JPH01188599A - 共沸溶剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明はｉ、ｔ、２−トリクロロ−１，２，２−トリフ
ルオロエタン（以下、フロン−１１３という）とシクロ
ペンタンとからなる共沸溶剤組成物に関する。

［従来の技術］ 従来より、クロロフルオロエタン系化合物であるフロン
−１１３は、不燃性で生体毒性が少ないほか、プラスチ
ックやゴムなどの高分子物質を侵すことなく、油脂、グ
リース、ワックスなどを溶解するという選択溶解性に優
れており、単独または他の有機溶剤との混合物あるいは
共沸組成物の形で溶剤、洗浄剤などに広く用いられてい
る。

［発明が解決しようとする課題］ 近年、フロン−１１３などのように、エタンの水素がす
べて塩素およびフッ素で置換されたクロロフルオロエタ
ン系化合物（以下、パーハロエタンという）が地球を取
り巻くオゾン層を破壊するという地球規模の環境汚染が
問題となり、そうしたパーハロエタンの使用量を低減す
ることが急務となっている。

そこでフロン−１１３に代わる物質が種々検討されてい
るが、未だ有効な代替物は見出されていない。一方、フ
ロン−１１３と他の有機溶剤との混合溶剤も実用化され
ている。

しかしながら、溶剤として使用するためには使用時の液
管理が容易で、かつ容易に回収、再使用できることが重
要な要件であり、さらに蒸気洗浄も可能であることが望
まれる。そうした要件を満たす混合溶剤は単に２成分以
上を混合したたけてはえられず、共沸点を有する状態、
すなわち共沸状態の混合物にする必要がある。

フロン−１１３との共沸混合物としては、メタノールや
エタノールとの共沸混合物が知られているが、いずれも
アルコール成分は１０９６（重量％、以下同様）未満で
あり（メタノール：６％、エタノール：４％）、シたが
ってフロン−１１３の使用量を低減させるという点にお
いては到底満足のいくものではない。

また、フロン−１１３とメチレンクロライドとの１＝１
共沸共沸物も実用化されているが、メチレンクロライド
の生体毒性が高いため、望ましいものではない。

本発明はフロン−１１３のワックス洗浄能をさらに向上
させ、かつフロン−１１３の使用量を低減化させえた共
沸溶剤組成物を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明の共沸溶剤組成物は、７７％のフロン−１１３と
２３％のシクロペンタンとの共沸混合物からなることを
要旨とするものである。

［作用および実施例］ 一本発明で用いるフロン−１１３（沸点：　４７．６℃
）とシクロペンタン（沸点：　４９．０℃）との共沸混
合物は４５．４℃の共沸点を有している。

シクロペンクンは従来、溶剤、洗浄剤としての特性はと
くに知られておらず、ワックス洗浄用の溶剤としては使
用されていなかったものであり、プラスチックやゴムへ
の影響も少なからずあり、そうした高分子素材を含む被
洗浄物を丸洗いすることは困難であった。

本発明の組成物は、フロン−１１３とシクロペンタンと
を７７／　２３の重量比で含んでいるため、フロン−１
１３の使用量を大幅に減らすことかできるうえ、プラス
チックやゴムへの影響を抑えることができるので被洗浄
物を丸洗いすることができ、しかもパラフィンワックス
などのワックス類の溶解能も向上させることができる。

さらに共沸混合物であるため、液管理、回収、再使用が
容易であり、蒸気洗浄にも適用できる。

＝　　３　− 本発明の組成物は化学的には比較的安定であるが、さら
に安定剤を添加してもよい。

このような安定剤として必要な性質としては、もちろん
本発明の組成物を安定化する効果の大きいことがあげら
れるが、このほか蒸留操作により同伴留出するものや、
さらには共沸を形成するものなどが望ましい。

前記のごとき安定剤の具体例としては、たとえばニトロ
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メチルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエ
ーテル、１，２−ブチレンオキシド、シクロヘキセンオ
キシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジメ
トキシメタン、■、２−ジメトキシエタン、■、４−ジ
オキサン、１，３．５−トリオキサンなどのエーテル類
、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４−トリメ
チル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン、シ
クロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水素類
、アリルアルコール、■−ブテンー３−オール、３−メ
チル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系アル
コール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アク
リル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあげら
れ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用しても
よい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノール
、シクロへキシルフェノール、チモール、２．６−ジー
ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒドロキシ
アニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類や、
゛□ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミ
ン、ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリ
エチルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、Ｎ−メチ
ルモルホリン、シクロヘキシルアミン、２．２．８．８
−テトラメチルピペリジン、Ｎ、Ｎ’−ジアリル−ｐ−
フ二二レンジアミンなどのアミン類、ベンゾトリアゾー
ル、２−（２°−ヒドロキシ−５°−メチルフェニル）
ベンゾトリアゾール、りロロベンゾトリアゾールなどの
トリアゾール類などと併用してもよく、併用するとさら
に優れた相乗的安定化効果が発揮される。

前記安定剤の使用量としては、安定剤の種類により異な
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０１〜１０％用いるのが好ましく、０．５〜５
％用いるのがさらに好ましい。

こうした利点を有する本発明の共沸溶剤組成物は、油脂
やグリースの除去のほか、半導体に用いるシリコンウェ
ハーや水晶、セラミックスなどのカッティングや研磨な
どの加工時の仮止め用ワックス類の除去などに用いる洗
浄剤として有用である。

つぎに実施例をあげて本発明の共沸溶剤組成物を説明す
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。

実施例１ フロン−１１３とシクロベンクンとのそれぞれ１５０ｇ
および１５０ｇの混合物３００ｇを蒸溜フラスコに入れ
、理論段数３０段の精留塔を用いて常圧下に蒸溜を行な
った。その結果、４５．４℃において共沸を呈し、その
留分をガスクロマトグラフィーにより分析したところ、
組成はフロン−１１３が７７％でシクロペンクンが２３
％であった。

実施例２ つぎの要領でシリコンウェハー加工において一時仮止め
材などとして使用されているワックス類の溶解性を調べ
た。

第１表に示す各溶剤１００ｇをそれぞれ容量２００ＣＣ
のビー力に入れ、室温で攪拌しながら、粉末にした融点
の異なる４種のパラフィンワックス（融点５２〜６５℃
、いずれも日本精ろう■製）を徐々に加えて溶解性を観
察した。

結果を第１表に示す。

溶解性の評価はつぎの基準に従って行なった。

◎：ワックス濃度２％以上溶解 ○：ワックス濃度１％以上２％まで溶解△：ワックス濃
度１％まで溶解 ×；溶解せず 実施例３ 第１表に示す各溶剤につき、素材（プラスチック）に対
する影響（膨潤度）をっぎの要領で調べた。

１００ｃｃの耐圧ガラスビンに第１表に示す溶剤１００
ｇと同表に示すプラスチック試験片（５Ｘ５０Ｘ　２　
ｍ＋ｎ）を入れて、温度５０℃の恒温槽中に４時間放置
し、取出したのち、ただちに重量増加および体積増加を
調べた。

結果を第１表に示す。

評価は ０８重量または体積増加率１％未満 ○：重量または体積増加率１％〜３％未満△：重量また
は体積増加率３％〜５％未満とした。

［以下余白］ ［発明の効果コ 本発明の共沸溶剤組成物は、フロン系溶剤のオゾン層の
破壊の原因と考えられているフロン−１１３の使用量を
減少させることができるうえ、フロン−１１３とシクロ
ベンクンとが調和のとれた溶解力を発揮し、共沸混合物
の利点である使用時の液管理や回収、再使用における取
り扱い容易性を兼ね備えた極めて優れた溶剤組成物であ
り、さらに被溶解物質の幅をも拡げることもできるとい
う優れた効果を奏するものである。

特許出願人　　ダイキン工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　１、１、２−トリクロロ−１、２、２−トリフルオ
   ロエタン７７重量％とシクロペンタン２３重量％とから
   なる共沸溶剤組成物。