JPS63157403A - レーザ・トリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、レーザ・トリミング装置に関する。

（従来の技術） 一般に、測定器で変化量を測定しながら、レーザ光で抵
抗体を切断して抵抗値等を調整する装置を、レーザ・ト
リミング装置と言う。

このようなレーザ・トリミング装置は、一般に第１図に
示すように構成され、トリミングされる抵抗体’ＲＸ上
にレーザ光を走査するビームスキャナ（図示せず）と、
上記抵抗体ＲＸの抵抗値を測定する抵抗値測定器Ａ−と
、この抵抗値測定器Ａ−及び上記ビームスキャナを制御
するｉ＃ｉｌＪ　’ｊｉｌ器、５−とから構成されてい
る。

そして、動作時には、コンピュータ３から出力する信号
ａでＡＤコンバータ１によりデジタル信号すに変換する
。このデジタル信号すとコンピュータ３からの判定デー
タＣとをコンパレータ２で比較し、判定結果信号ｄでコ
ンピュータ３にトリミング停止をかける。

このようにして、非トリミング抵抗体Ｒｘをレーザ光で
削り取ることにより、抵抗値を所望の値に調整する。そ
して、上記の判定結果信号ｄにより、レーザ光による削
り取り動作を終了し、トリミングを完了する。

（発明が解決しようとする問題点） 第４図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）に示すように、レーザ光
を照射した直後に抵抗値は大きくふらついて変化し、あ
る時間後に一定のふらつき範囲内に落着く。この時点（
矢印の点）で測定・判定を行なうが、その時のタイミン
グにより、例えば１１のタイミングでは判定データを超
えていると判定し、１２のタイミングでは判定データを
超えていないと判定する。１２のタイミングで判定する
と、更に一発レーザ光を照射することになるため、照射
する場合と、しない場合とで、トリミング結果に誤差が
発生するという欠点がある。

これを防ぐために、第３図に示すように、ＡＤコンバー
タ１の前にＲＣフィルタ６を挿入して、信号のふらつき
を小さくする方法をとってきた。

しかるに、この方法だと、ＲＣによる時間後れが１０ｍ
ｓ以上も発生し、極端にトリミング速度が遅くなるとい
う欠点があった。

この発明は、上記従来の欠点を解決し、トリミング速度
の低下を抑えながら、誤差の発生を小さくしたレーザ・
トリミング装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） この発明では、トリミングされる抵抗体上にレーザ光を
走査するビームスキャナと、上記抵抗体の抵抗値を測定
する抵抗＠測定器と、この抵抗値測定器及び上記ビーム
スキャナを制御する制御器とを具備してなるレーザ・ト
リミング装置において、レーザ・トリミング過程で、レ
ーザパルス照射間隔に複数回測定し、この複数回測定し
た中で測定値がトリミング目標値を超えたと判定した回
数が指定回数を超えた時点でトリミングを終了するレー
ザ・トリミング装置であり、上記測定回数及び上記指定
回数は可変である。

（作用） この発明によれば、１回の測定・判定に比べ、判定結果
の再現性が高くなり、トリミング精度が向上する。又、
１回の測定・判定は、従来方法に比べ非常に高速度であ
る。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。

この発明のレーザ・トリミング装置は、第１図に示すよ
うに構成され、トリミングされる抵抗体ＲＸ上にレーザ
光を走査するビームスキャナ（図示せず〉と、上記抵抗
体ＲＸの抵抗値を測定する抵抗値測定器玉と、この抵抗
値測定器土みび上記ビームスキャナを制御する制御器５
とから構成されている。そして、制御器５は非トリミン
グ抵抗体ＲＸに電流を流して、抵抗値に比例した電圧を
発生させ、その電圧をデジタル量に変換するＡＤコンバ
ータ１と、上記デジタル量と判定データとを比較するコ
ンパレータ２と、シーケンスをＩｌｌ　’ｍｌするコン
ピュータ３とからなっている。

さて、この発明では上記構成のレーザ・トリミング装置
を使用するレーザ・トリミング過程で、レーザ光の照射
間隔に複数回、ＡＤコンバータ１でデジタル量に変換し
、コンパレータ２で判定値と比較する。そして、判定結
果信号の中で、判定値を超えていると判定した結果の数
が、全体の測定回数（変換回数）に対して指定回数以上
になった場合に、トリミングを終了する。又、変換回数
及び指定回数は、抵抗値等により可変とする。

即ち、５回測定・判定をする例を示すと、第２図（ａ）
、（ｂ）、（Ｃ）のようになり、判定データを超えてい
ると判定した回数は、タイミング１１１．１１４．１１
５の３回である。そして右指定回数を３としておくこと
により、この状態でトリミングを終了する。

［発明の効果］ この発明によれば、１回の測定・判定に比べ、平均化す
る効果が出るため、判定結果の再現性が高くなり、トリ
ミング精度が著しく向上する。即ち、試験結果によると
、７０にΩの抵抗体で、従来方法では０．４５％であっ
たが、この発明によれば０．０．８％（この場合、測定
回数１０、指定回数５）のトリミング結果を得た。又、
１回の測定・判定は６０μｓと高速のため、１０回測定
でも６００μｓと従来方法に比べ１６．６倍と高速であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来及びこの考案の一実施例を説明するために
用いるレーザ・トリミング装置を示す構成図、第２図（
ａ＞、（ｂ）、（Ｃ）はこの考案のレーザ・トリミング
装置におけるレーザ光、抵抗値及び測定・判定の関係を
示す特性曲線図、第３図は従来のレーザ・トリミング装
置を示す構成図、第４図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は従来
のレーザ・トリミング装置におけるレーザ光、抵抗値及
び測定・判定の関係を示す特性曲線図である。 Ｌ・・・抵抗値測定器１，５−・・・制御器出願人代理
人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）トリミングされる抵抗体上にレーザ光を走査する
   ビームスキャナと、上記抵抗体の抵抗値を測定する抵抗
   値測定器と、この抵抗値測定器及び上記ビームスキャナ
   を制御する制御器とを具備してなるレーザ・トリミング
   装置において、レーザ・トリミング過程で、レーザパル
   ス照射間隔に複数回測定し、この複数回測定した中で測
   定値がトリミング目標値を超えたと判定した回数が指定
   回数を超えた時点でトリミングを終了することを特徴と
   するレーザ・トリミング装置。
2. （２）上記測定回数及び上記指定回数は可変である特許
   請求の範囲第１項記載のレーザ・トリミング装置。