JPS5810844B2 - 膜抵抗の機能トリミング方法 - Google Patents

膜抵抗の機能トリミング方法

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JPS5810844B2
JPS5810844B2 JP55126122A JP12612280A JPS5810844B2 JP S5810844 B2 JPS5810844 B2 JP S5810844B2 JP 55126122 A JP55126122 A JP 55126122A JP 12612280 A JP12612280 A JP 12612280A JP S5810844 B2 JPS5810844 B2 JP S5810844B2
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JP
Japan
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trimming
resistor
membrane
value
resistors
Prior art date
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JP55126122A
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English (en)
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JPS5750458A (en
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小野公一
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は膜抵抗の機能トリミング方法に関するものであ
る。
集積回路の膜抵抗体は、印刷あるいは蒸着等により形成
されるが、一般に、その精度が悪く、トリミングにより
所定の抵抗値にするのが一般的である。
抵抗体の抵抗値がある定められた値になるように精度よ
くトリミングするには、例えば、トリミングする抵抗体
に一定直流電圧を印加して、この抵抗体に流れる電流を
監視しながらトリミングを行い、あらかじめ定められた
電流値に達したところでトリミングを停止すればよく、
これは比較的容易であり、また、レーザトリミング法を
用いれば短時間でトリミングを行うことができる。
ところで、トリミングには、このような抵抗体の抵抗値
があらかじめ定められた値になるようにトリミングする
抵抗値トリミングの他に、抵抗体の抵抗値によって決定
される他の物理量、例えば周波数、波形等を監視しなが
らトリミングを行う機能トリミングと呼ばれるトリミン
グ法がある。
この機能トリミングは、集積回路を動作させながらトリ
ミングを行うので、抵抗体以外の回路性能に寄与するも
の、例えば、トランジスタ、コンデンサ等のばらつきを
含めて抵抗体の抵抗値を調整することができるので非常
にすぐれたトリミング法である。
第1図は機能トリミングを行う手順を示すものであり、
まず、上記した周波数、波形等の測定を行い、次に設定
値との差をとり、零でない場合はトリミングを行い、再
び測定を行う。
このように測定、トリミングを独立に行い、測定値と設
定値との差が零になるまで第1図のループを回すもので
ある。
第1図のループ中のトリミング時には測定を行っていな
いため、1回のトリミング量を大きくしすぎると設定値
を越えてしまうおそれがあるため、1回のトリミング量
をあまり大きくできない。
このだめ機能トリミングは単純な抵抗値トリミングと比
較して時間がかかり、特に機能トリミングの初期の上記
周波数、波形等の測定値と設定値との差が大きい場合に
はトリミングすべき量が大きくなり、第1図のループを
回る回数が多くなるため、機能トリミングに多くの時間
を要する。
第2図は従来のトリミング方法を説明するだめの、機能
トリミングを行う集積回路の一部であり、Vccの電位
と零電位の間に抵抗R1゜R2を直列に接続し、R1を
固定抵抗、R2を機能トリミング用の抵抗とした場合を
示している。
上記集積回路の出力の周波数fは、上記集積回路中のト
ランジスタ、コンデンサ等で決まる定数にとR1,R2
の中点電位Vpとの積でf=KVpと表七すことができ
、その周波数fを、R2の機能トリミングにより調整す
るものとする。
上記定数にはトランジスタ、コンデンサ等のばらつきに
よシ一定ではないため、上記周波数fを設定値に合わせ
た後のVpO値は一定ではない。
第3図は第2図における調整後のVpのばらつきを示す
ものであシ、平均値Vpを中心に最小値Vpminから
最大値Vpmaxまでばらつくことになる。
第4図は第3図のVpのばらつきに対応するR2のばら
つきを示すものであシ、平均値R2を中心に最小値R2
minから最大値R2m21xまでばらつくことになる
ところで抵抗体はトリミングによシ抵抗値を小さくする
ことはできないので、機能トリミングを行う抵抗R2の
初期値はR2m1nより小さくしておく必要がある。
したがってR2で機能トリミングを終了する平均的集積
回路の場合、R2m inからR2まで第1図のループ
を数多く回った後に機能トリミングを終了するため、多
くの機能トリミング時間を要するという欠点がある。
第5図は第2図におけるR2を固定とし、R1によυ機
能トリミングを行う場合を示しているが、この場合も第
2図と同様に多くの機能トリミング時間を要するという
欠点がある。
本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなくし、平均
の機能トリミング時間の短い機能トリミング方法を提供
することにある。
本発明の特徴は、ある物理量を調整する電圧を分圧によ
って得るために集積回路中の電位差のある2点間に接続
する抵抗を、それぞれ2本以上で構成し、その中の1本
の抵抗で機能トリミング前に該物理量が設定値となるよ
うな平均的な値にしておき、機能トリミング時には先に
トリミングを施した抵抗とは別の抵抗を、該物理量の設
定値とのずれの分だけをトリミングするようにしている
ことである。
第6図は本発明の一実施例を示す集積回路の一部であり
、Vccの電位と、零電位との間に接続する抵抗をそれ
ぞれRIAとRlBおよびR2AとR2Bのように直列
に接続する構成とし、RIAとR2Aを機能トリミング
前にトリミングする抵抗、RIBとR2Bを機能トリミ
ング時にトリミングする抵抗としている。
上記集積回路の出力の周波数fが上記集積回路中のトラ
ンジスタ、コンデンサ等で決まる定数にとRtA、Rx
BおよびR2AjR2Bの中点電位Vpとの積でf=K
Vpと表わすことができるものとし、そのときのトリミ
ング方法を説明する。
まず、抵抗体を形成した段階でRtAおよびR2Aをト
リミングして、Vp=Vpとガるような(R1A+R1
B)および(R2A +R2B)の値にしておく。
これは単純な抵抗値トリミングと同様に行うことができ
る。
そして機能トリミング時には、回路を動作させながら、
周波数fを監視し、RIBまたはR2Bをトリミングす
る。
具体的には周波数の測定値fと設定値f。
との関係により、f>foの場合はRlBをトリミング
してVpを小さくすることによってfをf。
に合わせ、f < f。
の場合はR2BをトリミングしてVpを大きくすること
によってfをf。
に合わせる。f=foの場合はトリミングは行わない。
第7図および第8図は本発明を示す他の実施例であり、
第1図においては、RIAとRlBおよびR2AとR2
Bをそれぞれ並列に接続し、RIAおよびR2Aを機能
トリミング前にトリミングする抵抗、RtBとR2Bを
機能トリミング時にトリミングする抵抗としており、第
8図においては、RIAとRtB・RICおよびR2A
とR2B・R2Oをそれぞれ直並列に接続し、RIAJ
RIBおよびR2AtR2Bを、機能トリミング前にト
リミングする抵抗、RtCおよびR2Oを機能トリミン
グ時にトリミングする抵抗としている。
第1図、第8図いずれの場合も、具体的なトリミング方
法は第6図の場合とほぼ同様である。
このように、本発明による機能トリミング方法では、機
能トリミング前のトリミングによシ、調整すべき物理量
はほぼ設定値に近くなっており、機能トリミング時には
該物理量の設定値からのずれの分だけをトリミングすれ
ばよく、従来の抵抗の最低値から機能トリミングを行う
方法とくらべ、機能トリミングに要する平均時間を大幅
に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は機能トリミング時の一般的なフローチャート、
第2図は従来の機能トリミング方法を示す回路図、第3
図は集積回路中の調整項目に関係する電位Vpの調整後
の値のばらつきを示すグラフ、第4図は第2図のように
機能トリミングを行う場合の調整後のR2の値のばらつ
きを示すグラフ、第5図は従来の機能トリミング方法に
用いられる回路図、第6図、第7図、第8図は本発明の
機能トリミング方法に用いられる回路図である。 RIA・R2A・RIB、R2B・RtC・R2C……
膜抵抗。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 電位差のある2点間に少なくとも2本の膜抵抗を直
    列に接続し、その中点の電圧に依存する物理量を調整す
    るために該膜抵抗体を機能的にトリミングするものにお
    いて、該2点と中点との間にそれぞれ複数本の膜抵抗を
    接続する構成にし、膜1抵抗体を形成した段階で、両側
    の各一本の膜抵抗を、中点の電圧がほぼ平均的な値が得
    られるような抵抗値にトリミングし、次に、該膜抵抗体
    を膜集積回路に組込み後、当該物理量の設定値からのず
    れを、先にトリミングを施した膜抵抗とは別の。 膜抵抗をトリミングして所定の値にするようにしたこと
    を特徴とする膜抵抗の機能トリミング方法。 2 電位差のある2点と中点との間に接続される抵抗体
    は、それぞれ直列接続された2本以上の膜抵抗によって
    形成されている特許請求の範囲第1゜項記載の膜抵抗の
    機能トリミング方法。 3 電位差のある2点と中点との間に接続される抵抗体
    は、それぞれ並列接続された2本発上の膜抵抗によって
    形成されている特許請求の範囲第1項記載の膜抵抗の機
    能トリミング方法。 4 電位差のある2点と中点との間に接続される抵抗体
    は、それぞれ直並列接続された2本以上の膜抵抗によっ
    て形成されている特許請求の範囲第1項記載の膜抵抗の
    機能トリミング方法。
JP55126122A 1980-09-12 1980-09-12 膜抵抗の機能トリミング方法 Expired JPS5810844B2 (ja)

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JPS5750458A JPS5750458A (en) 1982-03-24
JPS5810844B2 true JPS5810844B2 (ja) 1983-02-28

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JPS6269658A (ja) * 1985-09-24 1987-03-30 Nec Corp バランス回路における抵抗体の機能トリミング方法

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JPS5750458A (en) 1982-03-24

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