JPS58201350A - ファンクショントリミング方法 - Google Patents
ファンクショントリミング方法Info
- Publication number
- JPS58201350A JPS58201350A JP8400282A JP8400282A JPS58201350A JP S58201350 A JPS58201350 A JP S58201350A JP 8400282 A JP8400282 A JP 8400282A JP 8400282 A JP8400282 A JP 8400282A JP S58201350 A JPS58201350 A JP S58201350A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- characteristic
- trimming
- time
- range
- adjustment
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/702—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof
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- Power Engineering (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特性安定に長時間を要する回路の特性調整を
短時間内に高精度で行うだめのファンクショントリミン
グ方式に関するものである。
短時間内に高精度で行うだめのファンクショントリミン
グ方式に関するものである。
従来、特性安定に長時間を要する回路（例えば、厚膜集
積回路等における長時定数を有する回路）の特性調整は
、−例として、被調整回路を調整ステーションへ搬送す
るまでに、その事前通電を行うようにしたり、または通
電後の特性値が所定の範囲に安定するまでの時間だけ待
機したりした後、所望の調整作業を行うようにするもの
であった。
積回路等における長時定数を有する回路）の特性調整は
、−例として、被調整回路を調整ステーションへ搬送す
るまでに、その事前通電を行うようにしたり、または通
電後の特性値が所定の範囲に安定するまでの時間だけ待
機したりした後、所望の調整作業を行うようにするもの
であった。
このような従来方式は、事前通電機構が必要であって経
済的でなく、また、特性安定までの長時間待機のために
作業効率が低いものであった。
済的でなく、また、特性安定までの長時間待機のために
作業効率が低いものであった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、特
性安定に長時間を要する回路についても短時間内に高精
度で特性調整を行うことができるファンクショントリミ
ング方式を提供することにある。
性安定に長時間を要する回路についても短時間内に高精
度で特性調整を行うことができるファンクショントリミ
ング方式を提供することにある。
本発明の特徴は、被調整回路を所定位置に設定し、所定
の試験条件を与えて当該特性測定を行いつつ、その特性
値を所望値に調整する機能を有するファンクショントリ
ミング装置において、被調整回路の動作状態開始から、
その特性安定化後の調整目標範囲に対応する特性安定化
前の特性値の評価範囲を規定しておき、これに至るまで
の時間の計測を行うことにより、その時間内で上記評価
範囲に至る前の所定の待機範囲まで特性調整を行った後
、上記評価範囲に対応する時間内で更に同範囲内に特性
調整を行うようにしたファンクショントリミング方式に
ある。
の試験条件を与えて当該特性測定を行いつつ、その特性
値を所望値に調整する機能を有するファンクショントリ
ミング装置において、被調整回路の動作状態開始から、
その特性安定化後の調整目標範囲に対応する特性安定化
前の特性値の評価範囲を規定しておき、これに至るまで
の時間の計測を行うことにより、その時間内で上記評価
範囲に至る前の所定の待機範囲まで特性調整を行った後
、上記評価範囲に対応する時間内で更に同範囲内に特性
調整を行うようにしたファンクショントリミング方式に
ある。
これを要するに１例えば、動作状態にしてから特性安定
までに長時間を要するような回路においては、一般に、
特性が充分に安定化していなくても、その時の特性測定
値は、その個々の被調整回路についての特性値変動（ま
たは、偏差、いわゆる、バラツキ）が調整目標範囲に比
べて充分に小さいので、上記特性値評価範囲に至るまで
は粗調整を行った後、同範囲内に微調整を行うようにし
たものである。
までに長時間を要するような回路においては、一般に、
特性が充分に安定化していなくても、その時の特性測定
値は、その個々の被調整回路についての特性値変動（ま
たは、偏差、いわゆる、バラツキ）が調整目標範囲に比
べて充分に小さいので、上記特性値評価範囲に至るまで
は粗調整を行った後、同範囲内に微調整を行うようにし
たものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係るファンクショントリミング方式
によるファンクショントリミング装置の一実施例のブロ
ック図、第２図は、そのフローチャート、第３図は、同
ファンクショントリミング特性図である。
によるファンクショントリミング装置の一実施例のブロ
ック図、第２図は、そのフローチャート、第３図は、同
ファンクショントリミング特性図である。
ここで、１は、制御処理ユニット、２は、搬送位置決め
ユニット、３は、プローブユニット、４は、試験測定ユ
ニット、５は、タイマーカウントユニット、６は、トリ
ミングユニットである。
ユニット、３は、プローブユニット、４は、試験測定ユ
ニット、５は、タイマーカウントユニット、６は、トリ
ミングユニットである。
まず、制御処理ユニット１は、搬送位置決めユニット２
を制御することにより、被調整回路（例えば、厚膜集積
回路のモジュールＭの対象回路）を当該調整（トリミン
グ）、測定が行われるべき所定の位置に設定する。
を制御することにより、被調整回路（例えば、厚膜集積
回路のモジュールＭの対象回路）を当該調整（トリミン
グ）、測定が行われるべき所定の位置に設定する。
また、プローブユニット３をモジュールＭに接続した後
、試験測定ユニット４によってモジュールＭを所定の動
作状態に設定するだめの電源、信号の供給を行わせると
ともに、タイマーカウントユニット５の動作（タイマー
カウント）開始をして時間計測を行う。
、試験測定ユニット４によってモジュールＭを所定の動
作状態に設定するだめの電源、信号の供給を行わせると
ともに、タイマーカウントユニット５の動作（タイマー
カウント）開始をして時間計測を行う。
以下では最初に第２図（ａ’）に示すフローチャートに
従い、同一特性値を粗調整、微調整に分けて得る場合に
ついて説明する。
従い、同一特性値を粗調整、微調整に分けて得る場合に
ついて説明する。
試験測定ユニット４は、プローブユニット３を介し、モ
ジュールＭからの測定信号を取り込んで当該特性値測定
を行い、そのデータを制御処理ユニット１へ送出する。
ジュールＭからの測定信号を取り込んで当該特性値測定
を行い、そのデータを制御処理ユニット１へ送出する。
制御処理ユニット１は、そのデータ処理を行って粗調整
が完了しているかどうかを判断し、完了していなければ
上記データ処理によって算出されたトリミング量をトリ
ミングユニット６に与え、これに所要のトリミング（粗
調整）を行わせる。
が完了しているかどうかを判断し、完了していなければ
上記データ処理によって算出されたトリミング量をトリ
ミングユニット６に与え、これに所要のトリミング（粗
調整）を行わせる。
このトリミングは、例えば、モジュールＭに印刷された
抵抗体をレーザーで焼き切って対象回路の電気的特性が
所定１直となるまで繰−り返される。
抵抗体をレーザーで焼き切って対象回路の電気的特性が
所定１直となるまで繰−り返される。
すなわち、第３図に示すように、時刻ｔ＝Ｑからモジュ
ールＭを動作させ、時刻１−１ 、における特性値Ｅ、
に応じた所要トリミング量を求めてトリミングを行って
特性値Ｅｒとするが、この呟は当該回路の′時定数によ
って時刻ｔ＝ｔ２において特性値Ｅ２となる。
ールＭを動作させ、時刻１−１ 、における特性値Ｅ、
に応じた所要トリミング量を求めてトリミングを行って
特性値Ｅｒとするが、この呟は当該回路の′時定数によ
って時刻ｔ＝ｔ２において特性値Ｅ２となる。
再び、時刻１＝１．において特性測定を行って当該特性
＠Ｅ２に応じた所要トリミング量を求め、これによって
トリミングを行って特性値Ｅ（とするが、この値も当該
回路の時定数によって次の時刻ｔ−ｔｓにおいて特性値
Ｅ３となる。
＠Ｅ２に応じた所要トリミング量を求め、これによって
トリミングを行って特性値Ｅ（とするが、この値も当該
回路の時定数によって次の時刻ｔ−ｔｓにおいて特性値
Ｅ３となる。
更に、同様な動作を繰り返して特性値Ｅを順次Ｅ； 、
Ｅｊ 、・・・として所定の待機範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅ、と
なるまでトリミングを行うが、そのまま時刻１＝ｔ、ま
で待機した後に特性測定を行い、評価時刻ｔｍ≦ｔ≦ｔ
、の範囲内で、特性値Ｅが所定の評価範囲Ｅ。≦Ｅ≦Ｅ
、にならなければ、再度トリミング（微調整）を行って
上記評価範囲に入るまで測定、トリミングを繰り返す。
Ｅｊ 、・・・として所定の待機範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅ、と
なるまでトリミングを行うが、そのまま時刻１＝ｔ、ま
で待機した後に特性測定を行い、評価時刻ｔｍ≦ｔ≦ｔ
、の範囲内で、特性値Ｅが所定の評価範囲Ｅ。≦Ｅ≦Ｅ
、にならなければ、再度トリミング（微調整）を行って
上記評価範囲に入るまで測定、トリミングを繰り返す。
このトリミングは、あらかじめ特性（直Ｅ８がら待機範
囲までトリミングをしておいたことにより、その所要時
間が極めて少なく、結局、上記評価範囲に対応する評価
時刻ｔ、、≦ｔ ４ ｔ 、の範囲内で特性値Ｅを所定
の評価範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅ、にトリミング（微調整）する
ことができる。
囲までトリミングをしておいたことにより、その所要時
間が極めて少なく、結局、上記評価範囲に対応する評価
時刻ｔ、、≦ｔ ４ ｔ 、の範囲内で特性値Ｅを所定
の評価範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅ、にトリミング（微調整）する
ことができる。
ここで、特性直に対する評価範囲の下限値Ｅ ｆｆｌ
ｌ−Ｌ限値Ｅ、の値は、あらかじめ実験等によって求め
られた値であって、モジュールＭを動作状態にしてから
時刻ｔ、、≦ｔ≦ｔ。の範囲で特性値Ｅ。
ｌ−Ｌ限値Ｅ、の値は、あらかじめ実験等によって求め
られた値であって、モジュールＭを動作状態にしてから
時刻ｔ、、≦ｔ≦ｔ。の範囲で特性値Ｅ。
≦Ｅ≦Ｅ０とすれば、充分な経過時間後の特性値Ｅ（ｔ
−（ト））が最終の調整目標範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅｔに入る
ように規定するものである。
−（ト））が最終の調整目標範囲Ｅ、≦Ｅ≦Ｅｔに入る
ように規定するものである。
このようにして、動作開始後の特性値Ｅが所定の調整目
標範囲に至るまでに長時間を要するようなモジュールＭ
の対象回路について、その安定時間を待たずに短時間（
ｔゆ〜ｔ０）で特性調整を行うことができる。なお、ト
リミング（微調幣）が完了すれば、制御処理ユニット１
は、タイマーカントユニット５の停止、クリアを行い、
当該全調整動作を終了する。
標範囲に至るまでに長時間を要するようなモジュールＭ
の対象回路について、その安定時間を待たずに短時間（
ｔゆ〜ｔ０）で特性調整を行うことができる。なお、ト
リミング（微調幣）が完了すれば、制御処理ユニット１
は、タイマーカントユニット５の停止、クリアを行い、
当該全調整動作を終了する。
次に、同一モジュールＭ内にある複数の対象回路につい
てトリミングが必要な場合において、前述の待機時間に
別のトリミングを行いうる有効な手順を第２図（ｂ）に
基づいて説明する。
てトリミングが必要な場合において、前述の待機時間に
別のトリミングを行いうる有効な手順を第２図（ｂ）に
基づいて説明する。
それは、モジュールＭを動作状態にした後、°まず、時
刻ｔ、≦ｔ≦１１となるまでに、最初のトリミング項目
の実行、すなわち特性値への測定。
刻ｔ、≦ｔ≦１１となるまでに、最初のトリミング項目
の実行、すなわち特性値への測定。
トリミングを行って当該調整目標範囲に調整し、その後
、時刻ｔ、≦ｔ≦ｔｎの範囲内で次のトリミング項目の
実行、すなわち特性１ｉＩＩＢの測定、トリミングを行
って当該調整目標範囲に調整するものである。
、時刻ｔ、≦ｔ≦ｔｎの範囲内で次のトリミング項目の
実行、すなわち特性１ｉＩＩＢの測定、トリミングを行
って当該調整目標範囲に調整するものである。
更に多数項目のトリミングが必要な場合にも、同様な処
理によって実現が可能でアリ、上述の特性値Ａに関する
部分が複数となったり、まだは特性値Ａが特性値Ｂと同
様に測定時間を規定する必要があるときには、それぞれ
特性値Ａ、Ｂに関する処理を交互に繰り返すことなどに
よって実現することができる。
理によって実現が可能でアリ、上述の特性値Ａに関する
部分が複数となったり、まだは特性値Ａが特性値Ｂと同
様に測定時間を規定する必要があるときには、それぞれ
特性値Ａ、Ｂに関する処理を交互に繰り返すことなどに
よって実現することができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、特性安
定に長時間を要する回路についても、事前通電を行うこ
となく、その安定時間内の短時間で所望の特性調整を行
うことができるので、ファンクショントリミング装置の
経済化、稼動率向上に、ひいては、この種の調整作業の
効率向上、信頼性向上に顕著な効果が得られる。
定に長時間を要する回路についても、事前通電を行うこ
となく、その安定時間内の短時間で所望の特性調整を行
うことができるので、ファンクショントリミング装置の
経済化、稼動率向上に、ひいては、この種の調整作業の
効率向上、信頼性向上に顕著な効果が得られる。
第１図は、本発明に係るファンクショントリミング方式
によるファンクショントリミング装置の一実施例のブロ
ック図、第２図は、そのフローチャート、第３図は、同
ファンクショントリミング特性図である。 １・・・制御処理ユニット、２・・・搬送位置決めユニ
ット、３・・・プローブユニット、４・・・試験測定ユ
ニット ５・・・タイマーカウントユニット、６・・・
トリミ） ングユニット。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 績１国 第２ 口（０ 々へ ２６コ （ｂ〕
によるファンクショントリミング装置の一実施例のブロ
ック図、第２図は、そのフローチャート、第３図は、同
ファンクショントリミング特性図である。 １・・・制御処理ユニット、２・・・搬送位置決めユニ
ット、３・・・プローブユニット、４・・・試験測定ユ
ニット ５・・・タイマーカウントユニット、６・・・
トリミ） ングユニット。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 績１国 第２ 口（０ 々へ ２６コ （ｂ〕
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被調整回路を所定位置に設定し、所定の試験条件を
与えて当該特性測定を行いつつ、その特性値を所望値に
調整する機能を有するファンクショントリミング装置に
おいて、被調整回路の動作状態開始から、その特性安定
化後の調整目標範囲に対応する特性安定化前の特性値の
評価範囲を規定しておき、これに至るまでの時間の計測
を行うことにより、その時間内で上記評価範囲に至る前
の所定の待機範囲まで特性調整を行った後、上記評価範
囲に対応する時間内で更に同範囲内に特性調整を行うよ
うにすることを特徴とするファンクショントリミング方
式。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、評価範
囲に至るまでの時間内で複数の調整項目についての特性
調整を交互に行うようにしたファンクショントリミング
方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400282A JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400282A JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201350A true JPS58201350A (ja) | 1983-11-24 |
| JPH0218592B2 JPH0218592B2 (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=13818347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8400282A Granted JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201350A (ja) |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP8400282A patent/JPS58201350A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0218592B2 (ja) | 1990-04-26 |
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