JPS61113214A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はセラミック基板などの上に作製された厚膜、薄
膜抵抗体素子のトリミング方法に関するものである。

従来の技術 近年２機器の小型化が進むにつれ、電子部品の実装も高
密度化の傾向にある。その実装方法の１つにハイブリッ
ドＩＣ（以下ＨＩＣと称ぶ）がある。このＨＩＣに用い
られる抵抗体の製造方法はセラミック基板上に抵抗体電
極ならびに配線バタターンの形成後、印刷あるいは蒸着
により抵抗体を形成する。しかし１作製された抵抗体の
抵抗値は印刷・焼成あるいは蒸着条件によりバラツキが
生じる。そのため抵抗体の抵抗値を所望の値とするため
に、抵抗体にトリミングをおこない、抵抗値を増大させ
、所望抵抗値を得ている。この抵抗値調整には、抵抗体
単体の抵抗値そのものを所定値にトリミングする素子ト
リミングと２回路を動作させ、その回路特性（発振周波
数ｇｂ：）を計測しながら、所定値まで調整用抵抗体を
トリミングする機能トリミングの２種類がある。近年、
抵抗体実装の高密度化および抵抗体の小型化の傾向にあ
るため、ますますトリミングによる抵抗値調整が重要と
なりつつある。

以下、図面を参照しながら、従来の抵抗体のトリミング
方法について説明する。第５図は、従来の抵抗体のトリ
ミング方法を説明するためのブロック図で、１はＨＩＣ
基板、２，３は抵抗値Ｒ０１゜Ｒｏ２を有する印刷抵抗
体、４，５，６，７は抵抗体電極部に圧接されたプロー
ブ、８は抵抗体２゜３の抵抗値を順番に測定する初期抵
抗値計測手段、９は初期抵抗値計測手段８より得られた
抵抗体の初期抵抗値Ｒ０ｉ（ｉ＝１，２）と抵抗体２，
３の形状寸法ならびに所望抵抗値Ｒｔ、（ｉ　＝　１　
ｔ　２　）からトリミング量ｌ。ｉ（ｉ＝１．２）を計
算するトリミング量計算手段、１０は抵抗体２，３上に
レーザ１１の集光点１２をトリミング量！。１だけ移動
させトリミングをおこなうトリミング手段である。また
、第６図中の破線部Ａは抵抗値計測位置決めステージ、
破線部Ｂはトリミング位置決めステージである。

以下、第６図を参照しながら、その動作を説明する。ま
ずＨＩＣ基板１を抵抗値計測ステージＡに位置決めして
、プローブ４，５，６．７を抵抗体電極部に圧接し、抵
抗体２，３の初期抵抗値Ｒｏｉ（ｉ＝’　？２）を初期
抵抗値計測手段８にて計測する。次にプローブ４，５，
６．７を外した後、ＨＩＣ基板１をトリミングステージ
Ｂに移動して位置決めすると共に、トリミング量７０．
（ｉ＝１，２）をトリミング量計算手段９にて計算する
。トリミング手段１ｏはレーザ集光点１２を前記計算で
求めたトリミング量’０１だけ抵抗体２上を、また、ト
リミング量’ｏ２だけ抵抗体３上をそへれそれ移動させ
、トリミングが完了する。第６図にトリミング後の外観
図を示す。１３ａ、１３ｂは抵抗体に付加された電極、
１４はトリミング溝である。またＷは抵抗体幅、Ｌは抵
抗体長を表す。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記のような方法では、求められたトリ
ミング量を精度よく抵抗体にトリミングをおこなう必要
があるがＨＩＣＩＣ上根上抗体を作製する場合、通常、
所望抵抗値により数種類の印刷インクと、印刷マスクを
用いる必要があるため、印刷マスクの位置決めバラツキ
により、抵抗体が作製される位置はＨＩＣ基板ごとにバ
ラツキが生じる。そのため、抵抗体位置を正確に知るこ
とが不可能になる。したがって、抵抗体に精度よく、計
算量のトリミングを施すことが不可能となり、抵抗値誤
差が大きくなるという問題があった。

本発明の目的は、従来の問題点を排除した抵抗体のトリ
ミング方法を提供することにある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため、本発明の抵抗体のトリミン
グ方法は、抵抗体に複数回のトリミングを施すことによ
り、所望抵抗値を得るトリミング方法であって、最終回
目以外のトリミング後、抵抗体の抵抗値を測定し、測定
された抵抗値と初期抵抗値とトリミング終了位置と抵抗
体の形状値から抵抗体位置を検出、検出した抵抗体位置
から次回のトリミングをおこなうものである。

作　　　用 本発明は上記したように、抵抗体に複数回のトリミング
を施し、抵抗体位置を検出するものであるから、高精度
にトリミングをおこなうことができる・ 実施例 以下本発明の一実施例の抵抗体のトリミング方法につい
て、図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の抵抗体のトリミング方法を説明するだ
めのブロック図であり、１１５は抵抗値測定手段、１６
はトリミング量、抵抗体位置計算手段である。第２図は
本発明における抵抗体のトリミング方法の説明図であり
、１８は抵抗体、１７ａ。

１７ｂは電極、１９は第１回目のトリミング溝、２０は
第２回目のトリミング溝であり、２回目のトリミングに
より所望抵抗値を得るための説明図である。　・ なお、ａ点は抵抗体近傍の第１回目のトリミング始点、
ｂは第１回目のトリミング終了点、Ｃは計算により求ま
る抵抗体エツジ点であり、ｄは第２回目のトリミング終
了点である。ここでは、簡単のために３の抵抗体につい
てのみ、かつ２回のトリミングにより、所望抵抗値を得
る方法について説明する。まず、ＨＩＣ基板１を抵抗値
計測ステージＡに位置決めして、プローブ６．７を抵抗
体３の電極に圧接して、初期抵抗値Ｒ０を測定する。

次に計算手段１ｅにより、第１回目のトリミング量１１
　　を算出するとともに、ＨＩＣ基板をトリミングステ
ージＢに位置決めする。この１１　　は抵抗体幅をＷ１
抵抗体長をＬとし、また、所望抵抗値をＲ，とし、ｉ＝
１とすれば、次式で求まる。

但し、πは円周率、０〈ｘ≦１、ｉは整数（１）式にお
いて、Ｘは通常０．９程度の定数が選ばれる。次に、Ｈ
ＩＣ基板をトリミングステージＢにおくり、トリミング
手段１ｏにより、（１）式により求まった１１　　を抵
抗体近傍点ａより、抵抗体長に垂直の方向に施す。その
時の外観図を（第２図ａ）に示す。なお、トリミング位
置は、電極１７ａ。

１７ｂの中央付近に施す。いま、ｂ点でトリミングが終
了したとする。したがって、抵抗体エツジ点ｃｆ知るた
めには、距離１１２を知ればよい。次に、ＨＩＣ基板１
をステージＡに移動させ、プローブ６．７を再び抵抗体
３の電極に圧接し、その抵抗体値をＲ１とすれば、”１
２は次式でｉ＝１として求まる。

但し、πは円周率、ｉは整数 したがって、（２）式で求まった１１２とｂ点位置より
、０点を求めることができる。以上のように計算手段１
６により、１１゜を求めｂ点位置とから０点を計算によ
り求めることができ、つまり、抵抗体位置（抵抗体エツ
ジ点）が検出されたことになる。

次に第２図（均を用いて、第２回目のトリミングにより
、所望抵抗値を得る方法について説明する。

第２図（坤は第２回目のトリミングを終了した抵抗体の
外観を示している。今、Ｒｔ　を得るためのトリミング
量１２　は（１）式でｘ　＝　１．１＝２として求める
ことができる。以上の１２は計算手段１６により求めら
れ、トリミング手段１０におくられるとともに、ＨＩＣ
基板は、トリミングステージＢに、位置決めされる。次
に、トリミング手段１゜は、１２量だけ０点よりトリミ
ングをおこなう。

以上の手つづきにより、抵抗体位置が検出され、トリミ
ングがおこなわれ、Ｒｔ　を得ることができる。なお、
第２図において、１１，１２を同一位置におこなうと表
現したが、第３図のように、１１，１２を離しておこな
ってもよい。また、ｉ１２は０点よりおこなうとしたが
、ｂ点よりＣ１２”１２）量のトリミングをおこなって
もよいことは明らかである。また、１１　　を求める際
、ｘ＝０．９としたが、これはｘ　＝　０．９に限定さ
れるものではなく、求められた１１　　が０点より内側
つまり、抵抗体に十分トリミングが施されるトリミング
量になる定数であれば、Ｏ＜ｘ≦１の範囲でいくらでも
よい。以上、抵抗体３について説明したが、抵抗体２に
ついても同様であり、また、多数の抵抗体がＨＩＣ基板
上に作製されていても同様の手続きにより、トリミング
することができる。以上のことは以下の説明についても
同様である。

次に、３回のトリミングによりＲｔ　　を得る方法につ
いて、第１図と第３図を参照しながら説明する。第４図
は、３回のトリミングによりＲｔ　　を得る説明図であ
り、２１は第３回目のトリミング溝であり　ｃ／　は２
回目のトリミング後、計算によ゛り求まる抵抗体エツジ
点である。以下の説明も抵抗体３に限って説明する。Ｊ
まず、ＨＩＣ基板１に抵抗値計測ステージに位置決めし
て、プローブ６゜７を抵抗体３の電極に圧接して、初期
抵抗値Ｒ０を測定する。次に、計算手段１６により、第
１回目のトリミング量１１　　を算出するとともに、Ｈ
ＩＣ基板をトリミングステージＢに位置決めする。こ（
Ｄｌｌ　は（１）式でｉ＝１、ｘ　＝　０．９として求
まる。

次に（１）式により求まった１１　　を抵抗体３の近傍
点ａより、抵抗体長に垂直の方向に施す。その時の外観
図を〔図４（ａ）、）に示す。今、トリミング手段１ｏ
によりトリミングをおこない、ｂ点でトリミングが終了
したとする。したがって、エツジ点Ｃを知るためには距
離１１゜を知ればよい。次に、ＨＩＣ基板１をステージ
Ａに移動させ、プローブ６．７を再び抵抗体３の電極に
圧接し、その抵抗値をＲ１とすれば、１１゜は（；４式
でｉ＝１とすることにより求まる。したがって、（榊式
で求まったｌ１□とｂ点位置により、０点を求めること
ができる。次に第４図（麹を°用いて、第２回目のトリ
ミングにより、０点を補正し、さらに抵抗体エツジ点と
して適正な０７点を求める方法について説明する。

第４図（均は第２回目のトリミングを終了した抵抗体の
外観を示している。第２回目のトリミング量１２は（１
）式でｘ　＝　０．９５、ｉ＝２として求めることがで
きる。以上１１゜、１２とＣ点位置は計算手段１６によ
り求められ、それらは、トリミング手段１０におくられ
るとともに、）（ＩＣ基板はトリミングステージＢに位
置決めされる。次に、トリミング手段１０は、１２量だ
け０点よりトリミングをおこなう。次に、ＨＩＣ基板を
抵抗値測定ステージＡにおくり、再びプローブ６．７を
電極に圧接し、抵抗値を測定する。今、その抵抗値をＲ
２とする。次に、（坤式でｉ　＝　２として１２□を求
め、またｄ点と”２２より０７点を求め、また（１）式
でｘ＝Ｌｏ。

ｉ＝３として所望抵抗値を得るための１３　　を、計算
手段１６により求めるとともに、ＨＩＣ基板をトリミン
グステージＢに位置決めする。次に、０７点より１３量
のトリミングをトリミング手段によりおこないトリミン
グは完了する。以上のように、０点を求め、次に０点か
らトリミングをおこない０７点を求めることにより、よ
り正確な抵抗体エツジ点を検出することができ、したが
って、高精度のトリミングをおこなうことができる。上
記の説明において、１回目の１１　　を求める際、ｘ＝
０．９（このＩをｘｌ　　とする）、２回目の１２を求
める際Ｘ＝α９５（このＩをｘ２　とする）としたが、
この定数にかぎったものではなく、ｅｌが十分抵抗体に
トリミングが施される値でかつ、Ｘｘｌ〈ｘ２≦１の関
係であればいくらでもよい。

発明の効果 以上の説明から明らかなように、抵抗体に複数回のトリ
ミングを施すことにより、所望抵抗値を得るトリミング
方法であって、トリミング量は、抵抗体の形状値と初期
抵抗値と所望抵抗値から算出し、最終回目以外のトリミ
ング後、抵抗体の抵抗値を測定し、測定された抵抗値と
初期抵抗値とトリミング終了位置と抵抗体の形状値から
抵抗体位置を検出し、検出した抵抗体位置より次回のト
リミングをおこなう抵抗体のトリミング方法であるから
、抵抗体基板の位置決めは低精度でよく、また、基板ご
とに抵抗体の位置がバラツクため、抵抗体に施すトリミ
ング量に誤差が生じるという問題点がなくなシ、高精度
にトリミングをおこなうことができ、その生産性にあた
える効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の抵抗体のトリミング方法を示す図、第
２図、第４図はトリミング方法を示す図１、第３図は本
発明のトリミング方法を抵抗体にほどこしたときの外観
図、第５図は従来の抵抗体のトリミング方法を示す図、
第６図は従来のトリミング方法を抵抗体にほどこしたと
きの外観図である。 １・・・・・・ＨＩＣ基板、’２．３・・・・・・抵抗
体、４，５゜６．７・・・・・・グローブ、８・・・・
・初期抵抗値測定手段、９・・・・・・トリミング量計
算手段、１Ｑ・・・・・・トリミング手段、１１・・・
・・・レーザ光、１２・・・・・・レーザ集光点、１３
ａ、１３ｂ・・・・・・電極、１４・・・・・・トリミ
ング溝、１５・・・・・・抵抗値測定手段、１６・・・
・・・トリミング量および抵抗体位置計算手段、１７ａ
、１７ｂ・・・・・・電極、１８・・・・・・抵抗体、
１９・・・・・・第１回目のトリミング溝、２０・・・
・・・第２回目のトリミング溝、２１・・・・・・第３
回目のトリミング溝。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第２
図 １７ａ、ｔ７６・・・置場 トリミレフ゛４１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 抵抗体に複数回のトリミングを施すことにより、所望抵
   抗値を得るトリミング方法であって、トリミング量は、
   抵抗体の形状値と初期抵抗値と所望抵抗値から算出し、
   最終回目以外のトリミング後、抵抗体の抵抗値を測定し
   、測定された抵抗値と初期抵抗値とトリミング終了位置
   と抵抗体の形状値から抵抗体位置を検出し、検出した抵
   抗体位置より、次回のトリミングをおこなう抵抗体のト
   リミング方法。