JPS6131409A - 新規エピスルフイド化合物およびその製造法 - Google Patents

新規エピスルフイド化合物およびその製造法

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JPS6131409A
JPS6131409A JP15135084A JP15135084A JPS6131409A JP S6131409 A JPS6131409 A JP S6131409A JP 15135084 A JP15135084 A JP 15135084A JP 15135084 A JP15135084 A JP 15135084A JP S6131409 A JPS6131409 A JP S6131409A
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Japan
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carbon atoms
alkyl group
group
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halogenated alkyl
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JP15135084A
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English (en)
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Nobuo Nakasaki
中崎 展男
Hideo Ai
愛 英夫
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、側鎖にチイラニル基を有する新規な線状共重
合体に関する。
側鎖に、例えば二重結合やエポキシ基のような反応性官
能基を有する重合体は、より高い機能を求める技術趨勢
の中で注目され得る化合物であり、例えば、熱硬化性樹
脂として高エネルギー線感応性樹脂として、また、別の
より高い機能を得る場合の基材樹脂としての用途が期待
される化合物である。
〔従来の技術〕
殊に、上述した化合物は、微細加工を要する集積回路の
製造において、電子線、X線等の高エネルギー線感応性
樹脂は微細加工用レジストとして有用であり、種々の化
合物が知られている。例えば、ポリグリシジルメタクリ
レート、エポキシ化ポリブタジェン等が知られてはいる
が、微細加工用レジスト材料としては、感度、耐ドライ
エツチング性といったレジスト特性は必ずしも満足でき
るものではない。
また、チイラニル基を有するレジスト材料としてはポリ
2,3−エビチオプロピルメタクリレートが、特開昭タ
フ−/jr、213号公報に開示され高感度レジスト材
料として有用であるとされているが、先に述べたポリグ
リシジルメタクリレートと同様に、耐ドライエツチング
性は極めて低いものであるO 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明者らは、こうした技術動向を踏まえ、鋭意検討を
重ねた結果、側鎖にチイラニル基を有し、高エネルギー
線に対する感度も高く、ドライエツチング耐性にも優れ
、かつ、種々のグラフト用基材樹脂となり得る溶剤可溶
性の新規共重合体を見いだし、本発明をなすに至った。
〔問題点を解決するだめの手段〕
すなわち、本発明は、下記構造式(1)およびIJ)で
示される繰返し構造単位からなり、数平均分子量がjo
oないしょθoo、oooである新規線状共重合体(以
下、共重合体囚と称する)に関するものである。
CD       (m) 〔但し、〔13式中、R1は水素、炭素数/ないしざの
アルキル基、また社、ハロゲンを表わし、R2およびチ
イラニル基は主鎖の炭素原子に対して、オルト、メタ、
または、パラ位のいずれかに置換する。(U)式中、W
XXXYおよび2は各々、水素、ハロゲン、シアノ基、
炭素数/ないし乙のアルキル基、炭素数/ないし乙のハ
ロゲン化アルキル本炭素数lないし乙のアルキル、基も
しくはハロゲン化アルキル基によって置換された炭素数
tないし30のアリール基、炭素数tないし3oのアリ
ール基、−COOR2、−COR2、−0−COR2(
R2は炭素数7ないし12のアルキル基もしくヒバ日ゲ
ン化アルキル基、炭素数/ないし乙のアルキル基もしく
けハロゲン化アルキル基で置換された炭素数tないし3
0のアリール基、または炭素数tないし3oのアリール
基)、または、ニトロ基を表わす。〕〔発明の効果〕 本発明の共重合体(A)は、構造式〔I〕で示される繰
返し構造単位中に、高エネルギー綜感応基として、チイ
ラニル基を、また、フェニル骨格を同時に有することか
ら、レジスト材料として従来にない高い感度と、高い耐
ドライエツチング性を有する。
式[1)中、R,には水素、炭素数lないしrのアルキ
ル基またはハロゲンを用い得るが、レジスト材料として
用いる場合、耐ドライエツチング性の点で、水素である
ことが好ましい。
式〔!〕中、チイラニル基は主鎖の炭素原子に対して、
オルト、メタ、または、パラ位のいずれの位置でもとり
得るが、製造のしやすさはメタ位もしくはパラ位にある
場合である。
共重合体(4)の数平均分子量については、jooない
し/、 000,000が好ましく 、i、oooない
し、ioo、oo。
が更に好ましい。数平均分子量が小さすぎると共重合体
の物理的強度が低下し、大きすぎても溶媒への溶解度が
低下し、いずれも好ましくガい。
式〔夏〕中、w、x、yおよび2は各々、水素、ハa 
ケン、シアノ基、炭素#/ないしlのアルキル基もしく
はハロゲン化アルキル基、炭素1[/&いし乙のアルキ
ル基もしくはハロゲン化アルキル基によって置換された
炭素数tないし3oの7リール基、炭素数tないし3θ
のアリール基、   ・−COOR鵞、C0Rz 、O
COR* (R2は炭素数7ないし12のアルキル基、
もしくはハロゲン化アルキル基、炭素数〕ないしtのア
ルキル基もしくはハロゲン−タ − 化アルキル基で置換された炭素数6ないし30のアリー
ル基、炭素数6ないし30のアリール基)を用い得る。
これらのうち、w、  x、  yおよび2に炭素数l
ないし乙のアルキル基もしくはノ・ロゲン化アルキル基
によって置換された炭素数lないし3θの7リール基も
しくは、炭素数乙ないし30のアリール基を含むものは
、特に、有機酸に対して非常に良好な耐性を示す。この
ような構造式〔II〕で示される繰返し構造単位におけ
る具体的な好ましい、w、X、Y:l?よび2の組合わ
せを(W、X、Y。
2)0形式で示すと、(H+ H+ H+ CaHs 
) (HIT(I HI Cl0H7)(HI HI 
HI C14I(9) (HI I(lCHs + C
a5s ) (CHa + Hr Hr CsT& )
 (Can5 r H+ HI(4Hs ) (L11
+ 0ses * C6H4C2H5)等である。
中でも、共重合体(4)をレジスト材料となす場合には
、耐ドライエツチング性の面から、置換基の々い炭素数
t々いし30のアリール基が好ましく、入手のしやすさ
と耐ドライエツチング性の両面を考慮すると、炭素数t
ないし/4!のアリール基が一7θ− 特に好ま17い。特に好ましい具体例として、(H9H
+ FI+ C5Hs) (H,HI HI Cl0H
7) (He H。
H,(44Hs) (C6115* H,H9C611
s)  (HI H。
C6H5* C6H5)勢である。
また、ハ0ゲン、シアン基、 COO& 、C−0−R
2(R2は炭素数/ないしl−のアルキル基もしくはハ
ロゲン化アルキル基、炭素数/ないし乙のアルキル基も
しくけハロゲン化アルキル基によって置換された炭素数
tないし3oのアリール基、または炭素数t′Ik、い
し3oのアリール基)を含むものについては、膜の耐衝
撃性が向上すると同時に基板との密着性が向上する。
このような構造式(II)で示される繰返し構造単位に
おけるw、xXyおよび2の組合わせを(W。
x、y、z)の形式で示すと、(H,HICH31CN
 ) (H、H、CH3、C00C4Hs ) (’H
、H、CHs 。
C00CT(s ) (H、H、CI 、 C00CH
s ) (H、H、F 。
C00CHs) (H,H,CH3,COOCH2CF
s ) (H,H。
CH3、C0CHa ) (H、H、CI(s 、 C
0C5HII) (CTh 、 H。
H,C0CHs ) (H,H,CI、C1) (H,
H,H。
OCOC5Hs )等であり、レジスト材料としての感
度、耐ドライエツチング性の面から、(H、a t C
Hs IC0CsHs ) (H、H、CH3,C00
CsHs )が特に好ましい。
構造式1)で示される繰返し構造単位は一種類である必
要はなく、二種類以上のものを適当な比率で用いること
により、また、第三成分を適当な比率で用いることによ
り、各々の特徴を合わせ持つ、よシ総合的な性能の高い
エピスルフィド化合物を作ることができる。
構造式〔I〕で示される繰返し構造単位と構造式〔l’
)で示される繰返し構造単位の重量分率は特に制限され
るものではないが、構造式〔I〕の重量分率で、1重量
%以上、好まL <は5重量%以上である。構造式〔I
〕で示される繰返し構造単位の分率が増大する#1ど硬
化速度が速くなり、硬化後の架橋密度が増大l−て、硬
化物の耐溶剤性および耐薬品性が向上する。構造式CI
)の重量分率が実質700%であっても、本発明の目的
を損々うものではないが、安定性等が加味される場合、
構造式〔■〕の重量分率を/−以上、好ましく r、t
 、t 1以上で有効である。また、構造式[1〕で示
される繰返し構造単位の分率が増大すると、w、x、y
および2の組合わせKより前に述ぺた種々の物性が向上
する。したがって、これらの物性を考えたうえで使用目
的に応じて最もバランスがとれた比率を選ぶことができ
る。
次いで、共重合体(4)の製造方法について説明する。
すなわち、下記構造式〔a〕および〔b〕で示される単
量体を重合開始剤の存在下に共重合するととKより、下
式〔I〕および[11)で示される繰返し構造単位から
なる線状共重合体が得られる。
CI)           [11 〔但し、〔a〕および〔13式中、R1は水素、炭素数
lないしrのアルキル基、または、ハロゲンを表わし、
R1およびテイラニル基は主鎖の炭素原子に対して、オ
ルト、メタ、またはバラ位のいずれかに置換する。〔b
〕および〔■〕式中、w、x、yおよび2け各々、水素
、ハロゲン、シアノ基、炭素数/ないし乙のアルキル基
、炭素数/ないし乙のハロゲン化アルキル基、炭素数l
々いし乙のアルキル基もしくはハロゲン化アルキル基に
よって置換された炭素数2ないし30のアリール基、炭
素数t々いし30のアリール基、 COOR2、C0R
2、−0−CORz (R2は炭素数7ないし/λのア
ルキル基もしくはハロゲン化アルキル基、炭素数/ない
しtのアルキル基もしくはハロゲン化アルキル基で置換
された炭素数tないし3θのアリール基、ま−/グー た祉炭素数2ないし30のアリール基)、または、ニト
ロ基を表わす。〕 共重合は、媒体の共存下に行なうこともできるし、媒体
を用いることなしに行なうこともできるが、共重合反応
の制御のしやすさから、媒体の共存下に行なうのが望ま
しい。
媒体として、ジエチルエーテル、メチルエチルエーテル
、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、テトラヒド
ロビラン勢のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼン等ノ芳香族炭化水素類、ペンタン、
ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン岬の脂肪族炭化水
素類、および、これらの混合物を用い得る。これらの選
択にあたり、目的とする共重合体(4)の物性と、とり
わけ、分子量と媒体の連鎖移動定数等の物性を考慮すべ
きである。
更に、媒体として、水と乳化剤もしくは分散剤を用いる
ことによシ、乳化重合々いし懸濁重合も可能であり1高
分子量の共重合体(4)が得られる。
重合開始剤に制+aはなく、過酸化ベンゾイル、過酸化
ラウロイル、クメンヒドロパーオキシド、t−ブチルヒ
ドロパーオキシド、ジクミルパーオキシド等の有機過酸
化物、過硫酸塩、α、α′−アゾビスイソブチロニトリ
ル等のアゾ化合物、およびこれらの混合物が用い得るが
、生成物の安定性、共重合反応の制御のしやすさから、
有機過酸化物、アゾ化合物が好ましい。
重合開始剤の使用量に関して制限はなく、目的とする共
重合体囚の分子量を考慮して決めることができる。
更に、重合温度、時間に関しても制限はなく、用いる開
始剤の分解活性化エネルギーを考慮して決めるべきで、
一般的に、−10℃ないし720℃、0.3分ないし7
.2時間である。
更に1本発明の共重合体(4)は、下記構造式〔c〕お
よび〔d〕で示される繰返し構造単位からなる共重合体
(以下、共重合体(8)と称する)をチア化剤で処理す
ることにより得られる。
〔c〕         〔d〕 〔但し、〔03式中、R1は水素、炭素数7ないしtの
アルキル基、または、ハロゲンを表わし、R1およびエ
ポキシ基は主鎖の炭素原子に対して、オルト、メタ、ま
たは、パラ位のいずれかに置換する。
Ca11式中、w、x、yおよび2は各々、水素、ハロ
ゲン、シアノ基、炭素数7ないし乙のアルキル基、炭素
数7表いし乙のハロゲン化アルキル基、炭素数lないし
tのアルキル基もしくはノ・ロゲン化アルキル基によっ
て置換された炭素数6々いし30のアリール基、炭素数
tないし30のアリール基、−COORz 、−COR
z 、−0−CORz (Rtは炭素数lないし/jの
アルキル基もしくはハロゲン化アルキル基、炭素数lか
いし乙のアルキル基もしくは)・ロゲン化アルキル基で
置換された炭素数tないし30のアリール基、また社炭
素数tないし30のアリール基)、または、ニトロ基を
表わす。〕チア化剤に制限はなく、チオシアン酸カリウ
ム、チオシアン酸アンモニウム塩、チオ尿素、3−メチ
ルベンゾチアゾール−λ−チオン、トリフェニルフォス
フインスルフィド等のチア化剤を用い得る。
チア化反応は、共重合体(B)とテア化剤とを、チア化
剤に対して不活性な媒体中で行なうことが好マシく、メ
タノール、エタノール等のアルコール類が好ましく、更
に、共重合体(B)を溶解し得る媒体、例えば、トルエ
ン、エチルベンゼン尋の媒体を添加することは、チア化
効率の点で更に好ましい。
チア化剤の使用量は、チア化効率を左右するもので、共
重合体(B)中のエポキシ基に対して、当量以上が好ま
しい。反応温度は、700℃以下が一般的で、副反応抑
制の面で、−一θ℃ないし30℃が好ましく、反応時間
は5分ないし7.2時間が一般的で、チア化効率の面で
70分以上が好ましい。
本発明の製造方法の好ましい態様は次のとおり一/r− である。〔83式および〔53式の単量体の混合物に、
所定量のラジカル重合開始剤を、攪拌し衣から混合する
。この時、必要に応じて、媒体を加えることができる。
系は窒素ガス置換するのが好ましい。
混合物を所定温度にした後、所定時間反応を続ける。反
応終了後、反応混合物をヘキサン等の沈殿用媒体中に混
合し、沈殿物をt別する。
また、チア化剤を用いる場合の製造方法では、[e)式
および(d)式で示される繰返し構造単位からなる共重
合体をチア化剤に対して不活性々媒体に混合し、更に、
チア化剤を攪拌しながら徐々に混合する。所定の温度、
時間、反応を続けた後、反応混合物をメタノール等の沈
殿用媒体中に混合し、沈殿物をp別する。
このようにして得られた新規な溶剤可溶性のエピスルフ
ィド化合物は、XII!、電子線、γ線、遠紫外線等の
高エネルギー線に対j7て極めて高い感度と高耐ドライ
エツチング性を有すると同時に、通常の硬化剤と混合す
ることにより硬化し、組成に応じて良好な耐酸性、耐衝
撃性、殊に、エポキシ樹脂とは異ガり硬化収縮の小さい
可撓性のある硬化物が得られた。硬化剤としては、ジエ
チレントリアミン等の脂肪族ポリアミン、メタフェニレ
ンジアミン吟の芳香族ポリアミン、無水フタル酸岬の酸
無水物、ポリアミド樹脂等、常用の化合物を用いること
ができる。
〔実 施 例〕
以下、実施例により具体的実施態様を示すが、本発明を
制限するものではない。
合成例1 攪拌機、温度計を備え*iiのフラスコに、メタノール
(30θ−)を加えておき、グービニルスチレンオキサ
イド(1ooy )を加え、内温を夕ないし70℃に保
持しながら、チオ尿素(3j t)を徐々に加え、72
時間攪拌を続けた。反応終了後、メタノールを濃縮留去
し、残渣を水洗し、弘−ビニルスチレンエピスルフィド
(aor)をiた。生成物のプロトン核磁気共鳴スペク
トルは、δ値で、7.2〜Z1. A、&j、 Jニア
J、jコ013.りj〜久1人2r〜3.oK各々グ、
/、ハ/、2個分のプロトンが観測された。
実施例/ 攪拌機、温度針、還流冷却器を備えた/lの七パラプル
フラスコに精製したトルエン(pootxt )を加え
ておき、合成例で得られたエピスルフィド化合物(jθ
V)とスチレン(309)を攪拌下に加え、α、α′−
アゾビスイ、ツブチロニトリル(lf)を添加し、内温
を70℃に保持し表から、窒素気流下に7時間攪拌を続
けた。反応終了後、反応混合物を大量のメタノール中に
注ぎ、−夜装置した。白色の沈殿物をr別し、メタノー
ル洗浄後、室温で減圧乾燥し、共重合体を得た。収量は
r7fで、ゲルパーミェーションクロマトグラフィーか
ら、その数平均分子量はコJ、000であった。
また、共重合体のプロトン核磁気共鳴スペクトルカラ、
エピスルフィド化合物が、tGモルチ含まれていること
が判った。
実施例λ 3−ビニルスチレンエピスルフィドとコービニルナフタ
レンを用いる他は、実施例/と全く同様−+27− に共重合、後処理を行ない、表−7に示した収量、物性
の共重合体が得られた。なお、プロトン核磁気共鳴スペ
クトルのデータを表−2に示した。
実施例3〜j 実施例/において、スチレンに代え、表−7に示した単
量体を用いる他は全く同様に共重合、後処理を行ない、
各々、表−1に示した収量、物性の共重合体が得られた
。なお、プロトン核磁気共鳴スペクトルのデータを表−
2に示した。
EPS率; 共重合体中、エピスルフィド基を含む繰返
し単位の含有率(モルチ) −+2.2− 実施例を 攪拌機、温度側、還流冷却器を備えだ/lのセパラブル
フラスコに精製したメチルエテルケトン(3θO−)、
合成例で得られたエピスルフィド化合@(rOfl)、
フ:r−ニルJlクリv−ト(101’)を加え、次い
で、α、α′−アゾビスイソブチロニトリル(/2)を
添加し、内温を70℃に保持しながら、窒素気流下に7
時間攪拌を続けた。反応終了抜、反応混合物を大量のメ
タノール中に注ぎ、−夜装置した。白色の沈殿物をp別
し、メタノール洗浄後、室温で減圧乾燥し共重合体を得
た。収1iHJ、25Fで、ゲルパーミェーションクロ
マトクラフィーから、その数平均分子量は、グ↓θ00
  であった。また、プロトン核磁気共鳴スペクトルは
a値で、A、rN7 t (7x ニルプo ) y 
)、3.り〜lA2 (チイラニル基、−CH−プロト
ン)、2c〜3.0(チイラニル基、/CH2プロトン
)、0..2〜2.2ナルが観測された。また、ティラ
ニル基プロトントフェニル7’oトンの積分強度比から
エピスルフィド化合物が、2Jモルチ含有していること
が判った。ここで得られた共重合体を、EPS−jと称
する。
実施例7 実施例Aにおいて、フェニルメタクリレートに我見、フ
ェニルイソプルベニルケトンを用いる他は、全く同様に
共重合、後□処理を行ない白色の共重合体(以下、EP
S−7と称する)を、弘Jfを得た。数平均分子量は、
/−2,000であり、プロトン核磁気共鳴スペクトル
は、δ値で、&J−、5’、、2 (7170゜71θ
に吸収のピークを有する)(フェニルプロトン)、3.
2〜tA/(チイラニル基1. Cll−プロトン)、
2、J′〜3.2j(チイラニル基1. CHtプロト
ン)、0.μ〜2..2(/、0にピークを有する)(
主鎖、 CH2+/CH−プロトン)のシグナルが観測
された。また、エピスルフィド化合物の含有率は/コモ
ルチであった。
参考例1 EPS−10(/、4tt)をトルエン溶剤(/、0f
)K溶かし、ここに硬化剤としてトリエチレンテトラミ
ン(θ、/2)とトルエン(0,2t )の混合液を加
えて均一に混合し、ガラス板上にバーコーターで塗布し
、室温に放置したが、25分でゲル化した。その後1日
放置し、良好な塗膜を得た。更に、100℃、3時間乾
燥し溶媒を除去した。この塗膜を剥離し、λsq6の酢
酸に、2f日間浸漬したが、塗膜の重量は3チの減少で
あった。
さらに、表−3に示した各種薬液に/10日間浸漬した
時の硬化物の可撓性および寸法安定性を比較した。
参考例、2〜7 表−3に示した各種エピスルフィド化合物を参考例/と
全く同様に処理し、各々重量減少と可撓性を比較した。
比較例1 エポキシ化合物として、市販のビスフェノールAmのエ
ポキシ樹脂(旭化成工業■製“AER−33/”エポキ
シ当量 lりθ)、201とジエチレントリアミンJ、
、2fを混合し、フィルム状にして室温でj日間放置し
て得た硬化被膜を、2jチ酢酸に2を日間−,2J − 浸漬したところ、l、、2%の重量減少がみられた。
A:、2jチ塩酸 B:、2J%硫酸 C;to−水酸
化カリウムD;トリクロpエチレン E:JJ′%クロ
ム酸 F;平均点点数は、7〜7点法で、lが最上、7
が最低。
合成例2 攪拌機、滴下漏斗、および温度針を備えた。2/のフラ
スコを窒素置換し、乾燥したテトラヒドロフラン(10
θ−)とジイソプロピルアミン(コθOf)を入れ、0
℃まで冷却した0次いで、/jfbn−ブチルリチウム
のヘキサン溶液(/りOd)を攪拌下漬下した。温度を
0℃に保持したままスチレン(tof)を加え、p−ジ
ビニルベンゼン(jθf)のテトラヒドロフラン(−5
00yd ) W液を3θme/hrの速度で連続的に
添加し、更にr時間窒素気流下で攪拌を続けた。メタノ
ール(3θff17りを添加した後、反応混合物を大量
のメタノール中に徐々に加えたところ、白色の沈殿物が
得られた。
これをp別し、水洗後乾燥し、白色の固体(xiθf)
を得た。この白色固体はアセトン、酢酸エチル、トルエ
ン、クロロホルム等に易溶であった。GPC(ケルパー
ミェーションクロマトグラフィー)ニよって求めた数平
均分子量は≠tθOθであった。
NMRスペクトルはδ値Or〜30付近に!、jをピー
クとする幅広の吸収、五〇〜3.3および文!−よrに
やや尖った吸収、t、θ〜Ztに、ttおよび7/  
をそれぞれピークとする幅広の吸収が観測された。
上記の吸収の相対強度から、ジビニルベンゼンとスチレ
ンのモル比けjニゲであると測定された。
次いで、温度針、攪拌機をつけた700−の反応器に、
上記で得られた化合物(,2,乙f)、塩化メチレン(
J o ml ) 、炭酸水素ナトリウム(θ、りf)
を入れ、j℃に冷却した。メタクロロ過安息香酸(j、
 A f )を塩化メチレン(コ4!−)に溶解した液
を攪拌しながら滴下した後、反応液をj℃に保って、2
1時間攪拌した。反応液のメタクロロ過安息香酸がなく
なったことをヨード澱粉紙で確認した後、反応液を飽和
炭酸水素す)IJウム水溶液で3回洗浄し、無水硫酸マ
グネシウムで乾燥した。
乾燥剤をf別した後、塩化メチレンを減圧下冑去すると
とにより白色の粉末(コ、6t)を得た。これはトルエ
ン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、クロロホルム等
の有機溶媒に易溶であった。 GPCによって求めた数
平均分子量はjシ000であった。
NMRスペクトルは、δ値0.1〜3.0付近にtjを
ピークとする幅広の吸収、JJ、 J、/、 3J、よ
コおよびJニア Kやや幅広の吸収、t、0〜74にt
jオよび2/をピークとする幅広の吸収が観IIIされ
た。赤外線吸収スペクトルの代表的な吸収は、/430
、/IIり01/4I40./211,1030、メタ
0、Pol、131,730.tりOd−!であった。
j9一 実施例を 合成例/において、グービニルスチレンオキサイドに代
え、合成例2で得られたエポキシ化合物を用いる他は全
く同様にチア化、後処理を行逢いエピスルフィド化合物
を得た。
ここで得られた共重合体の核磁気共鳴スペクトルは、実
施例1で得られ九EP8−/のそれと同じであった。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、下記構造式〔 I 〕および〔II〕で示される繰
    返し構造単位からなり、数平均分子量が500ないし5
    ,000,000である新規線状共重合体。 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕▲数式、化
    学式、表等があります▼〔II〕 〔但し、〔 I 〕式中、R_1は水素、炭素数1ないし
    8のアルキル基、または、ハロゲンを表わし、R_1お
    よびチイラニル基は主鎖の炭素原子に対して、オルト、
    メタ、または、パラ位のいずれかに置換する。〔II〕式
    中、W、X、YおよびZは各々、水素、ハロゲン、シア
    ノ基、炭素数1ないし6のアルキル基、炭素数1ないし
    6のハロゲン化アルキル基、炭素数1ないし6のアルキ
    ル基もしくはハロゲン化アルキル基によつて置換された
    炭素数6ないし30のアリール基、炭素数6ないし30
    のアリール基、−COOR_2、−COR_2、−O−
    COR_2(R_2は炭素数1ないし12のアルキル基
    もしくはハロゲン化アルキル基、炭素数1ないし6のア
    ルキル基もしくはハロゲン化アルキル基で置換された炭
    素数6ないし30のアリール基、または炭素数6ないし
    30のアリール基)、または、ニトロ基を表わす。〕
  2. (2)、下記構造式〔a〕および〔b〕で示される単量
    体を重合開始剤の存在下に共重合することを特徴とする
    、下式〔 I 〕および〔II〕で示される繰返し構造単位
    からなる、数平均分子量が500ないし5,000,0
    00である新規線状共重合体の製造方法。 ▲数式、化学式、表等があります▼〔a〕▲数式、化学
    式、表等があります▼〔b〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕▲数式、化
    学式、表等があります▼〔II〕 〔但し、〔a〕および〔 I 〕式中、R_1は水素、炭
    素数1ないし8のアルキル基、または、ハロゲンを表わ
    し、R_1およびチイラニル基は主鎖の炭素原子に対し
    て、オルト、メタ、または、パラ位のいずれかに置換す
    る。〔b〕および〔II〕式中、W、X、YおよびZは各
    々、水素、ハロゲン、シアノ基、炭素数1ないし6のア
    ルキル基、炭素数1ないし6のハロゲン化アルキル基、
    炭素数1ないし6のアルキル基もしくはハロゲン化アル
    キル基によつて置換された炭素数6ないし30のアリー
    ル基、炭素数6ないし30のアリール基、−COOR_
    2、−COR_2、−O−COR_2(R_2は炭素数
    1ないし12のアルキル基もしくはハロゲン化アルキル
    基、炭素数1ないし6のアルキル基もしくはハロゲン化
    アルキル基で置換された炭素数をないし30のアリール
    基、または炭素数をないし30のアリール基)、または
    、ニトロ基を表わす。〕
  3. (3)、下記構造式〔c〕および〔d〕で示される繰返
    し構造単位からなる共重合体をチア化剤で処理し、下記
    構造式〔 I 〕および〔II〕で示される繰返し構造単位
    からなる、数平均分子量が500ないし5,000,0
    00である新規線状共重合体の製造方法。 ▲数式、化学式、表等があります▼〔c〕▲数式、化学
    式、表等があります▼〔d〕▲数式、化学式、表等があ
    ります▼〔 I 〕▲数式、化学式、表等があります▼〔
    II〕 〔但し、〔c〕および〔 I 〕式中、R_1は水素、炭
    素数1ないし8のアルキル基、または、ハロゲンを表わ
    し、R_1、エポキシ基およびチイラニル基は主鎖の炭
    素原子に対して、オルト、メタ、または、パラ位のいず
    れかに置換する。〔d〕および〔II〕式中、W、X、Y
    およびZは各々、水素、ハロゲン、シアノ基、炭素数1
    ないし6のアルキル基、炭素数1ないし6のハロゲン化
    アルキル基、炭素数1ないし6のアルキル基もしくはハ
    ロゲン化アルキル基によつて置換された炭素数6ないし
    30のアリール基、炭素数6ないし30のアリール基、
    −COOR_2、−COR_2、−O−COR_2(R
    _2は炭素数1ないし12のアルキル基もしくはハロゲ
    ン化アルキル基、炭素数1ないしをのアルキル基もしく
    はハロゲン化アルキル基で置換された炭素数6ないし3
    0のアリール基、または炭素数6ないし30のアリール
    基)、または、ニトロ基を表わす。〕
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2604534A1 (fr) * 1986-09-29 1988-04-01 Asahi Chemical Ind Produit lamifie photodurcissable, procede pour sa preparation et circuit imprime l'utilisant
JPS6385538A (ja) * 1986-09-29 1988-04-16 Asahi Chem Ind Co Ltd 光硬化性積層体およびそれを用いた画像形成方法
US5541623A (en) * 1993-06-02 1996-07-30 Alps Electric (U.S.A.) Inc. Temperature compensated opto-electronic circuit and mouse using same

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