JPS61153598A - 希ガスホ−ルドアツプ装置の交互切換式脱湿塔再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、希ガスホールドアツプ装置の脱湿塔再生方法
に係り、特Ｃ″−原子力発電所施設関連の希ガスホール
ドアツプ装置の交互切換式脱湿塔再生方法に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ 原子力発電プラントでは、核分裂過程（ユよって今 例えば放射性四位元素の中の希ガスであるオセノン（Ｘ
ｅ）　、クリプトン（Ｋｒ　）などが生成される。こ虫 れらタセノン（Ｘｅ）　、クリプトン（Ｋｒ）などの希
ガスは非凝縮性ガスであり、沸騰水型原子炉や重水減速
水冷却型の転換炉ではこれら希ガスは、すべて気体廃棄
物処理系統：：持ち込まれる。そして、この気体廃棄物
処理系統では、希ガスホールドアツプ装置により上記の
希ガスを含む排ガスを処理し、放射能レベルを下げてか
ら大気中（ユ放出される０ このことを第４図を参照して説明する。同図は従来の気
体廃棄物処理系統のうち、特（−希ガスホールドアツプ
装置用除湿装置の詳細を示した系綾図である。

主復水器４０がら空気抽出器４１１：よって抽出された
排ガスは排ガス予熱器４２．排ガス再結合器４３、排ガ
ス復水器４４および弁５４を軽て冷却型除湿器４７に供
給される。系統ガス流量を調整する弁５４は流量計４５
Ｃ；よる検出流量Ｃ−基づいて流量調整器４６（−よっ
て制御される。この排ガスは冷却型除湿器４７（−おい
て冷凍機４８（；よって冷却され、プラインポンプ４９
１−よって循環除湿されるように構成されているが、除
湿器４７Ｃ；おいて氷が発生すると、再生操作が必要ζ
；なるので、プラインポンプ４９の温度は０℃以以上Ｃ
側制御れている。

ま几、活性アルミナ、モレキュラシーフなどの固体吸湿
剤を充填し九脱湿塔５０．５１は両者が交互切換式とな
っており、第４図（＝おいては、弁５５と弁５６が開、
弁５７と弁５８が閉であるので脱湿塔５０が脱湿状態（
−あり、一方、弁５９と弁６０が開。

弁６１と弁６２が閉であるので、脱湿塔５１Ｈ再生状Ｍ
（−ある。しｆＣがって、除湿器４７からの排ガスの一
部は弁５５ｖ経て脱湿塔５０で脱湿が行われ、弁５６、
活性炭吸着塔５２を経て排出される０ま九。

除湿器４７からの排ガスの他の一部は、加熱器５３で加
熱されてから弁６０を経て脱湿塔５１１；送られ。

この脱湿塔５１内の固体吸湿剤を加熱し、水分を離脱さ
せて、弁５９．管６３を通って除湿器４７（；戻される
。脱湿塔５０．５１の切り換えは、弁５５〜弁６２の切
換えＣユよって行なわれる。

この工う（−１従来、脱湿塔５０．５１内の固体吸湿剤
の再生は、排ガスの一部を用いて行うようＣ；構成され
ている。しかしながら、第４図Ｉ：示すよりな沸騰水型
原子炉における空気抽出器４１からの排ガス流量に主復
水器４０−’Ｃ，漏れ込み空気蓋によって決ブリ、その
排ガス流量が少なくなることがしばしばある。このよう
Ｃユ排ガス流量が少くなると、脱湿塔５０または脱湿塔
５１の再生が非常（ユ困Ｊｌｌ！ｌ：なる。ま之、脱湿
塔５０．５１の再生（；未処理の排ガスを使用している
ので、再生設備が汚染されるという不具合があつ友に の之め、再生の前に脱湿塔（ニー１’ｊｌ浄な空気を供
給し、この空気をさらに下流の活性炭吸着塔へ流すこと
でパージ運転を行ない、再生設備の汚染を防止したのち
脱湿塔内（；残留するパージ空気を利用して再生運転を
行なうという希ガスホールドアツプ装置の脱湿塔再生方
法（特公昭５８−２７４８０号公報参照）が提案されて
いる。しがしながら、この脱湿塔再生方法は、脱湿塔の
再生といり点では所定の性能を発揮するものと考えられ
るが、希ガスホールドアツプ装置本来の目的である希ガ
スの減衰という点からみると以下（ユ述べるような問題
点がある０このことシ一ついてさらＣユ詳細に説明する
Ｏ 今、希ガスホールドアツプ装置の希ガスのホールドアツ
プ時間なＴとすると、ＴＦ１通常下記（１）式（ユ基づ
いて計算される。

ここで、Ｔ：ホールドアツプ時間（Ｈｒ　）Ｋ：活性炭
の動的吸着係数（ｍ／Ｐ） Ｍ：活性炭ｔ（ｔｏｎ） Ｆニオ７ガス流量　（ｒｒＩＩ／Ｈｒ　）したがって、
上記したパージ空気が活性炭吸着塔内に流れるので所定
のホールドアツプ時間を確保する九めに、活性炭量を増
加させねばならないことになる。例えば、１１０万ＫＷ
タイプの沸騰水型原子力発電所では系統の流量が４ＯＮ
ｔｒｌ’／ｈで設計はれｆｃ場合、上記したパージ空気
が流入しない場合Ｃユ、６０トンの活性炭量であつ次も
のがパージを気を１ＯＮＷ？／ｈ程度流した場合≦ユＨ
７５トンの活性炭を充填しなければ同等の性能を発揮す
ることができず、このように活性炭量が増大することは
プラントの経済性の点からみても問題であった。

そこで、脱湿塔を再生する前Ｃユこの塔内なパージする
代り書−脱湿塔を数十日間Ｃ−わたり保持し。

内部（ユ滞留した希ガスを減衰きせ送波に再生を行なう
脱湿塔再生方法が提案されている。この脱湿塔再生方法
は非常Ｃユ簡便な方法であるが減衰期間中の脱湿塔１基
と脱湿運転中の１基、さらに冗長化のためＣユ待機中の
１基の合計３基が最低限必要となり、全体として系統が
大型かつ複雑となるという欠点がある〇 また、この他喀：脱湿塔の再生を主復水器の真壁を利用
して圧力スイング法Ｃユよって行なう脱湿塔の減圧再生
方法（特開昭５３−６８６８１号公報）が提案されてい
る。この方法は、脱湿塔内を主復水器と同程度の真空（
例えば７２２ｍ＋＋Ｈｆ真空）まで減圧することでモレ
キュラーシープなどの脱湿剤の再生を行なうとするもの
であるが、モレキュラーシープＣ−水蒸気が化学的Ｃユ
吸着されているため、脱気したのみでは吸着された水蒸
気がほとんど脱着されないので、実用面からみると、極
くわずかな程度の再生しか行ない得ないという欠点がめ
った。

［発明の目的コ 本発明は、上記従来技術の欠点を除去するもので、その
目的は脱湿塔再生系の放射線ζ二よる汚染を少くした希
ガスホールドアツプ装置の交互切換式脱湿塔再生方法を
提供するＣ：ある。

［発明の概要］ 本発明は、上記目的を達成するためシー、原子力発電プ
ラント（ユ設置された主復水器と、この主復水器内の排
ガスを抽出する空気抽出器、と、この空気抽出器から抽
出され友排ガスを処理するための冷却型除湿器と、この
冷却型除湿器ｌ二直列接続された固体吸湿剤を充填した
交互切換式脱湿塔と、この交互切換式脱湿塔Ｃユ直列接
続された活性炭吸着塔とを備えており、前記交互切換式
脱湿塔の第１の脱湿塔が脱湿中（ユ第２の脱湿塔が再生
するよう（ユした希ガスホールドアツプ装置の交互式脱
湿塔再生方法において、まず、前記第２の脱湿塔を前記
空気抽出器の上流側配管ま友は前記主復水器に遅通させ
て当該脱湿塔を真壁とすること（ユよりパージし１次（
−前記第２の脱湿塔と、再生ガス循環用装置と、再生ガ
ス加熱器と、冷却除湿器とで閉回路を構成するととも（
ユ前記第２の脱湿塔内に清浄な空気！供給して前記閉回
路内を循環させ。

かつ前記第２の脱湿塔を加熱再生する工うＣユしたもの
である。

［発明の実施例コ 本発明の一実施例を図面を参照して説−する。

第１図は、本発明の一実施例の希ガスホールドアツプ装
置の脱湿塔再生装置の系統図であり、特Ｃ；交互切換式
脱湿塔の再生側脱湿塔部分を詳細（；示しである。同図
に示すように、主復水器１がら空気抽出器２（−よって
抽出された排ガスは、排ガス予熱器３．排ガス再結合器
４．排ガス復水器５゜流量計６．弁１８を経て冷却型除
湿器８に供給される。この排ガスはこの冷却製除湿器８
から活性アルミナ、モレキュラ−フなどの固体吸湿剤を
充填した再生型脱湿塔９．活性炭吸着塔ｌＯ９粒子除去
フィルタＩＩ　、ジェットエジェクタ１２および排気筒
１３を経て大気中（ユ排出される。なお、系統ガス流量
の調整は、流量計６１−よる検出信号（ユ基づいて流ｆ
ｖＩ４整ｈ７に工って弁１８を制御することによって行
なわれる。［Ｌ再生型脱湿塔９の入口配管から分岐し、
再生型脱湿塔９の出口配管（−接続される閉回路２６す
なわち弁２）　、冷却除湿器１４．再ガス循環用プロワ
１５．再生ガス加熱器【６および弁２２からなる閉回路
２６を設けている。さらに、再生型吸湿塔９の入口配管
から弁２３を経て主復水器１６−到る配管２７を接続し
ている。また、再ガス循環用ブロワ１５の出口配管から
分岐して配管２７に接続される配管あおよび清浄な空気
を閉回路２６に補給する図示しない圧縮空気源に接続さ
れる配管２９を設けており、これら配管ア、２９≦ユそ
れぞれ調整弁２５．２４を設けこの調整弁ｓ、２４ｔ：
を再ガス循環用ブロワ１５の出ロ側ｌ二設置した圧力調
整器１７の出力信号Ｃユよって開閉制御されるよう（ユ
構成されている０次（−１上記の如き構成の本実施例口
おける脱湿塔９の再生方法について説明する。

脱湿塔９の再生、つまり内部Ｃ；充填されている固体吸
湿剤の再生を行なうときには、先ず、閉回路２６よりな
る再生系への放射性ガスの持ち込みを避ける九め、脱湿
塔９の入口弁１９を閉、主復水器１へ接続する弁ｎを開
とする。このとき弁１９．２０゜２）．２２．２５を閉
とし、脱湿塔９の内部を主復水器１と同じ真空とするこ
とで、脱湿塔９内Ｃ：残留してい送排ガスを主復水器１
へ環流させ、脱湿塔９内をパージする。主復水器１へ戻
された排ガスは、蒸気式空気抽出器２によって再び主復
水器１かも抽出され、希ガスホールドアツプ装置に導か
れる。

ここで、脱湿塔９内の排ガスは上記したよ５に主復水器
ｌへ戻しているが、これ以外ｌ：例えば蒸気式空気抽出
器２の上流側に戻してもよく、いずれの場合ε：も脱湿
塔９内を真空とすることができる〇ま友、脱湿塔９内を
パージする際（ユ、パージをより徹底するため、清浄な
空気おるいは運転中の脱湿塔（図示していない）を経た
排ガスを再生中の脱湿塔９内Ｃ；流すよう１；シてもよ
い。

次に、弁路な閉、弁２！と弁２２を開として閉回路２６
を構成し、再生ガスとしては、この閉（ロ）路２６すな
わち冷却除湿器１４　、ブロワ１５　、加熱６１６およ
び配管内（；残留してい友空気を用いるが、清浄な空気
を流入させても上い。そして、再生ガス循環用ブロワ１
５を起動させると、再生ガスを脱湿塔９→弁２）→冷却
除湿器１４→プロワ１５→加熱器１６→弁２２→脱湿塔
９の順序で閉回路２６内を循環させる。この閉回路２６
内では再生ガスは、加熱器１６で加熱されて高温（ユな
って脱湿４９１ユ送られるので、脱湿塔９内の固体吸湿
剤はこの再生ガスによって加熱され、固体吸湿剤に吸着
された水分は離脱して冷却除湿器１４で除去される。し
友がって、脱湿塔９内の固体吸湿剤（；吸着された水分
は充分に除去されるので、脱湿塔９は再生されること６
ユなる０このようにして脱湿塔９の再生が完了すると、
脱湿塔９を次の脱湿運転（ユ供するため、加熱器１６の
運転を止めて高温の固体吸湿剤が室温になるまで再生ガ
スの循環を引続き行い１強制冷却を行う。この場合、再
生ガスの循環をやめ、自然冷却してもよい。

よい。

また、上記した脱湿塔９の一連の再生操作において、再
生ガスの大幅な温度変化Ｃユより閉回路２６内の圧力が
変化するが、この圧力を一定値Ｃ：保持するため、再生
系の圧力を圧力調整器１７で検出し、加熱再生時（−お
ける再生ガスの体積膨張によって圧力上昇したと′＠ケ
、圧力調整器１７の出力信号によって調整弁２５の開閉
を制御して、再生ガスの一部を系外に排出させる。この
とき、この再生ガスの他の一部を脱湿塔９の上流側でか
つ系統の流量を調整する機構すなわち流量計６．流簀調
整器７および流量調整弁１８の上流側、例えば主復水器
ＩＣユ排出させ、予じめ定められ次系統流量を越えない
範囲でそのとき脱湿作業中の冷却型除湿器８゜運転中の
図示しない脱湿塔（第４図参照）、活性炭吸着塔ｌＯな
どを通して排ガス中の放射能レベルを下げてから大気中
４：放出するようＣユしている〇一方、脱湿塔冷却時に
おける再生ガスの体積減少（；よって圧力が下降し九と
きは、圧力ｖＩｉＪＩ器１７の出力によって調整弁別を
制御し、−足圧力になるよう清浄９気を補給する。この
とき、再生ガスの圧力を制御するのに、正圧力大気圧以
下とすることは再生ガスが微量とはいえ放射能を有して
いるので、被曝量低減の面からみても望ましいことであ
る。

本実施例は１以上述べ友ような一連の再生操作Ｃ；より
脱湿塔の再生方法は行表われるが、固体吸湿剤として使
用されているモレキニラシープの固体表面Ｉユ生じてい
る現象Ｉ；ついてさらＣ；詳細Ｃユ説明する。

第２図は合成ゼオライトなどのモレキュラシープの細孔
内に本蒸気おるいは希ガス（Ｋｒ、　Ｘｅなと）がｒ！
ＪＬ着され、１〜■の各処理段階を経て脱着されてゆく
様子を説明するための図である。合成ゼオライトの細孔
は１１′の吸着処理に示すよう（−マクロ孔３１とミク
ロ孔３２とがあり、ミクロ孔３２は結晶構造自体の間隔
で水蒸気ＨＩＯが化学吸着しており、ま九、マクロ孔３
］には希ガス（Ｋｒ、Ｘｅなど）や水蒸気ＨＩＯあるい
は極く微細なミストが物理的（；吸着されている。次の
１１′の脱気処理では、マクロ孔３１１ユ物理吸層され
ていた希ガスなどが除去され。

これは従来の空気パージ４二よるものと同じである０１
′の再生処理では熱を加えられるのでミクロ孔３２に化
学吸着していた水蒸気などの物質が除去される。そして
最後に、　”ｆＶ’の冷却処理が行なわれて細孔内Ｃユ
吸着された水蒸気および希ガスの脱着処理が終了する。

以上説明したようシュ、本実施例シーよる脱湿塔再生方
法Ｃ；よれば、以下（；述べるような効果を有する。す
なわち、従来の脱湿塔再生方法では脱湿塔を再生する前
の塔内パージははソ大気圧状態でパージ空気を流し、モ
レキュラシープＣ：吸着された希ガスを脱着させるよう
にしていたので、パージ空気を大量Ｃ；必要とする割（
ユはパージを徹底的に行なうことがむづかしいという不
具合があったが。

本実施例ではパージ空気を使用することなく、主復水器
内と同じ程度例えば７２２ｗＨｔの真空Ｃ−することで
はソ完全なパージができる。また、閉回路をつくって脱
湿塔の再生をする場合にもこの脱湿塔内が真空となって
いるため、再生運転中Ｃユ再生ガスが高温（例えば３０
０℃）となって膨張しても脱湿塔の体積１ユ相当する分
間回路内の圧力上昇を押さえることができるので、閉回
路外へ排出する再生ガスの量を従来方法より減らすこと
ができる。

さらＣユ、閉回路内の圧力を調整するため再生ガスの一
部を排出する場合本実施例では流′ｌ！ｔｖ４整機構の
上流側に次すようシーしたため流量調整ができるようＣ
；なり、従来の脱湿塔再生方法のように活性炭吸着塔Ｃ
ユ充填された活性炭ｍｌユ不必要な余裕を含める必要が
なくなる。しかも１本実施例１：よる真空パージは従来
の脱湿塔再生方法Ｃ：比べてきわめて短時間にパージを
完了できるので、再生Ｃ；要する時間を短縮することが
できるｏしたがって運転中の脱湿塔がバックアップなし
で運転しなければならない時間を短縮することができ、
装置の信頼性を一段と向上させることができる０第３図
は１本発明の他の実施例の希ガスホールドアツプ装置の
脱湿塔再生装置の系統図である。

同図嘔：示すよ５（−１調整弁すの接続先が主復水器ｌ
ではなくて活性炭吸着塔１０の下流配管に接続するよう
Ｉ：配管３０を設けた点のみが第１図の実施例と相違す
るので、上記実施例と同一構成個所１ユは同一符号を附
してその詳細な説明は省略する。

次に、本実施例シーよる脱湿塔の再生方法について説明
する。

先ず、閉回路よりなる再生系への放射性ガスの流入を避
けるため（−脱湿塔９の大口弁１９を閉、主復水器１へ
接続する弁２３を開、脱湿塔９の出口弁２０を閉、閉回
路２６の弁２）と弁四を閉Ｃニジて、脱湿塔９内を主復
水器１と同じ真空とすると、脱湿塔９内の残留排ガスは
主復水器ｌへ環流し、脱湿塔９内をパージする。ここで
、脱湿塔９内の残留排ガスは主復水器１以外に例えば蒸
気式空気抽出器２の上流側に戻してもよい０ま几、脱湿
塔９内をパージする際に清浄な空気あるいは運転中の図
示しない脱湿塔を経た排ガスを再生中の脱湿塔９内ζユ
流すよう１ユしてもよい。

次Ｃ：％弁四を閉、弁２）と弁２２を開として閉回路２
６を構成し、再生ガスはこの閉回路２６内Ｃ；残留して
い友空気を用いるが清浄な空気を流入させてもよい。そ
して、再生ガス循環用プロワ１５を起動させ、再生ガス
を閉回路２６内を循環させる。再生ガスは加熱器１６で
加熱されて高温となり脱湿塔９（−送られるので脱湿塔
９内の固体吸湿剤Ｃユ吸着され友水分はすべて離脱して
冷却除湿器１４で除去される。したがって脱湿塔９は再
生される。脱湿塔９の再生が完了すると、加熱器１６イ
運転を止め固体吸湿剤が室温Ｃ−なるまで再生ガス循環
Ｃ；よる強制冷却または自然冷却する。

ところで、上記した脱湿塔９の再生操作（ユおいて、加
熱再生時（ユ卦ける再生ガスの体積膨張によって閉回路
２６内の圧力が上昇すると、圧力調整器１７で検出し、
その出力Ｃユより調整弁２５を制御して再生ガスを配管
３０を経て活性炭吸着塔ｌＯの下流（；排出する。これ
（；よって閉回路２６内の圧力が一定値Ｃ−保持される
にのように脱湿塔９を再生するときに、閉回路２６内の
圧力が上昇した場合の再生ガスを活性炭吸着塔ｌＯの下
流（−排出することは。

再生操作前！−脱湿塔９のパージがはソ完全に行なわれ
ていることに着目し友ものである。このとき１再生ガス
は、吸湿剤中シーわずかＣ：残留した希ガスが脱着され
るため、多少の放射能濃度！有するが極く少量であり、
かつ活性炭吸着塔ＩＯの下流の配管を流れる排ガスの放
射能濃度より十分に低いためここ（ユ再生ガスを排出す
ること１；何等問題がない。

以上説明したようＣユ本実施例によればさきの実施例で
述べ九効果弓；さらに５次のような効果を有する。すな
わち、閉回路外（ユ排出される再生ガスを活性炭吸着塔
の上流側ではなく下流側に排出するので、活性炭吸着塔
が処理すべき排ガス量を安全かつ合理的に低減すること
ができる。

ま九、脱湿塔の再生操作において加熱再生時（；シける
再生ガスの体積膨張（ユよって閉ｆｃｊｌ路内の圧力が
上昇するが、この圧力を一足に保つため１−再生ガスを
主復水器と脱湿塔との間の系統中の任意伽所署二排出す
るよう（ユ構成してもよい。

［発明の効果］ 本発明の希ガスホールドアツプ装置の交互切換式脱湿塔
再生方法４：よれば、再生系の放射線Ｃ−よる汚染を非
常Ｃユ小さくすることができる。また、活性炭吸着塔Ｃ
ユ不必要な空気を流入でせない友め。

最大限に活性炭の性能を発揮させることができる。

さら１ユ脱湿塔の゛再生前に行なうパージは、極めて短
時間ではソ完全（；行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例１ユ係る希ガスホールドアツ
プ装置の脱湿塔再生装置の系統図、第２図はモレキュラ
シープの細孔内に吸着された水蒸気および希ガスが脱着
されてゆく様子を説明するための図、ＷＪＳ図は本発明
の他の実施例Ｅ；係る希ガスホールドアツプ装着の脱湿
塔再生装置の系統図、第４図は従来の希ガスホールドア
ツプ装置用除湿装置の系統図である。 ｌ・・・主復水器　　　　２・・・空気抽出器６・・・
流量計　　　　　７・・・流量調整器８・・・冷却型除
湿器　　９・・・脱湿塔ｌＯ・・・活性炭吸着塔　　１
４・・・冷却除湿器１５・・・再生ガス循環用プロワ １６・・・再生ガス加熱器　１７・・・圧力調整器１８
〜２５・・・弁　　　　　２６〜３０・・・配管代理人
　弁理士　猪　股　祥　晃（ほか１名）第　　２　　図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）原子力発電プラントに設置された主復水器と、該
   主復水器内の排ガスを抽出する空気抽出器と、該空気抽
   出器から抽出された排ガスを処理するための冷却型除湿
   器と、該冷却型除湿器に直列に接続された固体吸湿剤を
   充填した交互切換式脱湿塔と、該交互切換式脱湿塔に直
   列接続された活性炭吸着塔とを備えており、前記交互切
   換式脱湿塔の第１の脱湿率が脱湿中に第２の脱湿塔を再
   生するようにした希ガスホールドアップ装置の交互式脱
   湿塔再生方法において、まず、前記第２の脱湿塔を前記
   空気抽出器の上流側配管または前記主復水器に連通させ
   て当該脱湿塔を真空とすることによりパージし、次に、
   前記第２の脱湿塔と、再生ガス循環用装置と、再生ガス
   加熱器と、冷却除湿器とで閉回路を構成するとともに前
   記第２の脱湿塔内に清浄な空気を供給し再生ガスとして
   前記閉回路内を循環させ、かつ前記第２の脱湿塔を加熱
   再生するようにしたことを特徴とする希ガスホールドア
   ップ装置の交互切換式脱湿塔再生方法。
2. （２）前記第２の脱湿塔の再生中は前記閉回路内の圧力
   が一定となるように清浄空気の供給または前記再生ガス
   の排出をしている特許請求の範囲第１項記載の希ガスホ
   ールドアップ装置の交互切換式脱湿再生方法。
3. （３）前記第２の脱湿塔の再生ガスは、前記主復水器か
   ら前記第１の脱湿塔の間の系統中の任意個所に排出して
   いる特許請求の範囲第１項記載の希ガスホールドアップ
   装置の交互切換式脱湿塔再生方法。
4. （４）前記第２の脱湿塔の再生中は、前記閉回路内の圧
   力が一定となるように清浄空気の供給または前記再生ガ
   スを前記活性炭吸着塔の下流側に排出している特許請求
   の範囲第１項記載の希ガスホールドアップ装置の交互切
   換式脱湿塔再生方法。
5. （５）前記閉回路内に再生ガスを循環させるのに該閉回
   路内の圧力を負圧状態でかつ一定になるようにしている
   特許請求の範囲第２、３又は４項記載の希ガスホールド
   アップ装置の交互切換式脱湿塔再生方法。