JPS60236023A - 直熱型空気流量センサ - Google Patents

直熱型空気流量センサ

Info

Publication number
JPS60236023A
JPS60236023A JP59091040A JP9104084A JPS60236023A JP S60236023 A JPS60236023 A JP S60236023A JP 59091040 A JP59091040 A JP 59091040A JP 9104084 A JP9104084 A JP 9104084A JP S60236023 A JPS60236023 A JP S60236023A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
temperature
air flow
resistance
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59091040A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Oota
実 太田
Kazuhiko Miura
和彦 三浦
Seiji Fujino
藤野 誠二
Kenji Kanehara
賢治 金原
Tadashi Hattori
正 服部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Soken Inc
Original Assignee
Nippon Soken Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Soken Inc filed Critical Nippon Soken Inc
Priority to JP59091040A priority Critical patent/JPS60236023A/ja
Publication of JPS60236023A publication Critical patent/JPS60236023A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明Vj、九とえば内燃機関の吸入v2気−を慣用す
るための空気流嵐センツ゛に関12、特に、腺武抵抗を
有する直熱型空気tl/1mセンν′に関Iる。
従来技術 一般IC1竜子tlllj#式内燃機関VCおいては、
基本燃料噴射量、基本点火時期等の制御のため罠機関の
吸入空気蓋はli要な運転状自パラメータの1つである
。従来、この↓うな吸入空気蓋を検出I−るための空気
5fL櫨センサ(エアフローメータとも酎う)はベーン
式のものが主流であったが、M近。
小型、応答性が良い吟の利点を有する一度依介抵抗を用
いた熱式空気流にセンサが真円化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流胤センサとしては
、空気重駄會直接検出する傍熱型(マスフロー型)と、
空気谷kk検出する直熱型(ボリュームフロー型)とが
ある。傍熱型の空気tAt、 mセンサにおいては%空
気流の温〆【検知するたν)の温度依看1!(抗の上流
に発熱抵抗t−設け、温度依存抵抗の縣1妓が一定VC
なるように発熱抵抗の電流値をフィードパ・ンク1B+
1 (ill L、発熱抵抗に印加されるttr庄に工
り空気止it’tr検出するものである(参照:特公昭
F)4−9662号公報)。他方、傍熱型に比べて16
答速厩が早い直熱型の空気流蓋センサにJ、−いては、
空気61f、の偏度を検知するための温度依存抵抗を発
熱抵抗としても作用させ、この温度依存抵抗の温度が一
定になるように温度依存抵抗の嵐流甑紮ノイードバック
制御し、温度依存抵抗に印加される電圧VC工り空気番
組を検出するものである。もちろん、この面熱型金用い
IC内燃機関においては、吸入空気自体の温度を検出す
るための温度値、U抵抗は別個VC設ける必費がある。
本発明は上記直熱型の空気流歓センサであって、発熱さ
せる温度依存抵抗を膜式抵抗にて構成したものに適用さ
lする。
通常、1lIi1式抵抗は比較的薄い基板上に形成され
、−1熱性樹脂によって保饅されている。そして、その
両端は空気流鍮センサのダクトの支持部に固定されてい
る。しかしながら、このような1117式11(抗は、
雰囲気温度の土i1、経時変化等によって伸rドるため
に、空気流VC対する抵抗の肋状性が変化1.。
すなわち1通常金属エリなるll〜ヒータの罹みシて」
゛り抵抗値が変化し、膜面がら空気への故燃状−りが変
化する。この結果、膜式抵抗による出力特ゼ1が変化し
、延いては、空気流t1センサの出力%F14が変化す
るという問題点があった。
発明の目的 本発明の目的は、上述の従来形におりる間藺点に鑑み、
フレキシブルな基板に膜式抵抗としての温度依存抵抗パ
ターンを形成し、その基板を常に張力(テンシラン)状
態に保持することにより。
膜式抵抗による出力特性音一定に保持1〜、延いては、
空気流量センサの出力特性を一定に保持することにある
発明の構成 上述の目的を達成するために本発明に工れば、フレキシ
ブルな基板、該基板上に形成された温度依存抵抗パター
ン、および、前記基板の両端を固(3) 定−fるげね性の′#を極支持俸全具備する直熱型空気
流置七ンザがトに供される。
実 施 例 取下、図面にエリ本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明に係る膜式抵抗金有する直熱型空気?I
f、&tセンサが適用された内燃機関を示す全体概要図
でおる。第1図によ?いて、内燃機関1の吸気通路2に
はエアクリーナ3お工び整流格子4を介して空気が吸入
される。この吸気通路2内に針側′#(ダクト)5が設
けられ、その内部に空気流lを1測するための発熱ヒー
タ兼用温度依存抵抗6が設けられている。このAλ度依
存抵抗6は、第2図に示すように、ステイア K固定さ
れ、第3図に示す工すにステイアの外側に設けられた吸
入温rwk@出するための温度依存抵抗8と共に、セン
サ回路部としてのハイブリッド基板9に接続されている
。このハイブリッド基板9のセンサ回路部ij温度依存
抵抗6の温度が、吸気温度に対して。
一定温度になるように抵抗6の発熱量全フィードバック
制御し、その消費電力信号(センサ出力)(4) ■、全第1図の制御回路10Vこ出力している。tbu
御回路10は例えば、マイクロコンピュータによって構
成され、悌料噴躬弁11の制御衿舌・行なうものである
第4図は第1図のl&AI片依存jle t+’+’、
 6の−・I’ll k /ドす詳細な正面図である。
第4因P/l: 1’、−いて、(i目」vlll熱性
のあるフレキシブルな)、Ga1lえげボリイ2ド樹脂
)であって、たとえば数1()μの絶縁性フィルムであ
る。この基板61土にiJ1度依イI抵抗パターン62
が形成されている。そ(7て、基板61の両端はステイ
アに支持さハたビン(X極支持棒)63によって★見ら
れている。このビン63は例えばリン青銅の工うにばね
性V+t、−Cお・す、従って、基板61お工び@度依
存抵抗パターン62は張力状陣(デンシーン状M) V
C保持される。
第5図に示すように、フレキシブルな基板61には折曲
げる前に例えば、Pt 、 N1 、Susの様な金属
薄又は金属膜をエツチングした温度依存抵抗パターン6
2が形成されており、第6図に示すビン63を通す穴を
残こし、抵抗パターン62を基板61ではさみ込むよう
に、接着材もしくは熱圧着等で接着された後、ビン63
に敗り付けられている。つまシ、ビン63とパターン6
2は基板6111−保護膜として張力のかかった状態で
電気的に接続されており、これにより、フィルタ3?通
ってきた汚れによる腐食の影響は小さくなる。さらに、
ビン63に膜611ft組み付ける時、導電性の接着材
ケ用いたり、第5図に示すように、膜とビン63t−同
様に熱圧着することにより、腐食の影+Wtさらに小さ
くすることができる。
なお、温度依存抵抗パターン62は、前述の工うに基板
61ではさみ込んでも良いし、別の耐熱性樹脂によって
被覆しても良い。
1.7図は第1図の温度依存抵抗6の他の例を示す畦細
な正面図である。@7図においては、フレキシブルな基
板61′の両端には第8図に示すよう11Cボリイきド
によって形成されたり、四角の棒状のものを基板61’
[接着して形成された固定用の太い部分61′aを設け
である。ビン63′は第4図のビン63と異なり、−t
の先端が半割状1(な−)Cいる。つまり、ビン(i 
l’は割鴬状i(なっ−Cいる。
@9図VC示Tに、’)Y、ピア (i 3’)Mil
状& l Kit S) −(”基板61′全はさみ、
その771、端ケクリソゾfi3’Hシ(よって固>ピ
する。従、−1てltf、極としてV)ビンti :l
’は基O16]’iその太いR113)(i I’ a
 K工って☆−持lると共VC1抵抗パターン6zの電
極1■り付り611分62′aに確実trc接触・rイ
、ことになる。17かも、ビン63′もまたばね+′1
ユであるので、ンレキン・プル々基板61′お工び温囲
依イf−抵抗パターン62’tJ引張状態に保持される
なお、第7図、第8図においても、は廣依イj抵抗パタ
ーン62′は耐熱性樹1iftによ−)て検相されてい
るし、ビン63′に膜61′を収り付シ)だ俵、接続部
分′k(支)脂コートすれば、さらに1騙食性が増し。
信頼性が向上する。
発明の詳細 な説明した工うに本発明1/C↓れげ、模式抵抗として
の温度依存抵抗會常に引張状態に保持でき、従って、出
力特性も一定となり、この結果、空気流(7) 祉センサの出力特性金−だに保持できる。
【図面の簡単な説明】
431図tJ本発明に係る模式抵抗を有する直熱型9気
流樋センサが適用された内燃機関金示す全体m四回、絹
2図、第3図は第1図の空気流蓋センザ部分の拡大縦断
面図および横断面図、第4図は躬1図の鉱度依存抵抗の
−911を示す詳細な正面図、第5図は第4図のフレキ
シブルな基板61および温度依存抵抗パターン620組
立て前の斜視図2第6図はW/44図の部分拡大図、第
7図は第1図の温度依存抵抗の他の例全示す詳細な正面
図、第8図は第7図のVl −Vlll線断面図、第9
図は第7図の部分斜視図である。 5:1測肯(ダク))、6:温度依存抵抗(模式抵抗)
、61.61’:フレキシブルな基板、62.62’:
温度依存抵抗パターン、63,637:ビン(電極支持
棒)、7:ステイ。 (8) 第2図 ′q 特開昭GO−236023(4) 第3図 手続補正書(自発) 昭和60年 2月/λ口 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040 号2、発明の名称 直熱型空気流量センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称(469)株式会社 日本自動車部品総合研究所
4、代理人 (外 4 名) 5 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 6、 補正の内容 (1)明細書第3頁第9行目 r>i!Jの前に「外気′□1wすなわち吸入空気の濡
t*、に対して」を挿入する。 (2)明細書第31第12行l:1 「もちろん」を「従って」と補正する。 手続補正書(自発) 昭和60年 4 月/ノ1−1 特許庁長官志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第91040号 2、発明の名称 直熱型空気流葺センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 +4691株式会社 日本自動車部品総合研究
所4、代理人 (外4 名) 1炙■ 5、 補正の対象 明#lIl iFの「発明の詳細な説明」の欄6 補正
の内容 明細1F第2山第16行目からvgatlR14行目「
さらに、・・・・・・設ける会費がある。」を次のごと
く補正する。 「さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサと(7
ては、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱Mの空
気流量センサは、機関の吸気通路に設けられ罠発熱抵抗
、お工びその上流、下流側に設けられ7t2つの@度依
存抵抗を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗
に発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するもの
であり、つまp、外気m度補償用であり、−1だ、下流
側の温度依存抵抗は加熱抵抗によって加熱されπ9気流
の温度を検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗
と上流側の温度依存抵抗との温度差が一定になる工うに
発熱抵抗の電流値をフィードパ・ツク制御し、発熱抵抗
に印加される電圧に工り空気流量(質量)を検出するも
のである。なお、上流側の(2) 外気温度補償用aA IIF依存抵抗を削除し、下流+
1111の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱
抵抗を制御すると、体オ★谷嵐としての空気流坩が検出
できる。(参照:%公昭54−9662シ多公報)。 この傍熱型において汀、空気流に含−まjlる浮遊杓子
が1M度依存抵抗および発熱抵抗のよどみ部分、境界j
−線部分にt(−着し尺場合1/(−1i、一時的W−
(−わらの抵抗に過大な電流紫苑して焼却(バーンオノ
)することが+jJ能である。他方、傍熱1(’4に比
べ′C尾、答速度が早い直熱型の空気流−セン゛すeよ
、機関の吸気S路に設けられた温度検出兼用の発熱抵抗
、お工びその上流1i111 K設りbれ罠温匿依台■
uLを備え1いる。この彎ば、傍熱型と1口1様に、上
流−(/・湿度依存抵抗は発熱抵抗による加熱t)11
の空気流の温度を検出するものであり、つ゛まり、タ1
気ム1屡°神償用である。これに↓す、発熱抵抗とぞの
土碓g11!の温度依存抵抗との縣度差が一定になるよ
うに発熱抵抗の篭訛値金フィードバック制御し、発熱抵
抗に印加される電圧にエリ空気流1(質−)を検出する
ものである。なお、こり場合にも、夕1気温(3) 度補償用湛度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が−に
になる工うに発熱抵抗を制御すると、体積谷電としての
空気流値が検出できる。j(4)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.7レキシブルな基板、該基板上く形成され次@度依
    存抵抗パターン、および、前記基板の両mt固定するば
    ね性の電極支持棒t−具備する直熱型空気流量センナ。 λ 前記基板の両端が接着剤に工って前記電極支持棒に
    固定され友特許請求の範囲第1項に記載の直熱型空気流
    量センナ。 3、前記基板の両端が熱圧着(よって前記電極叉片欅に
    固定され九持ト請求の範囲第1項に記載のl竪墓空気鬼
    量センサ。 4、前記基板の両端全天くし、前記電極支班棒■先端金
    分岐させ、該分岐された部分VCjって前記基板の両端
    の太くした部分を叉狩することでよって前記基板の両端
    を前記電極支狩棒(固定せしめ文特許請求の@品′$1
    1に記載の1熱釜空気流量センサ。
JP59091040A 1984-05-09 1984-05-09 直熱型空気流量センサ Pending JPS60236023A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59091040A JPS60236023A (ja) 1984-05-09 1984-05-09 直熱型空気流量センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59091040A JPS60236023A (ja) 1984-05-09 1984-05-09 直熱型空気流量センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60236023A true JPS60236023A (ja) 1985-11-22

Family

ID=14015387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59091040A Pending JPS60236023A (ja) 1984-05-09 1984-05-09 直熱型空気流量センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60236023A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5307677A (en) * 1992-03-11 1994-05-03 Robert Bosch Gmbh Flow rate meter
US5423213A (en) * 1993-02-04 1995-06-13 Ngk Insulators, Ltd. Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress
US7992318B2 (en) * 2007-01-22 2011-08-09 Tokyo Electron Limited Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium
JP2014119257A (ja) * 2012-12-13 2014-06-30 Mitsubishi Materials Corp 気流センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5307677A (en) * 1992-03-11 1994-05-03 Robert Bosch Gmbh Flow rate meter
US5423213A (en) * 1993-02-04 1995-06-13 Ngk Insulators, Ltd. Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress
US7992318B2 (en) * 2007-01-22 2011-08-09 Tokyo Electron Limited Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium
US8186077B2 (en) 2007-01-22 2012-05-29 Tokyo Electron Limited Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium
JP2014119257A (ja) * 2012-12-13 2014-06-30 Mitsubishi Materials Corp 気流センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4870860A (en) Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics
US4783996A (en) Direct-heated flow measuring apparatus
US4705713A (en) Film resistor for flow measuring apparatus
US4833912A (en) Flow measuring apparatus
US4399697A (en) Gas flow measuring apparatus
JP3335860B2 (ja) 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計
JPS60236024A (ja) 直熱型空気流量センサ
EP0157100A3 (en) Heated titania oxygen sensor
JP5373474B2 (ja) 可燃性ガス検出装置
JPS59104513A (ja) 熱式流量計
JPS60151517A (ja) 半導体式流量検出装置
JPH063389B2 (ja) 流体の流量測定装置
US4587843A (en) Thermocouple-type gas-flow measuring apparatus
US4399698A (en) Gas flow measuring apparatus
JPS60236023A (ja) 直熱型空気流量センサ
JPS6140924B2 (ja)
JPH0476415B2 (ja)
US4393702A (en) Gas flow measuring device
JPS60236029A (ja) 直熱型空気流量センサ
JPS5965216A (ja) 熱式流量計
JPH0441932B2 (ja)
JPS60235020A (ja) 直熱型空気流量センサ
JPS61186819A (ja) 直熱型流量センサ
JPH0441931B2 (ja)
JPS6212383B2 (ja)