JPS61190596A - 共沸様組成物 - Google Patents
共沸様組成物Info
- Publication number
- JPS61190596A JPS61190596A JP60032329A JP3232985A JPS61190596A JP S61190596 A JPS61190596 A JP S61190596A JP 60032329 A JP60032329 A JP 60032329A JP 3232985 A JP3232985 A JP 3232985A JP S61190596 A JPS61190596 A JP S61190596A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- freon
- composition
- boiling point
- azeotrope
- solvent
- Prior art date
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
- C23G5/02—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents
- C23G5/028—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents containing halogenated hydrocarbons
- C23G5/02809—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents containing halogenated hydrocarbons containing chlorine and fluorine
- C23G5/02812—Perhalogenated hydrocarbons
- C23G5/02816—Ethanes
- C23G5/02822—C2Cl4F2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5036—Azeotropic mixtures containing halogenated solvents
- C11D7/5068—Mixtures of halogenated and non-halogenated solvents
- C11D7/5072—Mixtures of only hydrocarbons
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はテトラクロロジフルオロエタン（以下、フロン
−１１２という）９５〜９３％（重量％、以下同様）お
よびイソオクタン５〜７％よりなる沸点９２．５〜９２
．１℃を示す共沸様組成物に関する。
−１１２という）９５〜９３％（重量％、以下同様）お
よびイソオクタン５〜７％よりなる沸点９２．５〜９２
．１℃を示す共沸様組成物に関する。
［従来の技術］
最近、電子工業界における部品の小型化、精密化にとも
ない洗浄が非常に重要視され、これらの洗浄には不燃性
で毒性が小さいほかに、たとえばゴムやプラスチックな
どの高分子物質からなるものをおかさずに、油脂やグリ
ースなどを溶解するという選択的溶解性能に優れる、な
どの種々の利点を有しているクロロフルオロエタン系溶
剤が使用されている。
ない洗浄が非常に重要視され、これらの洗浄には不燃性
で毒性が小さいほかに、たとえばゴムやプラスチックな
どの高分子物質からなるものをおかさずに、油脂やグリ
ースなどを溶解するという選択的溶解性能に優れる、な
どの種々の利点を有しているクロロフルオロエタン系溶
剤が使用されている。
クロ０フルオロエタン系溶剤を用いた洗浄溶剤の具体例
としては、化学的に安定かつ安全なトリクロロトリフル
オロエタン（以下、フロン−１１３という）やその共沸
混合溶剤などがあげられる。
としては、化学的に安定かつ安全なトリクロロトリフル
オロエタン（以下、フロン−１１３という）やその共沸
混合溶剤などがあげられる。
［発明が解決しようとする問題点］
半導体に用いるシリコンウェハーのほか、水晶、セラミ
ックスなどのカッティング、研磨な！ どの加工時の仮止め用として用いられているワックス類
などの溶解〜剥離除去は、沸点が４７．６℃と比較的低
いフロン−１１３（４７，６℃）やその共沸混合溶剤で
は本質的に不可能である。
ックスなどのカッティング、研磨な！ どの加工時の仮止め用として用いられているワックス類
などの溶解〜剥離除去は、沸点が４７．６℃と比較的低
いフロン−１１３（４７，６℃）やその共沸混合溶剤で
は本質的に不可能である。
フロン−１１２はフロン−１１３に比べて溶解性能が優
れ、沸点が９２．８℃と高いため、前記仮止め用として
用いられている比較的融点の高いワックス類などを溶解
するのに優れているが、融点が２３．５℃と高いため、
冬期には固体となり使用しにくく、おのずとその利用範
囲も限定されるという問題がある。また、フロン−１１
２は高融点のため、蜜蝋や木蝋などの高融点ワックス類
などの精製時に用いる抽出溶剤としては、冷却時に固化
してしまい、使用に耐えない。
れ、沸点が９２．８℃と高いため、前記仮止め用として
用いられている比較的融点の高いワックス類などを溶解
するのに優れているが、融点が２３．５℃と高いため、
冬期には固体となり使用しにくく、おのずとその利用範
囲も限定されるという問題がある。また、フロン−１１
２は高融点のため、蜜蝋や木蝋などの高融点ワックス類
などの精製時に用いる抽出溶剤としては、冷却時に固化
してしまい、使用に耐えない。
従来から、フロン−１１２の融点を低下させるために、
フロン−１１２とアルコール類やケトン類、エステル類
などの各種の有１ＩＩＷＩ剤とを組み合わせて共沸系を
含む２成分系、３成分系などの共沸溶剤組成物にして用
いる方法が数多く提案されている。しかしこのような方
法でえられるものの多くは、化学的安定性に欠けたり、
溶解能の大きな溶剤との共沸系のものはゴムやプラスチ
ックなどからなるものをおかす危険があったり、さらに
は引火性のものや比較的毒性の大きなものであったりし
、フロン−１１２を有用な溶剤たらしめている一群の性
質のうちの１つまたはそれ以上を犠牲にするものであり
好ましくない。
フロン−１１２とアルコール類やケトン類、エステル類
などの各種の有１ＩＩＷＩ剤とを組み合わせて共沸系を
含む２成分系、３成分系などの共沸溶剤組成物にして用
いる方法が数多く提案されている。しかしこのような方
法でえられるものの多くは、化学的安定性に欠けたり、
溶解能の大きな溶剤との共沸系のものはゴムやプラスチ
ックなどからなるものをおかす危険があったり、さらに
は引火性のものや比較的毒性の大きなものであったりし
、フロン−１１２を有用な溶剤たらしめている一群の性
質のうちの１つまたはそれ以上を犠牲にするものであり
好ましくない。
本発明は、フロン−１１２の前記特性を生かして高融点
という欠点を解消し、さらにゴムやプラスチックなどか
らなるものに対しても安全で、不燃性で、化学的に安定
で、かつ本質的に一定の沸点を有する共沸様組成物をう
るためになされたものである。
という欠点を解消し、さらにゴムやプラスチックなどか
らなるものに対しても安全で、不燃性で、化学的に安定
で、かつ本質的に一定の沸点を有する共沸様組成物をう
るためになされたものである。
Ｅ問題点を解決するための手段］
本発明は、フロン−１１２９５〜９３％およびイソオク
タン５〜７％からなる共沸様組成物に関する。
タン５〜７％からなる共沸様組成物に関する。
［実施例］
本発明の組成物はフロン−１１２９５〜９３％およびイ
ソオクタン５〜７％からなり、このような組成物にする
ことにより融点９〜５℃で沸点９２．５〜９２，１℃を
有する共沸様組成物にすることができる。
ソオクタン５〜７％からなり、このような組成物にする
ことにより融点９〜５℃で沸点９２．５〜９２，１℃を
有する共沸様組成物にすることができる。
本明細書にいう共沸様組成物とは、個々の成分の沸点よ
り低い一定の沸点を示す液体混合物であって、蒸発の結
果として混合物または留出物の割合に何の変化も起こら
ない組成物のことである。
り低い一定の沸点を示す液体混合物であって、蒸発の結
果として混合物または留出物の割合に何の変化も起こら
ない組成物のことである。
本発明の組成物は、電気絶縁性に優れ、絶縁破壊電圧が
高いなどの電気的特性に優れ、ゴムやプラスチックなど
からなるものに対しても安全で、化学的安定性もフロン
−１１２とほとんど変わることなく、沸点の高い溶剤と
して提供されるので、前記のごときワックス類やその他
の高沸点グリースなどの除去を可能にし、また蜜蝋など
の＾沸点ワックス類の抽出用溶剤としての使用も可能と
し、かつ不燃性で本質的に一定の沸点を有する共沸様組
成物を形成するため、使用時の液管理や蒸留再生がきわ
めて容易である。
高いなどの電気的特性に優れ、ゴムやプラスチックなど
からなるものに対しても安全で、化学的安定性もフロン
−１１２とほとんど変わることなく、沸点の高い溶剤と
して提供されるので、前記のごときワックス類やその他
の高沸点グリースなどの除去を可能にし、また蜜蝋など
の＾沸点ワックス類の抽出用溶剤としての使用も可能と
し、かつ不燃性で本質的に一定の沸点を有する共沸様組
成物を形成するため、使用時の液管理や蒸留再生がきわ
めて容易である。
本発明の組成物はフロン−１１２とほとんどかわること
がないほど化学的に安定であるが、フロン−１１３に比
べるとやや劣るため、安定剤を添加してもよい。
がないほど化学的に安定であるが、フロン−１１３に比
べるとやや劣るため、安定剤を添加してもよい。
このような安定剤として好ましい性質としては、本発明
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸を形成するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸を形成するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。
前記のごとき安定剤の具体例としては、たとえばニトロ
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−プチンー３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メチルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエ
ーテル、１．２−ブチレンオキシド、シクロヘキセンオ
キシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジメ
トキシメタン、１．２−ジメトキシエタン、１．４−ジ
オキサン、１，３．５−トリオキサンなどのエーテル類
、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４−トリメ
チル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン、シ
クロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水素類
、アリルアルコール、１−ブテン−３−オール、３−メ
チル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系アル
コール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アク
リル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあげら
れ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用しても
よい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノール
、シクロヘキシルフェノール、チモール、２．６−ジー
ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒトＯキシ
アニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類や、
ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミン、
ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリエチ
ルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、トメチルモル
ホリン、シクロヘキシルアミン、２，２，６．６−チト
ラメチルビリジン、ＮＪ、’−ジアリルーｐ−フェニレ
ンジアミンなどのアミン類などと併用してもよく、併用
するとさらに優れた相乗的安定化効果が発揮される。
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−プチンー３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メチルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエ
ーテル、１．２−ブチレンオキシド、シクロヘキセンオ
キシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジメ
トキシメタン、１．２−ジメトキシエタン、１．４−ジ
オキサン、１，３．５−トリオキサンなどのエーテル類
、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４−トリメ
チル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン、シ
クロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水素類
、アリルアルコール、１−ブテン−３−オール、３−メ
チル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系アル
コール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アク
リル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあげら
れ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用しても
よい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノール
、シクロヘキシルフェノール、チモール、２．６−ジー
ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒトＯキシ
アニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類や、
ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミン、
ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリエチ
ルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、トメチルモル
ホリン、シクロヘキシルアミン、２，２，６．６−チト
ラメチルビリジン、ＮＪ、’−ジアリルーｐ−フェニレ
ンジアミンなどのアミン類などと併用してもよく、併用
するとさらに優れた相乗的安定化効果が発揮される。
前記安定剤の使用量としては、安定剤の種類により異な
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１〜１０％用いるのが好ましく、０．５〜
５％用いるのがさらに好ましい。
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１〜１０％用いるのが好ましく、０．５〜
５％用いるのがさらに好ましい。
つぎに本発明の組成物を実施例をあげて説明する。
実施例１
フロン−１１２とイソオクタンとの９０／ １０ （重
量比）の混合物２００４３を蒸留フラスコに入れ、理論
段数２０段の精留塔を用いて常圧下で蒸留したところ、
混合した各溶剤の沸点より低い９２．５〜９２．１℃の
沸点を示す留分をえた。
量比）の混合物２００４３を蒸留フラスコに入れ、理論
段数２０段の精留塔を用いて常圧下で蒸留したところ、
混合した各溶剤の沸点より低い９２．５〜９２．１℃の
沸点を示す留分をえた。
この留分をガスクロマトグラフィーにより分析した結果
、フロン−１１２が９５〜９３％イソオクタンが５〜７
％を示す組成のものであった。
、フロン−１１２が９５〜９３％イソオクタンが５〜７
％を示す組成のものであった。
実施例２
実施例１でえられた組成物１００ＣＣをビーカーにとり
、これをホットプレート上で加熱沸騰させた。この沸騰
浴中に研磨加工時に仮止めに用いたステーキワックスが
付着した２インチ径のシリコンウェハーを２分間浸漬し
、さらに同組成の他の沸騰浴中に２分間浸漬してすすぎ
洗浄を行なった。
、これをホットプレート上で加熱沸騰させた。この沸騰
浴中に研磨加工時に仮止めに用いたステーキワックスが
付着した２インチ径のシリコンウェハーを２分間浸漬し
、さらに同組成の他の沸騰浴中に２分間浸漬してすすぎ
洗浄を行なった。
えられたシリコンウェハーの表面を倍率２０倍の顕微鏡
により観察したところ、ワックスの存在は認められなか
った。
により観察したところ、ワックスの存在は認められなか
った。
実施例３
実施例１でえられた組成物を１００ｃｃビーカーに入れ
、この中に蜜蝋を吸着した活性炭を浸漬し、９０〜９３
℃の温度で５分間放置した。その後冷却して活性炭と液
体を分離したところ、活性炭中の蜜蝋は９７％抽出でき
た。
、この中に蜜蝋を吸着した活性炭を浸漬し、９０〜９３
℃の温度で５分間放置した。その後冷却して活性炭と液
体を分離したところ、活性炭中の蜜蝋は９７％抽出でき
た。
比較例１
実施例１でえられた組成物のかわりにフロン−１１３、
フロン−１１３／塩化メチレンが重量比で５０、５／
４９．５の共沸混合物などのフロン−１１３系の溶剤を
用いて洗浄を行なったが、ワックスはほとんど除去され
なかった。
フロン−１１３／塩化メチレンが重量比で５０、５／
４９．５の共沸混合物などのフロン−１１３系の溶剤を
用いて洗浄を行なったが、ワックスはほとんど除去され
なかった。
比較例２
実施例３と同様な抽出をフロン−１１２で行なったが、
フロン−１１２の融点が高く、冷却するとフロン−１１
２が固化して活性炭と分離できなかった。
フロン−１１２の融点が高く、冷却するとフロン−１１
２が固化して活性炭と分離できなかった。
［発明効果］
本発明によると、フロン−１１２の高融点という欠点を
除去したほかはフロン−１１２とほぼ同等の洗浄性、化
学的安定性、不燃性、沸点、ゴムやプラスチックなどか
らなるものをおかさないなどの特性を有する溶剤組成物
がえられる。
除去したほかはフロン−１１２とほぼ同等の洗浄性、化
学的安定性、不燃性、沸点、ゴムやプラスチックなどか
らなるものをおかさないなどの特性を有する溶剤組成物
がえられる。
本発明の共沸様組成物は前記の仮止め用高融点ワックス
の除去溶剤、蜜蝋、木蝋などの抽出溶剤として有用であ
るほか、高比重のため安定な分散状態を与えるカーボン
、シリカ、磁性粉、アルミメタル粉などの粉体の分散媒
としても有利に使用でき、さらに塗料、印刷インクなど
の溶剤、カーワックスなどの混練溶剤、その他液体ボー
ニング用研磨材の分散媒としても好ましく使用できる。
の除去溶剤、蜜蝋、木蝋などの抽出溶剤として有用であ
るほか、高比重のため安定な分散状態を与えるカーボン
、シリカ、磁性粉、アルミメタル粉などの粉体の分散媒
としても有利に使用でき、さらに塗料、印刷インクなど
の溶剤、カーワックスなどの混練溶剤、その他液体ボー
ニング用研磨材の分散媒としても好ましく使用できる。
手続補正書（自発）
昭和６０年３月１８８
１事件の表示
昭和６０年特許ＮｔＪＩＪ３２３２９号２発明の名称
共沸様組成物
３補正をする者
事件との関係 特 許 出 願 人
体 所 大阪市北区梅田１丁目１２番３９号新阪急ビ
ル名 称 （２８５）ダイキン工業株式会社代表者
山 １） 稔 ４代 理 人 〒５４０ ５補正の対象 （１）明細書の「発明の詳細な説明」の欄（１） 明
細書５頁８行および５頁９行にそれぞれ「沸点」とある
のをいずれも「融点」と補正する。
ル名 称 （２８５）ダイキン工業株式会社代表者
山 １） 稔 ４代 理 人 〒５４０ ５補正の対象 （１）明細書の「発明の詳細な説明」の欄（１） 明
細書５頁８行および５頁９行にそれぞれ「沸点」とある
のをいずれも「融点」と補正する。
■ 同１０頁１２行の［ホーニング］を「ホーニング」
と補正する。
と補正する。
以 上
Claims (1)
- １ テトラクロロジフルオロエタン９５〜９３重量％お
よびイソオクタン５〜７重量％からなる共沸様組成物。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032329A JPS61190596A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 共沸様組成物 |
| EP86102022A EP0193073A3 (en) | 1985-02-20 | 1986-02-18 | Azeotropic like composition |
| US06/830,800 US4659505A (en) | 1985-02-20 | 1986-02-19 | Azeotropic like composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032329A JPS61190596A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 共沸様組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190596A true JPS61190596A (ja) | 1986-08-25 |
| JPH0228640B2 JPH0228640B2 (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=12355899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60032329A Granted JPS61190596A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 共沸様組成物 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4659505A (ja) |
| EP (1) | EP0193073A3 (ja) |
| JP (1) | JPS61190596A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3702399A1 (de) * | 1987-01-28 | 1988-08-11 | Kali Chemie Ag | Neue gemische mit difluortetrachloraethan |
| US4810412A (en) * | 1988-04-11 | 1989-03-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Azeotropic compositions of 1,1-difluoro-2,2-dichloroethane and methanol or ethanol |
| US4814100A (en) * | 1988-04-11 | 1989-03-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Azeotropic composition of 1,1-difluoro-2,2-dichloroethane and acetone |
| US4812256A (en) * | 1988-04-20 | 1989-03-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Azeotropic compositions of 1,1-difluoro-1,2,2-trichloroethane and methanol, ethanol, isopropanol or n-propanol |
| WO2013052850A1 (en) | 2011-10-07 | 2013-04-11 | American Pacific Corporation | Bromofluorocarbon compositions |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3431211A (en) * | 1965-03-05 | 1969-03-04 | Du Pont | Azeotropic compositions |
| USB677715I5 (ja) * | 1967-10-24 | |||
| US3925010A (en) * | 1971-06-29 | 1975-12-09 | Allied Chem | Dry cleaning process utilizing azeatropic nonflammable vapors |
| US3888693A (en) * | 1972-03-20 | 1975-06-10 | Allied Chem | Multi-phase rinse and recovery method |
| US3903012A (en) * | 1973-02-14 | 1975-09-02 | Du Pont | Water-displacement compositions containing fluorine compound and surfactant |
| US3903009A (en) * | 1973-11-16 | 1975-09-02 | Du Pont | Azeotrope of 1,1,2-trichloro-1,2,2-trifluoroethane, ethanol and nitromethane |
| US3960746A (en) * | 1974-07-25 | 1976-06-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Azeotrope-like compositions of methanol, nitromethane and trichlorotrifluoroethane |
| DE2810989C3 (de) * | 1978-03-10 | 1985-06-05 | Rotaprint Gmbh, 1000 Berlin | Verfahren zum Reinigen von Gummi- und Gummiersatzstoffen und geeignetes Reinigungsmittel |
| GB2076009B (en) * | 1980-04-14 | 1983-10-26 | Daikin Ind Ltd | Azeotropic solvent composition |
| JPS58204100A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-28 | ダイキン工業株式会社 | 表面清浄化用組成物 |
| JPS5958099A (ja) * | 1982-09-27 | 1984-04-03 | ダイキン工業株式会社 | 洗浄剤組成物 |
| JPS59219398A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | ダイキン工業株式会社 | 洗浄剤組成物 |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP60032329A patent/JPS61190596A/ja active Granted
-
1986
- 1986-02-18 EP EP86102022A patent/EP0193073A3/en not_active Withdrawn
- 1986-02-19 US US06/830,800 patent/US4659505A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228640B2 (ja) | 1990-06-25 |
| US4659505A (en) | 1987-04-21 |
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