JPS59188158A - 機能トリミング方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １〔、発明の利用分野〕 本発明は、集積回路等の機能調整トリミングを自動的に
行う機能トリミング装置において、その機能トリミング
を高速で行いうるように制御・処理するための機能トリ
ミング方式に関すこの種の機能トリミング装置において
は、従来、その調整精度（トリミング精度）を高くする
ため、例えは、その機能トリミングの初期と後期とでト
リミング速度を変化させることにより、ト１７　ミンク
量が最初に粗く、徐々に微細となるように制御・処理を
していた。

このような従来方式では、例えば、調整対象の電圧を４
ηノ変換したものと、ディジタルスイッチによって設定
した目標値とをコンパレータで比較してトリミングの続
行、停止の制御を行っている。なお、目標値に到る途中
に中間目標値を設定してトリミング速度を切り替ること
も行っている。

したかって、トリミング途中の特性値と目標値、中間目
標値との差に関係なく一定速度でトリミングが行われる
ことになるので、その差力を特に大きい場合にはトリミ
ングの高速化が阻害されるという問題があつ左。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、ト
リミング精度を良好に保ちな力；ら、その機能トリミン
グを高速で行℃・５るよ５に！＋制御・処理をする機能
トリミング方式を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明に係る機能トリミング方式の構成＆−１、ワーク
の搬送・位置決めをし、その対象音す分についてのトリ
ミングと機能特性測定とを交互に繰り返して所望の機能
トリミングを行うようにする機能トリミング装置におい
て、機能トリミングをすべぎワークの対象部分の機能ト
リミング特性に基づき、その最大特性変化率と、これを
除することによって、予測初期特性変化率を舞、出する
のに供せられる初期変化率予測定数と実際の特性変化率
に加算して次回の予測特性変化率を得るために上記最大
特性変化率と当該特性変化率との差を除することによっ
て、上記加算の量を算出するのに供せられる中間加算補
正定数とを設定しておき、順次、上記の予測初期特性変
化率および各中間の予測特性変化率を算出し、それらで
調整目標値と各現特性値との差を除、して得た各所要ト
リミング量により、逐次に所望の機能トリミングを行わ
しめるように制御・処理するものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。

第１図は、本発明に係る機能トリミング方式の一実施例
の方式構成図、第２図は、その処理フローチャート、第
３図は、同トリミング特性図である。

ここで、１は、機能トリミング対象のワークＷ（例えば
、被調整の集積回路）の搬送・位置決めをする搬送・位
置決め装置、２は、ワークＷの対象部分の特性値を測定
する測定装置、ろは、トリミング用のレーザビームを出
力するレーザ発振器、４は、そのレーザビームを走査す
るレーザビーム走査装置、５は、上記各装置の制御を行
って機能トリミングのために所要の処理を実行する処理
装置である。なお、トリミング量 よるものに限定する必要はな℃・０ まず、処理装置５の制御により、搬送・位置決め装置１
は、ワークＷをワーク着脱位置からトリミング位置へ搬
送・位置決めしたのち、池１１定装埴２とワークＷとを
電気的に接続せしめる。

次に、測定装置又は、ワークＷを動作状態にして、その
対象部分の特性値を測定し、その初期特性値Ｘ。を処理
装置５に読み取らせる、処理装置５は、あらかじめ設定
しである調整目標範囲（Ｓｏ±Ｔｏ　）内に測定値Ｘ。

が入っているか歪かを判定する。ここで、Ｓｏは調整目
標値（中心値）、ｆｏは許容公差である。

いま、測定値Ｘ。が上記範囲内にあれは、トリミングは
行わず調整終了としてワークＷを着脱位置へ戻す。

範囲外であれは、処理装置５は、あらかじめ設定されて
いるクロックＷの最大特性変化率１ｍ日を所定の初期変
化−率予測定数ｒＬ（ｒＬ〉１）で割った値を、初回の
トリミング時の予測特性変化率β　　とし、初回のトリ
ミング長（量）ｐ Ｌｏを次式に従って演算する。

Ｌｏ＝　（Ｓｏ　　Ｘｏ　）／β０．　・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）（βｏｐ
−βｍ、ａ工／ｎ） 次に、レーザ発振器６を発振させながらレーザビーム走
査装置４を制御して、ワークＷ上の被トリミング部品を
長さＬつだけ切断し、レーザ発振、レーザビーム走査を
停止して特性値を測定する。

このときの特性値をＸ、とし、トリミング長り。

に対する特性変化率β。を次式に従って演算する。

βｏ　−（Ｘ＋　　”ｏ−）　／　Ｌｏ　　・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（２＋
一方、トリミング長に対する特性変化曲線は第６図に示
すように、一般に漸増曲線であるから、次回の予測特性
変化率β１ｐを、所定の中間加算補正定数ｍを用いて、
上記β。に対して次式のように加算補正して求める。

β１ｐ＝β。＋（βｒｎａｘ−βＯ）／７１Ｌ１７１１
＞１　　・・・・・・（３）ここで得た予測特性変化率
β１．により、次回のトリミング長Ｌ１を次式に従って
演算する。

Ｌ＋　＝　（Ｓｏ　　”＋　）／β、ｐ　・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４
）ここで、前回同様トリミング長Ｌ１だけトリミングを
行った後、再度、特性測定を行う。

このようにして特性値Ｘｉが調整目標範囲（ＳＯ±７′
ｏ）に入るまで、演算、トリミング、測定を繰り返す。

２回目以降の演算は、−膜形として次式で表わされる。

βす＝βｚ−＋　＋　（βｍａｒ−βｉ−，）／−・・
・・・・（５）Ｌｉ　＝　（Ｓｏ　　Ｘｉ　）　／β、
Ｐ　　・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・（６）ここで最大特性変化率βｍａ工は、ト
リミング対象のワークの初期値から調整目標値へ到るま
でに、トリミング長に対する特性値の変化率が最大のも
のであり、ワークを構成する部品の特性偏差テークによ
って個々に異なるが、変化率を最大にする条件を求める
ことにより、あらかじめ設定することができる。

同様に、初期状態の特性変化率を予測する初期変化率予
測定数ル、およびトリミング途中で変化率を加算補正す
る中間加算補正定数ｍの値も、あらかじめ設定しておく
。以上の各定数はあらかじめ実験することなどによって
得ることもできる。

以上のように、ワークの特性変化率の偏差に対し、各段
階の特性変化率を予測して各特性に適した切断長を算出
し、高速、高精度で機能トリミングを実行することがで
きる。すなわち、特性値と調整目標値との差が太きいと
きは、その差に比例した長い距離をトリミングすること
ができ、目標値に近つくに従って短い距離をト弛２図 千二図 →Ｌリミ〉り゛に

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　ワークの搬送・位置決めをし、その対象部分につ
   いてのトリミングと機能特性測定とを交互に繰り返して
   所望の機能トリミングを行うよ５Ｖ：、する機能トリミ
   ング装置において、機能トリミングをすべきワークの対
   象部分の機能トリミング特性に基づき、その最大特性変
   化率と、これを除去ツーることによって、予測初期特性
   変化率を算出するのに供せられる初期変化率予測定数と
   、実際の特性変化率に加藷−シて次回の予測特性変化率
   を得るために上記最大特性変化率と上記実際の特性変化
   率との差を除することによって、上記加算の量を算出す
   るのに供せられる中間加賀、補正定数とを設定しておき
   、順次、上記の予測初期特性変化率および各中間の予測
   特性変化率を算出し、それらで調整目標値と各現特性値
   との差を除して得た各所要トリミング量により、逐次に
   所望の機能トリミングを行わしめるように制御・処理す
   ることを特徴とする機能トリミング方式。