JPS60235020A - 直熱型空気流量センサ - Google Patents
直熱型空気流量センサInfo
- Publication number
- JPS60235020A JPS60235020A JP59090120A JP9012084A JPS60235020A JP S60235020 A JPS60235020 A JP S60235020A JP 59090120 A JP59090120 A JP 59090120A JP 9012084 A JP9012084 A JP 9012084A JP S60235020 A JPS60235020 A JP S60235020A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- air flow
- insulating layer
- dependent
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はたとえば内燃機関の吸入空気量を検出するため
の空気流量センサに関し、特に、膜式抵抗を有する直熱
型空気量センサに関する。
の空気流量センサに関し、特に、膜式抵抗を有する直熱
型空気量センサに関する。
従来技術
一般に、電子制御式内燃機関においては、基本燃料噴射
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとしては
、空気重量を直接検出する傍熱型（マスフロー型）と、
空気容量を検出する直熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流量センサにおいては、空気流の温
度を検知するための温度依存抵抗の上流に発熱抵抗を設
け、温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵抗の
電流値をフィードバック制御し、発熱抵抗に印ｆｆ［ｌ
される電圧により空気重量を検出するものである（参照
：特公昭５４−９６６２号公＠）。
、空気重量を直接検出する傍熱型（マスフロー型）と、
空気容量を検出する直熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流量センサにおいては、空気流の温
度を検知するための温度依存抵抗の上流に発熱抵抗を設
け、温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵抗の
電流値をフィードバック制御し、発熱抵抗に印ｆｆ［ｌ
される電圧により空気重量を検出するものである（参照
：特公昭５４−９６６２号公＠）。
他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量
センサにおいては、空気流の温度を検知するための温度
依存抵抗を発熱抵抗としても作用させ、この温度依存抵
抗の温度が一定になるように温度依存抵抗の電流値をフ
ィードバック制御し、温度依存抵抗に印加される電圧に
より空気容量を検出するものである。もちろん、この直
熱型を用いた内燃機関においては、吸入空気自体の温度
を検出するための温度依存抵抗は別個に設ける必要があ
る。
センサにおいては、空気流の温度を検知するための温度
依存抵抗を発熱抵抗としても作用させ、この温度依存抵
抗の温度が一定になるように温度依存抵抗の電流値をフ
ィードバック制御し、温度依存抵抗に印加される電圧に
より空気容量を検出するものである。もちろん、この直
熱型を用いた内燃機関においては、吸入空気自体の温度
を検出するための温度依存抵抗は別個に設ける必要があ
る。
本発明は上記直熱型の空気流量センサであって、温度依
存抵抗を腹式抵抗にて構成したものに適用される。
存抵抗を腹式抵抗にて構成したものに適用される。
通常、腹式抵抗は、エツチング等によりパターンニング
した比較的薄い金属薄を発熱抵抗体として、その汚れの
付着や腐食による抵抗値の変化すなわちセンサ出力特性
の変化を防ぐために耐熱性の樹脂によりコートされた構
造となっている。そして、その両端は空気流量センサの
ダクトの支持部に固定されている。ここで一般に熱式の
流量センサは、発熱部から流体への熱の逃げの割合が大
きい程、また発熱部の熱伝導が良い程、感度及び応答性
の良いことが知られているが、上述のような腹式抵抗に
おいては、発熱部を熱伝導の悪い耐熱性樹脂が発熱部の
熱容量に対して相対的に厚くおおっているため、空気へ
の放熱割合が減り、空気への熱伝導の遅れも生じ、この
結果、吸気流量センサの応答性を低下させるという問題
点がある。
した比較的薄い金属薄を発熱抵抗体として、その汚れの
付着や腐食による抵抗値の変化すなわちセンサ出力特性
の変化を防ぐために耐熱性の樹脂によりコートされた構
造となっている。そして、その両端は空気流量センサの
ダクトの支持部に固定されている。ここで一般に熱式の
流量センサは、発熱部から流体への熱の逃げの割合が大
きい程、また発熱部の熱伝導が良い程、感度及び応答性
の良いことが知られているが、上述のような腹式抵抗に
おいては、発熱部を熱伝導の悪い耐熱性樹脂が発熱部の
熱容量に対して相対的に厚くおおっているため、空気へ
の放熱割合が減り、空気への熱伝導の遅れも生じ、この
結果、吸気流量センサの応答性を低下させるという問題
点がある。
発明の目的
本発明の目的は、上述の従来形の問題点に鑑み、腹式抵
抗に薄い絶縁膜を介して金属板を接触させしかもこの金
属板を吸入空気と直接接触させることにより、吸入空気
との熱伝導特性を向上せしめ、従って、空気流量センサ
の感度および応答速度を向上せしめることにある。
抗に薄い絶縁膜を介して金属板を接触させしかもこの金
属板を吸入空気と直接接触させることにより、吸入空気
との熱伝導特性を向上せしめ、従って、空気流量センサ
の感度および応答速度を向上せしめることにある。
発明の構成
上述の目的を達成するために一本発明によれば、金属板
、該金属板上に設けられた第１の絶縁層、該第１の絶縁
層上に設けられた温度依存抵抗パターンにより構成され
る腹式抵抗部材と、第２の絶縁層および該第２の絶縁層
上に設けられた一対の電極パターンにより構成される基
板とを具備し、前記腹式抵抗部材をフェイスダウンさせ
て前記基板に接着させて前記腹式抵抗部材の温度依存抵
抗パターンを前記基板の電極パターンに接続した直熱型
空気流量センサが提供される。
、該金属板上に設けられた第１の絶縁層、該第１の絶縁
層上に設けられた温度依存抵抗パターンにより構成され
る腹式抵抗部材と、第２の絶縁層および該第２の絶縁層
上に設けられた一対の電極パターンにより構成される基
板とを具備し、前記腹式抵抗部材をフェイスダウンさせ
て前記基板に接着させて前記腹式抵抗部材の温度依存抵
抗パターンを前記基板の電極パターンに接続した直熱型
空気流量センサが提供される。
実施例
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明に係る腹式抵抗を有する直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概略図である。
センサが適用された内燃機関を示す全体概略図である。
第１図において、内燃機関１の吸気通路２にはエアクリ
ーナ３および整流格子４を介して空気が吸入される。こ
の吸気通路２内に計測管（ダクト）５が設けられ、その
内部に空気流量を計測するための発熱ヒータ兼用温度依
存抵抗６が設けられている。この温度依存抵抗６は、第
２図に示すようにステイアに固定され、第３図に示すよ
うにステイアの外側に設けられた吸入温度を検出するた
めの温度依存抵抗８と共に、センサ回路部としてのハイ
ブリッド基板９に接続されている。このハイブリッド基
板９のセンサ回路部は温度依存抵抗６の温度が、吸気温
度に対して一定温度になるように抵抗６０発熱量をフィ
ードバック制御し、その消費電力信号（センサ出力）
ＶＱを第１図の制御回路１０に出力している。制御回路
１０は例えば、マイクロコンピュータによって構成され
、燃料噴射弁１１の制御等を行なうものである。
ーナ３および整流格子４を介して空気が吸入される。こ
の吸気通路２内に計測管（ダクト）５が設けられ、その
内部に空気流量を計測するための発熱ヒータ兼用温度依
存抵抗６が設けられている。この温度依存抵抗６は、第
２図に示すようにステイアに固定され、第３図に示すよ
うにステイアの外側に設けられた吸入温度を検出するた
めの温度依存抵抗８と共に、センサ回路部としてのハイ
ブリッド基板９に接続されている。このハイブリッド基
板９のセンサ回路部は温度依存抵抗６の温度が、吸気温
度に対して一定温度になるように抵抗６０発熱量をフィ
ードバック制御し、その消費電力信号（センサ出力）
ＶＱを第１図の制御回路１０に出力している。制御回路
１０は例えば、マイクロコンピュータによって構成され
、燃料噴射弁１１の制御等を行なうものである。
第４図は第１図の温度依存抵抗部分の詳細な正面図であ
る。第４図において、６１はフレキシブルな基板であっ
て、たとえば数１０μｍの絶縁性フィルムである。この
基板６１上には後述のごとく温度依存抵抗パターンが形
成されている。そして、基板６１の両端はステイアに支
持されたピン（電極支持棒）６２によって支えられてい
る。このピン６２ばばね性を有しており、従って、基板
６１は張力状態（テンション状態）に保持される。
る。第４図において、６１はフレキシブルな基板であっ
て、たとえば数１０μｍの絶縁性フィルムである。この
基板６１上には後述のごとく温度依存抵抗パターンが形
成されている。そして、基板６１の両端はステイアに支
持されたピン（電極支持棒）６２によって支えられてい
る。このピン６２ばばね性を有しており、従って、基板
６１は張力状態（テンション状態）に保持される。
第５図に示すように、フレキシブルな基板６１の両端は
折曲げられ、さらに接着剤もしくは熱圧着等により張付
けられている。つまり、ピン６２は基板６１によって被
覆されており、これにより、腐食の影響は少なくなる。
折曲げられ、さらに接着剤もしくは熱圧着等により張付
けられている。つまり、ピン６２は基板６１によって被
覆されており、これにより、腐食の影響は少なくなる。
第６図は第４図の温度依存抵抗パターンが形成された基
板の６１の分解斜視図である。第６図において、６１１
は耐熱性樹脂であって、その上には蒸着もしくは金属箔
の接着によって１対の電極層６１２が形成されている。
板の６１の分解斜視図である。第６図において、６１１
は耐熱性樹脂であって、その上には蒸着もしくは金属箔
の接着によって１対の電極層６１２が形成されている。
６１３は温度依存抵抗パターンが形成された模式抵抗部
材、６１４は模式抵抗部材６１３と同一形状の開口６１
４ａを有する絶縁層である。つまり、これらの要素６１
１，６１３，６１４を接着剤もしくは熱圧着により一体
に組合せると、腹式抵抗６１３の表面（後述する金属板
６１３への表面）は露出するが、耐熱性樹脂６１１の電
極層６１２は絶縁層６１４によって保護される。なお、
模式抵抗部材６１３と絶縁層６１４とは同一厚みで構成
し、これにより、浮遊粒子の付着量を低減することが好
ましい。
材、６１４は模式抵抗部材６１３と同一形状の開口６１
４ａを有する絶縁層である。つまり、これらの要素６１
１，６１３，６１４を接着剤もしくは熱圧着により一体
に組合せると、腹式抵抗６１３の表面（後述する金属板
６１３への表面）は露出するが、耐熱性樹脂６１１の電
極層６１２は絶縁層６１４によって保護される。なお、
模式抵抗部材６１３と絶縁層６１４とは同一厚みで構成
し、これにより、浮遊粒子の付着量を低減することが好
ましい。
第７図（Ａ）、（Ｂ）を参照して第６図の模式抵抗部材
６１３を説明すると、・６１３Ａは２０〜５０μｍ程度
のステンレス等腐食しにくい金属板であって、その上に
は極めて薄い絶縁層６１３Ｂたとえば５ｉ０２もしくは
Ｓｉ３ Ｎ ４が蒸着、スパッタ等にて形成され、さら
に、その上には、蒸着もしくはスパッタ等によって温度
依存抵抗パターン６１３ｃが形成されている。従って、
温度依存抵抗パターン６１３ｃと金属板６１３Ａとの間
の熱伝導度はｊよとんど無視できる程度であり、金属板
６１３Ａは実質的に模式抵抗部材６１３のヒートマスに
なる。
６１３を説明すると、・６１３Ａは２０〜５０μｍ程度
のステンレス等腐食しにくい金属板であって、その上に
は極めて薄い絶縁層６１３Ｂたとえば５ｉ０２もしくは
Ｓｉ３ Ｎ ４が蒸着、スパッタ等にて形成され、さら
に、その上には、蒸着もしくはスパッタ等によって温度
依存抵抗パターン６１３ｃが形成されている。従って、
温度依存抵抗パターン６１３ｃと金属板６１３Ａとの間
の熱伝導度はｊよとんど無視できる程度であり、金属板
６１３Ａは実質的に模式抵抗部材６１３のヒートマスに
なる。
第７図（Ａ）、（Ｂ）のごとく構成された模式抵抗部材
６１３は電極層６１２が形成された絶縁層６１１に接着
させる際には、この抵抗部材６１３をフェイスダウンさ
せて行う。つまり、金属板６１３八を上向き、すなわち
温度依存抵抗パターン６１３ｃを下向きにして絶縁層６
１１に接着させる。従って、吸入空気は腹式抵抗に寄与
する金属板６１３Ａに絶縁層を介さず直接接触すること
になる。
６１３は電極層６１２が形成された絶縁層６１１に接着
させる際には、この抵抗部材６１３をフェイスダウンさ
せて行う。つまり、金属板６１３八を上向き、すなわち
温度依存抵抗パターン６１３ｃを下向きにして絶縁層６
１１に接着させる。従って、吸入空気は腹式抵抗に寄与
する金属板６１３Ａに絶縁層を介さず直接接触すること
になる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、吸入空気は腹式抵抗
の熱容量として作用する金属板に直接接触するので、空
気流量センサの感度および応答速度を向上できる。
の熱容量として作用する金属板に直接接触するので、空
気流量センサの感度および応答速度を向上できる。
第１図は本発明に係る腹式抵抗を有する直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第２図
、第３図は第１図の空気流量センサ部分の拡大縦断面図
および横断面図、第４図は第１図の温度依存抵抗部の一
例を示す詳細な正面図、第５図は第４図の部分拡大図、
第６図は第４図の基板の分解斜視図、第７図（Ａ）は第
６図の模式抵抗部材の平面図、第７図（Ｂ）は第７図（
Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 ５・・・計測管（ダクト）、６・・・温度依存抵抗、６
１１・・・第２の絶縁層、 ６１２・・・電極層、６１
３・・・模式抵抗部材、 ６１３Ａ・・・金属板、６１
３Ｂ・・・第１の絶縁層、 ６１３Ｃ・・・温度依存抵抗パターン、６１４・・・絶
縁層。 第１図 第２図 第４図 第５図 第１頁の続き ＠発明者金原 賢治 ０発 明 者 服 部 正 西尾市下羽角町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品
総合研究所内 手続補正書（自発） 昭和６０年２ 月／ｊ−日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９０１２０ 号２０４発明の名
称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称（４６９）株式会社 日本自動車部品総合研究所
４、代理人 １ビル 碧 （外 ４ 名） ５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第３頁第１行目 「一定」の前に「外気温度すなわち吸入空気の温度に対
して」を挿入する。 （２） 明細書第６頁第４行目 「もちろん」を「従って」と補正する。 手続補正書（自発） 昭和６０年４ 月１ｏ日 特許庁長官志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９０１２０号 ２、発明の名称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４６９）株式会社 日本自動車部品総合研究
所４、代理人 ５、 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 明細書第２阪第８行目から第３画第７行目「さらに、・
・・・・・設ける必要がある。」を次のごとく補正する
。 「さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとして
は、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気
流量センナは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、
およびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵
抗を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発
熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するものであ
り、つまシ、外気温度補償用であり、また、下ａｍの温
度依存抵抗は加熱抵抗によって加熱され７を空気流の温
度を検出する。これに工す、下流側の＠度依存抵抗と上
流側の＠度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱
抵抗の電流値全フィードバック制御し、発熱抵抗に印加
される電圧により空気流量（質量）を検出するものであ
る。なお、上流側の外気＠度補償用温度依存抵抗を削除
し、下流側の魔度依存抵抗の温度が一定になるＬうに発
熱抵抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出
できる。（謬照：％公昭５４−９６６２号公報）０他方
、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量セン
サは、機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の発熱
抵抗、およびその上流側に設けられた温度依存抵抗を備
えている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温度依
存抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出す
るものであり、つまり、外気温度補償用である０これに
エリ、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温度差
が−にになるように発熱抵抗の電流値をフィードバック
制御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量（質
量）を検出するものである。なお、この場合にも、外気
温度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が一
定になるように発熱抵抗を制御すると、体積容置として
の空気流量が検出できる。」
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第２図
、第３図は第１図の空気流量センサ部分の拡大縦断面図
および横断面図、第４図は第１図の温度依存抵抗部の一
例を示す詳細な正面図、第５図は第４図の部分拡大図、
第６図は第４図の基板の分解斜視図、第７図（Ａ）は第
６図の模式抵抗部材の平面図、第７図（Ｂ）は第７図（
Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 ５・・・計測管（ダクト）、６・・・温度依存抵抗、６
１１・・・第２の絶縁層、 ６１２・・・電極層、６１
３・・・模式抵抗部材、 ６１３Ａ・・・金属板、６１
３Ｂ・・・第１の絶縁層、 ６１３Ｃ・・・温度依存抵抗パターン、６１４・・・絶
縁層。 第１図 第２図 第４図 第５図 第１頁の続き ＠発明者金原 賢治 ０発 明 者 服 部 正 西尾市下羽角町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品
総合研究所内 手続補正書（自発） 昭和６０年２ 月／ｊ−日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９０１２０ 号２０４発明の名
称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称（４６９）株式会社 日本自動車部品総合研究所
４、代理人 １ビル 碧 （外 ４ 名） ５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第３頁第１行目 「一定」の前に「外気温度すなわち吸入空気の温度に対
して」を挿入する。 （２） 明細書第６頁第４行目 「もちろん」を「従って」と補正する。 手続補正書（自発） 昭和６０年４ 月１ｏ日 特許庁長官志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９０１２０号 ２、発明の名称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４６９）株式会社 日本自動車部品総合研究
所４、代理人 ５、 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 明細書第２阪第８行目から第３画第７行目「さらに、・
・・・・・設ける必要がある。」を次のごとく補正する
。 「さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとして
は、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気
流量センナは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、
およびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵
抗を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発
熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するものであ
り、つまシ、外気温度補償用であり、また、下ａｍの温
度依存抵抗は加熱抵抗によって加熱され７を空気流の温
度を検出する。これに工す、下流側の＠度依存抵抗と上
流側の＠度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱
抵抗の電流値全フィードバック制御し、発熱抵抗に印加
される電圧により空気流量（質量）を検出するものであ
る。なお、上流側の外気＠度補償用温度依存抵抗を削除
し、下流側の魔度依存抵抗の温度が一定になるＬうに発
熱抵抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出
できる。（謬照：％公昭５４−９６６２号公報）０他方
、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量セン
サは、機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の発熱
抵抗、およびその上流側に設けられた温度依存抵抗を備
えている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温度依
存抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出す
るものであり、つまり、外気温度補償用である０これに
エリ、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温度差
が−にになるように発熱抵抗の電流値をフィードバック
制御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量（質
量）を検出するものである。なお、この場合にも、外気
温度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が一
定になるように発熱抵抗を制御すると、体積容置として
の空気流量が検出できる。」
Claims (1)
- １、金属板、該金属板上に設けられた第１の絶縁層、該
第１の絶縁層上に設けられた温度依存抵抗パターンによ
り構成される腹式抵抗部材と、第２の絶縁層および該第
２の絶縁層上に設けられた一対の電極パターンにより構
成される基板とを具備し、前記腹式抵抗部材をフェイス
ダウンさせて前記基板に接着させて前記腹式抵抗部材の
温度依存抵抗パターンを前記基板の電極パターンに接続
した直熱型空気流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59090120A JPS60235020A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 直熱型空気流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59090120A JPS60235020A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 直熱型空気流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60235020A true JPS60235020A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=13989648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59090120A Pending JPS60235020A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 直熱型空気流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60235020A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321382A (en) * | 1991-07-08 | 1994-06-14 | Nippondenso Co., Ltd. | Thermal type flow rate sensor |
-
1984
- 1984-05-08 JP JP59090120A patent/JPS60235020A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321382A (en) * | 1991-07-08 | 1994-06-14 | Nippondenso Co., Ltd. | Thermal type flow rate sensor |
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