JPH0218592B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0218592B2 JPH0218592B2 JP8400282A JP8400282A JPH0218592B2 JP H0218592 B2 JPH0218592 B2 JP H0218592B2 JP 8400282 A JP8400282 A JP 8400282A JP 8400282 A JP8400282 A JP 8400282A JP H0218592 B2 JPH0218592 B2 JP H0218592B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- range
- time
- characteristic
- trimming
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 35
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 claims description 6
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 claims description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/702—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特性安定に長時間を要する回路の特
性調整を短時間内に高精度で行うためのフアンク
シヨントリミング方法に関するものである。
性調整を短時間内に高精度で行うためのフアンク
シヨントリミング方法に関するものである。
従来、特性安定に長時間を要する回路（例え
ば、厚膜集積回路等における長時定数を有する回
路）の特性調整は、一例として、被調整回路を調
整ステーシヨンへ搬送するまでに、その事前通電
を行うようにしたり、または通電後の特性値が所
定の範囲に安定するまでの時間だけ待機したりし
た後、所望の調整作業を行うようにするものであ
つた。
ば、厚膜集積回路等における長時定数を有する回
路）の特性調整は、一例として、被調整回路を調
整ステーシヨンへ搬送するまでに、その事前通電
を行うようにしたり、または通電後の特性値が所
定の範囲に安定するまでの時間だけ待機したりし
た後、所望の調整作業を行うようにするものであ
つた。
このような従来方式は、事前通電機構が必要で
あつて経済的でなく、また、特性安定までの長時
間待機のために作業効率が低いものであつた。
あつて経済的でなく、また、特性安定までの長時
間待機のために作業効率が低いものであつた。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、特性安定に長時間を要する回路についても
短時間内に高精度で特性調整を行うことができる
フアンクシヨントリミング方法を提供することに
ある。
くし、特性安定に長時間を要する回路についても
短時間内に高精度で特性調整を行うことができる
フアンクシヨントリミング方法を提供することに
ある。
本発明の特徴は、被調整回路を所定位置に設定
し、所定の試験条件を与えて当該特性測定を行い
つつ、その特性値を所望値に調整する機能を有す
るフアンクシヨントリミング装置において、被調
整回路の動作状態開始から、その特性安定化後の
調整目標範囲に対応する特性安定化前の特性値の
評価範囲を規定しておき、それに至るまでの時間
の計測を行うことにより、その時間内で上記評価
範囲に至る前の所定の待機範囲まで特性調整を行
つた後、上記評価範囲に対応する時間内で更に同
範囲内に特性調整を行うようにしたフアンクシヨ
ントリミング方法にある。
し、所定の試験条件を与えて当該特性測定を行い
つつ、その特性値を所望値に調整する機能を有す
るフアンクシヨントリミング装置において、被調
整回路の動作状態開始から、その特性安定化後の
調整目標範囲に対応する特性安定化前の特性値の
評価範囲を規定しておき、それに至るまでの時間
の計測を行うことにより、その時間内で上記評価
範囲に至る前の所定の待機範囲まで特性調整を行
つた後、上記評価範囲に対応する時間内で更に同
範囲内に特性調整を行うようにしたフアンクシヨ
ントリミング方法にある。
これを要するに、例えば、動作状態にしてから
特性安定までに長時間を要するような回路におい
ては、一般に、特性が充分に安定化していなくて
も、その時の特性測定値は、その個々の被調整回
路についての特性値変動（または、偏差、いわゆ
る、バラツキ）が調整目標範囲に比べて充分に小
さいので、上記特性値評価範囲に至るまでは粗調
整を行つた後、同範囲内に微調整を行うようにし
たものである。
特性安定までに長時間を要するような回路におい
ては、一般に、特性が充分に安定化していなくて
も、その時の特性測定値は、その個々の被調整回
路についての特性値変動（または、偏差、いわゆ
る、バラツキ）が調整目標範囲に比べて充分に小
さいので、上記特性値評価範囲に至るまでは粗調
整を行つた後、同範囲内に微調整を行うようにし
たものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
る。
第１図は、本発明に係るフアンクシヨントリミ
ング方法によるフアンクシヨントリミング装置の
一実施例のブロツク図、第２図は、そのフローチ
ヤート、第３図は、同フアンクシヨントリミング
特性図である。
ング方法によるフアンクシヨントリミング装置の
一実施例のブロツク図、第２図は、そのフローチ
ヤート、第３図は、同フアンクシヨントリミング
特性図である。
ここで、１は、制御処理ユニツト、２は、搬送
位置決めユニツト、３は、プローブユニツト、４
は、試験測定ユニツト、５は、タイマーカウント
ユニツト、６は、トリミングユニツトである。
位置決めユニツト、３は、プローブユニツト、４
は、試験測定ユニツト、５は、タイマーカウント
ユニツト、６は、トリミングユニツトである。
まず、制御処理ユニツト１は、搬送位置決めユ
ニツト２を制御することにより、被調整回路（例
えば、厚膜集積回路のモジユールＭの対象回路）
を当該調整（トリミング）、測定が行われるべき
所定の位置に設定する。
ニツト２を制御することにより、被調整回路（例
えば、厚膜集積回路のモジユールＭの対象回路）
を当該調整（トリミング）、測定が行われるべき
所定の位置に設定する。
また、プローブユニツト３をモジユールＭに接
続した後、試験測定ユニツト４によつてモジユー
ルＭを所定の動作状態に設定するための電源、信
号の供給を行わせるとともに、タイマーカウント
ユニツト５の動作（タイマーカウント）開始をし
て時間計測を行う。
続した後、試験測定ユニツト４によつてモジユー
ルＭを所定の動作状態に設定するための電源、信
号の供給を行わせるとともに、タイマーカウント
ユニツト５の動作（タイマーカウント）開始をし
て時間計測を行う。
以下では最初に第２図ａに示すフローチヤート
に従い、同一特性値を粗調整、微調整に分けて得
る場合について説明する。
に従い、同一特性値を粗調整、微調整に分けて得
る場合について説明する。
試験測定ユニツト４は、プローブユニツト３を
介し、モジユールＭからの測定信号を取り込んで
当該特性値測定を行い、そのデータを制御処理ユ
ニツト１へ送出する。
介し、モジユールＭからの測定信号を取り込んで
当該特性値測定を行い、そのデータを制御処理ユ
ニツト１へ送出する。
制御処理ユニツト１は、そのデータ処理を行つ
て粗調整が完了しているかどうかを判断し、完了
していなければ上記データ処理によつて算出され
たトリミング量をトリミングユニツト６に与え、
これに所要のトリミング（粗調整）を行わせる。
このトリミングは、例えば、モジユールＭに印刷
された抵抗体をレーザーで焼き切つて対象回路の
電気的特性が所定値となるまで繰り返される。
て粗調整が完了しているかどうかを判断し、完了
していなければ上記データ処理によつて算出され
たトリミング量をトリミングユニツト６に与え、
これに所要のトリミング（粗調整）を行わせる。
このトリミングは、例えば、モジユールＭに印刷
された抵抗体をレーザーで焼き切つて対象回路の
電気的特性が所定値となるまで繰り返される。
すなわち、第３図に示すように、時刻ｔ＝０か
らモジユールＭを動作させ、時刻ｔ＝t1における
特性値E1に応じた所要トリミング量を求めてト
リミングを行つて特性値E1′とするが、この値は
当該回路の時定数によつて時刻ｔ＝t2において特
性値E2となる。
らモジユールＭを動作させ、時刻ｔ＝t1における
特性値E1に応じた所要トリミング量を求めてト
リミングを行つて特性値E1′とするが、この値は
当該回路の時定数によつて時刻ｔ＝t2において特
性値E2となる。
再び、時刻ｔ＝t2において特性測定を行つて当
該特性値E2に応じた所要トリミング量を求め、
これによつてトリミングを行つて特性値E2′とす
るが、この値も当該回路の時定数によつて次の時
刻ｔ＝t3において特性値E3となる。
該特性値E2に応じた所要トリミング量を求め、
これによつてトリミングを行つて特性値E2′とす
るが、この値も当該回路の時定数によつて次の時
刻ｔ＝t3において特性値E3となる。
更に、同様な動作を繰り返して特性値Ｅを順次
E3′，E4′，…として所定の待機範囲Ep≦Ｅ≦Eqと
なるまでトリミングを行うが、そのまま時刻ｔ＝
tnまで待機した後に特性測定を行い、評価時刻tn
≦ｔ≦toの範囲内で、特性値Ｅが所定の評価範囲
En≦Ｅ≦Eoにならなければ、再度トリミング
（微調整）を行つて上記評価範囲に入るまで測定、
トリミングを繰り返す。
E3′，E4′，…として所定の待機範囲Ep≦Ｅ≦Eqと
なるまでトリミングを行うが、そのまま時刻ｔ＝
tnまで待機した後に特性測定を行い、評価時刻tn
≦ｔ≦toの範囲内で、特性値Ｅが所定の評価範囲
En≦Ｅ≦Eoにならなければ、再度トリミング
（微調整）を行つて上記評価範囲に入るまで測定、
トリミングを繰り返す。
このトリミングは、あらかじめ特性値E1から
待期範囲までトリミングをしておいたことによ
り、その所要時間が極めて少なく、結局、上記評
価範囲に対応する評価時刻tn≦ｔ≦toの範囲内で
特性値Ｅを所定の評価範囲En≦Ｅ≦Eoにトリミ
ング（微調整）することができる。
待期範囲までトリミングをしておいたことによ
り、その所要時間が極めて少なく、結局、上記評
価範囲に対応する評価時刻tn≦ｔ≦toの範囲内で
特性値Ｅを所定の評価範囲En≦Ｅ≦Eoにトリミ
ング（微調整）することができる。
ここで、特性値に対する評価範囲の下限値En、
上限値Eoの値は、あらかじめ実験等によつて求
められた値であつて、モジユールＭを動作状態に
してから時刻tn≦ｔ≦toの範囲で特性値En≦Ｅ≦
Eoとすれば、充分な経過時間後の特性値Ｅ（ｔ＝
∞）が最終の調整目標範囲Es≦Ｅ≦Etに入るよう
に規定するものである。
上限値Eoの値は、あらかじめ実験等によつて求
められた値であつて、モジユールＭを動作状態に
してから時刻tn≦ｔ≦toの範囲で特性値En≦Ｅ≦
Eoとすれば、充分な経過時間後の特性値Ｅ（ｔ＝
∞）が最終の調整目標範囲Es≦Ｅ≦Etに入るよう
に規定するものである。
このようにして、動作開始後の特性値Ｅが所定
の調整目標範囲に至るまでに長時間を要するよう
なモジユールＭの対象回路について、その安定時
間を待たずに短時間（tn〜to）で特性調整を行う
ことできる。なお、トリミング（微調整）が完了
すれば、制御ユニツト１は、タイマーカントユニ
ツト５の停止、クリアを行い、当該全調整動作を
終了する。
の調整目標範囲に至るまでに長時間を要するよう
なモジユールＭの対象回路について、その安定時
間を待たずに短時間（tn〜to）で特性調整を行う
ことできる。なお、トリミング（微調整）が完了
すれば、制御ユニツト１は、タイマーカントユニ
ツト５の停止、クリアを行い、当該全調整動作を
終了する。
次に、同一モジユールＭ内にある複数の対象回
路についてトリミングが必要な場合において、前
述の待機時間に別のトリミングを行いうる有効な
手順を第２図ｂに基づいて説明する。
路についてトリミングが必要な場合において、前
述の待機時間に別のトリミングを行いうる有効な
手順を第２図ｂに基づいて説明する。
それは、モジユールＭを動作状態にした後、ま
ず、時刻tn≦ｔ≦toとなるまでに、最初のトリミ
ング項目の実行、すなわち特性値Ａの測定、トリ
ミングを行つて当該調整目標範囲に調整し、その
後、時刻tn≦ｔ≦toの範囲内で次のトリミング項
目の実行、すなわち特性値Ｂの測定、トリミング
を行つて当該調整目標範囲に調整するものであ
る。
ず、時刻tn≦ｔ≦toとなるまでに、最初のトリミ
ング項目の実行、すなわち特性値Ａの測定、トリ
ミングを行つて当該調整目標範囲に調整し、その
後、時刻tn≦ｔ≦toの範囲内で次のトリミング項
目の実行、すなわち特性値Ｂの測定、トリミング
を行つて当該調整目標範囲に調整するものであ
る。
更に多数項目のトリミングが必要な場合にも、
同様な処理によつて実現が可能であり、上述の特
性値Ａに関する部分が複数となつたり、または特
性値Ａが特性値Ｂと同様に測定時間を規定する必
要があるときには、それぞれ特性値Ａ，Ｂに関す
る処理を交互に繰り返すことなどによつて実現す
ることができる。
同様な処理によつて実現が可能であり、上述の特
性値Ａに関する部分が複数となつたり、または特
性値Ａが特性値Ｂと同様に測定時間を規定する必
要があるときには、それぞれ特性値Ａ，Ｂに関す
る処理を交互に繰り返すことなどによつて実現す
ることができる。
以上、詳細に説明したように、本発明によれ
ば、特性安定に長時間を要する回路についても、
事前通電を行うことなく、その安定時間内の短時
間で所望の特性調整を行うことができるので、フ
アンクシヨントリミング装置の経済化、稼動率向
上に、ひいては、この種の調整作業の効率向上、
信頼性向上に顕著な効果が得られる。
ば、特性安定に長時間を要する回路についても、
事前通電を行うことなく、その安定時間内の短時
間で所望の特性調整を行うことができるので、フ
アンクシヨントリミング装置の経済化、稼動率向
上に、ひいては、この種の調整作業の効率向上、
信頼性向上に顕著な効果が得られる。
第１図は、本発明に係るフアンクシヨントリミ
ング方法によるフアンクシヨントリミング装置の
一実施例のブロツク図、第２図は、そのフローチ
ヤート、第３図は、同フアンクシヨントリミング
特性図である。 １……制御処理ユニツト、２……搬送位置決め
ユニツト、３……プローブユニツト、４……試験
測定ユニツト、５……タイマーカウントユニツ
ト、６……トリミングユニツト。
ング方法によるフアンクシヨントリミング装置の
一実施例のブロツク図、第２図は、そのフローチ
ヤート、第３図は、同フアンクシヨントリミング
特性図である。 １……制御処理ユニツト、２……搬送位置決め
ユニツト、３……プローブユニツト、４……試験
測定ユニツト、５……タイマーカウントユニツ
ト、６……トリミングユニツト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被調整回路を所定位置に設定し、所定の試験
条件を与えて当該特性測定を行いつつ、その特性
値を所望値に調整する機能を有するフアンクシヨ
ントリミング装置において、被調整回路の動作状
態開始から、その特性安定化後の調整目標範囲に
対応する特性安定化前の特性値の評価範囲を規定
しておき、これに至るまでの時間の計測を行うこ
とにより、その時間内で上記評価範囲に至る前の
所定の待機範囲まで特性調整を行つた後、上記評
価範囲に対応する時間内で更に同範囲内に特性調
整を行うようにすることを特徴とするフアンクシ
ヨントリミング方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の方法において、
評価範囲に至るまでの時間内で複数の調整項目に
ついての特性調整を交互に行うことを特徴とする
フアンクシヨントリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400282A JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400282A JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201350A JPS58201350A (ja) | 1983-11-24 |
| JPH0218592B2 true JPH0218592B2 (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=13818347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8400282A Granted JPS58201350A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | ファンクショントリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201350A (ja) |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP8400282A patent/JPS58201350A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58201350A (ja) | 1983-11-24 |
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