DE3603010A1

DE3603010A1 - Direkt beheizte stroemungsmessvorrichtung

Info

Publication number: DE3603010A1
Application number: DE19863603010
Authority: DE
Inventors: Tadashi Okazaki Aichi Hattori; Yukio Gifu Iwasaki; Kazuhiko Aichi Miura; Minoru Okazaki Aichi Ohta; Michitoshi Toyohashi Aichi Onoda
Original assignee: Nippon Soken Inc
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1985-02-02
Filing date: 1986-01-31
Publication date: 1986-08-07
Anticipated expiration: 2006-02-01
Also published as: GB2170606B; DE3603010C2; US4783996A; GB8602381D0; GB2170606A; JPH058766B2; JPS61178614A

Description

Direkte beheizte Strömungsmeßvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung mit einem Schichtwiderstand, der als Temperaturdetektoreinrichtung sowie als elektrische Heizung dient. Eine derartige direkte beheizte Strömungsmeßvorrichtung kann beispielsweise zum Messen des Durchsatzes der in eine Brennkraftmaschine angesaugten Luft verwandt werden.

Bei einer Brennkraftmaschine ist im allgemeinen die angesaugte Luftmenge einer der wichtigsten Parameter zum Steuern der eingespritzten Kraftstoffmenge, des Zündzeitpunktes und ähnlichem. Eine Gasströmungsmeßvorrichtung, d.h. ein Luftströmungsmesser ist zum Messen des Luftdurchsatzes vorgesehen. Einer der bekannten üblichen Luftströmungsmesser ist der Flügelluftströmungsmesser, der jedoch bezüglich seines Maßstabs, seiner charakteristischen Ansprechgeschwindigkeit und ähnlichem nachtei 1 ig ist.

\ / Es gibt zwei Arten von L.uftströmungsmessern mit temperaturabhängigen Widerständen, nämlich den direkt beheizten Luftströmungsmesser und den Luftströmungsmesser mit Heizung. Der Luftströmungsmesser mit Heizung kann aus einem elektrischen Heizwiderstand, der im Luftansaugkanal der Maschine vorgesehen ist, und zwei temperaturabhängigen Widerständen bestehen, die stromaufwärts und stromabwärts von dem elektrischen Heizwiderstand angeordnet sind. In diesem Fall dient der temperaturabhängige Widerstand auf der stromabwärts liegenden Seite dazu, die Temperatur der Luft aufzunehmen, die durch den Heizwiderstand erwärmt wurde, während der temperaturabhängige Widerstand auf der stromaufwärts liegenden Seite dazu dient, die Temperatur der nicht erwärmten Luft aufzunehmen. Der durch den Heizwiderstand fließende Strom wird so geregelt , daß ein konstanter

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Temperaturunterschied zwischen den beiden temperaturabhängigen Widerständen besteht, um dadurch die am Heizwiderstand liegende Spannung als Luftmengendurchsatz zu erfassen .

Wenn bei einem derartigen Luftströmungsmesser mit Heizung kein stromaufwärts liegender temperaturabhängiger Widerstand vorgesehen ist und der Strom des Heizwiderstandes so geregelt wird, daß eine konstante Temperatur des stromabwärts liegenden temperaturabhängigen Widerstandes erhalten wird, wird die am Heizwiderstand liegende Spannung als Luftvolumen durchsatz erfaßt.

Der direkte beheizte Luftströmungsmesser kann andererseits aus einem Schichtwiderstand bestehen, der nicht nur als elektrische Heizung sondern auch als Temperaturdetektoreinrichtung zum Aufnehmen der Temperatur der erwärmten Luft dient. Der direkt beheizte Luftströmungsmesser kann gleichfalls aus einem temperaturabhängigen Widerstand bestehen, der die Temperatur der nicht erwärmten Luft aufnimmt. Der durch den Schichtwiderstand fließende Strom wird somit so geregelt , daß sich ein konstanter Temperaturunterschied zwischen dem Schichtwiderstand und dem temperaturabhängigen Widerstand einstellt, um dadurch die am Schichtwiderstand liegende Spannung als Luftmengendurchsatz zu erfassen. Wenn bei diesem direkt beheizten Luftströmungsmesser kein temperaturabhängiger Widerstand vorgesehen ist und der Strom des Heizwiderstandes so geregelt wird, daß der Schichtwiderstand eine konstante Temperatur hat, wird gleichfalls die am Schichtwiderstand liegende Spannung als Luftvolumendurchsatz erfaßt.

Da der Schichtwiderstand des direkt beheizten Luftströmungsmessers als Temperaturdetektoreinrichtung für die erwärmte Luft dient, d.h. keine zusätzliche Temperaturdetektorein-

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richtung für die erwärmte Luft benötigt wird, hat der direkt beheizte Luftströmungsmesser eine geringere Größe als der Luftströmungsmesser mit Heizung.

Bei dem direkt beheizten Luftströmungsmesser kann der Schichtwiderstand aus einem isolierenden Substrat, wie beispielsweise einem Keramiksubstrat oder einem einkristallinen Siliziumsubstrat, einem Widerstandsmuster aus Platin, Gold usw. auf dem isolierenden Substrat und einem wärmebeständigen Harz auf dem Widerstandsmuster bestehen.

Üblicherweise hängen das charakteristische Ansprechvermögen und der dynamische Bereich des direkt beheizten Luftströmungsmessers von der Heizmasse und dem adiabatischen Wirkungsgrad des Widerstandsmusters ab, das nicht nur als Heizeinrichtung sondern auch als Temperaturdetektoreinrichtung dient. Um ein möglichst ausgezeichnetes charakteristisches Ansprechsvermögen und den größten dynamischen Bereich zu erzielen, sollte das Widerstandsmuster im idealen Fall sich in einem vollständig schwebenden Zustand im Luftstrom befinden. ·

Dazu kann daran gedacht werden, bei einem direkt beheizten Luftströmungsmesser einen Teil in Form einer öffnung zwischen dem Heiz- und Temperaturdetektorteil des Substrates einschließlich des Schichtwiderstandes und dem Halteteil des Substrates wegzuschneiden. Dadurch wird die Wärmeübertragung gedrosselt und somit der adiabatische Wirkungsgrad des Heiz- und Temperaturdetektorteils erhöht, was die Ansprechgeschwindigkeit und den dynamischen Bereich des Luftströmungsmessers verbessert.

Wenn jedoch die Drosselung der Wärmeübertragung dadurch erfolgt, daß eine öffnung zwischen dem Heiz- und Temperaturdetektorteil des Substrates und dessen Halteteil vorge-

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sehen wird, wie es oben beschrieben wurde, ist die mechanische Festigkeit des die Wärmeübertragung drosselnden Teils des Substrates sehr gering, was die Widerstandsfähigkeit des Luftströmungsmesser beeinträchtigt.

Durch die Erfindung soll eine direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung mit hoher Widerstandsfähigkeit und ein Verfahren zu ihrer Herstellung geschaffen werden.

Dazu umfaßt die erfindungsgemäße direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung ein Substrat, einen Schichtwiderstand zum Erzeugen von Wärme und zum Wahrnehmen seiner Temperatur und eine Regelschaltung zum Regeln der durch den Schichtwiderstand erzeugten Wärme derart, daß die Temperatur des Schichtwiderstandes einen vorbestimmten Wert hat. Im Substrat ist weiterhin eine öffnung oder ähnliches vorgesehen, um die Wärmeübertragung des Schichtwiderstandes zu drosseln. Weiterhin ist an einem Teil des Substrates, an dem die öffnung oder ähnliches ausgebildet ist, eine Verstärkung ausgebildet. Eine derartige Verstärkung hat einen minimalen Einfluß auf den adiabatischen Wirkungsgrad und erhöht dennoch die mechanische Festigkeit des die Wärmeübertragung drosselnden Teils.

Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 schematisch den Gesamtaufbau einer Brennkraftmaschine mit einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen direkt beheizten Strömungsmeßvorrichtung ,

Fig. 2 und 3 eine Längsschnittansicht und eine Querschnitts-

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ansicht jeweils der in Fig. 1 dargestellten Strömungsmeßvorrichtung.

Fig. 4A eine Draufsicht auf ein Beispiel des

Schichtwiderstandes gemäß eines Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 4B, 4C und 4D Querschnittsansichten längs der

Linien B-B, C-C und D-D jeweils in Fig. 4A,

Fig. 5A eine Draufsicht eines weiteren Bei

spiels des Schichtwiderstandes bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 5B und 5C Querschnittansichten längs der Linien

B-B und C-C in Fig. 5A jeweils,

Fig. 6 das Schaltbild der Sensorschaltung

von Fig. 1 und

Fig. 7A bis 7G in Querschnittsansichten die Herstellungsschritte des Substrates von 4A bis 4D.

In den Figuren 1, 2 und 3 ist der Gesamtaufbau einer Brennkraftmaschine mit einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Strömungsmeßvorrichtung dargestellt. In einer Maschine 1 mit Funkenzündung zum Antreiben eines Kraftfahrzeuges wird Luft zur Verbrennung über ein Luftfilter 2, ein Richtgitter 3, das den Luftstrom gleichmäßig macht,und einen Luftansaugkanal 4 eingesaugt. Im Luftansaugkanal 4 befindet sich ein Drosselventil 4a, das willkürlich durch den Fahrer betätigt werden kann. Die Strömungsmeßvorrichtung ist im Luftansaugkanal 4 zwischen dem Richtgitter 3 und dem

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Drosselventil 4a vorgesehen.

Die Strömungsmeßvorrichtung weist einen Sensorteil im Inneren des Luftansaugkanals 4 und eine Sensorschaltung 9 außerhalb des Luftansaugkanals 4 auf. Der Sensorteil umfaßt ein Meßrohr oder eine Meßleitung 5, die über einen Steg 7 am Luftansaugkanal 4 befestigt ist. Ein Schichtwiderstand 6 ist im Inneren der Leitung 5 vorgesehen, während ein temperaturabhängiger Widerstand 8 zum Aufnehmen der Temperatur der nicht erwärmten Luft außerhalb der Leitung 5 vorgesehen ist. Der Schichtwiderstand 6 und der temperaturabhängige Widerstand 8 sind mit der Sensorschaltung 9 verbunden, die in eine Hybridplatte eingeschlossen ist. Der temperaturabhängige Widerstand 8 kann innerhalb der Leitung 5 unter der Bedingung vorgesehen sein, daß der Widerstand 8 im wesentlichen nicht durch die Wärme beeinflußt wird, die vom Schichtwiderstand 6 erzeugt wird. Die Sensorschaltung 9 steuert den Strom, der zum Schichtwiderstand 6 fließt, um Wärme für einen konstanten Temperaturunterschied zwischen dem Schichtwiderstand 6 und dem temperaturabhängigen Widerstand 8 zu erzeugen. Die Sensorschaltung 9 erzeugt auch eine Ausgangsspannung V_Q und überträgt diese Spannung auf eine Steuerschaltung 10, die beispielsweise einen Mikrocomputer enthält. An der Steuerschaltung 10 liegen auch verschiedene Arten von Detektorsignalen, wie beispielweise ein Signal für die Maschinendrehzahl Ne und ein Signal für die Maschinenkühlmitteltemperatur THW, wobei die Steuerschaltung 10 das Ventilöffnugnszeitintervall eines Kraftstoffeinspritzventils 11 oder ähnlicher Einrichtungen steuert.

Fig. 4A zeigt ein Beispiel des Schichtwiderstandes 6 von Fig. 1, während die Fig. 4B, 4C und 4D Querschnittsansichten längs der Linie B-B, C-C und D-D in Fig. 4A jeweils zeigen. In Fig. 4A ist eine nicht dargestellte Isolierschicht, bei-

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spielsweise eine SiOp-Schicht auf ein einkristallines Siliziumsubstrat 61 mit einer Stärke von etwa 200 bis 400 um aufgedampft und geätzt, um dadurch einen temperaturabhängigen Widerstand 62 zu erhalten. Der Teil 62a des Widestandes 62, der durch eine gestrichelte Linie umgeben ist, dient als Heiz- und Temperaturdetektorteil.

An den Seiten des Heiz- und Temperaturdetektorteils 62a sind Öffnungen 63a und 63b ausgebildet, die die Wärmeübertragung auf den Heiz- und Temperaturdetektorteil 62a drosseln und somit den adiabatischen Wirkungsgrad erhöhen. Das Siliziumsubstrat 61 am Heiz- und Temperaturdetektorteil 62a ist weiterhin sehr dünn ausgebildet, wie es in Fig. 4B und 4D dargestellt ist, um dadurch die Heizmasse herabzusetzen.

Gemäß der Erfindung sind vier Brückenteile 61a, 61b, 61c und 61 d des Substrates 61, die den Heiz- und Temperaturdetektorteil 62a mit dem Halteteil 64a oder 64b des Substrates 61 verbinden, mit einer effektiven Stärke vorgesehen, die größer als die des Heiz- und Temperaturdetektorteils 62a ist, um diesen dadurch zu verstärken. Die Brückenteile 61a, 61b, 61c und 61d haben einen rippenartigen Aufbau, der durch anisotropes Ätzen erhalten werden kann.

Fig. 5A zeigt ein weiteres Beispiel des in Fig. 1 dargestellten Schichtwiderstandes 6, während die Fig. 5B und 5C Querschnittsansichten längs der Linien B-B und C-C in Fig. 5A jeweils zeigen. Auch bei dem in Fig. 5A bis 5C dargestellten Beispiel sind ein einkristallines Siliziumsubstrat 61', ein temperaturabhängiges Widerstandsmuster 62", das durch Aufdampfen und Ätzen ausgebildet ist und der Teil 62'a vorgesehen, der durch eine gestrichelte Linie umgeben ist und als Heiz- und Temperaturdetektorteil dient.

Die Substratbereiche 61'a und 61'b auf den Seiten des Heiz-

und Temperaturdetektorteils 62'a sind schmaler verglichen mit dem Bereich 62'a, so daß eine Drosselung der Wärmeübertragung bewirkt wird, um dadurch den adiabatischen Wirkungsgrad des Heiz- und TemperaturdektektorteiIs 62'a zu erhöhen. In derselben Weise, wie es in den Fig. 4A bis 4D dargestellt ist, ist das Siliziumsubstrat 61' am Heiz- und Temperaturdetektorteil 62'a sehr dünn ausgebildet, wie es in den Fig. 5B und 5C dargestellt ist, um dadurch die Heizmasse herabzusetzen. In ähnlicher Weise sind weiterhin zwei Brückenteile 61'a und 61'b des Substrates 61', die den Heiz- und Temperaturdetektorteil 62'a mit den Halteabschnitten 64a oder 64b des Substrats 61' verbinden, mit einer effektiven Stärke vorgesehen, die größer als die des Heiz- und Temperaturdetektorteils 62'a ist, um diesen dadurch zu verstärken. Die Brückenteile 61'a und 61'b haben gleichfalls einen rippenartigen Aufbau, der durch anisotropes Ätzen erreicht werden kann.

Im folgenden wird anhand von Fig. 6 die in Fig. 1 dargestellte Sensorschaltung 9 beschrieben. Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, umfaßt die Sensorschaltung 10 Widerstände 91 und 92, die mit dem Schichtwiderstand 6 und dem temperaturabhängigen Widerstand 8 eine Brückenschaltung bilden, einen Komparator 93, einen Transistor 94, der vom Komparator 93 angesteuert wird,und einen Spannungspuffer Die Sensorschaltung 9 arbeitet in der folgenden Wiese. Wenn die Luftmenge zunimmt, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt, so daß die Temperatur des Schichtwiderstandes 6 abfällt, der in diesem Fall als Thermistor arbeitet, nimmt sein Widerstandswert ab, so daß die folgende Bedingung erfüllt ist:

V₁ < V_R,

wobei V. das Potential am Knotenpunkt zwischen dem Widerstand 91 und dem Schichtwiderstand 6 bezeichnet, während

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Vn das Potential am Knotenpunkt zwischen dem Widerstand

92 und dem temperaturabhängigen Widerstand 8 ist. Das hat zur Folge, daß das Ausgangspotential des Komparators 93 abnimmt, wodurch die Leitfähigkeit des Transistors 94 erhöht wird. Daher nimmt die vom Schichtwiderstand 6 erzeugte Wärme zu und nimmt auch gleichzeitig das Kollektorpotential des Transistors 94 zu, so daß die Ausgangsspannung V₀ des Spannungspuffers 95 gleichfalls ansteigt.

Wenn im Gegensatz dazu die Luftmenge abnimmt, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt, so daß die Temperatur des Schichtwiderstandes 6 ansteigt, dann nimmt sein Widerstandswert zu, so daß die Bedingung erfüllt ist:

^V1 > V

Als Folge davon nimmt das Ausgangspotential des Komparators

93 zu, um dadurch die Leitfähigkeit des Transistors 94 herabzusetzen. Die durch den Schichtwiderstand 6 erzeugte Wärme nimmt daher ab und es nimmt gleichzeitig das Kollektorpotential des Transistors 94 ab, so daß die Ausgangspannung Vq des Spannungspuffers 95 gleichfalls kleiner wird.

In dieser Weise erfolgt eine Regelung mit Rückführung der Temperatur des Schichtwiderstandes 6 auf einen konstanten Temperaturunterschied zwischen dem Schichtwiderstand 6 und dem temperaturabhängigen Wdierstand 8, der in diesem Fall die Temperatur der Umgebungsluft aufnimmt. Die Ausgangsspannung Vq des Ausgangspuffers 95 gibt daher die Luftmenge an, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt.

Im folgenden werden anhand der Fig. 7A bis 7G die Herstellungsschritte des in Fig. 4A bis 4D dargestellten Substrates 61 beschrieben. Jede Figur 7A bis 7G entspricht

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einer Querschnittsansicht gemäß Fig. 4B.

Zunächst wird ein einkristallines Siliziumsubstrat 61 gebildet, wie es in Fig. 7A dargestellt ist. Es sei darauf hingewiesen, daß ein nicht dargestelltes Widerstandsmuster 62 bereits auf der Rückseite des Siliziumsubstrates 61 aufgebracht ist. In diesem Fall ist die Fläche des Siliziumsubstrates 61, auf die der Pfeil A gerichtet ist, die (100) oder (110) Fläche. Wie es in Fig. 7B dargestellt ist, wird dann zur Bildung des Halteteils ein Ätzpassivierungsfilm 71, beispielsweise aus SiO₂ oder SigN* ausgebildet und erfolgt ein anisotropes Ätzen auf dem Film 71, um dadurch die in Fig. 7C dargestellte Form zu erhalten. Die Fläche, auf die der Pfeil B gerichtet ist, ist die (111) Fläche. Das heißt, daß das anisotrope Ätzen einen Unterschied in der Ätzgeschwindigkeit ausnutzt, da die Ätzgeschwindigkeit der (111) Fläche des einkristallinen Silizium sehr klein verglichen mit der an der (100) oder (110) Fläche ist.

Wie es in Fig. 7D dargestellt ist, wird anschließend der Ätzpassivierungsfilm 71 entfernt und wird in der in Fig. 7E dargestellten Weise ein weiterer Ätzpassivierungsfilm 72 ausgebildet. Anschließend erfolgt ein weiteres anisotropes Ätzen, um die in Fig. 7F dargestellte Form zu erhalten. Dann wird der Ätzpassivierungsfilm 72 entfernt, so daß die endgültige Form erhalten wird, die in Fig. 7G dargestellt ist. Das heißt, daß die rippenartige Ausbildung 61b und 61d (61a und 61c) erhalten wird.

Der rippenartige Aufbau 61'a und 61'b, der in Fig. 5A bis 5C dargestellt ist, kann nach denselben Herstellungsschritten erhalten werden.

Bei den obigen Ausführungsbeispielen der Erfindung wurde

vom anisotropen Ätzen Gebrauch gemacht, um dadurch die Brückenteile, d.h. die die Wärmeübertragung drosselnden Teile zwischen dem Heiz- und Temperaturdetektoranteil 62a (62'a) und den Halteteilen 64a und 64b (64'a und 64'b) zu verstärken.

Obwohl bei den obigen Ausführungsbeispielen temperaturabhängige Widerstände, die als Heiz- und Temepraturdetektorteil dienen, über die Isolierschicht auf dem Substrat ausgebildet waren, können auch die Diffusionswiderständestatt der temperaturabhängigen Widerstände im Substrat ausgebildet sein. Die erfindugnsgemäße Ausbildung kann auch bei anderen Strömungssensoren als Luftdurchsatzsensoren, beispielsweise bei Sensoren für den Flüssigkeitsdurchsatz angewandt werden.

Die erfindungsgemäße Ausbildung kann gleichfalls bei einem digitalen Strömungssensor angewandt werden, der über einen Auslöseimpuls gesteuert wird. Das heißt, daß bei einem derartigen Sensor ein derartiger Auslöseimpuls gegeben wird, um mit dem Heizen eines Heizwiderstandes zu beginnen. Das Heizen des Heizwiderstandes setzt sich dann fort, bis ein konstanter Temperaturunterschied zwischen zwei temperaturabhängigen Widerständen erreicht ist oder bis der stromabwärts liegende temperaturabhängige Widerstand einen konstanten Wert erreicht. In diesem Fall wird die Heizzeit als Mengenluftdurchsatz oder Volumenluftdurchsatz erfaßt. Eine derartige Auslöseimpulssteuerung hat den Vorteil, daß sich eine günstige Verlustleistung ergibt. Die Auslöseimpulssteuerung ist bei einem direkt beheizten Strömungssensor möglich.

Wie es oben beschrieben wurde, ergibt sich gemäß der Erfindung eine höhere mechanische Festigkeit der die Wärmeübertragung drosselnden Teile, wodurch der Strömungssensor widerstandsfähiger wird.

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Claims

Dr. F. Zumstein sen. - Dr. E.Ässrhani Dipl.-Ing. F. Klingseisen - Dr. F. Zumstein jun. PAT E N TA N WÄ LT E ZUGELASSENE VERTRETER BEIM EUROPÄISCHEN PATENTAMT REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE 3/40/my Case 5308 NIPPON SOKEN, Inc. - Japan Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung \ PATENTANSPRÜCHE

1. Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung zum Messen des Durchsatzes in einem Kanal,
gekennzeichnet

durch ein Substrat, das im Kanal angeordnet ist, einen Schichtwiderstand, der am Substrat ausgebildet ist und Wärme erzeugt sowie seine Temperatur wahrnimmt, eine Einrichtung, die im Substrat ausgebildet ist und die Wärmeübertragung des Schichtwiderstandes drosselt, eine Verstärkungskonstruktion, die an dem Teil des Substrates ausgebildet ist, an dem die die Wärmeübertragung drosselnde Einrichtung vorgesehen ist,und eine elektrische Leistungsregeleinrichtung, die mit dem Schichtwiderstand verbunden ist und die Wärme regelt, die durch den Schichtwiderstand erzeugt wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß das Substrat aus einkristallinem Silizium besteht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Verstärkungskonstruktion einen rippenartigen Aufbau hat, der durch anisotropes Ätzen des einkristallinen Siliziums gebildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß die die Wärmeübertragung drosselnde Einrichtung dadurch gebildet ist, daß im Substrat auf den Seiten des Schichtwiderstandes Öffnungen ausgebildet sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß die die Wärmeübertragung drosselnde Einrichtung dadurch gebildet ist, daß das Substrat auf den Seiten des Schichtwiderstandes verlängert ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Schichtwiderstand einen Diffusionswiderstand umfaßt, der im einkristallinen Silizium ausgebildet ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet,

durch einen temperaturabhängigen Widerstand zum Aufnehmen der Temperatur des nicht erwärmten Fluides im Fluidstrom, wobei der temperaturabhängige Widerstand im wesentlichen durch die Wärme unbeeinflußt bleibt, die vom Schichtwiderstand erzeugt wird und die elektrische Leistungsregeleinrichtung, die vom Schichtwiderstand erzeugte

Wärme nach Maßgabe der Temperatur des temperaturabhängigen Widerstandes regelt.

8. Verfahren zum Herstellen einer direkt beheizten Strömungsmeßvorricntung,
dadurch gekennzeichnet,

daß ein einkristallines Siliziumsubstrat mit einer (100) oder (110) Fläche gebildet wird, ein Widerstandsmuster auf einer ersten Außenfläche des Substrates vorgesehen wird, ein anisotropes Ätzen auf einer zweiten Außenfläche des Substrates durchgeführt wird, um dadurch die Heizmasse eines die Wärme erzeugenden und die Temperatur wahrnehmenden Teils zu verringern,und ein weiteres anisotropes Ätzen auf der zweiten Außenfläche des Substrates durchgeführt wird, um dadurch daran einen rippenartigen Aufbau auszubilden.