JPS61229551A - セラミツク積層体の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｃ産業上の利用分野） 本発明昧電手回路用セラミツ？多層配−一、積層セラ、
ミック、コンデンサ等のセラミック積層、体の―進法に
関する。

（従来の蜂術） 一般に士うミック多層配線板、積層方うミツクコンデン
ｉ等の±？ミック積層体を製造する場合。

表面に内部電極ぺ〒ストをスクリーン印刷等で形成し、
乾燥したセラミ、イクグリーンシ〒、ト、を必要枚数積
み重ね１．、圧着一体化し木後、焼成する工程が用いら
れてにる。この様なセラミック積層体の。

製造法におけや問題点として、焼成時に各セラミックグ
リーン’＜−）Ｏ積層面が剥離する現象（デラすネーシ
ョン）守ある。上記デラミネーションは熱的、轡悴的、
電気的特性の欠陥や原因となるば埒ｊｐ”ｔ’なく、つ
吟には剥離によシセラ、ミック積層体が割れ２．、破壊
してしまうという問題が娶った。

（発明が解決しようとする問題点） 本卑明はかがる問題に鑑みてなされたものｔ７あって焼
成時（吟、七オミツ！グリーンシｉト間の剥離現象を生
じないセラミック積層体の製造法を蝉−□１ 供することを目的とする。　　　　　　　、ｃ問題を解
、俸す、るための手段） 本発明はセラミツフグシーンシートを積−し。

圧着７体化するに際し、該シートの少なくとも片面１／
Ｃセ、う、ミンク粉に対して７８体積−以上のパイ、ン
ダーを含む厚さ１０μｍ以下のセラミック層倉設ゆ、こ
の上面に内部導体層を形成するセラミック積層体の製造
法に関する。

本発明に誉い七用いられるセラミックグリーンシート周
上、う、ミック粉は電子回路用、セラミック多層配線板
等に用いられるアルミナなどの電気絶縁材料、積層セラ
之ツクコンデンサ等に用いられる誘電材料などが代表的
なものであるが、セラミックグリーンシードを圧着一体
化し焼成して成るセラミック積層体に用いられる原料で
あればよい。

またバインダーはポリビニルアルコール系樹脂。

アクリル系樹脂等セラξツクグリーンシートの盛形に用
いられるバインダであればよい。

□゛本発明に★いて、セラミックグリーンシードの少な
くとも片面に設ける：セラミック層のバインダ　。

−の含有量をセラミック粉に対して７８体積−以上に、
限定し九理由は、バインダーの含・有量が７８　・−未
満ではセラミックグリーンシート中のバインダーの流動
性を増大させる効果が少ないからであ＃）、ｔたこのセ
ラミツタ層の厚さを１０　＃ｍＫ限定したのは厚さが、
１０μｍよシ厚くなると圧着一体化する際にセラミック
層に変形等の問題が発−生ずるためである。

□　さらＫこのようＫして設けたセラミック層の上面に
内−、帰休層を形成した場合・グＩ７−：ｙｙ−）中の
バインダーが十分に流動し、焼成時のデラミネーション
を解消することができる。

（実施例） 実施例によシ本発明を説明する。

実施例１　　　　　　　　　１、　　　　、、　、□ 、勇φＬＭ−４３）１００重量部に対し、　８ｉ０雪、
Ｍｇｏ。

Ｃａｂ、Ａｔｏｍからなるガラスフラックス４重量部。

′　　　　　　５　　　　　　　　　　　　　　　°□
ポリビニルブチラール６重量部、ブチルベンジル゛フタ
レート３重量部、トリクロルエチレン３６重量部、ｎ−
ブタノール２重量部を加え、これらをボールミルで混合
し、スラリー状にした後、ドク、ターブレードを用いキ
ャスティングして厚さ３００゛μｍのセラミックグリー
ンシート１を得た。次に′□上記と同様の方法でポリビ
ニルプチラーλの含有量を６重量部から２２１重量部に
変゛え、厚さ９μｍのグリーンシート２を樽是。゛この
時、グリーンシ　、。

−ト１及び２のポリビニルブチラールの含有量はアルミ
ナ粉Ｋｆｉして七れセれ２２体積−９７９体積−でｉつ
た。ついで上記グリーンｐ＝’ｌｌ及び２を１００■交
ｉｏｏ閣にパンチシ、とれらを一度り０℃、圧力１０ｋ
ｇ／−で圧着一体化した。とうして得たグリーンシート
３を構成す為νリーンシート２の表面にタングステンペ
ーストをスクリー−ン印刺し、形状５０ｙｗｉＸ５０ｍ
、厚さ１０μｍの西部一体膚を形成した。次にこ糺ら゛
内蔀導禄ｙｉ　’を形成したグリニジｍ＝１ａｔｔｏ枚
、□墓度３０℃す耐力２０ｋｇ／−で圧着二体化した後
、−１図に系し九焼成グロ７テイルでこれを焼成し゛た
書とのよ゛うＫしてｍ＊多数の献料を切断し１、積層部
を観察しデラミネーションの肴無を確認した。とめ結果
、グリーンシート１の本ヲ用いていえ従来の製造決め場
合には焼成後約５％のデラミネーション氷−生し七いた
のに対し、このセラミック積層　□体にはデラミネーシ
ョンは全く発生しなからた。”実施例曇　　　　・　　
　　　　　・ 平均粒径０．６μｍの≠タン酸バリウム１００重□量部
に対しポリアクリル酸エステル“（−二ポン社製商品名
５２００）１１重量部、ブチルベンジルフタレート１重
量部、メチルエチルケトン２３重量部、１，１．１−）
リクロルエタン４４重量部を加え。

実施例１と同様の方法で厚さ１５０μｍのセラミツタグ
リーンレート４を得た。この時セラミックグリーンシー
ト４のポリアクリル酸エステルｃｏ′ｆｒ有量はチタン
酸バリ炒ム粉に対して６９体積−で□であ・うた。次に
上記と同様の方法でポリアクリル酸エステルの含有量の
みを変え、チ□タン酸バリウム粉に対しポリアクリル酸
エステルがｓｏ、ｓ５゜６０．６５．７０，７１，７２
，７３，７４，７５゜７６．７７．７８，７９，８０，
８！５．□９０，９５゜１００、」’０’５．１１０．
１１５１１　ｇＯ休体ｉＪＩ９１１＋の冬休−゛１で★
有され衣ス〉リニを作成した。

これらをそれぞれセラミックグリーンシート４の表面に
ロール法で厚さ１μｍから２６μｍにかけて１μｍ毎に
塗布乾燥°しでセラミック層を形成し・た。こうして得
たセラｌ老ツクグリーンシート５を１１００ａ’Ｘ１０
０ｍｍにパンチし該レートの篭うミレタ鳩氷形成されヤ
いる面にパラジウム□ペースミックグリーンシートのう
ち該シートに設けられ　□たセラミック層のバインダー
含有量及び厚さが同一なセラミックグリーンシート１９
板とそれと同一のセラミック層をもち内部導体層が形成
されて゛いないグリーンシート１枚とを内部導体層が形
成ファイルで焼成した。こうして得た各試料を切断し、
積層部を観察し、デラミネーションの有無を確認した。

その結果、上記セラミック層のチタン酸バリウム粉に対
するポリアクリル酸エステルの含有量が７８体積−未満
では焼成後約５ｓのデラミネーションが発生しまたポリ
アクリル酸エステルの含有量が７８体積−以上の場合で
も上記セラミック層の厚さが１０μｍよシ厚くなると圧
着一体化する際にセラミック層の変形等の問題が発生す
るため不適であった。これに対し、セラミック層の厚さ
が１０μｍ以下でチタン酸バリウムの含有量が　　　、
７８、体積チ以上の場合９．デラミネーションも圧着　
。

一体化する際のセラミック層の変形等の問題も発生しな
かった。

（発明の効果） ±ラミックグリーンシートの少なくとも片面に　。

厚さ１０μｍ以下でかつセラミック粉に対し７８体積−
以上のバインダーを含むセラミック層を設けこの上に内
部導体層を形成するととによシ、従来セラミック積層体
を製造する際に問題となってい九デラミネーションの発
生を解消することができ、熱的９機械的、電気的に安定
したセラミック積層体を収率よく製造することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例１における焼成プロファイルを示す図及
び第２図は実施例２における焼成プロファイルを示す図
である。 手続補正書（自発） 唱和　６伽　６月キ゛σ日 １、事件の表示 昭和６０年特許顆第７１５８２号　″ 、発明の名称 セラミック積層体の製造法 ３、補正をする者 ｌｌ　　　所　　　　　　東京都新宿区西新宿二丁目１
番１号定したのは厚さが、１０μｍ・・・」とあるのを
「限定した　　　゛のけ、厚さが１０μｍ・・・」と訂
正します。　　　　　　　　、、、。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、セラミッククリーンシートを積層し、圧着一体化す
   るに際し、該シートの少なくとも片面にセラミック粉に
   対して７８体積％以上のバインダーを含む、厚さ１０μ
   ｍ以下のセラミック層を設け、この上面に内部導体層を
   形成することを特徴とするセラミック積層体の製造法。