JPS61178614A - 直熱型流量センサ - Google Patents
直熱型流量センサInfo
- Publication number
- JPS61178614A JPS61178614A JP60017710A JP1771085A JPS61178614A JP S61178614 A JPS61178614 A JP S61178614A JP 60017710 A JP60017710 A JP 60017710A JP 1771085 A JP1771085 A JP 1771085A JP S61178614 A JPS61178614 A JP S61178614A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heat
- resistor
- unit
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は膜式抵抗を有する直熱型流量センサ、たとえば
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
一般に、電子制御式内燃機関においては、基本燃料噴射
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとしては
、空気重量を直接検出する傍熱型（マスフロー型）と、
空気容量を検出する直熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流量センサにおいては、空気流の温
度を検知するための温度依存抵抗の上流に発熱抵抗を設
け、温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵抗の
電流値をフィードバック制御し、発熱抵抗に印加される
電圧により空気重量を検出するものである。他方、傍熱
型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量センサにお
いては、全熱部兼温度検知部としての）ｌ！２式抵抗抵
抗度と吸入空気温度すなわち外気温度との差が一定値に
なるように模式抵抗の電流値をフィードバック制御する
。つまり、定温度差式フィードバンク制御を行う。そし
て、模式抵抗に印加される電圧により空気容量を検出す
るものである。従って、この直熱型を用いた内燃機関に
おいては、吸入空気自体の温度を検出するための温度依
存抵抗は別個に設ける必要がある。
、空気重量を直接検出する傍熱型（マスフロー型）と、
空気容量を検出する直熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流量センサにおいては、空気流の温
度を検知するための温度依存抵抗の上流に発熱抵抗を設
け、温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵抗の
電流値をフィードバック制御し、発熱抵抗に印加される
電圧により空気重量を検出するものである。他方、傍熱
型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量センサにお
いては、全熱部兼温度検知部としての）ｌ！２式抵抗抵
抗度と吸入空気温度すなわち外気温度との差が一定値に
なるように模式抵抗の電流値をフィードバック制御する
。つまり、定温度差式フィードバンク制御を行う。そし
て、模式抵抗に印加される電圧により空気容量を検出す
るものである。従って、この直熱型を用いた内燃機関に
おいては、吸入空気自体の温度を検出するための温度依
存抵抗は別個に設ける必要がある。
通常、模式抵抗の発熱温度と吸入空気温度との差を一定
値にする空気流量センサの応答性、ダイナミックレンジ
は模式抵抗を含む全熱部兼温度検知部の熱容ｉｔ（ヒー
トマス）と断熱効果の程度で決定される。すなわち、最
も応答性がよく、且つダイナミックレンジを最も太き（
するためには、模式抵抗を含む全熱部兼温度検知部の質
量をできる限り小さくし、また、その部分を理想的には
完全に空気流中に浮かんだ状態にすることである。
値にする空気流量センサの応答性、ダイナミックレンジ
は模式抵抗を含む全熱部兼温度検知部の熱容ｉｔ（ヒー
トマス）と断熱効果の程度で決定される。すなわち、最
も応答性がよく、且つダイナミックレンジを最も太き（
するためには、模式抵抗を含む全熱部兼温度検知部の質
量をできる限り小さくし、また、その部分を理想的には
完全に空気流中に浮かんだ状態にすることである。
このため、本願出願人は、模式抵抗を含む全熱部兼温度
検知部とダクトの保持部との間に切欠きを設けて熱絞り
を施すことにより、全熱部兼温度検知部の断熱効果を大
きくせしめ、応答性およびダイナミックレンジを向上せ
しめた空気流量センサを既に提案している（参照：特願
昭５９−９１０４１号）。
検知部とダクトの保持部との間に切欠きを設けて熱絞り
を施すことにより、全熱部兼温度検知部の断熱効果を大
きくせしめ、応答性およびダイナミックレンジを向上せ
しめた空気流量センサを既に提案している（参照：特願
昭５９−９１０４１号）。
なお、通常、熱絞り部は断熱効果を杢らに大きくせしめ
るためにその断面積は小さくしである。
るためにその断面積は小さくしである。
しかしながら、上述のごと＜、′膜式抵抗を含む全熱部
兼温度検知部と保持部との間に切欠きによる熱絞りを行
うと、熱絞り部分の機械的強度が非常に小さくなり、延
いては、空気流量センサが脆弱になるという問題点があ
る。
兼温度検知部と保持部との間に切欠きによる熱絞りを行
うと、熱絞り部分の機械的強度が非常に小さくなり、延
いては、空気流量センサが脆弱になるという問題点があ
る。
本発明の目的は強固な空気流量センサを提供することに
あり、その手段は、熱絞り部分の基板を補強構造にした
ことにある。
あり、その手段は、熱絞り部分の基板を補強構造にした
ことにある。
上述の手段によれば、断熱効果の低下を最小限にして熱
絞り部分の機械的強度が大きくなる。
絞り部分の機械的強度が大きくなる。
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明に係る模式抵抗を有する直熱型空気流星
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第４図
、第５図は第３図のセンサ部分の拡大縦断面図および横
断面図である。第３図〜第５図において、内燃機関ｌの
吸気通路２にはエアクリーナ３および整流格子４を介し
て空気が吸入される。この吸気通路２内に計測管（ダク
ト）５が設けられ、その内部に空気流量を計測するため
の発熱ヒータ兼用温度依存抵抗（模式抵抗）６が設けら
れている。模式抵抗６はステイアに固定され、ステイア
の外側に設けられた外気温度補償を行う温度依存抵抗８
と共に、ハイブリッド基板に形成されたセンサ回路９に
接続されている。
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第４図
、第５図は第３図のセンサ部分の拡大縦断面図および横
断面図である。第３図〜第５図において、内燃機関ｌの
吸気通路２にはエアクリーナ３および整流格子４を介し
て空気が吸入される。この吸気通路２内に計測管（ダク
ト）５が設けられ、その内部に空気流量を計測するため
の発熱ヒータ兼用温度依存抵抗（模式抵抗）６が設けら
れている。模式抵抗６はステイアに固定され、ステイア
の外側に設けられた外気温度補償を行う温度依存抵抗８
と共に、ハイブリッド基板に形成されたセンサ回路９に
接続されている。
センサ回路９は外気温度に対して模式抵抗６の温度が温
度依存抵抗８の温度との差が一定値になるように該抵抗
６の発熱量をフィードバンク制御し、そのセンサ出力ｖ
０を制御回路１０に供給する。制御回路ｌＯはたとえば
マイクロコンピュータによって構成され、燃料噴射弁１
１の制御等を行うものである。
度依存抵抗８の温度との差が一定値になるように該抵抗
６の発熱量をフィードバンク制御し、そのセンサ出力ｖ
０を制御回路１０に供給する。制御回路ｌＯはたとえば
マイクロコンピュータによって構成され、燃料噴射弁１
１の制御等を行うものである。
センサ回路９は、第６図に示すごとく、模式抵抗６、温
度依存抵抗８とブリッジ回路を構成する抵抗９１ 、９
２、比較器９３、比較器９３の出力によって制御される
トランジスタ９４、電圧バッファ９５により構成される
。つまり、空気流量が増加して模式抵抗６（この場合、
サーミスタ）の温度が低下し、この結果、模式抵抗６の
抵抗値が下降してＶ、＜Ｖ、となると、比較器９３の出
力によってトランジスタ９４の導電率が増加する。従っ
て、膜式抵抗６の発熱量が増加し、同時に、トランジス
タ９４のコレクタ電位すなわち電圧バッファ９５の出力
電圧■。は上昇する。逆に、空気流量が減少して膜式抵
抗６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が上昇し
てＶ、＞Ｖ工となり、比較器９３の出力によってトラン
ジスタ９４の導電率が減少する。従って膜式抵抗６の発
熱量が減少し、同時に、トランジスタ９４のコレクタ電
圧すなわち電圧バッファ９５の出力電圧■。は低下する
。このようにして、膜式抵抗６の温度は外気温度によっ
て定まる値になるようにフィードバック制御され、出力
電圧ｖ０は空気流量を示すことになる。
度依存抵抗８とブリッジ回路を構成する抵抗９１ 、９
２、比較器９３、比較器９３の出力によって制御される
トランジスタ９４、電圧バッファ９５により構成される
。つまり、空気流量が増加して模式抵抗６（この場合、
サーミスタ）の温度が低下し、この結果、模式抵抗６の
抵抗値が下降してＶ、＜Ｖ、となると、比較器９３の出
力によってトランジスタ９４の導電率が増加する。従っ
て、膜式抵抗６の発熱量が増加し、同時に、トランジス
タ９４のコレクタ電位すなわち電圧バッファ９５の出力
電圧■。は上昇する。逆に、空気流量が減少して膜式抵
抗６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が上昇し
てＶ、＞Ｖ工となり、比較器９３の出力によってトラン
ジスタ９４の導電率が減少する。従って膜式抵抗６の発
熱量が減少し、同時に、トランジスタ９４のコレクタ電
圧すなわち電圧バッファ９５の出力電圧■。は低下する
。このようにして、膜式抵抗６の温度は外気温度によっ
て定まる値になるようにフィードバック制御され、出力
電圧ｖ０は空気流量を示すことになる。
第１Ａ図は第３図の膜式抵抗６の一例を示し、第１Ｂ図
、第１Ｃ図、第１０図は、それぞれ、第１Ａ図のＢ−Ｂ
線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線の断面図である。第１Ａ図に示
すように、たとえば２００〜４００μｍ厚のシリコン単
結晶基板６１上に図示しない絶縁膜（たとえばＳ、０□
）を介して蒸着およびエツチングにより温度依存抵抗パ
ターン６２を形成し、そのうち、点線枠内で示す部分６
２ａが全熱部兼温度検知部として作用する。
、第１Ｃ図、第１０図は、それぞれ、第１Ａ図のＢ−Ｂ
線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線の断面図である。第１Ａ図に示
すように、たとえば２００〜４００μｍ厚のシリコン単
結晶基板６１上に図示しない絶縁膜（たとえばＳ、０□
）を介して蒸着およびエツチングにより温度依存抵抗パ
ターン６２を形成し、そのうち、点線枠内で示す部分６
２ａが全熱部兼温度検知部として作用する。
全熱部兼温度検知部６２ａの各側端には切欠き６３を形
成してあり、つまり、熱絞りが施されており、これによ
り全熱部兼温度検知部６２ａの断熱効果を大きくせしめ
ている。さらに、全熱部兼温度検知部６２ａにおけるシ
リコン基板６１の厚さは、第１Ｂ図′、第１Ｄ図に示す
ごとく、非常に薄くしてあり、これにより、そのヒート
マスを小さくせしめている。
成してあり、つまり、熱絞りが施されており、これによ
り全熱部兼温度検知部６２ａの断熱効果を大きくせしめ
ている。さらに、全熱部兼温度検知部６２ａにおけるシ
リコン基板６１の厚さは、第１Ｂ図′、第１Ｄ図に示す
ごとく、非常に薄くしてあり、これにより、そのヒート
マスを小さくせしめている。
本発明においては、全熱部兼温度検知部６２ａと基板６
１の保持部とを接続する４つの橋部弁６１ａ。
１の保持部とを接続する４つの橋部弁６１ａ。
６１ｂ、 ６１ｃ、 ６１ｄの基板６１の実効厚さを全
熱部兼温度検知部６２ａにおける基板厚さより大きくす
ることにより補強しである。このような橋部弁６１ａ。
熱部兼温度検知部６２ａにおける基板厚さより大きくす
ることにより補強しである。このような橋部弁６１ａ。
６１ｂ、６１ｃ、６１ｄの補強構造はたとえばリプ状形
状であり、これは、後述のごとくシリコン単結晶基板６
１の異方性エツチングによって得られる。
状であり、これは、後述のごとくシリコン単結晶基板６
１の異方性エツチングによって得られる。
第２Ａ図は第３図の膜式抵抗６の他の例を示し、第２Ｂ
図、第２Ｃ図は、それぞれ、第２Ａ図のＢ−Ｂ線、Ｃ−
Ｃ線の断面図である。第２Ａ図〜第２Ｃ図におい、でも
、シリコン単結晶基板６１’上に蒸着およびエツチング
により温度依存抵抗パターン６２′を形成し、そのうち
、点線枠内で示す部分６２′ａが全熱部兼温度検知部と
して作用する。
図、第２Ｃ図は、それぞれ、第２Ａ図のＢ−Ｂ線、Ｃ−
Ｃ線の断面図である。第２Ａ図〜第２Ｃ図におい、でも
、シリコン単結晶基板６１’上に蒸着およびエツチング
により温度依存抵抗パターン６２′を形成し、そのうち
、点線枠内で示す部分６２′ａが全熱部兼温度検知部と
して作用する。
全熱部兼温度検知部６２′ａの各側端の基板部分６１
’ ａ、６１ ’ ｂは部分６２′ａに比べて細長く形
成してあり、つまり、熱絞りが施されており、これによ
り、全熱部兼温度検知部６２′ａの断熱効果を大きくせ
しめている。また、第１Ａ図〜第１Ｄ図と 。
’ ａ、６１ ’ ｂは部分６２′ａに比べて細長く形
成してあり、つまり、熱絞りが施されており、これによ
り、全熱部兼温度検知部６２′ａの断熱効果を大きくせ
しめている。また、第１Ａ図〜第１Ｄ図と 。
同様に、全熱部兼温度検知部６２′ａにおけるシリコン
基板６１′の厚さは、第２Ｂ図、第２Ｃ図に示すごとく
、非常に薄くしてあり、これにより、そのヒートマスを
小さくせしめている。さらに、同様に、全熱部兼温度検
知部６２′ａと基板６１′の保持部とを接続する２つの
橋部弁６１ ’ ａ、６１ ’ ｂの基板６１’の実効
厚さを全熱部兼温度検知部６２′ａにおけるＷ ＩＪ＜
厚さより大きくすることにより補強しである。このよう
な橋部弁６１ ’ ａ、６１ ’ ｂの補強構造はたと
えばリブ状形状であり、やはり、シリコン単結晶基板６
１′の異方性エツチングによって得られる。
基板６１′の厚さは、第２Ｂ図、第２Ｃ図に示すごとく
、非常に薄くしてあり、これにより、そのヒートマスを
小さくせしめている。さらに、同様に、全熱部兼温度検
知部６２′ａと基板６１′の保持部とを接続する２つの
橋部弁６１ ’ ａ、６１ ’ ｂの基板６１’の実効
厚さを全熱部兼温度検知部６２′ａにおけるＷ ＩＪ＜
厚さより大きくすることにより補強しである。このよう
な橋部弁６１ ’ ａ、６１ ’ ｂの補強構造はたと
えばリブ状形状であり、やはり、シリコン単結晶基板６
１′の異方性エツチングによって得られる。
次に、第１Ａ図〜第１Ｄ図の基板６１の製造工程につい
て第７図を参照して説明する。なお、第７図の各図は第
１Ｂ図の断面図に対応する。
て第７図を参照して説明する。なお、第７図の各図は第
１Ｂ図の断面図に対応する。
始めに、第７図（＾）に示すようなシリコン単結晶６１
を準備する。この場合、矢印Ａで示す面は（１００）も
しくは（１１０）面である。次に、第７図（８）に示す
ように、保持部を形成するために、５ｉ０２もしくは５
ｉＪ４のエツチング保護膜７１を施し、異方性エツチン
グを行うと、第７図（Ｃ）を示す形状が得られる。ここ
で、矢印Ｂで示す面は（１１１）面である。すなわち、
異方性エツチングとは、シリコン単結晶の（１１１）面
のエツチング速度が他の面、たとえば（１００）もしく
は（１１０）面のエツチング速度に比して著しく小さい
というエツチング速度の相違を利用して行っているもの
である。
を準備する。この場合、矢印Ａで示す面は（１００）も
しくは（１１０）面である。次に、第７図（８）に示す
ように、保持部を形成するために、５ｉ０２もしくは５
ｉＪ４のエツチング保護膜７１を施し、異方性エツチン
グを行うと、第７図（Ｃ）を示す形状が得られる。ここ
で、矢印Ｂで示す面は（１１１）面である。すなわち、
異方性エツチングとは、シリコン単結晶の（１１１）面
のエツチング速度が他の面、たとえば（１００）もしく
は（１１０）面のエツチング速度に比して著しく小さい
というエツチング速度の相違を利用して行っているもの
である。
次いで、第７図（Ｄ）に示すごとく、エツチング保護Ｍ
！Ｊ７１を除去し、再び第７図（【）に示すごとく、別
のエツチング保護膜７２を施す。そして、再び異方性エ
ツチングを行うと、第７図（Ｆｌに示す形状が得られ、
エツチング保護膜７２を除去すると、第７図（ｃ）に示
す最終形状が得られる。つまり、補強構造としてのリブ
構造６１ｂ、６１ｄ（６１ａ、６１ｃ）が得られること
になる。
！Ｊ７１を除去し、再び第７図（【）に示すごとく、別
のエツチング保護膜７２を施す。そして、再び異方性エ
ツチングを行うと、第７図（Ｆｌに示す形状が得られ、
エツチング保護膜７２を除去すると、第７図（ｃ）に示
す最終形状が得られる。つまり、補強構造としてのリブ
構造６１ｂ、６１ｄ（６１ａ、６１ｃ）が得られること
になる。
同様な製造工程により第２Ａ図〜第２ｃ図に示すリブ構
造６１ ’ ａ、６１ ’ ｂが得られる。
造６１ ’ ａ、６１ ’ ｂが得られる。
このように、本発明の実施例においては、異方性工・シ
チングを利用して発熱部発熱度検知部６２ａ（６２’
ａ）と保持部との間の橋部骨っまり熱絞り部分をリブ構
造にして補強している。
チングを利用して発熱部発熱度検知部６２ａ（６２’
ａ）と保持部との間の橋部骨っまり熱絞り部分をリブ構
造にして補強している。
なお、上述の実施例においては、基板上に絶縁膜を介し
て発熱部発熱度検知部としての温度依存抵抗を形成して
いるが、この代りに、基板内に拡散抵抗を形成してもよ
い、また、本発明は空気流量センサ以外の流量センサた
とえば液体流量センサにも適用し得る。
て発熱部発熱度検知部としての温度依存抵抗を形成して
いるが、この代りに、基板内に拡散抵抗を形成してもよ
い、また、本発明は空気流量センサ以外の流量センサた
とえば液体流量センサにも適用し得る。
以上説明したように本発明によれば、熱絞り部分の機械
的強度が大きくなり、従って、流量センサは強固なもの
となる。
的強度が大きくなり、従って、流量センサは強固なもの
となる。
第１Ａ図は本発明に係る模式抵抗の一例を示す平面図、
第１Ｂ図、第１Ｃ図、第１Ｄ図は、それぞれ、第１Ａ図
のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線の断面図、第２Ａ図は
本発明に係る模式抵抗の他の例を示す平面図、第２Ｂ図
、第２Ｃ図は、それぞれ、第２Ａ図のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ
線の断面図、第３図は本発明に係る模式抵抗を有する直
熱型空気流量センサが適用された内燃機関を示す全体概
要図、第４図、第５図は第３図の模式抵抗６の拡大平面
図および断面図、第６図は第３図のセンサ回路の回路図
、第７図は第１Ａ図〜第１Ｄ図の基板の製造工程を説明
するための図、である。 ｌ・・・内燃機関、 ２・・・吸気通路、５・・・計測
管（ダクト）、 ６・・・模式抵抗、９・・・センサ回
路、ｌＯ・・・制御回路、６１ 、６１ ’・・・基板
、 ６１ａ−ｄ 、６１’ａ、６１’ｂ −リブ構造、６２
、６２ ’・・・温度依存抵抗パターン、６２ａ、６
２’ａ・・・発熱部発熱度検知部。
第１Ｂ図、第１Ｃ図、第１Ｄ図は、それぞれ、第１Ａ図
のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線の断面図、第２Ａ図は
本発明に係る模式抵抗の他の例を示す平面図、第２Ｂ図
、第２Ｃ図は、それぞれ、第２Ａ図のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ
線の断面図、第３図は本発明に係る模式抵抗を有する直
熱型空気流量センサが適用された内燃機関を示す全体概
要図、第４図、第５図は第３図の模式抵抗６の拡大平面
図および断面図、第６図は第３図のセンサ回路の回路図
、第７図は第１Ａ図〜第１Ｄ図の基板の製造工程を説明
するための図、である。 ｌ・・・内燃機関、 ２・・・吸気通路、５・・・計測
管（ダクト）、 ６・・・模式抵抗、９・・・センサ回
路、ｌＯ・・・制御回路、６１ 、６１ ’・・・基板
、 ６１ａ−ｄ 、６１’ａ、６１’ｂ −リブ構造、６２
、６２ ’・・・温度依存抵抗パターン、６２ａ、６
２’ａ・・・発熱部発熱度検知部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上もしくは該基板中に膜式抵抗を形成し、該基
板をその保持部によってダクト内に収納し、前記膜式抵
抗と前記保持部との間の基板部分に熱絞りを施した直熱
型流量センサであって、前記熱絞りを施した基板部分を
補強構造としたことを特徴とする直熱型流量センサ。 ２、前記基板がシリコン単結晶であり、該シリコン単結
晶を異方性エッチングにより前記補強構造としてのリブ
構造を形成した特許請求の範囲第１項に記載の直熱型流
量センサ。 ３、前記熱絞りが前記膜式抵抗の側端に切欠きを形成す
ることにより施された特許請求の範囲第１項に記載の直
熱型流量センサ。 ４、前記熱絞りが前記膜式抵抗の側端を細長く形成する
ことにより施された特許請求の範囲第１項に記載の直熱
型流量センサ。 ５、前記シリコン単結晶上に絶縁膜を介して前記膜式抵
抗としての膜式抵抗パターンが形成された特許請求の範
囲第２項に記載の直熱型流量センサ。 ６、前記シリコン単結晶中に前記膜式抵抗としての拡散
抵抗が形成された特許請求の範囲第２項に記載の直熱型
空量センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60017710A JPS61178614A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 直熱型流量センサ |
| US06/824,265 US4783996A (en) | 1985-02-02 | 1986-01-30 | Direct-heated flow measuring apparatus |
| DE3603010A DE3603010C2 (de) | 1985-02-02 | 1986-01-31 | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung sowie Verfahren zu deren Herstellung |
| GB08602381A GB2170606B (en) | 1985-02-02 | 1986-01-31 | Direct-heated flow measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60017710A JPS61178614A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 直熱型流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178614A true JPS61178614A (ja) | 1986-08-11 |
| JPH058766B2 JPH058766B2 (ja) | 1993-02-03 |
Family
ID=11951312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60017710A Granted JPS61178614A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | 直熱型流量センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4783996A (ja) |
| JP (1) | JPS61178614A (ja) |
| DE (1) | DE3603010C2 (ja) |
| GB (1) | GB2170606B (ja) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3604202C2 (de) * | 1985-02-14 | 1997-01-09 | Nippon Denso Co | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
| JPS62123318A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-06-04 | Nippon Soken Inc | 直熱型流量センサ |
| GB2179748B (en) * | 1985-08-20 | 1989-09-06 | Sharp Kk | Thermal flow sensor |
| GB2195449B (en) * | 1986-09-26 | 1991-02-13 | Thorn Emi Protech Limited | Heat detecting unit |
| KR950009044B1 (ko) * | 1987-06-17 | 1995-08-14 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 발열저항식 공기유량측정장치 |
| US4944035A (en) * | 1988-06-24 | 1990-07-24 | Honeywell Inc. | Measurement of thermal conductivity and specific heat |
| DE3915872A1 (de) * | 1988-08-04 | 1990-02-08 | Pierburg Gmbh | Vorrichtung zur halterung eines plattenfoermig ausgebildeten elektrischen duennschichtwiderstandes |
| DE3843746C1 (ja) * | 1988-12-24 | 1990-07-12 | Degussa Ag, 6000 Frankfurt, De | |
| DE3844354C2 (de) * | 1988-12-30 | 1995-11-30 | Bosch Gmbh Robert | Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| DE8900142U1 (ja) * | 1989-01-07 | 1990-05-10 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
| US5187674A (en) * | 1989-12-28 | 1993-02-16 | Honeywell Inc. | Versatile, overpressure proof, absolute pressure sensor |
| US5177696A (en) * | 1989-12-28 | 1993-01-05 | Honeywell Inc. | Method of determination of gas properties at reference conditions |
| DE4102920A1 (de) * | 1990-01-31 | 1991-08-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Einrichtung zur messung der wirbelfrequenz |
| JP2564415B2 (ja) * | 1990-04-18 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | 空気流量検出器 |
| JPH07111367B2 (ja) * | 1991-02-26 | 1995-11-29 | ディーエクスエル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 流量センサおよびその検査方法 |
| US5303167A (en) * | 1991-03-08 | 1994-04-12 | Honeywell Inc. | Absolute pressure sensor and method |
| US5201221A (en) * | 1991-03-15 | 1993-04-13 | Ford Motor Company | Flow sensor and method of manufacture |
| US5682899A (en) * | 1991-05-16 | 1997-11-04 | Ami-Med Corporation | Apparatus and method for continuous cardiac output monitoring |
| DE4124032A1 (de) * | 1991-07-19 | 1993-01-21 | Bosch Gmbh Robert | Messelement |
| JPH0674804A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
| DE4307512A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Bosch Gmbh Robert | Meßelement |
| DE4307513A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Bosch Gmbh Robert | Meßelement |
| US5509424A (en) * | 1994-01-28 | 1996-04-23 | Aws Salim Nashef | Continuous cardiac output monitoring system |
| DE4404506A1 (de) * | 1994-02-12 | 1995-08-17 | Deutsche Automobilgesellsch | Temperaturkompensation bei Massenstromsensoren nach dem Prinzip des Hitzdraht-Anemometers |
| DE4447570C2 (de) * | 1994-07-22 | 1999-06-02 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| DE4426101C2 (de) * | 1994-07-22 | 1997-08-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| JP3475579B2 (ja) * | 1995-06-20 | 2003-12-08 | 株式会社デンソー | 吸気温センサの取付構造およびそれを用いた熱式流量計 |
| GB2320104B (en) * | 1997-10-16 | 1998-11-18 | Bookham Technology Ltd | Thermally isolated silicon layer |
| CH695166A5 (de) * | 2000-04-25 | 2005-12-30 | Sensirion Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Flusses einer Flüssigkeit. |
| CH696006A5 (de) * | 2002-12-23 | 2006-11-15 | Sensirion Ag | Vorrichtung zur Messung des Flusses eines Gases oder einer Flüssigkeit in einem Nebenkanal. |
| WO2008139237A1 (en) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Acque Ingegneria S.R.L. | Flow rate sensor for water ducts and a method for measuring water flow |
| FR2977886B1 (fr) * | 2011-07-13 | 2017-03-03 | Centre Nat Rech Scient | Capteur miniaturise a element chauffant et procede de fabrication associe. |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1439711A1 (de) * | 1964-08-04 | 1968-11-28 | Telefunken Patent | Halbleiteranordnung mit geringer Nebenschlusskapazitaet |
| DE2925975A1 (de) * | 1979-06-27 | 1981-01-15 | Siemens Ag | Mengendurchflussmesser |
| DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
| US4501144A (en) * | 1982-09-30 | 1985-02-26 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
| DE3328852A1 (de) * | 1983-08-10 | 1985-02-28 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| US4542650A (en) * | 1983-08-26 | 1985-09-24 | Innovus | Thermal mass flow meter |
| US4594889A (en) * | 1984-12-06 | 1986-06-17 | Ford Motor Company | Mass airflow sensor |
-
1985
- 1985-02-02 JP JP60017710A patent/JPS61178614A/ja active Granted
-
1986
- 1986-01-30 US US06/824,265 patent/US4783996A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-01-31 GB GB08602381A patent/GB2170606B/en not_active Expired
- 1986-01-31 DE DE3603010A patent/DE3603010C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3603010A1 (de) | 1986-08-07 |
| JPH058766B2 (ja) | 1993-02-03 |
| DE3603010C2 (de) | 1994-09-01 |
| GB2170606A (en) | 1986-08-06 |
| US4783996A (en) | 1988-11-15 |
| GB8602381D0 (en) | 1986-03-05 |
| GB2170606B (en) | 1989-01-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61178614A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| US4833912A (en) | Flow measuring apparatus | |
| US4912975A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics | |
| US4785662A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| US4735099A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| JPS61194317A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPH0760107B2 (ja) | 熱式流量センサの信号処理方法 | |
| JPS611847A (ja) | 内燃機関の制御装置 | |
| JP3589083B2 (ja) | 感熱式フロ−センサ | |
| JP4483115B2 (ja) | 燃料噴射制御装置および流体流量測定装置 | |
| JPH07122587B2 (ja) | 流量センサ | |
| US20220341767A1 (en) | Thermal flowmeter | |
| JPH0441765B2 (ja) | ||
| JPH07891Y2 (ja) | 吸入空気流量検出装置 | |
| JPS6239722A (ja) | 流量センサ用膜式抵抗 | |
| JPS61194316A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPH01201117A (ja) | 空気流量計 | |
| JP2000146656A (ja) | フロ―センサおよびその製造方法 | |
| JPS61186819A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPH0476413B2 (ja) | ||
| JPH0812096B2 (ja) | 内燃機関の吸入空気流量検出装置 | |
| JPH0623944Y2 (ja) | 吸入空気流量検出装置 | |
| JPS60235020A (ja) | 直熱型空気流量センサ | |
| JP2001153704A (ja) | フローセンサ | |
| JPH0441930B2 (ja) |