JPS5919237A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5919237A JPS5919237A JP12811982A JP12811982A JPS5919237A JP S5919237 A JPS5919237 A JP S5919237A JP 12811982 A JP12811982 A JP 12811982A JP 12811982 A JP12811982 A JP 12811982A JP S5919237 A JPS5919237 A JP S5919237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ionized gas
- vapor deposition
- recording medium
- production
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関する。
近年短波長記録に適する媒体として、高分子成形物基板
上に強磁性金属薄膜を蒸着にて形成した蒸着テープが登
場し注目されている。
上に強磁性金属薄膜を蒸着にて形成した蒸着テープが登
場し注目されている。
この媒体は、以前から原理的に短波長での損失を少くで
きる媒体として注目され、実験室規模でディジタル記録
用として研究されていたものである。そして最近では、
一部オーディオ用途に実用化され、現在ビデオ用途の開
発が各方面で盛んである。
きる媒体として注目され、実験室規模でディジタル記録
用として研究されていたものである。そして最近では、
一部オーディオ用途に実用化され、現在ビデオ用途の開
発が各方面で盛んである。
ビデオ用途をねらった時、需要の大きさに応じられる生
産技術を確立することが重要であるが、々 １だこの分野は歴史も浅く、→後の進歩に期待しなけれ
ばならない面が多く残されている。
産技術を確立することが重要であるが、々 １だこの分野は歴史も浅く、→後の進歩に期待しなけれ
ばならない面が多く残されている。
本発明は、長尺の媒体を得る上で問題となるシワの発生
を防止する方法を提供することを目的とするものである
。
を防止する方法を提供することを目的とするものである
。
現在実用化されている方法は、回転支持体に沿って移動
する高分子成形物基板に、Ｇｏ、 Ｇｏ Ｎｉ等の強磁
性材料を、微量の酸素を介在させて、電子ビーム蒸着す
るものである。
する高分子成形物基板に、Ｇｏ、 Ｇｏ Ｎｉ等の強磁
性材料を、微量の酸素を介在させて、電子ビーム蒸着す
るものである。
ここで用いる基板は、これ寸で知られている巻取蒸着分
野で用いている基板の表面性に比べて、平滑でハンドリ
ング性に劣る。
野で用いている基板の表面性に比べて、平滑でハンドリ
ング性に劣る。
従ってシワが発生し易い難点を有し、大気中巻取にして
も真空中巻取にしても、良くとられるシワ対策は、わん
曲したゴムローラーの利用である。
も真空中巻取にしても、良くとられるシワ対策は、わん
曲したゴムローラーの利用である。
これは、基板の幅方向の中心から外へ向って発生ずる力
の成分の利用であり、基板の厚みが１０ｔ１ｍ以Ｆの場
合には、必ず用いられているが、１０７１ｉｌ１以上に
なると、構造的にメカロスが太きいため余り用いられて
いないのが現状である。
の成分の利用であり、基板の厚みが１０ｔ１ｍ以Ｆの場
合には、必ず用いられているが、１０７１ｉｌ１以上に
なると、構造的にメカロスが太きいため余り用いられて
いないのが現状である。
本発明者は、蒸着長さを長くした場合は、１０μｍ以上
であっても、わん曲したゴムローラーの利用は不ｉｊＪ
欠であり、単にローラーがあればことたりるものではな
い現象に幾度かそう遇した。この場合、完全な規則性は
ないが、シワの発生は、■蒸着の開始から追っていくと
、後になる程頻度が高くなる傾向をもつ、■同じ位置に
発生するものではない、■わん曲したゴムローラーの基
板との接触角を調整してもほとんどシワはなくせない。
であっても、わん曲したゴムローラーの利用は不ｉｊＪ
欠であり、単にローラーがあればことたりるものではな
い現象に幾度かそう遇した。この場合、完全な規則性は
ないが、シワの発生は、■蒸着の開始から追っていくと
、後になる程頻度が高くなる傾向をもつ、■同じ位置に
発生するものではない、■わん曲したゴムローラーの基
板との接触角を調整してもほとんどシワはなくせない。
等の特長がある。
本発明は以上の主原因を基板のもつ静電気にあるとの仮
説のもとに、ＤＣグロー、ＡＣグロー、高周波グローな
どの弱電離気体に基板をさらしたところ、実用範囲内で
シワの発生を抑制することができることを見出したこと
にもとづいてなされたものである。
説のもとに、ＤＣグロー、ＡＣグロー、高周波グローな
どの弱電離気体に基板をさらしたところ、実用範囲内で
シワの発生を抑制することができることを見出したこと
にもとづいてなされたものである。
以−Ｆに図面を用い本発明の説明を行う。
図は本発明の実施例において用いた巻取蒸着装置の構成
を示す。
を示す。
図に示すように、送り出し軸１より出た高分子成形物基
板２は中間ローラー３を介して、弱電離気体に片面又は
両面がさらされる。４，５は放電電極を模式的に示す。
板２は中間ローラー３を介して、弱電離気体に片面又は
両面がさらされる。４，５は放電電極を模式的に示す。
弱電離気体の領域は、動作圧力により壁で囲って、蒸着
雰囲気を所定の真空度に保持できるように工夫すべきな
のは当然である。
雰囲気を所定の真空度に保持できるように工夫すべきな
のは当然である。
弱電離気体の条件は、基板の種類、長さなどによると同
時に、基板の移動速度に応じて、余裕のある値に保持す
る必要がある。
時に、基板の移動速度に応じて、余裕のある値に保持す
る必要がある。
帯電除去された基板は、わん曲したゴムローラー６を介
し、回転支持体７０表面に導かれる。そこで例えば電子
ビーム蒸発源８から発生する蒸気流の一部を限定するマ
スク９により入射角規制を受けた斜方蒸着が行われる。
し、回転支持体７０表面に導かれる。そこで例えば電子
ビーム蒸発源８から発生する蒸気流の一部を限定するマ
スク９により入射角規制を受けた斜方蒸着が行われる。
蒸着された基板は巻き取り軸１０にて巻き取られる。
この装置を用い、幅５０ｃｍのポリエチレノテレフタレ
ートフィルムを巻取りながら本発明を実施した。実験結
果を下の表に示す。
ートフィルムを巻取りながら本発明を実施した。実験結
果を下の表に示す。
（以下余白）
史に５ｏｃｎ、幅のＰＥＴで実施した場合、本発明の効
果はより顕著であった。
果はより顕著であった。
寸だ蒸着長さが１００００ｍに至っても本発明は有効で
あった。
あった。
さらに、他の基板、スパッタリング、イオンプレーディ
ングなどでの（Ｅｏ（Ｅｒの垂直磁化膜の形成に適用し
ても有効であった。
ングなどでの（Ｅｏ（Ｅｒの垂直磁化膜の形成に適用し
ても有効であった。
以」−のように、本発明は７ワの発生を防止し、品質の
すぐ′Ｊｔだ磁気記録媒体を容易に得るものでその工業
的有価値性は犬である。
すぐ′Ｊｔだ磁気記録媒体を容易に得るものでその工業
的有価値性は犬である。
図は本発明を実施するために用いた蒸着装置の要部の構
成例を示す図である。 ２・・・・・基板、４，６・・・・・・放電電極、６・
・・・・わん曲したゴムローラー、７・・・・・・回転
支持体、８・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名″８ １７５−
成例を示す図である。 ２・・・・・基板、４，６・・・・・・放電電極、６・
・・・・わん曲したゴムローラー、７・・・・・・回転
支持体、８・・・・・・蒸発源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名″８ １７５−
Claims (1)
- 回転支持体に沿って移動する高分子成形物基板上に蒸着
にて磁性層を形成するとともに、上記磁性層の形成に際
し、上記基板を弱電離気体にさらしたのち、わん曲した
ローラーを介して、上記基板を上記支持体上に導くこと
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12811982A JPS5919237A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12811982A JPS5919237A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919237A true JPS5919237A (ja) | 1984-01-31 |
| JPH0334613B2 JPH0334613B2 (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=14976844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12811982A Granted JPS5919237A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919237A (ja) |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP12811982A patent/JPS5919237A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334613B2 (ja) | 1991-05-23 |
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