JPS61151948A - 撮像管面板の製造方法 - Google Patents
撮像管面板の製造方法Info
- Publication number
- JPS61151948A JPS61151948A JP27306784A JP27306784A JPS61151948A JP S61151948 A JPS61151948 A JP S61151948A JP 27306784 A JP27306784 A JP 27306784A JP 27306784 A JP27306784 A JP 27306784A JP S61151948 A JPS61151948 A JP S61151948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- transparent electrode
- signal pick
- signal output
- image pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/233—Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、撮像管面板の製造方法に関するものである。
（従来技術とその問題点）
第２図ａ ＝ ｆに従来の製造方法の例を示す。基板（
第２図ａ）］上に例えばＡｕ ＋Ａｇ ｌＣｒ ＋ Ｃ
ｕ ｒ Ｆｅ等のマスク蒸着あるいは蒸着膜のホトエツ
チング等で信号取出配線２を形成する（第２図ｂ）。次
に。
第２図ａ）］上に例えばＡｕ ＋Ａｇ ｌＣｒ ＋ Ｃ
ｕ ｒ Ｆｅ等のマスク蒸着あるいは蒸着膜のホトエツ
チング等で信号取出配線２を形成する（第２図ｂ）。次
に。
パッド部３に信号取出ピンを通す孔４を形成し悌２図ｃ
Ｌ この孔に信号取出ピン５を通してはんだ６でパッド
に接続・固定する（第２図ｄ）。この後、はんだの上を
含めて例えば酸化スズ等の。
Ｌ この孔に信号取出ピン５を通してはんだ６でパッド
に接続・固定する（第２図ｄ）。この後、はんだの上を
含めて例えば酸化スズ等の。
透明電極７を形成する（第２図ｅ）。最後に各種の光電
変換膜８を形成して面板が完成する（第２図ｆ）。
変換膜８を形成して面板が完成する（第２図ｆ）。
この製造方法では、はんだ６のエツジ部での段差が犬で
あるため、この部分で透明電極にクラック、剥離が生じ
易い。特に撮像管完成後に剥離が生じると画像欠陥に直
結し、不良の原因となる。
あるため、この部分で透明電極にクラック、剥離が生じ
易い。特に撮像管完成後に剥離が生じると画像欠陥に直
結し、不良の原因となる。
また、透明電極７をパッド外周まで形成するため。
外管と面板の圧着に用いるＩｎ’Ｊング（図示せず）と
透明電極との間の余裕が小さくなり、透明電極７とＩｎ
リングとが接触する可能性が太き（なる。
透明電極との間の余裕が小さくなり、透明電極７とＩｎ
リングとが接触する可能性が太き（なる。
本来信号取出ピン５を用いるのは、透明電極７とＩｎ
ＩＪソングを分離するためであり、これらが接触した
ものは不良である。
ＩＪソングを分離するためであり、これらが接触した
ものは不良である。
これらの問題点を除くには、はんだ部を避けて透明電極
を形成すればよいが、はんだに高さがあるので、マスク
でカバーするのは困難である。また、カバーしたとして
も、第３図に示すようにマスク９が厚いものとなるので
、形成される透明電極７に膜厚のむらが生じる。
を形成すればよいが、はんだに高さがあるので、マスク
でカバーするのは困難である。また、カバーしたとして
も、第３図に示すようにマスク９が厚いものとなるので
、形成される透明電極７に膜厚のむらが生じる。
゛（目的）
本発明はこのような欠点を除いた撮像管面板の製造方法
を与えるものである。
を与えるものである。
（実施例）
第１図ａ ＝ ｆに本発明の実施例を示す。第１図ａに
示す基板１に同図すのように信号取出配線２を２例えば
Ａｕ 、Ａｇ 、Ｃｕ 、 Ｃｒ 、Ｐｄ 、 Ｆｅ等
の金属のマスク蒸着、あるいは蒸着・スパッタリング等
で形成した膜のホトエツチング等で形成し、第１図Ｃの
ようにパッド３に信号取出ピンを通す孔４を形成する。
示す基板１に同図すのように信号取出配線２を２例えば
Ａｕ 、Ａｇ 、Ｃｕ 、 Ｃｒ 、Ｐｄ 、 Ｆｅ等
の金属のマスク蒸着、あるいは蒸着・スパッタリング等
で形成した膜のホトエツチング等で形成し、第１図Ｃの
ようにパッド３に信号取出ピンを通す孔４を形成する。
次に第１図ｄパッドを避けて酸化スズ、ＩＴＯ等の透明
電極７をＣＶＤ、スパッタリング、蒸着等によって形成
する。このとき９図示しないが透明電極７とパッド３は
電気的に接続される。その後。
電極７をＣＶＤ、スパッタリング、蒸着等によって形成
する。このとき９図示しないが透明電極７とパッド３は
電気的に接続される。その後。
第１図ｅのように孔４に信号取出ピン５を通し。
パッド３にはんだ６で接続φ固定する。最後に第１図ｆ
に示すように各種光電変換膜８を形成する。
に示すように各種光電変換膜８を形成する。
この製造方法では、透明電極形成工程で大きな段差が無
いので、透明電極のクランク、剥離は生じない。また、
透明電極形成時のマスクも容易である。マスクは薄いも
のが使用できるので、マスクの厚さによる透明電極の膜
厚むらは生じない。
いので、透明電極のクランク、剥離は生じない。また、
透明電極形成時のマスクも容易である。マスクは薄いも
のが使用できるので、マスクの厚さによる透明電極の膜
厚むらは生じない。
さらに、透明電極とＩｎ ＩＪングとの間の余裕を大き
くできるので、これらの接触は生じない。
くできるので、これらの接触は生じない。
また、信号取出ピンのパッドへの接続固定は。
パッドで金属膜が露出しているので９通常のはんだ付ゆ
で容易に行うことができる。
で容易に行うことができる。
なお、基板は通常のガラス基板の他、ストライプ・フィ
ルタを有するものであっても２本発明を適用できる。
ルタを有するものであっても２本発明を適用できる。
（効果）
以上述べたように２本発明によれば、透明電極の良質な
撮像管面板を容易に作成することができる。
撮像管面板を容易に作成することができる。
第１図ａ−ｆは本発明の実施例を示す製造方法の断面図
、第２図ａ ＝ ｆは従来の製造方法の例を示す断面図
、第３図は従来の他の実施例を示す断面図。 １：基板、２：信号取出配線、３：パノド、４：孔、５
：信号取出ピン、６：はんだ、７：透明電極、８：光電
変換膜。 第２図 第１図 ＋ ＋ 第３図
、第２図ａ ＝ ｆは従来の製造方法の例を示す断面図
、第３図は従来の他の実施例を示す断面図。 １：基板、２：信号取出配線、３：パノド、４：孔、５
：信号取出ピン、６：はんだ、７：透明電極、８：光電
変換膜。 第２図 第１図 ＋ ＋ 第３図
Claims (1)
- 少くとも、金属膜で形成した信号取出配線、信号取出配
線にはんだ付けによって接続、固定された信号取出ピン
及び透明電極を有する撮像管面板において、透明電極を
信号取出配線の上へ、信号取出配線と信号取出ピンとが
はんだ付けによって接続・固定されるパッド部を避けて
形成した後、該パッド部に信号取出ピンをはんだ付けで
接続・固定することを特徴とする撮像管面板の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27306784A JPS61151948A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 撮像管面板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27306784A JPS61151948A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 撮像管面板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151948A true JPS61151948A (ja) | 1986-07-10 |
Family
ID=17522683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27306784A Pending JPS61151948A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 撮像管面板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151948A (ja) |
-
1984
- 1984-12-26 JP JP27306784A patent/JPS61151948A/ja active Pending
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