JPS6124025A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6124025A JPS6124025A JP14572884A JP14572884A JPS6124025A JP S6124025 A JPS6124025 A JP S6124025A JP 14572884 A JP14572884 A JP 14572884A JP 14572884 A JP14572884 A JP 14572884A JP S6124025 A JPS6124025 A JP S6124025A
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- JP
- Japan
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- substrate
- ferromagnetic
- film layer
- guide roll
- thin film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野および目的〕
この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時における強磁性金属薄膜層への異物の混
入および付着を抑制して、電磁変換特性に優れた前記の
磁気記録媒体を製造する方法を提供することにある。
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時における強磁性金属薄膜層への異物の混
入および付着を抑制して、電磁変換特性に優れた前記の
磁気記録媒体を製造する方法を提供することにある。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を真空槽内に配設し
た種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に
沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸着
するなどしてつくら・れている。
、ポリエステルフィルムなどの基板を真空槽内に配設し
た種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に
沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸着
するなどしてつくら・れている。
ところが、この製造方法では、強磁性材を加熱蒸発させ
て強磁性金属薄膜層を形成する過程で、塵埃や強磁性材
の微粒子等が、静電気による帯電等により、基体に付着
して強磁性金属薄膜層中に混入されたり、あるいは強磁
性材の微粒子等が帯電や磁力等により基体上に形成した
強磁性金属薄膜層に付着して、巻き取り時にこれらの異
物により強磁性金属薄膜層が損傷し、ドロンてアウトが
生じて、電磁変換特性が劣化するという難点がある。
て強磁性金属薄膜層を形成する過程で、塵埃や強磁性材
の微粒子等が、静電気による帯電等により、基体に付着
して強磁性金属薄膜層中に混入されたり、あるいは強磁
性材の微粒子等が帯電や磁力等により基体上に形成した
強磁性金属薄膜層に付着して、巻き取り時にこれらの異
物により強磁性金属薄膜層が損傷し、ドロンてアウトが
生じて、電磁変換特性が劣化するという難点がある。
この発明はかかる欠点を改善するため、種々検討を行っ
た結果、基板を走行案内するガイドロールに超音波振動
子を取りつけて振動させたり、あるいはガイドロールに
対向し走行する基板を挾んで永久磁石を配設して強磁性
材の微粒子等を磁力 、で吸引したり、もしくはイオン
化したガスを走行する基板に吹きつけて静電気による帯
電を抑制したりすると、走行する基板に付着する異物を
除去しながら強磁性金属薄膜層を形成することができ、
強磁性金属薄膜層への異物の混入および付着を抑制して
ドロップアウトの発生を効果的に防止し、電磁変換特性
を向上することができることを見いだしてなされたもの
で、真空槽内で、基板を原反ロールからガイドロールを
介して円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、さらに
ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取る間に、
強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁
性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造方法におい
て、ガイドロールに超音波振動子を取りつけて基板を振
動させるか、またはガイドロールに対向し走行する基板
を挾んで永久磁石を配設するか、あるいはイオン化した
ガスを走行する基板に吹きつけるか、もしくは前記の超
音波振動子のガイドロールへの取りつけによる基板の振
動、永久磁石の配設およびイオン化したガスの吹きつけ
を適宜に組合せて行い、走行する基板に付着する異物を
除去しながら強磁性金属薄膜層を形成するようにしたこ
とを特徴とするものである。
た結果、基板を走行案内するガイドロールに超音波振動
子を取りつけて振動させたり、あるいはガイドロールに
対向し走行する基板を挾んで永久磁石を配設して強磁性
材の微粒子等を磁力 、で吸引したり、もしくはイオン
化したガスを走行する基板に吹きつけて静電気による帯
電を抑制したりすると、走行する基板に付着する異物を
除去しながら強磁性金属薄膜層を形成することができ、
強磁性金属薄膜層への異物の混入および付着を抑制して
ドロップアウトの発生を効果的に防止し、電磁変換特性
を向上することができることを見いだしてなされたもの
で、真空槽内で、基板を原反ロールからガイドロールを
介して円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、さらに
ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取る間に、
強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁
性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造方法におい
て、ガイドロールに超音波振動子を取りつけて基板を振
動させるか、またはガイドロールに対向し走行する基板
を挾んで永久磁石を配設するか、あるいはイオン化した
ガスを走行する基板に吹きつけるか、もしくは前記の超
音波振動子のガイドロールへの取りつけによる基板の振
動、永久磁石の配設およびイオン化したガスの吹きつけ
を適宜に組合せて行い、走行する基板に付着する異物を
除去しながら強磁性金属薄膜層を形成するようにしたこ
とを特徴とするものである。
以下、図面を参照しながらこの発明について説゛明する
。
。
第１図は真空蒸着装置の概略断面図を示したものであり
、■は真空槽で、この真空槽１め内部は隔壁２によって
２室に分離され、それぞれ排気系３および４によって真
空に保持される。５は真空槽１の中央部に２室に跨るよ
うに配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィ
ルム等の基板６は原反ロール７より１．ガイドロール８
．９およびＩＯを介してこの円筒状キャン５の周側面に
沿って移動し、ガイドロール１１．１２および１３を介
して巻き取りロール１４に巻き取られる。この間円筒状
キャン５の周側面に沿って移動する基板６に対向して真
空槽１の下部に蛇設された強磁性材蒸発源１５で強磁性
材１６が加熱蒸発され、この蒸気流が防着板１７により
所定の入射角で基板６に差し向けられて蒸着が行われる
。
、■は真空槽で、この真空槽１め内部は隔壁２によって
２室に分離され、それぞれ排気系３および４によって真
空に保持される。５は真空槽１の中央部に２室に跨るよ
うに配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィ
ルム等の基板６は原反ロール７より１．ガイドロール８
．９およびＩＯを介してこの円筒状キャン５の周側面に
沿って移動し、ガイドロール１１．１２および１３を介
して巻き取りロール１４に巻き取られる。この間円筒状
キャン５の周側面に沿って移動する基板６に対向して真
空槽１の下部に蛇設された強磁性材蒸発源１５で強磁性
材１６が加熱蒸発され、この蒸気流が防着板１７により
所定の入射角で基板６に差し向けられて蒸着が行われる
。
ここで、図示していないが、ガイドロール８゜９および
１２には超音波振動子が取りつけられており、これらの
ガイドロール８，９．１２により走行案内される基板６
は、走行中この超音波振動子によって振動され、この振
動により基板６に付着した塵埃および強磁性材の微粒子
等の異物が、離脱し、除去される。
１２には超音波振動子が取りつけられており、これらの
ガイドロール８，９．１２により走行案内される基板６
は、走行中この超音波振動子によって振動され、この振
動により基板６に付着した塵埃および強磁性材の微粒子
等の異物が、離脱し、除去される。
１８および１９は、ガイドロール８および９に−対向し
、ガイドロール８および９に案内走行される基板６を挾
んで配設されたイをン化ガス吹きっけ用のガスノズルで
あり、イオン化されたガスはこれらのガスノズル１８お
よび１９からガイドロール８および９によって走行案内
される基板６に吹きつけられる。イオン化されたガスと
しては、イオン化された空気、酸素ガス、アルゴンガス
等が使用され、このようにイオン化されたガスが基板６
に吹きつけられると、基板６が電気的に中和されて静電
気による帯電がなくなるため、基板６に帯電によって付
着していた塵埃や強磁性材の微粒子等の異物は、離脱し
、取り除かれる。
、ガイドロール８および９に案内走行される基板６を挾
んで配設されたイをン化ガス吹きっけ用のガスノズルで
あり、イオン化されたガスはこれらのガスノズル１８お
よび１９からガイドロール８および９によって走行案内
される基板６に吹きつけられる。イオン化されたガスと
しては、イオン化された空気、酸素ガス、アルゴンガス
等が使用され、このようにイオン化されたガスが基板６
に吹きつけられると、基板６が電気的に中和されて静電
気による帯電がなくなるため、基板６に帯電によって付
着していた塵埃や強磁性材の微粒子等の異物は、離脱し
、取り除かれる。
２０は、ガイドロール１２に対向し、ガイドロール１２
に案内走行される基板６を挾んで配設された永久磁石で
あり、このように永久磁石２ｏが配設されると、基板６
上に形成された強磁性金属薄膜層上に磁気的に結合して
付着している強磁性材の微粒子等の異物は、この永久磁
石２ｏにより磁気的に吸引されて離脱し、取り除がれる
。このような永久磁石２０は、ガイドロール１２に走行
案内される基板６表面から１０ａ＋ｍ以上離れると、磁
力が充分に作用せず、基板６上の強磁性金属薄膜層上に
付着された異物を効果的に除去することができないため
、基板６表面から１０ＩｌｌＩ１以内の距離に配設する
のが好ましい。
に案内走行される基板６を挾んで配設された永久磁石で
あり、このように永久磁石２ｏが配設されると、基板６
上に形成された強磁性金属薄膜層上に磁気的に結合して
付着している強磁性材の微粒子等の異物は、この永久磁
石２ｏにより磁気的に吸引されて離脱し、取り除がれる
。このような永久磁石２０は、ガイドロール１２に走行
案内される基板６表面から１０ａ＋ｍ以上離れると、磁
力が充分に作用せず、基板６上の強磁性金属薄膜層上に
付着された異物を効果的に除去することができないため
、基板６表面から１０ＩｌｌＩ１以内の距離に配設する
のが好ましい。
なお、超音波振動子やイオン化ガス吹きつけ用ガスノズ
ル１８．１９および・永久磁石２０等は、第１図に示す
ように特定のガイドロールに取りつけたり、また特定の
ガイドロールに対して配設されたものに限定されるもの
ではなく、いずれのガイドロールに取りつけ、または配
設してもよい。
ル１８．１９および・永久磁石２０等は、第１図に示す
ように特定のガイドロールに取りつけたり、また特定の
ガイドロールに対して配設されたものに限定されるもの
ではなく、いずれのガイドロールに取りつけ、または配
設してもよい。
また、これら超音波振動子、ガスノズル１８，１９およ
び永久磁石２０は、それぞれいずれか一種を適宜に取り
つけまたは配設しても、また適宜に組み合わせて取りつ
けまたは配設してもよく、特に基板６上に強磁性金属薄
膜層を形成する前のガイドロール８，９および１０等に
は超音波振動子を取りつけたり、ガスノズルを近接させ
て配設し、強磁性金属薄膜層を形成した後は永久磁石を
ガイドロール１１，１２．１３等に近接して配設すると
、帯電等に起因して基板６上に付着した異物は超音波振
動子による振動やイオン化されたガスによる帯電の防止
によって除去され、磁気的に基板上の強磁性金属薄膜層
に付着した異物は永久磁石によって除去されるため、異
物の除去が極めて効率よ（行われ、ドロップアウトの発
生が極めて効果的に抑制されて、電磁変換特性に優れた
磁気記録媒体が得られる。
び永久磁石２０は、それぞれいずれか一種を適宜に取り
つけまたは配設しても、また適宜に組み合わせて取りつ
けまたは配設してもよく、特に基板６上に強磁性金属薄
膜層を形成する前のガイドロール８，９および１０等に
は超音波振動子を取りつけたり、ガスノズルを近接させ
て配設し、強磁性金属薄膜層を形成した後は永久磁石を
ガイドロール１１，１２．１３等に近接して配設すると
、帯電等に起因して基板６上に付着した異物は超音波振
動子による振動やイオン化されたガスによる帯電の防止
によって除去され、磁気的に基板上の強磁性金属薄膜層
に付着した異物は永久磁石によって除去されるため、異
物の除去が極めて効率よ（行われ、ドロップアウトの発
生が極めて効果的に抑制されて、電磁変換特性に優れた
磁気記録媒体が得られる。
強磁性金属薄膜層を形成する基板としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成は
、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これら
の合金あるいは酸化物、およびＧｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−
Ｐなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着することに
よって形成される。
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成は
、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これら
の合金あるいは酸化物、およびＧｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−
Ｐなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着することに
よって形成される。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示すように、ガイドロール８．９および１２に
発振周波数１０ＫＨｚの超音波振動子を取りつけ、ガイ
ドロール８および９に対向してガスノズル°１８および
１９を配設し、かつガイドロール１２に対向して永久磁
石２０をｚｌＩＩＩＩの距離に配設した真空蒸着装置を
使用し、厚さが１０μのポリエステルフィルム６を原反
ロール７よりガイドロール８．９、ｌＯを介して円筒状
キャン５の周側面に沿って移動させ、ガイドロール１１
．１２．１３を介して巻き取りロール１４に巻き取るよ
うにセットするとともに強磁性材蒸発源１５にコバルト
１６をセットした。次いで、排気系３お ゛よび４で真
空槽１内を５×１０″５トールにまで真空排気し、超音
波振動子によりガイドロール８゜９．１２にロール長さ
方向の振動を起こし、ガスノズル１８および１９により
ガイドロール８および９によって走行案内されるポリエ
ステルフィルム６にイオン化した乾燥空気を５００ｍｌ
１／分の流量で吹きつけながら、ポリエステルフィルム
６の走行速度５ｍ／分で、コバルト１６を加熱蒸発させ
、ポリエステルフィルム６上に厚さが１００ＯＡのコバ
ルトからなる強磁性金属薄膜層を形成した。しかる後、
これを所定の巾に裁断して磁気テープをつくった。
発振周波数１０ＫＨｚの超音波振動子を取りつけ、ガイ
ドロール８および９に対向してガスノズル°１８および
１９を配設し、かつガイドロール１２に対向して永久磁
石２０をｚｌＩＩＩＩの距離に配設した真空蒸着装置を
使用し、厚さが１０μのポリエステルフィルム６を原反
ロール７よりガイドロール８．９、ｌＯを介して円筒状
キャン５の周側面に沿って移動させ、ガイドロール１１
．１２．１３を介して巻き取りロール１４に巻き取るよ
うにセットするとともに強磁性材蒸発源１５にコバルト
１６をセットした。次いで、排気系３お ゛よび４で真
空槽１内を５×１０″５トールにまで真空排気し、超音
波振動子によりガイドロール８゜９．１２にロール長さ
方向の振動を起こし、ガスノズル１８および１９により
ガイドロール８および９によって走行案内されるポリエ
ステルフィルム６にイオン化した乾燥空気を５００ｍｌ
１／分の流量で吹きつけながら、ポリエステルフィルム
６の走行速度５ｍ／分で、コバルト１６を加熱蒸発させ
、ポリエステルフィルム６上に厚さが１００ＯＡのコバ
ルトからなる強磁性金属薄膜層を形成した。しかる後、
これを所定の巾に裁断して磁気テープをつくった。
実施例２ 。
実施例１において、ガイドロール８および９に対向して
配設したガスノズル１８，１９、およびガイドロール１
２に対向して配設した永久磁石２０を取り除き、ガスノ
ズル１８および１９からのイオン化した乾燥空気の吹き
つけを省いた以外は実施例１と同様にして磁気テープを
つくった。
配設したガスノズル１８，１９、およびガイドロール１
２に対向して配設した永久磁石２０を取り除き、ガスノ
ズル１８および１９からのイオン化した乾燥空気の吹き
つけを省いた以外は実施例１と同様にして磁気テープを
つくった。
実施例３
実施例１において、ガイドロール８および９に対向して
配設したガスノズル１８および１９を取り除き、ガスノ
ズル１８および１９からのイオン化した乾燥空気の吹き
つけを省いた以外は実施例１と同様にして磁気テープを
つくった。
配設したガスノズル１８および１９を取り除き、ガスノ
ズル１８および１９からのイオン化した乾燥空気の吹き
つけを省いた以外は実施例１と同様にして磁気テープを
つくった。
実施例４
実施例１において、ガイドロール１２に対向して配設し
た永久磁石２０を取り除いた以外は実施例１と同様にし
て磁気テープをつくった。
た永久磁石２０を取り除いた以外は実施例１と同様にし
て磁気テープをつくった。
比較例１
実施例１において、ガイドロール８．９および１２に取
りつけた超音波振動子、ガイドロール８および９に対向
して配設したガスノズル１８．１９、およびガイドロー
ル１２に対向して配設した永久磁石２０を取り除き、超
音波振動子による振動およびガスノズル１８および１９
からのイオン化した乾燥空気の吹きつけを省いた以外は
、実施例１と同様にして磁気テープをつくった。
りつけた超音波振動子、ガイドロール８および９に対向
して配設したガスノズル１８．１９、およびガイドロー
ル１２に対向して配設した永久磁石２０を取り除き、超
音波振動子による振動およびガスノズル１８および１９
からのイオン化した乾燥空気の吹きつけを省いた以外は
、実施例１と同様にして磁気テープをつくった。
各実施例および比較例で得られた磁気テープをテープレ
コーダに装填して４ＭＨｚの信号を記録再生し、５μｓ
ｅＣ以上の出力欠損をドロップアウトとし１０分間に検
出されるドロップアウト数を測定した。
コーダに装填して４ＭＨｚの信号を記録再生し、５μｓ
ｅＣ以上の出力欠損をドロップアウトとし１０分間に検
出されるドロップアウト数を測定した。
第２図はその結果得られたドロップアウト数の頻度をグ
ラフで表したものである。
ラフで表したものである。
第２図のグラフから明らかなように、比較例１で得られ
た磁気テープは、ドロップアウト数が１００前後生じて
いるが、実施例１〜４で得られた磁気テープはいずれも
ドロップアウト数が、５０前後より少なく、このことか
らこの発明の製造方法によれば、強磁性金属薄膜層形成
時における強・磁性金属薄膜層への異物の混入および付
着が良好に防止された結果、ドロップアウトの発生が効
果的に抑制され、電磁変換特性に優れた磁気記録媒体が
得られるのがわかる。
た磁気テープは、ドロップアウト数が１００前後生じて
いるが、実施例１〜４で得られた磁気テープはいずれも
ドロップアウト数が、５０前後より少なく、このことか
らこの発明の製造方法によれば、強磁性金属薄膜層形成
時における強・磁性金属薄膜層への異物の混入および付
着が良好に防止された結果、ドロップアウトの発生が効
果的に抑制され、電磁変換特性に優れた磁気記録媒体が
得られるのがわかる。
第１図は、この発明の製造方法を実施するために使用す
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図はこの
発明および比較例１で得られた磁気テープのドロップア
ウト数の頻度をグラフで示した説明図である。 １・・・真空槽、５・・・円筒状キャン、６・・・基板
、７・・・原反ロール、８，９，１０．ｌｉ、１２，１
３、・・・ガイドロール、１４・・・巻き取りロール、
１５・・・強磁性材蒸発源、１６・・・強磁性材、１８
．１９・・・ガスノズル、２０・・・永久磁石 第１図 第２図
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図はこの
発明および比較例１で得られた磁気テープのドロップア
ウト数の頻度をグラフで示した説明図である。 １・・・真空槽、５・・・円筒状キャン、６・・・基板
、７・・・原反ロール、８，９，１０．ｌｉ、１２，１
３、・・・ガイドロール、１４・・・巻き取りロール、
１５・・・強磁性材蒸発源、１６・・・強磁性材、１８
．１９・・・ガスノズル、２０・・・永久磁石 第１図 第２図
Claims (1)
- １、真空槽内で、基板を原反ロールからガイドロールを
介して円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、さらに
ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取る間に、
強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁
性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造方法におい
て、ガイドロールに超音波振動子を取りつけて基板を振
動させるか、またはガイドロールに対向し走行する基板
を挾んで永久磁石を配設するか、あるいはイオン化した
ガスを走行する基板に吹きつけるか、もしくは前記の超
音波振動子のガイドロールへの取りつけによる基板の振
動、永久磁石の配設およびイオン化したガスの吹きつけ
を適宜に組合せて行い、走行する基板に付着する異物を
除去しながら強磁性金属薄膜層を形成するようにしたこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14572884A JPS6124025A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14572884A JPS6124025A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6124025A true JPS6124025A (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=15391759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14572884A Pending JPS6124025A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6124025A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0489627A (ja) * | 1990-07-25 | 1992-03-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| EP0645470A1 (en) * | 1993-09-23 | 1995-03-29 | Becton, Dickinson and Company | Process for barrier coating of plastic objects |
| JPH08144041A (ja) * | 1994-11-17 | 1996-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取り式真空蒸着装置 |
| US6818369B2 (en) | 2001-01-31 | 2004-11-16 | Ricoh Company, Ltd. | Toner for electrostatic image development and image forming method and apparatus using the toner |
| US7169522B2 (en) | 2002-03-12 | 2007-01-30 | Ricoh Company, Ltd. | Toner for developing a latent electrostatic image, developer using the same, full-color toner kit using the same, image-forming apparatus using the same, image-forming process cartridge using the same and image-forming process using the same |
| JP2007204823A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 成膜装置 |
| US7611815B2 (en) | 2002-07-15 | 2009-11-03 | Ricoh Company, Ltd. | External additive for toner for electrophotography, toner for electrophotography, double-component developer for electrophotography, image-forming process using the toner, and image-forming apparatus using the toner |
-
1984
- 1984-07-12 JP JP14572884A patent/JPS6124025A/ja active Pending
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