JPS60236023A - 直熱型空気流量センサ - Google Patents
直熱型空気流量センサInfo
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- JPS60236023A JPS60236023A JP59091040A JP9104084A JPS60236023A JP S60236023 A JPS60236023 A JP S60236023A JP 59091040 A JP59091040 A JP 59091040A JP 9104084 A JP9104084 A JP 9104084A JP S60236023 A JPS60236023 A JP S60236023A
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- Japan
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- temperature
- air flow
- resistance
- air
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明Vj、九とえば内燃機関の吸入v2気−を慣用す
るための空気流嵐センツ゛に関12、特に、腺武抵抗を
有する直熱型空気tl/1mセンν′に関Iる。
るための空気流嵐センツ゛に関12、特に、腺武抵抗を
有する直熱型空気tl/1mセンν′に関Iる。
従来技術
一般IC1竜子tlllj#式内燃機関VCおいては、
基本燃料噴射量、基本点火時期等の制御のため罠機関の
吸入空気蓋はli要な運転状自パラメータの1つである
。従来、この↓うな吸入空気蓋を検出I−るための空気
5fL櫨センサ(エアフローメータとも酎う)はベーン
式のものが主流であったが、M近。
基本燃料噴射量、基本点火時期等の制御のため罠機関の
吸入空気蓋はli要な運転状自パラメータの1つである
。従来、この↓うな吸入空気蓋を検出I−るための空気
5fL櫨センサ(エアフローメータとも酎う)はベーン
式のものが主流であったが、M近。
小型、応答性が良い吟の利点を有する一度依介抵抗を用
いた熱式空気流にセンサが真円化されている。
いた熱式空気流にセンサが真円化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流胤センサとしては
、空気重駄會直接検出する傍熱型(マスフロー型)と、
空気谷kk検出する直熱型(ボリュームフロー型)とが
ある。傍熱型の空気tAt、 mセンサにおいては%空
気流の温〆【検知するたν)の温度依看1!(抗の上流
に発熱抵抗t−設け、温度依存抵抗の縣1妓が一定VC
なるように発熱抵抗の電流値をフィードパ・ンク1B+
1 (ill L、発熱抵抗に印加されるttr庄に工
り空気止it’tr検出するものである(参照:特公昭
F)4−9662号公報)。他方、傍熱型に比べて16
答速厩が早い直熱型の空気流蓋センサにJ、−いては、
空気61f、の偏度を検知するための温度依存抵抗を発
熱抵抗としても作用させ、この温度依存抵抗の温度が一
定になるように温度依存抵抗の嵐流甑紮ノイードバック
制御し、温度依存抵抗に印加される電圧VC工り空気番
組を検出するものである。もちろん、この面熱型金用い
IC内燃機関においては、吸入空気自体の温度を検出す
るための温度値、U抵抗は別個VC設ける必費がある。
、空気重駄會直接検出する傍熱型(マスフロー型)と、
空気谷kk検出する直熱型(ボリュームフロー型)とが
ある。傍熱型の空気tAt、 mセンサにおいては%空
気流の温〆【検知するたν)の温度依看1!(抗の上流
に発熱抵抗t−設け、温度依存抵抗の縣1妓が一定VC
なるように発熱抵抗の電流値をフィードパ・ンク1B+
1 (ill L、発熱抵抗に印加されるttr庄に工
り空気止it’tr検出するものである(参照:特公昭
F)4−9662号公報)。他方、傍熱型に比べて16
答速厩が早い直熱型の空気流蓋センサにJ、−いては、
空気61f、の偏度を検知するための温度依存抵抗を発
熱抵抗としても作用させ、この温度依存抵抗の温度が一
定になるように温度依存抵抗の嵐流甑紮ノイードバック
制御し、温度依存抵抗に印加される電圧VC工り空気番
組を検出するものである。もちろん、この面熱型金用い
IC内燃機関においては、吸入空気自体の温度を検出す
るための温度値、U抵抗は別個VC設ける必費がある。
本発明は上記直熱型の空気流歓センサであって、発熱さ
せる温度依存抵抗を膜式抵抗にて構成したものに適用さ
lする。
せる温度依存抵抗を膜式抵抗にて構成したものに適用さ
lする。
通常、1lIi1式抵抗は比較的薄い基板上に形成され
、−1熱性樹脂によって保饅されている。そして、その
両端は空気流鍮センサのダクトの支持部に固定されてい
る。しかしながら、このような1117式11(抗は、
雰囲気温度の土i1、経時変化等によって伸rドるため
に、空気流VC対する抵抗の肋状性が変化1.。
、−1熱性樹脂によって保饅されている。そして、その
両端は空気流鍮センサのダクトの支持部に固定されてい
る。しかしながら、このような1117式11(抗は、
雰囲気温度の土i1、経時変化等によって伸rドるため
に、空気流VC対する抵抗の肋状性が変化1.。
すなわち1通常金属エリなるll〜ヒータの罹みシて」
゛り抵抗値が変化し、膜面がら空気への故燃状−りが変
化する。この結果、膜式抵抗による出力特ゼ1が変化し
、延いては、空気流t1センサの出力%F14が変化す
るという問題点があった。
゛り抵抗値が変化し、膜面がら空気への故燃状−りが変
化する。この結果、膜式抵抗による出力特ゼ1が変化し
、延いては、空気流t1センサの出力%F14が変化す
るという問題点があった。
発明の目的
本発明の目的は、上述の従来形におりる間藺点に鑑み、
フレキシブルな基板に膜式抵抗としての温度依存抵抗パ
ターンを形成し、その基板を常に張力(テンシラン)状
態に保持することにより。
フレキシブルな基板に膜式抵抗としての温度依存抵抗パ
ターンを形成し、その基板を常に張力(テンシラン)状
態に保持することにより。
膜式抵抗による出力特性音一定に保持1〜、延いては、
空気流量センサの出力特性を一定に保持することにある
。
空気流量センサの出力特性を一定に保持することにある
。
発明の構成
上述の目的を達成するために本発明に工れば、フレキシ
ブルな基板、該基板上に形成された温度依存抵抗パター
ン、および、前記基板の両端を固(3) 定−fるげね性の′#を極支持俸全具備する直熱型空気
流置七ンザがトに供される。
ブルな基板、該基板上に形成された温度依存抵抗パター
ン、および、前記基板の両端を固(3) 定−fるげね性の′#を極支持俸全具備する直熱型空気
流置七ンザがトに供される。
実 施 例
取下、図面にエリ本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明に係る膜式抵抗金有する直熱型空気?I
f、&tセンサが適用された内燃機関を示す全体概要図
でおる。第1図によ?いて、内燃機関1の吸気通路2に
はエアクリーナ3お工び整流格子4を介して空気が吸入
される。この吸気通路2内に針側′#(ダクト)5が設
けられ、その内部に空気流lを1測するための発熱ヒー
タ兼用温度依存抵抗6が設けられている。このAλ度依
存抵抗6は、第2図に示すように、ステイア K固定さ
れ、第3図に示す工すにステイアの外側に設けられた吸
入温rwk@出するための温度依存抵抗8と共に、セン
サ回路部としてのハイブリッド基板9に接続されている
。このハイブリッド基板9のセンサ回路部ij温度依存
抵抗6の温度が、吸気温度に対して。
f、&tセンサが適用された内燃機関を示す全体概要図
でおる。第1図によ?いて、内燃機関1の吸気通路2に
はエアクリーナ3お工び整流格子4を介して空気が吸入
される。この吸気通路2内に針側′#(ダクト)5が設
けられ、その内部に空気流lを1測するための発熱ヒー
タ兼用温度依存抵抗6が設けられている。このAλ度依
存抵抗6は、第2図に示すように、ステイア K固定さ
れ、第3図に示す工すにステイアの外側に設けられた吸
入温rwk@出するための温度依存抵抗8と共に、セン
サ回路部としてのハイブリッド基板9に接続されている
。このハイブリッド基板9のセンサ回路部ij温度依存
抵抗6の温度が、吸気温度に対して。
一定温度になるように抵抗6の発熱量全フィードバック
制御し、その消費電力信号(センサ出力)(4) ■、全第1図の制御回路10Vこ出力している。tbu
御回路10は例えば、マイクロコンピュータによって構
成され、悌料噴躬弁11の制御衿舌・行なうものである
。
制御し、その消費電力信号(センサ出力)(4) ■、全第1図の制御回路10Vこ出力している。tbu
御回路10は例えば、マイクロコンピュータによって構
成され、悌料噴躬弁11の制御衿舌・行なうものである
。
第4図は第1図のl&AI片依存jle t+’+’、
6の−・I’ll k /ドす詳細な正面図である。
6の−・I’ll k /ドす詳細な正面図である。
第4因P/l: 1’、−いて、(i目」vlll熱性
のあるフレキシブルな)、Ga1lえげボリイ2ド樹脂
)であって、たとえば数1()μの絶縁性フィルムであ
る。この基板61土にiJ1度依イI抵抗パターン62
が形成されている。そ(7て、基板61の両端はステイ
アに支持さハたビン(X極支持棒)63によって★見ら
れている。このビン63は例えばリン青銅の工うにばね
性V+t、−Cお・す、従って、基板61お工び@度依
存抵抗パターン62は張力状陣(デンシーン状M) V
C保持される。
のあるフレキシブルな)、Ga1lえげボリイ2ド樹脂
)であって、たとえば数1()μの絶縁性フィルムであ
る。この基板61土にiJ1度依イI抵抗パターン62
が形成されている。そ(7て、基板61の両端はステイ
アに支持さハたビン(X極支持棒)63によって★見ら
れている。このビン63は例えばリン青銅の工うにばね
性V+t、−Cお・す、従って、基板61お工び@度依
存抵抗パターン62は張力状陣(デンシーン状M) V
C保持される。
第5図に示すように、フレキシブルな基板61には折曲
げる前に例えば、Pt 、 N1 、Susの様な金属
薄又は金属膜をエツチングした温度依存抵抗パターン6
2が形成されており、第6図に示すビン63を通す穴を
残こし、抵抗パターン62を基板61ではさみ込むよう
に、接着材もしくは熱圧着等で接着された後、ビン63
に敗り付けられている。つまシ、ビン63とパターン6
2は基板6111−保護膜として張力のかかった状態で
電気的に接続されており、これにより、フィルタ3?通
ってきた汚れによる腐食の影響は小さくなる。さらに、
ビン63に膜611ft組み付ける時、導電性の接着材
ケ用いたり、第5図に示すように、膜とビン63t−同
様に熱圧着することにより、腐食の影+Wtさらに小さ
くすることができる。
げる前に例えば、Pt 、 N1 、Susの様な金属
薄又は金属膜をエツチングした温度依存抵抗パターン6
2が形成されており、第6図に示すビン63を通す穴を
残こし、抵抗パターン62を基板61ではさみ込むよう
に、接着材もしくは熱圧着等で接着された後、ビン63
に敗り付けられている。つまシ、ビン63とパターン6
2は基板6111−保護膜として張力のかかった状態で
電気的に接続されており、これにより、フィルタ3?通
ってきた汚れによる腐食の影響は小さくなる。さらに、
ビン63に膜611ft組み付ける時、導電性の接着材
ケ用いたり、第5図に示すように、膜とビン63t−同
様に熱圧着することにより、腐食の影+Wtさらに小さ
くすることができる。
なお、温度依存抵抗パターン62は、前述の工うに基板
61ではさみ込んでも良いし、別の耐熱性樹脂によって
被覆しても良い。
61ではさみ込んでも良いし、別の耐熱性樹脂によって
被覆しても良い。
1.7図は第1図の温度依存抵抗6の他の例を示す畦細
な正面図である。@7図においては、フレキシブルな基
板61′の両端には第8図に示すよう11Cボリイきド
によって形成されたり、四角の棒状のものを基板61’
[接着して形成された固定用の太い部分61′aを設け
である。ビン63′は第4図のビン63と異なり、−t
の先端が半割状1(な−)Cいる。つまり、ビン(i
l’は割鴬状i(なっ−Cいる。
な正面図である。@7図においては、フレキシブルな基
板61′の両端には第8図に示すよう11Cボリイきド
によって形成されたり、四角の棒状のものを基板61’
[接着して形成された固定用の太い部分61′aを設け
である。ビン63′は第4図のビン63と異なり、−t
の先端が半割状1(な−)Cいる。つまり、ビン(i
l’は割鴬状i(なっ−Cいる。
@9図VC示Tに、’)Y、ピア (i 3’)Mil
状& l Kit S) −(”基板61′全はさみ、
その771、端ケクリソゾfi3’Hシ(よって固>ピ
する。従、−1てltf、極としてV)ビンti :l
’は基O16]’iその太いR113)(i I’ a
K工って☆−持lると共VC1抵抗パターン6zの電
極1■り付り611分62′aに確実trc接触・rイ
、ことになる。17かも、ビン63′もまたばね+′1
ユであるので、ンレキン・プル々基板61′お工び温囲
依イf−抵抗パターン62’tJ引張状態に保持される
。
状& l Kit S) −(”基板61′全はさみ、
その771、端ケクリソゾfi3’Hシ(よって固>ピ
する。従、−1てltf、極としてV)ビンti :l
’は基O16]’iその太いR113)(i I’ a
K工って☆−持lると共VC1抵抗パターン6zの電
極1■り付り611分62′aに確実trc接触・rイ
、ことになる。17かも、ビン63′もまたばね+′1
ユであるので、ンレキン・プル々基板61′お工び温囲
依イf−抵抗パターン62’tJ引張状態に保持される
。
なお、第7図、第8図においても、は廣依イj抵抗パタ
ーン62′は耐熱性樹1iftによ−)て検相されてい
るし、ビン63′に膜61′を収り付シ)だ俵、接続部
分′k(支)脂コートすれば、さらに1騙食性が増し。
ーン62′は耐熱性樹1iftによ−)て検相されてい
るし、ビン63′に膜61′を収り付シ)だ俵、接続部
分′k(支)脂コートすれば、さらに1騙食性が増し。
信頼性が向上する。
発明の詳細
な説明した工うに本発明1/C↓れげ、模式抵抗として
の温度依存抵抗會常に引張状態に保持でき、従って、出
力特性も一定となり、この結果、空気流(7) 祉センサの出力特性金−だに保持できる。
の温度依存抵抗會常に引張状態に保持でき、従って、出
力特性も一定となり、この結果、空気流(7) 祉センサの出力特性金−だに保持できる。
431図tJ本発明に係る模式抵抗を有する直熱型9気
流樋センサが適用された内燃機関金示す全体m四回、絹
2図、第3図は第1図の空気流蓋センザ部分の拡大縦断
面図および横断面図、第4図は躬1図の鉱度依存抵抗の
−911を示す詳細な正面図、第5図は第4図のフレキ
シブルな基板61および温度依存抵抗パターン620組
立て前の斜視図2第6図はW/44図の部分拡大図、第
7図は第1図の温度依存抵抗の他の例全示す詳細な正面
図、第8図は第7図のVl −Vlll線断面図、第9
図は第7図の部分斜視図である。 5:1測肯(ダク))、6:温度依存抵抗(模式抵抗)
、61.61’:フレキシブルな基板、62.62’:
温度依存抵抗パターン、63,637:ビン(電極支持
棒)、7:ステイ。 (8) 第2図 ′q 特開昭GO−236023(4) 第3図 手続補正書(自発) 昭和60年 2月/λ口 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040 号2、発明の名称 直熱型空気流量センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称(469)株式会社 日本自動車部品総合研究所
4、代理人 (外 4 名) 5 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 6、 補正の内容 (1)明細書第3頁第9行目 r>i!Jの前に「外気′□1wすなわち吸入空気の濡
t*、に対して」を挿入する。 (2)明細書第31第12行l:1 「もちろん」を「従って」と補正する。 手続補正書(自発) 昭和60年 4 月/ノ1−1 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040号 2、発明の名称 直熱型空気流葺センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 +4691株式会社 日本自動車部品総合研究
所4、代理人 (外4 名) 1炙■ 5、 補正の対象 明#lIl iFの「発明の詳細な説明」の欄6 補正
の内容 明細1F第2山第16行目からvgatlR14行目「
さらに、・・・・・・設ける会費がある。」を次のごと
く補正する。 「さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサと(7
ては、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱Mの空
気流量センサは、機関の吸気通路に設けられ罠発熱抵抗
、お工びその上流、下流側に設けられ7t2つの@度依
存抵抗を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗
に発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するもの
であり、つまp、外気m度補償用であり、−1だ、下流
側の温度依存抵抗は加熱抵抗によって加熱されπ9気流
の温度を検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗
と上流側の温度依存抵抗との温度差が一定になる工うに
発熱抵抗の電流値をフィードパ・ツク制御し、発熱抵抗
に印加される電圧に工り空気流量(質量)を検出するも
のである。なお、上流側の(2) 外気温度補償用aA IIF依存抵抗を削除し、下流+
1111の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱
抵抗を制御すると、体オ★谷嵐としての空気流坩が検出
できる。(参照:%公昭54−9662シ多公報)。 この傍熱型において汀、空気流に含−まjlる浮遊杓子
が1M度依存抵抗および発熱抵抗のよどみ部分、境界j
−線部分にt(−着し尺場合1/(−1i、一時的W−
(−わらの抵抗に過大な電流紫苑して焼却(バーンオノ
)することが+jJ能である。他方、傍熱1(’4に比
べ′C尾、答速度が早い直熱型の空気流−セン゛すeよ
、機関の吸気S路に設けられた温度検出兼用の発熱抵抗
、お工びその上流1i111 K設りbれ罠温匿依台■
uLを備え1いる。この彎ば、傍熱型と1口1様に、上
流−(/・湿度依存抵抗は発熱抵抗による加熱t)11
の空気流の温度を検出するものであり、つ゛まり、タ1
気ム1屡°神償用である。これに↓す、発熱抵抗とぞの
土碓g11!の温度依存抵抗との縣度差が一定になるよ
うに発熱抵抗の篭訛値金フィードバック制御し、発熱抵
抗に印加される電圧にエリ空気流1(質−)を検出する
ものである。なお、こり場合にも、夕1気温(3) 度補償用湛度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が−に
になる工うに発熱抵抗を制御すると、体積谷電としての
空気流値が検出できる。j(4)
流樋センサが適用された内燃機関金示す全体m四回、絹
2図、第3図は第1図の空気流蓋センザ部分の拡大縦断
面図および横断面図、第4図は躬1図の鉱度依存抵抗の
−911を示す詳細な正面図、第5図は第4図のフレキ
シブルな基板61および温度依存抵抗パターン620組
立て前の斜視図2第6図はW/44図の部分拡大図、第
7図は第1図の温度依存抵抗の他の例全示す詳細な正面
図、第8図は第7図のVl −Vlll線断面図、第9
図は第7図の部分斜視図である。 5:1測肯(ダク))、6:温度依存抵抗(模式抵抗)
、61.61’:フレキシブルな基板、62.62’:
温度依存抵抗パターン、63,637:ビン(電極支持
棒)、7:ステイ。 (8) 第2図 ′q 特開昭GO−236023(4) 第3図 手続補正書(自発) 昭和60年 2月/λ口 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040 号2、発明の名称 直熱型空気流量センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称(469)株式会社 日本自動車部品総合研究所
4、代理人 (外 4 名) 5 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 6、 補正の内容 (1)明細書第3頁第9行目 r>i!Jの前に「外気′□1wすなわち吸入空気の濡
t*、に対して」を挿入する。 (2)明細書第31第12行l:1 「もちろん」を「従って」と補正する。 手続補正書(自発) 昭和60年 4 月/ノ1−1 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040号 2、発明の名称 直熱型空気流葺センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 +4691株式会社 日本自動車部品総合研究
所4、代理人 (外4 名) 1炙■ 5、 補正の対象 明#lIl iFの「発明の詳細な説明」の欄6 補正
の内容 明細1F第2山第16行目からvgatlR14行目「
さらに、・・・・・・設ける会費がある。」を次のごと
く補正する。 「さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサと(7
ては、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱Mの空
気流量センサは、機関の吸気通路に設けられ罠発熱抵抗
、お工びその上流、下流側に設けられ7t2つの@度依
存抵抗を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗
に発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するもの
であり、つまp、外気m度補償用であり、−1だ、下流
側の温度依存抵抗は加熱抵抗によって加熱されπ9気流
の温度を検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗
と上流側の温度依存抵抗との温度差が一定になる工うに
発熱抵抗の電流値をフィードパ・ツク制御し、発熱抵抗
に印加される電圧に工り空気流量(質量)を検出するも
のである。なお、上流側の(2) 外気温度補償用aA IIF依存抵抗を削除し、下流+
1111の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱
抵抗を制御すると、体オ★谷嵐としての空気流坩が検出
できる。(参照:%公昭54−9662シ多公報)。 この傍熱型において汀、空気流に含−まjlる浮遊杓子
が1M度依存抵抗および発熱抵抗のよどみ部分、境界j
−線部分にt(−着し尺場合1/(−1i、一時的W−
(−わらの抵抗に過大な電流紫苑して焼却(バーンオノ
)することが+jJ能である。他方、傍熱1(’4に比
べ′C尾、答速度が早い直熱型の空気流−セン゛すeよ
、機関の吸気S路に設けられた温度検出兼用の発熱抵抗
、お工びその上流1i111 K設りbれ罠温匿依台■
uLを備え1いる。この彎ば、傍熱型と1口1様に、上
流−(/・湿度依存抵抗は発熱抵抗による加熱t)11
の空気流の温度を検出するものであり、つ゛まり、タ1
気ム1屡°神償用である。これに↓す、発熱抵抗とぞの
土碓g11!の温度依存抵抗との縣度差が一定になるよ
うに発熱抵抗の篭訛値金フィードバック制御し、発熱抵
抗に印加される電圧にエリ空気流1(質−)を検出する
ものである。なお、こり場合にも、夕1気温(3) 度補償用湛度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が−に
になる工うに発熱抵抗を制御すると、体積谷電としての
空気流値が検出できる。j(4)
Claims (1)
- 1.7レキシブルな基板、該基板上く形成され次@度依
存抵抗パターン、および、前記基板の両mt固定するば
ね性の電極支持棒t−具備する直熱型空気流量センナ。 λ 前記基板の両端が接着剤に工って前記電極支持棒に
固定され友特許請求の範囲第1項に記載の直熱型空気流
量センナ。 3、前記基板の両端が熱圧着(よって前記電極叉片欅に
固定され九持ト請求の範囲第1項に記載のl竪墓空気鬼
量センサ。 4、前記基板の両端全天くし、前記電極支班棒■先端金
分岐させ、該分岐された部分VCjって前記基板の両端
の太くした部分を叉狩することでよって前記基板の両端
を前記電極支狩棒(固定せしめ文特許請求の@品′$1
1に記載の1熱釜空気流量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59091040A JPS60236023A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59091040A JPS60236023A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60236023A true JPS60236023A (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=14015387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59091040A Pending JPS60236023A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60236023A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5307677A (en) * | 1992-03-11 | 1994-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Flow rate meter |
US5423213A (en) * | 1993-02-04 | 1995-06-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress |
US7992318B2 (en) * | 2007-01-22 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
JP2014119257A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Mitsubishi Materials Corp | 気流センサ |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP59091040A patent/JPS60236023A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5307677A (en) * | 1992-03-11 | 1994-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Flow rate meter |
US5423213A (en) * | 1993-02-04 | 1995-06-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress |
US7992318B2 (en) * | 2007-01-22 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
US8186077B2 (en) | 2007-01-22 | 2012-05-29 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
JP2014119257A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Mitsubishi Materials Corp | 気流センサ |
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