JPS59127102A - 論理機能トリミング方式 - Google Patents
論理機能トリミング方式Info
- Publication number
- JPS59127102A JPS59127102A JP58002208A JP220883A JPS59127102A JP S59127102 A JPS59127102 A JP S59127102A JP 58002208 A JP58002208 A JP 58002208A JP 220883 A JP220883 A JP 220883A JP S59127102 A JPS59127102 A JP S59127102A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- logical
- terminal
- value
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/242—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、厚膜集積回路等の機能調整トリミングを自動
的に行う機能トリミング装置において、調整目標仕様が
論理値である場合、その論理機能トリミングを高速化す
るだめの論理機能トリミング方式に関するものである。
的に行う機能トリミング装置において、調整目標仕様が
論理値である場合、その論理機能トリミングを高速化す
るだめの論理機能トリミング方式に関するものである。
従来の論理機能トリミング方式は、調整目標の論理値（
機能出力値）を得るのに、その論理機能トリミングの対
象部分の特性値が許容公差内で停止しうる最大トリミン
グ量（例えば最大トリミング長）をトリミングピッチと
する定ピツチトリミング、または連続的な定速トリミン
グによるものが一般的であった。
機能出力値）を得るのに、その論理機能トリミングの対
象部分の特性値が許容公差内で停止しうる最大トリミン
グ量（例えば最大トリミング長）をトリミングピッチと
する定ピツチトリミング、または連続的な定速トリミン
グによるものが一般的であった。
したがって、このような従来方式は、目標に達するまで
のトリミング回数が多く、またはトリミング時間が長く
なるというものであった。
のトリミング回数が多く、またはトリミング時間が長く
なるというものであった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、高
精度、高速で所望の論理機能トリミングを行うことがで
きる論理機能トリミング方式を提供することにある。
精度、高速で所望の論理機能トリミングを行うことがで
きる論理機能トリミング方式を提供することにある。
本発明に係る論理機能トリミング方式の構成は、ワーク
の位置決めをし、その対象部分についてのトリミングと
機能特性測定とを交互に繰り返して所望の機能トリミン
グを行う機能を有する機能トリミング装置において、ワ
ークの論理機能トリミングの目標仕様の論理値と相関関
係を有するアナログ量について所定の中間目標値を設定
しておき、当該対象部分の論理機能トリミングに際して
、上記中間目標値までは、そのアナログ量の測定値と上
記中間目標値との差に比例した量のトリミングを行い、
上記中間目標値に達したのちは、上記論理値に関する判
定を行いつつ所定量のピッチでトリミングを行わしめる
ように制御・処理するものである。
の位置決めをし、その対象部分についてのトリミングと
機能特性測定とを交互に繰り返して所望の機能トリミン
グを行う機能を有する機能トリミング装置において、ワ
ークの論理機能トリミングの目標仕様の論理値と相関関
係を有するアナログ量について所定の中間目標値を設定
しておき、当該対象部分の論理機能トリミングに際して
、上記中間目標値までは、そのアナログ量の測定値と上
記中間目標値との差に比例した量のトリミングを行い、
上記中間目標値に達したのちは、上記論理値に関する判
定を行いつつ所定量のピッチでトリミングを行わしめる
ように制御・処理するものである。
なお、これを以下で補足して具体的に説明する。
例えば、厚膜モジュール上の抵抗体のトリミングをし、
その対象のモジュール出力の論理値が変化したところで
トリミングの終了をしようとする場合について考える。
その対象のモジュール出力の論理値が変化したところで
トリミングの終了をしようとする場合について考える。
このような場合には、トリミング中に終了点までの偏差
を予測することができないので、上記モジュール出力（
論理値）と当該トリミングによって関連アナログ量（例
えば電圧）が変化する所定点（所定部分）の当該アナロ
グ量（電圧）とを測定しつつ、上記モジュール出力の論
理値が変化する前の電圧を中間目標値として、このＡ１
では高速でトリミングを行うようにし、以後、上記論理
値が変化するまで微細にトリミングを行うものである。
を予測することができないので、上記モジュール出力（
論理値）と当該トリミングによって関連アナログ量（例
えば電圧）が変化する所定点（所定部分）の当該アナロ
グ量（電圧）とを測定しつつ、上記モジュール出力の論
理値が変化する前の電圧を中間目標値として、このＡ１
では高速でトリミングを行うようにし、以後、上記論理
値が変化するまで微細にトリミングを行うものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係る論理機能トリミング方式の一実
施例の方式構成図、第２図は、論理機能トリミング対象
のワークの一例の回路図、第３図は、その特性図、第４
図は、本方式のフローチャートである。
施例の方式構成図、第２図は、論理機能トリミング対象
のワークの一例の回路図、第３図は、その特性図、第４
図は、本方式のフローチャートである。
ここで、■は、以下に述べる各部分の制御を行って論理
機能トリミングのために所要の処理を実行する処理装置
、２は、機能トリミング対象のワ−りＷ（例えば、厚膜
集積回路）の位置決めをする位置決め装置、３は、ワー
クＷの論理出力を判定する判定装置、４は、ワークＷの
アナログ出力を測定する測定装置、５は、レーザ発振器
５．６は、そのレーザビームを走査するレーザビーム走
査装置である。
機能トリミングのために所要の処理を実行する処理装置
、２は、機能トリミング対象のワ−りＷ（例えば、厚膜
集積回路）の位置決めをする位置決め装置、３は、ワー
クＷの論理出力を判定する判定装置、４は、ワークＷの
アナログ出力を測定する測定装置、５は、レーザ発振器
５．６は、そのレーザビームを走査するレーザビーム走
査装置である。
１ず、位置決め装置２により、ワークＷをワーク着脱位
置（図示せず）からトリミング位置（図示せず）へ搬送
・位置決めした後、判定装置３゜測定装置４とワークＷ
とを電気的に接続する。その後、ワークＷを動作状態に
し、その動作特性を判定装置３．測定装置４で計測する
。
置（図示せず）からトリミング位置（図示せず）へ搬送
・位置決めした後、判定装置３゜測定装置４とワークＷ
とを電気的に接続する。その後、ワークＷを動作状態に
し、その動作特性を判定装置３．測定装置４で計測する
。
とこで、ワークＷの端子ｖ＋＋＋ Ｖｌ−問およびＶ２
ヤ、Ｖ２−間には、それぞれ外部から電圧■８．。
ヤ、Ｖ２−間には、それぞれ外部から電圧■８．。
Ｖｎ２が印加されている。端子■ｌ＋ ＋ Ｖｌ−間に
は、抵抗Ｒ＋、Ｒ−が直列に接続されており、抵抗Ｒ１
゜几、の接続点にはツェナーダイオードＺＤのカソード
が接続されており、同アノード側は抵抗Ｒ２の一端に接
続され、抵抗Ｒ２の他端は端子ｖ１−に接続されている
。
は、抵抗Ｒ＋、Ｒ−が直列に接続されており、抵抗Ｒ１
゜几、の接続点にはツェナーダイオードＺＤのカソード
が接続されており、同アノード側は抵抗Ｒ２の一端に接
続され、抵抗Ｒ２の他端は端子ｖ１−に接続されている
。
また、ツェナーダイオードＺｏのアノード側は電圧検知
回路りに入力されるとともに、端子Ａにも接続されてい
る。
回路りに入力されるとともに、端子Ａにも接続されてい
る。
更に、電圧検出回路りには、端子■２や、Ｖ２−を通し
て外部から電圧ＶＢ２が印加され、同回路りの出力が端
子Ｂに接続されている。
て外部から電圧ＶＢ２が印加され、同回路りの出力が端
子Ｂに接続されている。
ここで、抵抗Ｒ１が機能トリミング対象の抵抗体であっ
て、トリミングすることにより、抵抗Ｒ１、Ｒ，、の接
続点の電圧が上昇してツェナーダイオードＺＤに小さな
逆方向電流が流れ始め、端子Ａの電圧も上昇する。
て、トリミングすることにより、抵抗Ｒ１、Ｒ，、の接
続点の電圧が上昇してツェナーダイオードＺＤに小さな
逆方向電流が流れ始め、端子Ａの電圧も上昇する。
更に、トリミングを続けてツェナーダイオードＺＤの両
端の電圧が当該ツェナー電圧に等しくなると、電圧上昇
曲線は飽和して端子Ａの電圧も一定となる。
端の電圧が当該ツェナー電圧に等しくなると、電圧上昇
曲線は飽和して端子Ａの電圧も一定となる。
このとき、電圧検出回路りは、その電圧を検知して論理
出力を反転する。すなわち、端子Ｂの論理値を反転する
。
出力を反転する。すなわち、端子Ｂの論理値を反転する
。
ワークＷの調整仕様は、端子Ｂの論理値が反転し、かつ
、端子Ａの電圧が最小であることであるが、端子Ｂの論
理値が反転するときの端子Ａの電圧は、ワークＷ１１６
ｉ１々に当該構成部品の特性変動によって異々る。した
がって、トリミングを停止するタイミングは、端子Ｂの
論理値を判定して決めなければならない。
、端子Ａの電圧が最小であることであるが、端子Ｂの論
理値が反転するときの端子Ａの電圧は、ワークＷ１１６
ｉ１々に当該構成部品の特性変動によって異々る。した
がって、トリミングを停止するタイミングは、端子Ｂの
論理値を判定して決めなければならない。
通常、このような特性を調整するには、端子Ｂの論理値
を判定しながら、一定の長さで、または一定の速度でト
リミングを繰り返すが、この方法では、トリミング停止
点の決定制御は容易であるが、トリミング回数が増えて
時間がかかるという欠点がある。
を判定しながら、一定の長さで、または一定の速度でト
リミングを繰り返すが、この方法では、トリミング停止
点の決定制御は容易であるが、トリミング回数が増えて
時間がかかるという欠点がある。
本実施例においては、ワークＷの端子Ａの信号（端子Ｂ
の論理信号と相関関係を有するもの）を測定装置４に入
力するとともに、端子Ｂの信号を判定装置３に入力し、
処理装置１により、両装置の計測結果を読み取り、レー
ザ発振器５．レーザビーム走査装置６を制御し、ワーク
Ｗの出力論理特性を目標仕様に適合するように機能トリ
ミングする。
の論理信号と相関関係を有するもの）を測定装置４に入
力するとともに、端子Ｂの信号を判定装置３に入力し、
処理装置１により、両装置の計測結果を読み取り、レー
ザ発振器５．レーザビーム走査装置６を制御し、ワーク
Ｗの出力論理特性を目標仕様に適合するように機能トリ
ミングする。
すなわち、ワークＷの端子Ａの信号電圧が飽和する前の
中間目標電圧ＶＡＭ を設定し、端子への電圧を測定
装置４によって測定し、そのデータＶＡＩを処理装置１
に読み込み、所要トリミング長として、 Ｌ＋ −αＸ Ｉ ＶＡＭ ＶＡＩ １なる計算を行
い、レーザ発振器５からレーザビーム発射させ、レーザ
ビーム走査装置６をトリミング対象の抵抗Ｒ，上で上記
トリミング長Ｌｔだけ走査し、レーザ発振を停止せしめ
る。
中間目標電圧ＶＡＭ を設定し、端子への電圧を測定
装置４によって測定し、そのデータＶＡＩを処理装置１
に読み込み、所要トリミング長として、 Ｌ＋ −αＸ Ｉ ＶＡＭ ＶＡＩ １なる計算を行
い、レーザ発振器５からレーザビーム発射させ、レーザ
ビーム走査装置６をトリミング対象の抵抗Ｒ，上で上記
トリミング長Ｌｔだけ走査し、レーザ発振を停止せしめ
る。
次に、再度当該データＶＡＩを測定し、同様にして当該
トリミング長ＬＬを求め、前回のトリミング終了点から
続けてトリミングを行い、当該データＶＡ＋ −ＶＡＭ
になるまで同様の動作を繰り返す。
トリミング長ＬＬを求め、前回のトリミング終了点から
続けてトリミングを行い、当該データＶＡ＋ −ＶＡＭ
になるまで同様の動作を繰り返す。
この方法では、各データＶＡＩと中間目標電圧Ｖ Ａ
Ｍとの差に比例した長さだけトリミングを行うことによ
り、初期において差が大のときは、長い距離をトリミン
グし、中間目標電圧Ｖ Ａ ｙに近付くあらかじめ、数
個のワークサンプルをトリミングして変化特性から求め
た数値を処理装置１に記憶させておくものである。
Ｍとの差に比例した長さだけトリミングを行うことによ
り、初期において差が大のときは、長い距離をトリミン
グし、中間目標電圧Ｖ Ａ ｙに近付くあらかじめ、数
個のワークサンプルをトリミングして変化特性から求め
た数値を処理装置１に記憶させておくものである。
データＶＡＩが中間目標電圧Ｖ Ａ Ｎに到達した後は
、ワークＷの端子Ｂの信号を判定装置３に入力し、その
結果を処理装置１に読み取り、論理値が変化するまで判
定と１定距離トリミングとを繰り返し、論理値が変化し
た時点でトリミングを終了し、位置決め装置２により、
ワークＷをトリミング位置からワーク着脱位置に戻し、
一連のトリミング動作を終了する。
、ワークＷの端子Ｂの信号を判定装置３に入力し、その
結果を処理装置１に読み取り、論理値が変化するまで判
定と１定距離トリミングとを繰り返し、論理値が変化し
た時点でトリミングを終了し、位置決め装置２により、
ワークＷをトリミング位置からワーク着脱位置に戻し、
一連のトリミング動作を終了する。
このように、本実施例によれば、機能トリミングの最終
判定を論理値によって行わねばならないような回路に対
し、トリミングを行うことによって変化するアナログ量
を計測することにより、このアナログ量の中間目標値ま
でのトリミング回数を定ピツチトリミングに比べて約１
／３に減少することができ、高速化を図ることができる
とともに、上述のように高精度化も実現することができ
る。
判定を論理値によって行わねばならないような回路に対
し、トリミングを行うことによって変化するアナログ量
を計測することにより、このアナログ量の中間目標値ま
でのトリミング回数を定ピツチトリミングに比べて約１
／３に減少することができ、高速化を図ることができる
とともに、上述のように高精度化も実現することができ
る。
（９）゛
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ディジ
タル信号のように特性変化の急激な回路の論理機能トリ
ミングを高精度、高速に行うことができるので、この種
の工程における設備投資効率の向上および信頼性の向上
に顕著な効果が得られる。
タル信号のように特性変化の急激な回路の論理機能トリ
ミングを高精度、高速に行うことができるので、この種
の工程における設備投資効率の向上および信頼性の向上
に顕著な効果が得られる。
第１図は、本発明に係る論理機能トリミング方式の一実
施例の方式構成図、第２図は、論理機能トリミング対象
のワークの一例の回路図、第３図は、その特性図、第４
図は、本方式のフローチャートである。 １・・・処理装置、２・・・位置決め装置、３・・・判
定装置、４・・・測定装置、５・・・レーザ発振器、６
・・・レーザビーム走査装置。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） （１０） １７ 目 ５ 茅２目 茅３ 目 （Ｌ） ｘ ＄４ 目
施例の方式構成図、第２図は、論理機能トリミング対象
のワークの一例の回路図、第３図は、その特性図、第４
図は、本方式のフローチャートである。 １・・・処理装置、２・・・位置決め装置、３・・・判
定装置、４・・・測定装置、５・・・レーザ発振器、６
・・・レーザビーム走査装置。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） （１０） １７ 目 ５ 茅２目 茅３ 目 （Ｌ） ｘ ＄４ 目
Claims (1)
- １、 ワークの位置決めをし、その対象部分についての
トリミングと機能特性測定とを交互に繰り返して所望の
機能トリミングを行う機能を有する機能トリミング装置
において、ワークの論理機能トリミングの目標仕様の論
理値と相関関係を有するアナログ量につい・て所定の中
間目標値を設定しておき、当該対象部分に関する論理機
能トリミングに際して、上記中間目標値までは、そのア
ナログ量の測定値と上記中間目標値との差に比例した量
のトリミングを行い、上記中間目標値に達したのちは、
上記論理値に関する判定を行いつつ所定量のピッチでト
リミングを行わしめるように制御・処理することを特徴
とする論理機能トリミング方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002208A JPS59127102A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 論理機能トリミング方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002208A JPS59127102A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 論理機能トリミング方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127102A true JPS59127102A (ja) | 1984-07-21 |
Family
ID=11522925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58002208A Pending JPS59127102A (ja) | 1983-01-12 | 1983-01-12 | 論理機能トリミング方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127102A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5156920A (en) * | 1974-11-14 | 1976-05-19 | Iwakura Kaihatsu Kk | Ichikimeyomootano seigyohoho oyobi sochi |
-
1983
- 1983-01-12 JP JP58002208A patent/JPS59127102A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5156920A (en) * | 1974-11-14 | 1976-05-19 | Iwakura Kaihatsu Kk | Ichikimeyomootano seigyohoho oyobi sochi |
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