JPS5929446A - 機能トリミング方法 - Google Patents
機能トリミング方法Info
- Publication number
- JPS5929446A JPS5929446A JP57139179A JP13917982A JPS5929446A JP S5929446 A JPS5929446 A JP S5929446A JP 57139179 A JP57139179 A JP 57139179A JP 13917982 A JP13917982 A JP 13917982A JP S5929446 A JPS5929446 A JP S5929446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- adjustment
- value
- range
- function
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/242—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、集積回路等の機能調整トリミングを自動的に
行う機能トリマにおいて、その機能トリミングを高速で
制御・処理するだめの機能トリミング方式に関するもの
である。− この種の従来の機能トリマは、その調整精度（トリミン
グ精度）を高くするため、例えば、その機能トリミング
の初期と後期とでトリミング速度を変化させることによ
り、トリミング量が最初に粗く、徐々に微細となるよう
に制御・処理をしていた。したがって、比較的に高速化
が困難であった。
行う機能トリマにおいて、その機能トリミングを高速で
制御・処理するだめの機能トリミング方式に関するもの
である。− この種の従来の機能トリマは、その調整精度（トリミン
グ精度）を高くするため、例えば、その機能トリミング
の初期と後期とでトリミング速度を変化させることによ
り、トリミング量が最初に粗く、徐々に微細となるよう
に制御・処理をしていた。したがって、比較的に高速化
が困難であった。
このような機能トリミング方式は、ある程度、調整精度
を犠牲にすれば高速化も可能であるが、特性値測定、同
読取りを行って調整目標値との差を解析した後にトリミ
ング量を決定するというように、調整精度を良好に保っ
て高速で機能トリミングを行うのには適していない。
を犠牲にすれば高速化も可能であるが、特性値測定、同
読取りを行って調整目標値との差を解析した後にトリミ
ング量を決定するというように、調整精度を良好に保っ
て高速で機能トリミングを行うのには適していない。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、ト
リミング精度を良好に保つとともに当該機能トリミング
を高速で制御・処理することができる機能トリミング方
式を提供することにある。
リミング精度を良好に保つとともに当該機能トリミング
を高速で制御・処理することができる機能トリミング方
式を提供することにある。
本発明に係る機能トリミング方式の構成は、ワークの位
置決めをし、その対象部分についてのトリミングと特性
値測定とを交互に繰り返して機能トリミングを行う機能
を有する機能トリマにおいて、調整目標範囲に至るまで
の間に複数段階の調整範囲を設定しておき、トリミング
の対象部分の特性値がいずれの調整範囲内にあるかを判
定するとともに、調整目標範囲の中心値と当該特性値と
の差に応じて当該調整範囲対応の所定のトリミング定数
に基づき所要の、トリミング量を決定して機能トリミン
グを行わしめ、以後、順次に同様の処理を繰り返して上
記対象部分の特性値を調整目標範囲内に入れるように制
御・処理をするものでちる。
置決めをし、その対象部分についてのトリミングと特性
値測定とを交互に繰り返して機能トリミングを行う機能
を有する機能トリマにおいて、調整目標範囲に至るまで
の間に複数段階の調整範囲を設定しておき、トリミング
の対象部分の特性値がいずれの調整範囲内にあるかを判
定するとともに、調整目標範囲の中心値と当該特性値と
の差に応じて当該調整範囲対応の所定のトリミング定数
に基づき所要の、トリミング量を決定して機能トリミン
グを行わしめ、以後、順次に同様の処理を繰り返して上
記対象部分の特性値を調整目標範囲内に入れるように制
御・処理をするものでちる。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係る機能トリミング方式の一実施例
の方式構成図、第２図は、その処理フローチャートであ
る。
の方式構成図、第２図は、その処理フローチャートであ
る。
ここで、１は、以下に述べる各部分の制御を行って機能
トリミングのために所要の処理を実行する処理装置、２
は、機能トリミング対象のワークＷ（例えば、被調整の
集積回路）の位置決めをする位置決装置２．３は、ワー
クＷの対象部分の特性値を測定する測定装置、４は、ト
リミング用のレーザビームを出力するレーザ発振器、５
は、そのレーザビームを走査するレーザビーム走査装置
である。なお、トリミングは、必ずしも、上記のように
レーザビームによるものに、限定する必要はない。
トリミングのために所要の処理を実行する処理装置、２
は、機能トリミング対象のワークＷ（例えば、被調整の
集積回路）の位置決めをする位置決装置２．３は、ワー
クＷの対象部分の特性値を測定する測定装置、４は、ト
リミング用のレーザビームを出力するレーザ発振器、５
は、そのレーザビームを走査するレーザビーム走査装置
である。なお、トリミングは、必ずしも、上記のように
レーザビームによるものに、限定する必要はない。
まず、処理装置１の制御により、位置決装置２は、ワー
クＷを、ワーク着脱位置からトリミング位置への搬送・
位置決めをした後、測定装置３とワークＷとを電気的に
接続せしめる。
クＷを、ワーク着脱位置からトリミング位置への搬送・
位置決めをした後、測定装置３とワークＷとを電気的に
接続せしめる。
次に、測定装置３は、ワークＷを動作状態にして、その
対象部分の特性値を測定し、その値Ｘ＋を処理装置６に
読み取らせる。
対象部分の特性値を測定し、その値Ｘ＋を処理装置６に
読み取らせる。
処理装置６は、測定値ＸＩが前もって設定しである調整
目標範囲（ＳＯ±Ｔｏ）内にあるか否かを判定する。こ
こで、Ｓｏは調整目標中心値、Ｔ。
目標範囲（ＳＯ±Ｔｏ）内にあるか否かを判定する。こ
こで、Ｓｏは調整目標中心値、Ｔ。
は許容公差である。
い１、特性値Ｘ＋が上記調整目標範囲（ＳＯ±１１’ｌ
。）内であれば、トリミングは行わず直ちに調整終了と
してワークＷを着脱位置へ戻す。範囲外であれば、特性
値Ｘ＋が粗調整の調整範囲Ｓｔ 十Ｔ、）にあるか否か
を判定する。
。）内であれば、トリミングは行わず直ちに調整終了と
してワークＷを着脱位置へ戻す。範囲外であれば、特性
値Ｘ＋が粗調整の調整範囲Ｓｔ 十Ｔ、）にあるか否か
を判定する。
その範囲内であれば、調整目標中心値Ｓ。と特性値Ｘ１
との差（ＳｏＸ＋）に粗調整用の切断定数（トリミング
定数）Ｒ１を乗じた値（ＳＯ−Ｘ ｓ ） ×Ｒ１＝
Ｌ Ｉｋ求め、レーザ発振器４を発振させながら、レー
ザビーム走査装置５を制御して、ワークＷ上の対象部分
（例えば、抵抗体、コンデンサなど）を長さＩ、＋だけ
切断し、レーザ発振。
との差（ＳｏＸ＋）に粗調整用の切断定数（トリミング
定数）Ｒ１を乗じた値（ＳＯ−Ｘ ｓ ） ×Ｒ１＝
Ｌ Ｉｋ求め、レーザ発振器４を発振させながら、レー
ザビーム走査装置５を制御して、ワークＷ上の対象部分
（例えば、抵抗体、コンデンサなど）を長さＩ、＋だけ
切断し、レーザ発振。
レーザビーム走査を停止する。次いで、再度特性値を測
定して以上の動作を繰り返す。
定して以上の動作を繰り返す。
特性値Ｘ皿が上記の粗調整の調整範囲（Ｓ＋ 十Ｔ、）
外の調整範囲内にある場合、すなわち、上記調整範囲（
Ｓ１±Ｔ１ ）外で調整目標範囲（ＳＯ±Ｔｏ）外でも
ある場合には、調整目標範囲の中心値との差（ＳｏＸ＋
）に微調整用の切断定数Ｒ８を乗じた値（Ｓｏ−Ｘ弧）
ＸＲｏ＝Ｌ量を求め、上記と同様にして長さＬ＋だけ切
断して再度測定し、その値が調整目標範囲（Ｓｏ＋：、
Ｔｏ）になるまで同様のトリミング、測定を繰り返す。
外の調整範囲内にある場合、すなわち、上記調整範囲（
Ｓ１±Ｔ１ ）外で調整目標範囲（ＳＯ±Ｔｏ）外でも
ある場合には、調整目標範囲の中心値との差（ＳｏＸ＋
）に微調整用の切断定数Ｒ８を乗じた値（Ｓｏ−Ｘ弧）
ＸＲｏ＝Ｌ量を求め、上記と同様にして長さＬ＋だけ切
断して再度測定し、その値が調整目標範囲（Ｓｏ＋：、
Ｔｏ）になるまで同様のトリミング、測定を繰り返す。
この様にして機能トリミングを行う場合において、特性
値と調整目標値との差が大きいときは、長い距離を切断
し、差が小さくなったときは、除徐に短い距離を切断す
ることにより、トリミング時間の短縮およびトリミング
精度の向上を図ることができる。
値と調整目標値との差が大きいときは、長い距離を切断
し、差が小さくなったときは、除徐に短い距離を切断す
ることにより、トリミング時間の短縮およびトリミング
精度の向上を図ることができる。
なお、調整範囲の途中で切断定数（トリミング定数）を
大から小へ可変とすることにより、更にトリミングの時
間低減、高精度を得ることができる。捷た、本実施例で
は、粗調整、微調整の２段階に分けて機能トリミングを
する場合を述べたが、必要に応じて段階数を増減するこ
とにより、所望のトリミング精度、トリミング時間に対
処することができる。
大から小へ可変とすることにより、更にトリミングの時
間低減、高精度を得ることができる。捷た、本実施例で
は、粗調整、微調整の２段階に分けて機能トリミングを
する場合を述べたが、必要に応じて段階数を増減するこ
とにより、所望のトリミング精度、トリミング時間に対
処することができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、トリミ
ング精度を良好に保つとともに当該機能トリミングを高
速で制御・処理することができるので、この種の機能ト
リマまたは同工程の信頼性向上、効率向上９歩留向上に
顕著な効果が得られる。
ング精度を良好に保つとともに当該機能トリミングを高
速で制御・処理することができるので、この種の機能ト
リマまたは同工程の信頼性向上、効率向上９歩留向上に
顕著な効果が得られる。
第１図は、本発明に係る機能トリミング方式の一実施例
の方式構成図、第２図は、その処理フローチャートであ
る。 １・・・処理装置、２・・・位置決装置、３・・・測定
装置、４・・・レーザ発振器、５・・・レーザビーム走
査装置。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 犀１ 囚
の方式構成図、第２図は、その処理フローチャートであ
る。 １・・・処理装置、２・・・位置決装置、３・・・測定
装置、４・・・レーザ発振器、５・・・レーザビーム走
査装置。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 犀１ 囚
Claims (1)
- １、 ワークの位置決めをし、その対象部分についての
トリミングと特性測定と、を交互に繰り返して機能トリ
ミングを行う機能を有する機能トリマにおいて、調整目
標範囲に至るまでの間に複数段階の調整範囲を設定して
おき、トリミングの対象部分の特性値がいずれの調整範
囲内にあるかを判定するとともに、調整目標範囲の中心
値と当該特性値との差に応じて当該調整範囲対応の所定
のトリミング定数に基づき、所要のトリミング量を決定
して機能トリミングを行わしめ、以後、順次に同様の処
理を繰り返して上記対象部分の特性値を調整目標範囲内
に入れるように制御・処理する機能トリミング方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139179A JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139179A JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929446A true JPS5929446A (ja) | 1984-02-16 |
| JPH0218593B2 JPH0218593B2 (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=15239404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139179A Granted JPS5929446A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 機能トリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929446A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186049A (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-21 | Hitachi Ltd | 機能トリミング方法 |
| JPS60219706A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| JPS61112304A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | 松下電器産業株式会社 | 回路調整方法 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP57139179A patent/JPS5929446A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186049A (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-21 | Hitachi Ltd | 機能トリミング方法 |
| JPS60219706A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗体のトリミング方法 |
| JPH0414481B2 (ja) * | 1984-04-16 | 1992-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS61112304A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | 松下電器産業株式会社 | 回路調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0218593B2 (ja) | 1990-04-26 |
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