JPH01165697A - 共沸溶剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は１．１．２−トリクロロ−１，２，２−トリフ
ルオロエタン（以下、フロン−１１３という）とジメト
キシメタンとからなる共沸溶剤組成物に関する。

［従来の技術］ 従来より、クロロフルオロエタン系化合物であるフロン
−１１３は不燃性で生体毒性が少ないほか、プラスチッ
クやゴムなどの高分子物質を侵すことなく、油脂、グリ
ース、ワックスなどを溶解するという選択溶解性に優れ
ており、単独または他の有機溶剤との混合あるいは共沸
組成物の形で溶剤、洗浄剤などに広く用いられている。

［発明が解決しようとする問題点］ 近年、フロン−１１３などの水素がすべて塩素およびフ
ッ素で置換されたクロロフルオロエタン系化合物（以下
、パーハロエタンという）が地球を取り巻くオゾン層を
破壊するという地球規模の環境汚染が問題となり、そう
したパーハロエタンの使用を低減することが急務となっ
ている。

そこでフロン−１１３に代わる物質が種々検討されてい
るが、未だ有効な代替物は見出されていない。一方、フ
ロン−１１３と他の有機溶剤との混合溶剤も実用化され
ている。

しかしながら、溶剤として使用するためには使用時の液
管理が容易でかつ容易に回収、再使用できることが重要
な要件となり、さらに蒸気洗浄も可能であることが望ま
れる。そうした要件を満たす混合溶剤は単に２成分以上
を混合しただけではえられず、共沸点を有する状態、す
なわち共沸状態の混合物とする必要がある。

フロン−１１３との共沸混合物としては、メタノールや
エタノールとの共沸混合物が知られているが、いずれも
アルコール成分は１０％（重量％、以下同様）未満であ
り（メタノール：６％、エタノール＝４％）、シたがっ
てフロン−１１３の使用量を低減させるという点におい
ては側底満足のいくものではない。

また、フロン−１１３とメチレンクロライドとの１＝１
共沸共沸物も実用化されているが、メチレンクロライド
の生体毒性が高いため、望ましいものではない。

本発明はフロン−１１３のワックス洗浄能をさらに向上
させると共にフロン−１１３では除去しにくいフラック
スの除去能を有し、かつフロン−１１３の使用量を低減
化させえた共沸溶剤組成物を提供するものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明の共沸溶剤組成物は、４２％のフロン−１１３と
５８％のジメトキシメタンとの共沸混合物からなること
を要旨とするものである。

［作用および実施例］ 本発明で用いるフロン−ＩＨ（Ｉ！３点：　４７．８℃
）とジメトキシメタン（沸点：　４３．０℃）との共沸
混合物は４２．７℃の共沸点を有している。

ジメトキシメタンは従来、溶剤や洗浄剤としての特性は
知られておらず、とくにワックス洗浄用の溶剤としては
使用されていなかったものであり、プラスチックやゴム
への影響も少ながらずあり、そうした高分子素材を含む
被洗浄物を丸洗いすることは困難であった。

本発明によれば、フロン−１１３とジメトキシメタンと
を４２／　５ｇの重量比で含んでいるためフロン−１１
３の使用量を大幅に減らすことができるうえ、プラスチ
ックやゴムへの影響を抑えることができるので被洗浄物
を丸洗いすることができ、しかもパラフィンワックスな
どのワックス類の溶解能も向上させることができる。ま
たフロン−１１３単独では除去できなかったような電子
工業分野などにおけるフラックスの除去も可能となる。

さらに共沸状態であるため、液管理、回収、再使用が容
易であり、蒸気洗浄にも適用できる。

本発明の組成物は化学的には比較的安定であるが、さら
に安定剤を添加してもよい。

このような安定剤として好ましい性質としては、本発明
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸を形成するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。

前記のごとき安定剤の具体例としては、たとエバニトロ
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−ｉ−ブチン−３−オール、８
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メチルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエ
ーテル、１．２−ブチレンオキシド、シクロヘキセンオ
キシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジメ
トキシメタン、１，２−ジメトキシエタン、！、４−ジ
オキサン、１．３．５−）リオキサンなどのエーテル類
、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４−　トリ
メチル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン、
シクロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水素
類、アリルアルコール、ｌ−ブテン−３−オール、３−
メチル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系ア
ルコール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、ア
クリル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあげ
られ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用して
もよい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノー
ル、シクロヘキシルフェノール、チモール、２，６−ジ
ーｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒドロキ
シアニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類や
、ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミン
、ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリエ
チルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、Ｎ−メチル
モルホリン、シクロヘキシルアミン、２，２．８．Ｂ−
テトラメチルピペリジン、Ｎ、Ｎ’−ジアリル−ｐ−フ
二二レンジアミンなどのアミン類、ベンゾトリアゾール
、２−（２°−ヒドロキシ−５°−メチルフェニル）ベ
ンゾトリアゾール、クロロベンゾトリアゾールなどのト
リアゾール類などと併用してもよく、併用するとさらに
優れた相乗的安定化効果が発揮される。

前記安定剤の使用量としては、安定剤の種類により異な
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１〜１０２６用いるのが好ましく、０．５
〜５％用いるのがさらに好ましい。

こうした利点を有する本発明の共沸溶剤組成物は、油脂
やグリースの除去のほか、半導体に用いるシリコンウェ
ハーや水晶、セラミックスなどのカッティングや研磨な
どの加工時の仮止め用ワックス類の除去、フォトレジス
トの剥離剤除去、フラックスの除去などに用いる洗浄剤
として有用である。

つぎに実施例をあげて本発明の共沸溶剤組成物を説明す
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。

実施例１ フロン−１１３とジメトキシメタンとのそれぞれ１５０
ｇおよび１５０ｇの混合物３００ｇを蒸溜フラスコに入
れ、理論段数３０段の精留塔を用いて常圧下に蒸溜を行
なった。その結果、４２．７℃において共沸を呈し、そ
の留分をガスクロマトグラフィーにより分析したところ
、組成はフロン−１１３が４２％でジメトキシメタンが
５８％であった。

実施例２ つぎの要領モシリコンウエハー加工において一時仮止め
材として使用されているワックス類の溶解性を調べた。

第１表に示す溶剤１００ｇをそれぞれ容量　２００ｃｃ
のビーカーに入れ４０℃に加温した。ついで攪拌しなが
ら粉末にしたワックスとしてフラットローワックス、イ
エローワックスおよびプルーフワックス（いずれも日化
精工■製）を徐々に加えて溶解性を観察した。

結果を第１表に示す。

溶解性の評価はつぎの基準に従って行なった。

◎：ワックス濃度２％以上溶解 ０：ワックス濃度１９６以上２％まで溶解△：ワックス
濃度１％まで溶解 ×：溶解せず 実施例３ 第１表に示す各溶剤につき、素材（プラスチック）に対
する影響（膨潤度）をつぎの要領で謂べた。

１００ｃｃの耐圧ガラスビンに第１表に示す溶剤１００
ｇと同表に示すプラスチック試験片（５Ｘ５０Ｘ　２　
＋ａａ＋）を入れて、温度５０℃の恒温槽中に４時間放
置し、取出したのち、ただちに重量増加および体積増加
を調べた。

結果を第１表に示す。

評価は ◎二重量または体積増加θ〜１％ Ｏ：重量または体積増加１〜３％ Δ：二重量たは体積増加３〜５％ ×二重量または体積増加５％以上 とした。

［以下余白］ ［発明の効果コ 本発明の共沸溶剤組成物は、フロン系溶剤のオゾン層の
破壊の原因と考えられているフロン−１１３の使用量を
大幅に減少させることができるうえ、フロン−１１３と
ジメトキシメタンの調和のとれた溶解力を発揮し、しか
も共沸混合物の利点である使用時の液管理や回収、再使
用における取り扱い容易性を兼ね備えた極めて優れた溶
剤組成物であり、さらに被溶解物質の幅をも拡げること
もできるという優れた効果を奏するものである。

特許出願人　　ダイキン工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
   ロエタン４２重量％とジメトキシメタン５８重量％とか
   らなる共沸溶剤組成物。