testgerät,
bei dem ein Stromerfassungswiderstand Ri und
ein Kurzschlußschalter 14 parallel
zueinander zwischen einen Stromversorgungsanschluß 11B eines
im Test befindlichen ICs 11, über den jeglicher Stromfluß herausgeleitet
wird, und einen auf gemeinsamem Potential COM liegenden Punkt geschaltet
sind, und bei dem der Kurzschlußschalter
in einem Zustand, bei dem ein großer Strom von dem im Test befindlichen
IC 11 verbraucht wird, in seinen eingeschalteten Zustand
gesteuert wird, während
der Kurzschlußschalter 14 in
einem Ruhezustand des im Test befindlichen ICs so gesteuert wird,
daß er
sich in seinem ausgeschalteten Zustand befindet, um hierbei eine
an dem Stromerfassungswiderstand Ri auftretende
Spannung zu messen und einen durch den im Test befindlichen IC fließenden Strom
Idd auf der Grundlage des Spannungswerts zu berechnen, um hierdurch
in Abhängigkeit
von dem Stromwert zu ermitteln, ob der im Test befindliche IC ein
auslegungskonformes oder nicht auslegungskonformes Bauelement ist,
durch das Vorsehen
einer Steuereinrichtung 15, die
das Ansteigen der an dem Stromerfassungswiderstand Ri auftretenden Spannung
auf oder über
einen vorgegebenen Wert während
eines Betriebszustands, bei dem der Kurzschlußschalter 14 in seinen
ausgeschalteten Zustand gesteuert ist, erfaßt und hierbei eine Steuerung
ausführt,
durch die der Kurzschlußschalter 14 in
seinen eingeschalteten Zustand zurückgebracht wird; und
einer
Verzögerungssteuereinrichtung 16 aus,
die ein sich langsam änderndes
Spannungssignal ausgibt, durch das der Betrieb der Umschaltung des
Kurzschlußschalters
in den Ausschaltzustand gesteuert wird, wobei diese Ausschaltung
durch eine Steuerschaltung vorgegeben wird, die den Kurzschlußschalter 14 aus
seinem eingeschalteten Zustand in seinen ausgeschalteten Zustand
steuert.
-
Die
Steuereinrichtung 15 kann einen Operationsverstärker 15A,
eine Spannungsquelle 15B, die eine Vergleichsspannung VR erzeugt, eine Zwischenspeicherschaltung 15c und
eine Torschaltung 15D umfassen. Der Operationsverstärker 15A weist
einen invertierenden Eingangsanschluß, an den eine Spannung VSS angelegt ist, die an einem Spannungsversorgungsanschluß 11B eines
im Test befindlichen ICs 11 erzeugt wird, und einen nicht
invertierenden Eingangsanschluß auf,
an den die von der Spannungsquelle 15B erzeugte Vergleichsspannung
VR angelegt ist. Die Vergleichsspannung
VR ist so gewählt, daß sie beispielsweise in der
Größenordnung von
mehreren mV unterhalb einer Spannung liegt, bei der der im Test
befindliche IC mit Fehlfunktionen beginnt, wenn die von dem Spannungsversorgungsanschluß 11B des
im Test befindlichen ICs 11 abgegebene Spannung VSS anwächst.
Hierbei erzeugt der Operationsverstärker 15A normalerweise
kontinuierlich ein Signal mit dem hohen logischen Pegel H, wenn
sich der Kurzschlußschalter 14 entweder
im ausgeschalteten oder im eingeschalteten Zustand befindet. Wenn
jedoch eine Abnormalität
auftritt, wächst
die an dem Spannungsversorgungsanschluß 11B auftretende
Spannung VSS demgegenüber auf einen höheren Wert
als die Vergleichsspannung VR an, so daß der logische
Wert des von dem Operationsverstärker 15A abgegebenen
Ausgangssignals auf den niedrigen logischen Pegel L abfällt.
-
Jedesmal,
wenn ein Meßsignal
SMES (2C),
das über
einen Anschluß TX1 eingegeben wird, ansteigt, liest die Zwischenspeicherschaltung 15C den
Ausgangsstatus oder logisch H von dem Operationsverstärker 15A.
Demgemäß gibt die
Zwischenspeicherschaltung 15C an ihrem Ausgangsanschluß Q ein
Signal mit hohem logischen Pegel H ab, so daß ein Signal mit hohem logischen
Pegel H an einen Eingangsanschluß der Torschaltung 15D angelegt
wird. Das Meßsignal
SMES wird an den anderen Eingangsanschluß der Torschaltung 15D angelegt, die
damit ein Signal mit hohem logischen Pegel H ausgibt, solange das
Meßsignal
SMES bei seinem hohen logischen Pegel H
bleibt. Jedesmal, wenn das Meßsignal
SMES auf seinen niedrigen logischen Pegel L
abfällt,
gibt die Torschaltung 15D jedoch ein Signal mit niedrigem
logischen Pegel L ab.
-
Das
von der Steuereinrichtung 15 abgegebene Signal wird an
die Verzögerungssteuereinrichtung 16 angelegt,
die einen Invertierer 16A, eine Zeitkonstantenschaltung 16B und
eine Diode 16C umfaßt, die
einen Stromfluß in
Gegenrichtung sperrt. In einem Zustand, bei dem ein großer Strom
durch den im Test befindlichen IC 11 fließt, wird
das Meßsignal SMES bei seinem niedrigen logischen Pegel
L gehalten. Demgemäß wird dieses
Signal mit niedrigem logischen Pegel L hinsichtlich seiner Polarität bzw. seines
Pegels auf den hohen logischen Pegel H in der Verzögerungssteuereinrichtung 16 invertiert,
bevor es an das Gate des Kurzschlußschalters 14 angelegt wird,
so daß dieser
eingeschaltet gehalten bleibt. Demgemäß fließt der große Strom, der durch den im Test
befindlichen IC 11 fließt, in diesem Zustand über den
Kurzschlußschalter 14 zu
dem auf gemeinsamen Potential liegenden Punkt COM.
-
Die
Beschreibung wird nun im Hinblick auf die Steuereinrichtung 15 und
die Verzögerungssteuereinrichtung 16 fortgesetzt.
Unter der Bedingung, daß die
Steuereinrichtung 15 ein Signal mit hohem logischen Pegel
H abgibt, ist oder wird der Kurzschlußschalter 14 in seinen
ausgeschalteten Zustand gesteuert. Wenn das Meßsignal SMES bei
diesem Zustand auf den niedrigen logischen Pegel L invertiert wird,
fällt das
von der Steuereinrichtung 15 abgegebene Ausgangssignal
VCON1 auf seinen niedrigen logischen Pegel
L ab. Die Verzögerungssteuereinrichtung 16 invertiert
die Polarität
bzw. den Pegel des niedrigen logischen Pegel L aufweisenden Signals, so
daß das
Eingangspotential für
die Zeitkonstantenschaltung 16B auf den hohen logischen
Pegel H angehoben wird. Hierdurch wird die einen Strom in Gegenrichtung
blockierende Diode 16C durch diese den hohen logischen
Pegel H aufweisende Spannung in den leitenden Zustand gebracht,
wodurch eine Kapazität,
die die Zeitkonstantenschaltung 16B bildet, rasch geladen
wird und von der Verzögerungssteuereinrichtung 16 ein
Ausgangssignal erzeugt wird, das ohne zeitliche Nacheilung zum gleichen
Zeitpunkt, zu dem das Meßsignal
SMES auf seinen niedrigen logischen Pegel
L abfällt,
zur Erzielung einer Invertierung auf den hohen logischen Pegel H
ansteigt.
-
Wenn
jedoch im Gegensatz hierzu das Meßsignal SMES auf
seinen hohen logischen Pegel H ansteigt, wächst das von der Steuereinrichtung 15 abgegebene
Ausgangssignal auf den hohen logischen Pegel H an. Demgemäß fällt das
von dem Invertierer 16A, der einen Bestandteil der Verzögerungssteuereinrichtung 16 bildet,
abgegebene Ausgangssignal auf den niedrigen logischen Pegel L ab.
Jedoch wird nun durch die Diode 16C zu diesem Zeitpunkt
verhindert, daß die
positive Ladung, die in der Kapazität in der Zeitkonstantenschaltung 16B geladen
ist, in den Invertierer 16A abgeleitet wird. Demgegenüber wird diese
Ladung allmählich über einen
Widerstand entladen, der einen Bestandteil der Zeitkonstantenschaltung 16B darstellt.
Demgemäß ist es
durch Auswahl eines hohen Widerstandswerts möglich, zu erreichen, daß die Verringerung
der Spannung VCON2, die die Kapazität geladen
hat bzw. durch die Ladung der Kapazität bestimmt ist, in einer sich
nur langsam ändernden
Weise erfolgt, wie dies in 2G dargestellt
ist.
-
In
dieser Weise findet somit bei einem Modus, bei dem die an die Gateelektrode
des Kurzschlußschalters 14 angelegte
Steuerspannung VCON2 so gesteuert wird,
daß der
Kurzschlußschalter 14 abgeschaltet
wird, eine verzögerte
Steuerung statt, so daß die
Spannung VCON2 nur allmählich auf Null zurückgeführt wird.
Dies ermöglicht
eine Umschaltung aus dem Zustand, bei dem ein großer Strom
als der Versorgungsstrom Idd durch den im Test befindlichen IC 11 fließt, auf
einen Zustand, bei dem der Kurzschlußschalter 14 abgeschaltet
wird, nachdem eine Stabilisierung in dem Ruhemodus erfolgt ist.
Als Folge hiervon kann der Kurzschlußschalter 14 in seinen ausgeschalteten
Zustand gesteuert werden, wobei das Auftreten einer hohen Spannung
an dem Stromerfassungswiderstand Ri unterdrückt wird.
Dies ermöglicht
es, die Steuereinrichtung 15 in stabiler Weise zu betreiben.
-
Zusätzlich wird
mit der vorliegenden Erfindung das Vorsehen einer Mehrzahl von Kurzschlußschaltern 141 bis 14n vorgeschlagen,
die den Kurzschlußschalter 14 bilden.
Wenn die Mehrzahl von Kurzschlußschaltern 141 bis 14n vorgesehen
ist, kann eine Induktivitätskomponente,
die in der Verdrahtung, die die Verbindung zwischen dem Versorgungsspannungsanschluß 11B des
im Test befindlichen ICs 11 und den Kurzschlußschaltern 141 bis 14n herstellt, auftritt,
verringert werden. Wenn die Anzahl von Kurzschlußschaltern 141 bis 14n gleich N ist, kann die Induktivitätskomponente
im Vergleich mit dem Einsatz nur eines einzigen Kurzschlußschalters
um den Faktor N verringert werden. Durch die Ermöglichung der Verringerung der
Induktivitätskomponente
in der angegebenen Weise kann das Auftreten beispielsweise von spikeförmigen Störungen,
die durch die Induktivitätskomponente
hervorgerufen werden können,
wenn ein relativ großer
Strom durch die Kurzschlußschalter 141 bis 14n bei
einem Betrieb des im Test befindlichen ICs fließt, unterdrückt werden, wodurch der Vorteil
der Vermeidung eines Unglücks
in Form der Zerstörung
eines im Test befindlichen ICs 11 erzielt wird.
-
3 zeigt
einen Aufbau für
die Auslegung bzw. Anordnung der Kurzschlußschalter 141 bis 14n . Bei diesem Beispiel ist die Mehrzahl
von Kurzschlußschaltern 141 bis 14n um
einen IC-Sockel 18 herum angebracht, an dem der im Test
befindliche IC angeordnet ist. Hierdurch wird die Länge der
Verdrahtung für
die jeweiligen Kurzschlußschalter 141 bis 14n auf den
kleinstmöglichen
Wert gebracht.
-
Bei
dem in 1 gezeigten Beispiel ist ein Aufbau dargestellt,
bei dem zwei Stromerfassungswiderstände Ri1 und Ri2 vorgesehen sind, die mit dem auf
gemeinsamen Potential COM liegenden Punkt selektiv über Bereichsumschalter 22A und 22B verbunden
sind. Ein Bereichssignal 1 und ein Bereichssignal 2 werden von Anschlüssen TX2 und TX3 an die Gates
der Bereichsumschalter 22A und 22B angelegt, um
diese derart zu steuern, daß jeweils
einer dieser Bereichsumschalter eingeschaltet ist. Hierdurch werden
die Stromerfassungswiderstände
Ri1 und Ri2 selektiv
zwischen den Spannungsversorgungsanschluß 11B und den auf
gemeinsamem Potential COM liegenden Punkt eingefügt.
-
Mit
dem Bezugszeichen 23 ist eine Code- bzw. Signalumwandlungseinrichtung
bezeichnet, die das Bereichssignal 1 und das Bereichssignal 2 in
ein Signal umwandelt, das für
die Zuführung
zu den Bereichsumschaltern 22A und 22B geeignet
ist. Das Bereichssignal 1 und das Bereichssignal 2 werden an Eingangsanschlüsse DY und DZ eines Speichers 13C angelegt,
der in der Strommeßeinrichtung 13 vorgesehen
ist. Dies ermöglicht
es, den ausgewählten
Bereichszustand (Bereich) in dem Speicher 13C zu speichern.
Mit dem Bezugszeichen 24 ist eine Pegelumwandlungseinrichtung
bezeichnet, die die von der Verzögerungssteuereinrichtung 16 abgegebene Steuerspannung
VCON2 in ein Signal umsetzt, das in den
Speicher 13C in der Strommeßeinrichtung 13 eingeschrieben
wird.
-
Bei
dem vorliegenden Beispiel kann die Strommeßeinrichtung 13 einen
Analog/Digital-Wandler 13B aufweisen, der eine Analog/Digital-Umwandlung
der an dem Stromerfassungswiderstand Ri1 und Ri2 auftretenden Spannung bewirkt. Die Strommeßeinrichtung 13 kann
weiterhin den Speicher 13C, der den Spannungswert empfängt und
speichert, der durch die in dem Analog/Digital-Wandler 13B durchgeführte Analog/Digital-Umwandlung
erhalten worden ist, und eine Steuereinrichtung 13D umfassen, die
den Speicher 13C und den Analog/Digital-Wandler 13B steuert.
Wie in 2 gezeigt ist, wird eine Mehrzahl von Startsignalen
S1, S2 und S3 an die Steuereinrichtung 13D für die Ausführung eines
Betriebs angelegt, durch den eine an dem Stromerfassungswiderstand
Ri1 oder Ri2 erzeugte
Spannung mehrmals analog/digital-umgewandelt und aufgenommen wird.
-
Abtastdaten,
die durch den Speicher 13C gespeichert werden, werden in
eine Entscheidungseinrichtung 25 eingelesen, die die Unterschiede
zwischen jeweiligen Abtastwerten berechnet. Falls der Unterschiedswert
gleich groß wie
oder größer als
ein vorbestimmter Wert ist, wird entschieden, daß der Wert des durch den Stromerfassungswiderstand
Ri1 oder Ri2 fließenden Stroms
hoch ist, so daß eine
Einstufung als fehlerhaftes Produkt ausgegeben wird. Falls die Werte
der Differenz zwischen jeweiligen Abtastwerten kleiner sind als
ein vorgegebener Wert, wird entschieden, daß der Wert des durch den Stromerfassungswiderstand
Ri1 oder Ri2 fließenden Stroms
klein ist, so daß eine
Einstufung als akzeptables Bauelement getroffen wird. Diese Entscheidung wird
bei jedem Ruhemodus ausgeführt,
indem eine Vielzahl von Mustersignalen an den im Test befindlichen
IC 11 angelegt wird, wie dies in 2 dargestellt
ist.
-
In
dem Ruhemodus, der die in 2 gezeigte
Testperiode T1 besitzt, ist die an dem Anschluß 11B erzeugte
Spannung VSS niedrig, und es wird folglich
eine Einstufung als akzeptables Bauelement getroffen.
-
Während der
Testperiode T2, während der die Kurzschlußschalter 141 bis 14n in
ihren ausgeschalteten Zustand zurückkehren, ist der durch den im
Test befindlichen IC 11 fließende Strom Idd größer als
der Stromwert bei dem Ruhemodus, und es steigt demzufolge die Spannung
VSS rasch an. Der Anstieg der Spannung VSS wird durch die Steuereinrichtung 15 erfaßt, so daß diese
ein Signal mit niedrigem logischen Pegel L ausgibt (2F),
durch das die Kurzschlußschalter 141 bis 14n wieder
in ihren eingeschalteten Zustand zurückgebracht werden. Hierdurch wird
der Anstieg der Spannung VSS unterdrückt. In diesem
Fall wird in den Eingangsanschluß DX des Speichers 13C ein
Signal ERR (21) eingeschrieben, das
einen hohen logischen Pegel H besitzt, und es wird demgemäß die Testperiode,
für die
der Wert ERR ausgelesen wird, als fehlerhaft bzw. fehlerbehaftet
eingestuft.
-
Während der
Testperiode T3 ist die Rate des Anstiegs
der Spannung VSS an dem Spannungsversorgungsanschluß 11B höher als
ein vorgegebener Wert, so daß eine
Entscheidung getroffen wird, daß der
abschließende
Stromwert (auf dem sich der Strom Idd nach einer verlängerten
Zeitdauer stabilisieren wird) höher
sein wird als der vorgegebene Wert.
-
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
-
Wie
vorstehend erläutert,
wird gemäß der vorliegenden
Erfindung durch das Vorsehen der Steuereinrichtung 15 und
der Verzögerungssteuereinrichtung 16 sowie
der Bereitstellung einer Mehrzahl von Kurzschlußschaltern eine Messung eines Stromwerts
in einem Ruhemodus in einer sicheren Weise ermöglicht, ohne daß irgendein
Unglücksfall verursacht
wird, der zu einer Zerstörung
eines im Test befindlichen ICs führen
würde.
-
Zusätzlich ermöglicht es
die Technik der Bereitstellung einer A/D-Umwandlung und einer mehrfachen
Aufnahme bzw. Ermittlung einer Zunahme des Stroms während des
Ruhemodus und der Ermittlung jedes Inkrements als Differenz zwischen
den Abtastwerten für
die Vorhersage eines abschließenden
Werts, die Entscheidung, ob es sich um ein auslegungskonformes oder
nicht auslegungskonformes Bauelement handelt, innerhalb einer kurzen
Zeitdauer ab dem Zeitpunkt zu treffen, zu dem der Kurzschlußschalter
in seinen ausgeschalteten Zustand zurückkehrt. Demgemäß wird der
Vorteil erzielt, daß große Mengen
von ICs in einem kurzen Zeitintervall getestet werden können, wobei
dieser Effekt erheblich ist, wenn die Erfindung in einem IC-Herstellungsbetrieb
eingesetzt wird.