JPS6142860U - 相補型mos半導体装置 - Google Patents
相補型mos半導体装置Info
- Publication number
- JPS6142860U JPS6142860U JP12742784U JP12742784U JPS6142860U JP S6142860 U JPS6142860 U JP S6142860U JP 12742784 U JP12742784 U JP 12742784U JP 12742784 U JP12742784 U JP 12742784U JP S6142860 U JPS6142860 U JP S6142860U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- oxide film
- source
- region
- gate oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Element Separation (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第j図は従来の相補型MOS半導体装置を説明する断面
図、第2図は本考案の相補型MOS半導体装置を説明す
る断面図である。 主な図番の説明、31は半導体基板、32はウエル領域
、33はPチャンネル型の第IMOS半i体装置、34
はNチャンネル型の第2MOS半導体装置、49.50
は基板31およびウエル領域32のフィールド領域、5
1は第1フィールド酸化膜、52は導電層、53は第2
フィールド酸化膜、55は第1接続電極、57は第2接
続電極である。
図、第2図は本考案の相補型MOS半導体装置を説明す
る断面図である。 主な図番の説明、31は半導体基板、32はウエル領域
、33はPチャンネル型の第IMOS半i体装置、34
はNチャンネル型の第2MOS半導体装置、49.50
は基板31およびウエル領域32のフィールド領域、5
1は第1フィールド酸化膜、52は導電層、53は第2
フィールド酸化膜、55は第1接続電極、57は第2接
続電極である。
Claims (1)
- 一導電型の半導体基板と、該基板表面に離間して設けた
逆導電型の第1ソースおよび第1ドレイン領域と該第1
ソースおよび第1ドレイン領域間の第1チャンネル領域
上に設けたゲート酸化膜と該ゲート酸化膜上に設けた第
1ゲート電極より成る第IMOS半導体装置と、前記木
板表面に設けた逆導電型のウエル領域と該ウエル領域表
面に離間して設けた一導電型の第2ソースおよび第2ド
レイン領域と該第2ソースおよび第2ドレイン領域間の
第2チャンネル領域上に設けたゲート酸化膜と該ゲート
酸化膜上に設けた第2ゲート電極より成る前記第IMO
s半導体装置と導電チャンネルを異にする第2MOS半
導体装置とを具備する相補型MOS半導体装置に於いて
、前記基板およびウエル領域上のフィールド酸化膜上に
ポリシリコンより成る導電層を設けることを特徴とする
相補型MOS半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12742784U JPS6142860U (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 相補型mos半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12742784U JPS6142860U (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 相補型mos半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6142860U true JPS6142860U (ja) | 1986-03-19 |
Family
ID=30686071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12742784U Pending JPS6142860U (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 相補型mos半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6142860U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04264753A (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-21 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-22 JP JP12742784U patent/JPS6142860U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04264753A (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-21 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5936262U (ja) | 半導体メモリ素子 | |
JPS591199U (ja) | 半導体メモリ素子 | |
JPS6142860U (ja) | 相補型mos半導体装置 | |
JPS6142863U (ja) | Mos半導体装置 | |
JPH03120054U (ja) | ||
JPS59164254U (ja) | 絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタ | |
JPH02118954U (ja) | ||
JPS60166158U (ja) | メモリーセル | |
JPH0342124U (ja) | ||
JPS6139958U (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JPS6018558U (ja) | 薄膜トランジスタ素子 | |
JPH0342123U (ja) | ||
JPH02136340U (ja) | ||
JPS5877065U (ja) | 集積回路装置 | |
JPS5945941U (ja) | シヨツトキバリアゲ−ト電界効果トランジスタ | |
JPH02122453U (ja) | ||
JPS62196358U (ja) | ||
JPS60153548U (ja) | ラテラル型トランジスタ | |
JPS6221558U (ja) | ||
JPS5999460U (ja) | 電荷転送装置 | |
JPS6099553U (ja) | 半導体装置 | |
JPS5926265U (ja) | 半導体装置 | |
JPS5916159U (ja) | 相補型半導体装置 | |
JPH02137054U (ja) | ||
JPH01104049U (ja) |