JPS6133419A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS6133419A JPS6133419A JP15469684A JP15469684A JPS6133419A JP S6133419 A JPS6133419 A JP S6133419A JP 15469684 A JP15469684 A JP 15469684A JP 15469684 A JP15469684 A JP 15469684A JP S6133419 A JPS6133419 A JP S6133419A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- motion
- arm
- hand
- linkage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/914—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は搬送装置、特に半導体製造装置において予備的
に位置合わせ（プリアライメント）されたウェハをウェ
ハチャックへ運ぶのに都合良く使用される搬送装置に関
する。
に位置合わせ（プリアライメント）されたウェハをウェ
ハチャックへ運ぶのに都合良く使用される搬送装置に関
する。
半導体製造装置において予備的に位置合わせされたウェ
ハをウェハチャックへ運ぶための搬送装置として回転式
搬送装置と直進式搬送装置が知られている。
ハをウェハチャックへ運ぶための搬送装置として回転式
搬送装置と直進式搬送装置が知られている。
回転式搬送装置は、プリアライメント位置からウニハチ
ャツクヘウエハを搬送するために必要とされる領域が大
きくなり、かつウェハをチャック上に受番す渡した後室
ハンドを取り出す手段は上方向に逃げる手段しかない。
ャツクヘウエハを搬送するために必要とされる領域が大
きくなり、かつウェハをチャック上に受番す渡した後室
ハンドを取り出す手段は上方向に逃げる手段しかない。
ウェハの上面吸着をするか下面吸着の場合受は渡し後、
吸盤を平面方向ウニへ外径より逃げた位置まで広げた後
上方向に逃げるといった構成になる為、前者ならば露光
面吸着によるウニ八表面へのダメージ、後者ならば吸盤
の平面方向逃げ機構がウェハ上空にある為、その動作に
よる発塵がウェハ上にふりかかるという問題点を有して
いる。
吸盤を平面方向ウニへ外径より逃げた位置まで広げた後
上方向に逃げるといった構成になる為、前者ならば露光
面吸着によるウニ八表面へのダメージ、後者ならば吸盤
の平面方向逃げ機構がウェハ上空にある為、その動作に
よる発塵がウェハ上にふりかかるという問題点を有して
いる。
一方直進式搬送装置では、直進スライダーがウェハ上空
に位置しウェハの搬送経路上空にそのスライダーが移動
する為、スライダー、及び送り機構から発生する塵がウ
ェハ露光面又は下部に位置する精密部品にふりかかる可
能性があった。
に位置しウェハの搬送経路上空にそのスライダーが移動
する為、スライダー、及び送り機構から発生する塵がウ
ェハ露光面又は下部に位置する精密部品にふりかかる可
能性があった。
本発明の目的は、ウェハをプリアライメント位置からチ
ャックへ搬送する際に必要とされる領域を局力小さくし
、かつ搬送装置から発生する塵の影響をウェハに与える
ことを避けることができる搬送装置を提供することにあ
る。
ャックへ搬送する際に必要とされる領域を局力小さくし
、かつ搬送装置から発生する塵の影響をウェハに与える
ことを避けることができる搬送装置を提供することにあ
る。
次に添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例につ
いて説明する。第１図および第２図はそれぞれ本発明の
搬送装置の斜視図および概略的平面図である。図中１は
平行運動アーム、２はハンドリングブロック、３は２の
ハンドブロックを上下可動なガイドを有し、かつ直進ガ
イドに固定された、ハンド上下ガイドブロック、４は直
進ガイド、５は円筒カム、６は往復運動リンク、７は平
行運動リンク操作棒、８はメカニカルシーケンストラッ
ク、９はベルト、１０は動力源であるところのベルトプ
ーリー、１１はウェハ保持ハンド、１２はハンド上下が
ガイドブロックに設置されたピニオン、１３はラック、
１４は円筒カム操作レバー、１５はベルトと円筒カム操
作レバーとを結合する部材、１６はウェハ、１７はハン
ドの上段位置にてウェハを搬送するウェハ中心の軌跡、
１８はウェハを所定の位置に設置し、ハンドを下段位置
に下げた後の左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡、
１９はウェハを離した空ハンドを上段位置に上げ時期位
置に戻す為の左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡、
２０はウェハプリアライメント装置でプリアライメント
終了されたウェハを下段位置にて保持するように動作す
る左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡である。
いて説明する。第１図および第２図はそれぞれ本発明の
搬送装置の斜視図および概略的平面図である。図中１は
平行運動アーム、２はハンドリングブロック、３は２の
ハンドブロックを上下可動なガイドを有し、かつ直進ガ
イドに固定された、ハンド上下ガイドブロック、４は直
進ガイド、５は円筒カム、６は往復運動リンク、７は平
行運動リンク操作棒、８はメカニカルシーケンストラッ
ク、９はベルト、１０は動力源であるところのベルトプ
ーリー、１１はウェハ保持ハンド、１２はハンド上下が
ガイドブロックに設置されたピニオン、１３はラック、
１４は円筒カム操作レバー、１５はベルトと円筒カム操
作レバーとを結合する部材、１６はウェハ、１７はハン
ドの上段位置にてウェハを搬送するウェハ中心の軌跡、
１８はウェハを所定の位置に設置し、ハンドを下段位置
に下げた後の左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡、
１９はウェハを離した空ハンドを上段位置に上げ時期位
置に戻す為の左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡、
２０はウェハプリアライメント装置でプリアライメント
終了されたウェハを下段位置にて保持するように動作す
る左右ウェハ吸着ハンド１１の中点の軌跡である。
第１図で、１１のウェハ吸着ハンドを固定したｌの平行
運動リンクは４つの支点のうち１点を丸シャフトに固定
され、そのシャフトは２のハンドブロックではラジアル
、スラスト共に支持されている。また、２のハンドブロ
ック内の１点で３のハンド上下ガイドブロックにスライ
ド及びラジアル回転可能に支持され、シャフトの他端を
７の平行運動リンク操作棒に固定され、６の往復運動り
゛ンクに点結合されている。つまり２のハンドブロック
は、上下動可能かつ、往復運動リンクの動作により平行
運動リンクの操作可能にしたものにな゛る。また３のハ
ンド上下ガイドブロックは４の直進ガイドに固定されて
いるので２のハンドブロックは前後直進動作が可能にな
っている。
運動リンクは４つの支点のうち１点を丸シャフトに固定
され、そのシャフトは２のハンドブロックではラジアル
、スラスト共に支持されている。また、２のハンドブロ
ック内の１点で３のハンド上下ガイドブロックにスライ
ド及びラジアル回転可能に支持され、シャフトの他端を
７の平行運動リンク操作棒に固定され、６の往復運動り
゛ンクに点結合されている。つまり２のハンドブロック
は、上下動可能かつ、往復運動リンクの動作により平行
運動リンクの操作可能にしたものにな゛る。また３のハ
ンド上下ガイドブロックは４の直進ガイドに固定されて
いるので２のハンドブロックは前後直進動作が可能にな
っている。
直進ガイド４には加えて５の円筒カムが固定支持され、
その上に２のハンドブロックを乗せた状態になって５の
円筒カムの動作により、２のハンドブロックは下段、中
段、上段の３位置で停止可能になっている。
その上に２のハンドブロックを乗せた状態になって５の
円筒カムの動作により、２のハンドブロックは下段、中
段、上段の３位置で停止可能になっている。
第４図は、２のハンドブロックの直進運動と６の往復運
動リンクの結離間係の説明図で図の状態は２のハンドブ
ロックが下段に下った状態である。図示の状態では７の
直進運動と６の往復運動リンクは集結状態でこの状態で
直進ガイドを後退させると、その移動量だけ１２のピニ
オンは回転（１８０°）するがビンクラッチが外れてい
るので、６の往復運動リンクを動作させずに、後退が可
能になる。これが図２の１８と、２０の状態である。次
に２のハンドブロックを上段に上げると、６の往復運動
ブロックは２のハンドブロックに設定されてるのでビン
クラッチを介して１２のどニオンと結合する。この状態
で２のハンドブロックを前進させると移動量と対応して
６の往復運動リンクが作動し、第２図の１７．１９の状
態を作り得る。
動リンクの結離間係の説明図で図の状態は２のハンドブ
ロックが下段に下った状態である。図示の状態では７の
直進運動と６の往復運動リンクは集結状態でこの状態で
直進ガイドを後退させると、その移動量だけ１２のピニ
オンは回転（１８０°）するがビンクラッチが外れてい
るので、６の往復運動リンクを動作させずに、後退が可
能になる。これが図２の１８と、２０の状態である。次
に２のハンドブロックを上段に上げると、６の往復運動
ブロックは２のハンドブロックに設定されてるのでビン
クラッチを介して１２のどニオンと結合する。この状態
で２のハンドブロックを前進させると移動量と対応して
６の往復運動リンクが作動し、第２図の１７．１９の状
態を作り得る。
また第１図で示すように５の円筒カムは、１４の円筒カ
ム操作レバー、１５のベルト連結レバーと結合関係にあ
り、１４の円筒カム操作レバーと、１５のベルト連結レ
バーに構成されたコロは８のシーケンストラック側面を
接してころがって行く。８のシーケンストラックの直進
部を進む状態では６の円筒カムは定位置で保持されてお
り、シーケンストラックの円弧部分に入ると円筒カムは
ベルトの循回と同量の回転（１８０”）を起す。つまり
この両日弧部に１５のベルト連結レバーのコロがさしか
かると、２のハンドブロックは下段から円弧中央で中段
から上段、また、もう１つの円弧部で前記動作の逆動作
をつくる。第５図は同装置のシーケンスを示している。
ム操作レバー、１５のベルト連結レバーと結合関係にあ
り、１４の円筒カム操作レバーと、１５のベルト連結レ
バーに構成されたコロは８のシーケンストラック側面を
接してころがって行く。８のシーケンストラックの直進
部を進む状態では６の円筒カムは定位置で保持されてお
り、シーケンストラックの円弧部分に入ると円筒カムは
ベルトの循回と同量の回転（１８０”）を起す。つまり
この両日弧部に１５のベルト連結レバーのコロがさしか
かると、２のハンドブロックは下段から円弧中央で中段
から上段、また、もう１つの円弧部で前記動作の逆動作
をつくる。第５図は同装置のシーケンスを示している。
第２図は本発明を平面で見た動作の説明図でプリアライ
メント装置でアライメントされた１６のウェハはｌの平
行運動リンクで姿勢を変えずに送り込むことができ、加
えて４の直進ガイドによる直進運動の移動量を１２のピ
ニオンによって回転角に変換して得られた回転角の量を
第３図の往復運動リンクに伝達させることで、７の平行
運動レバー操作棒を介して１の平行運動リンクのアーム
を回転させ、１７のウェハ供給搬送の軌跡を得ることが
できる。また１６のウェハを所望する位置上空に送り込
んだ同装置は５の円筒カムの動作から中段位置で一時停
止し、下段位置まで下り、ハンドが下段に下ると、上段
位置でビンクラッチを介して接合関係にあった１２のピ
ニオンと６の往復運動リンクが離脱し、平行運動リンク
の動作を停止したまま直進後退動作１８を得られる。
メント装置でアライメントされた１６のウェハはｌの平
行運動リンクで姿勢を変えずに送り込むことができ、加
えて４の直進ガイドによる直進運動の移動量を１２のピ
ニオンによって回転角に変換して得られた回転角の量を
第３図の往復運動リンクに伝達させることで、７の平行
運動レバー操作棒を介して１の平行運動リンクのアーム
を回転させ、１７のウェハ供給搬送の軌跡を得ることが
できる。また１６のウェハを所望する位置上空に送り込
んだ同装置は５の円筒カムの動作から中段位置で一時停
止し、下段位置まで下り、ハンドが下段に下ると、上段
位置でビンクラッチを介して接合関係にあった１２のピ
ニオンと６の往復運動リンクが離脱し、平行運動リンク
の動作を停止したまま直進後退動作１８を得られる。
直進後退動作終了後５の円筒カムの動作から２のハンド
ブロックを下段位置から上段位置に上げることで、上段
位置でビンクラッチを介して１２のピニオンと６の往復
運動リンクが接合関係に入りこの状態で４の直進ガイド
を前進させると、６往復運動リンクが動作しすなわち、
直進前進運動と、１の平行運動リンクのアームが供給搬
送の場合と逆の方向に回転動作をする１９の空ハンド回
収動作に入る。またこの動作終了点に達すると、５の円
筒カムが動作し２のハンドリングブロックは下段に下が
りビンクラッチ離脱状態にし、平行運動リンクをその位
置で停止したまま、直進後退２０を得、その終了点にて
５の円筒カムが動作し、２のハンドブロックは下段位置
から中段位置で一時停止し、１６のウェハを受けとり後
、上段により前述の１７のウェハ供給搬送軌跡に入る。
ブロックを下段位置から上段位置に上げることで、上段
位置でビンクラッチを介して１２のピニオンと６の往復
運動リンクが接合関係に入りこの状態で４の直進ガイド
を前進させると、６往復運動リンクが動作しすなわち、
直進前進運動と、１の平行運動リンクのアームが供給搬
送の場合と逆の方向に回転動作をする１９の空ハンド回
収動作に入る。またこの動作終了点に達すると、５の円
筒カムが動作し２のハンドリングブロックは下段に下が
りビンクラッチ離脱状態にし、平行運動リンクをその位
置で停止したまま、直進後退２０を得、その終了点にて
５の円筒カムが動作し、２のハンドブロックは下段位置
から中段位置で一時停止し、１６のウェハを受けとり後
、上段により前述の１７のウェハ供給搬送軌跡に入る。
本発明は全てメカニカルなシーケンスを作り込んで二循
環タイプの装置になっているが、この平行運動リンクの
駆動手段を独立してもつことにより、所望とする搬送位
置を２ケ所から、４ケ所に増設することができる。
環タイプの装置になっているが、この平行運動リンクの
駆動手段を独立してもつことにより、所望とする搬送位
置を２ケ所から、４ケ所に増設することができる。
以上説明したように、平行運動リンク、往復運動リンク
、円筒カム、直進スライダー等をシーケンス的に組合せ
ることで、ウェハの姿勢を変えずに搬送し、かつウェハ
への塵、熱の影響をなくし、装置自身も小型化できると
いう効果がある。
、円筒カム、直進スライダー等をシーケンス的に組合せ
ることで、ウェハの姿勢を変えずに搬送し、かつウェハ
への塵、熱の影響をなくし、装置自身も小型化できると
いう効果がある。
第１図は本発明の搬送装置の斜視図、第２図は本発明の
搬送装置の概略的平面図、第３図は平行運動リンクと往
復運動リンクの関係説明図、第４図は、円筒カムとビン
クラッチ、往復リンクの関係説明図、第５図は動作のシ
ーケンスである。 １は平行運動リンク、２はハンドブロック、３はハンド
上下ガイドブロック、４は直進ガイド、５は円筒カム、
６は往復運動リンク、７は平行運動リンク操作棒、８は
メカニカルシーケンストラック、９はベルト、１０は動
力源（ベルトプーリー）、１１はウェハ吸着ハンド、１
２はピニオン、１３はラック、１４は円筒カム操作レバ
ー、１５は連結部材、１６はウェハ、１７〜２０はハン
ドリングの軌跡である。
搬送装置の概略的平面図、第３図は平行運動リンクと往
復運動リンクの関係説明図、第４図は、円筒カムとビン
クラッチ、往復リンクの関係説明図、第５図は動作のシ
ーケンスである。 １は平行運動リンク、２はハンドブロック、３はハンド
上下ガイドブロック、４は直進ガイド、５は円筒カム、
６は往復運動リンク、７は平行運動リンク操作棒、８は
メカニカルシーケンストラック、９はベルト、１０は動
力源（ベルトプーリー）、１１はウェハ吸着ハンド、１
２はピニオン、１３はラック、１４は円筒カム操作レバ
ー、１５は連結部材、１６はウェハ、１７〜２０はハン
ドリングの軌跡である。
Claims (6)
- （１）搬送すべき物体を保持するための保持手段と、 前記保持手段に連結された枢動自在なアームと、 前記アームを直線的に移動させるための手段を有する搬
送装置。 - （２）前記アームは少なくとも２つの垂直方向位置を定
めるように上下動可能であることを特徴とする、特許請
求の範囲第１項記載の搬送装置。 - （３）アームを直線的に移動させるための前記手段は、
直線状ガイドと前記ガイドに係合する被ガイド歯車を有
することを特徴とする、特許請求の範囲第１項記載の搬
送装置。 - （４）アームを直線的に移動させるための前記手段は、
シリンダーを有する、特許請求の範囲第１項記載の搬送
装置。 - （５）前記アームの枢動運動は、アームの直線的移動に
関連しておこなわれることを特徴とする、特許請求の範
囲第１項記載の搬送装置。 - （６）前記アームの枢動運動はシリンダーによっておこ
なわれることを特徴とする、特許請求の範囲第１項記載
の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15469684A JPS6133419A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15469684A JPS6133419A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133419A true JPS6133419A (ja) | 1986-02-17 |
Family
ID=15589943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15469684A Pending JPS6133419A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133419A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108861469A (zh) * | 2018-05-18 | 2018-11-23 | 厦门保沣实业有限公司 | 用于易拉罐盖的定位装置和使用方法 |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15469684A patent/JPS6133419A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108861469A (zh) * | 2018-05-18 | 2018-11-23 | 厦门保沣实业有限公司 | 用于易拉罐盖的定位装置和使用方法 |
| CN108861469B (zh) * | 2018-05-18 | 2020-06-23 | 厦门保沣实业有限公司 | 易拉罐盖的定位装置及使用方法以及制造易拉罐盖的系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2149499B1 (en) | Empty bag supply method and apparatus | |
| US4494298A (en) | Automatic assembling apparatus | |
| CN117945091A (zh) | 一种连续上下料机构、激光加工设备及其控制方法 | |
| US3920130A (en) | Part Loader | |
| JPS6133419A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS5753950A (en) | Pellet bonding device | |
| JPH0314723B2 (ja) | ||
| JP3394847B2 (ja) | 部品搬送装置 | |
| JPS59124630A (ja) | コンテナの集積装置 | |
| JPS6133417A (ja) | ウエハ搬送方法 | |
| JPH0735393Y2 (ja) | 縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置 | |
| JPS63247212A (ja) | パレツトコンベヤ | |
| CN209664523U (zh) | 回流焊自动上料机构 | |
| JPH0482603A (ja) | 旋盤用オートローダ | |
| CN114791691A (zh) | 一种全自动曝光机 | |
| JPS5945043A (ja) | ロ−タリプレスにおけるワ−ク反転装置 | |
| JPS628957Y2 (ja) | ||
| JPH08143157A (ja) | 箱状体の段積み装置 | |
| JPS626690Y2 (ja) | ||
| SE449087B (sv) | Forfarande och anordning for overlemning av materialstycken mellan tva sinsemellan rorliga hanteringsorgan | |
| JP2581085B2 (ja) | ウエ−ハアライメント装置 | |
| JPS6246532Y2 (ja) | ||
| JPS6110920Y2 (ja) | ||
| JPS6237621Y2 (ja) | ||
| JPS6323374Y2 (ja) |